實方真臣 SANEKATA Masaomi

研究者番号	80277368
その他のID
所属 (現在)	2025年度: 東京工芸大学, 工学部, 准教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2022年度 – 2023年度: 東京工芸大学, 工学部, 准教授 2021年度: 東京工芸大学, 工学部, 講師 2008年度: 東京工芸大学, 講師 2007年度: 東京工芸大学, 工学部, 講師 2001年度: 慶應大, 理工学部, 助手 1999年度 – 2000年度: 慶應義塾大学, 理工学部, 助手 1998年度: 日本大学, 文理学部, 助手
審査区分/研究分野	研究代表者物理化学 / 小区分14010:プラズマ科学関連 / 物理化学
キーワード	研究代表者クラスター / 2光子共鳴飽和分光法 / 飛行時間型質量分析法 / レーザー誘起蛍光法 / 飛行時間質量分析法 / 光イオン化レーザー分光法 / プラズマ分光計測 / プラズマ診断 / マグネトロンスパッタリング / 金ナノ粒子 … もっと見る / 外部摂動効果 / 量子光物性 / 量子ドット / 量子閉じ込め / 量子井戸 / 金属ナノ粒子 / 負イオン / レーザー蒸発法 / 光電子分光法 / 幾何構造 / 電子構造 / 合金化過程 / シリサイド / クラスター内電荷移動 / 金属超微粒子 / 量子サイズ効果 / 電荷移動 / 光吸収 / ガス凝集法 / 表面プラズモン / 金属ナノクラスター隠す

高出力パルスマグネトロンスパッタリングの成膜領域における新規イオン密度分光計測法研究代表者
- 研究代表者
  
  實方真臣
- 研究期間 (年度)
  2021 – 2024
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分14010:プラズマ科学関連
- 研究機関
  東京工芸大学
非線形摂動分光法による金ナノロッドの量子井戸準位間遷移の観測研究代表者
- 研究代表者
  
  實方真臣
- 研究期間 (年度)
  2007 – 2008
- 研究種目
  
  萌芽研究
- 研究分野
  
  物理化学
- 研究機関
  東京工芸大学
金属シリサイドクラスターの微視的合金化過程研究代表者
- 研究代表者
  
  實方真臣
- 研究期間 (年度)
  2000 – 2001
- 研究種目
  
  奨励研究(A)
- 研究分野
  
  物理化学
- 研究機関
  慶應義塾大学
表面プラズモン励起金属ナノクラスターによる光化学反応と量子サイズ効果研究代表者
- 研究代表者
  
  實方真臣
- 研究期間 (年度)
  1998 – 1999
- 研究種目
  
  奨励研究(A)
- 研究分野
  
  物理化学
- 研究機関
  慶應義塾大学
   日本大学

すべて 2024 2023 2022 2021 2008 2007

すべて雑誌論文学会発表

[雑誌論文] Optical emission spectroscopy in deep oscillation magnetron sputtering (DOMS) of titanium2023
- 著者名/発表者名
  Yokoyama Eisuke、Sanekata Masaomi、Nishimiya Nobuo、Tona Masahide、Yamamoto Hiroaki、Tsukamoto Keizo、Fuke Kiyokazu、Ohshimo Keijiro、Misaizu Fuminori
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 62 号: SL ページ: SL1008-SL1008
- DOI
  10.35848/1347-4065/acce42
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K03503, KAKENHI-PROJECT-21K03520
[雑誌論文] Time-of-flight mass spectrometry diagnostics in deep oscillation magnetron sputtering (DOMS) of titanium2022
- 著者名/発表者名
  Sanekata Masaomi、Nakagomi Yuki、Hirayama Mutsuki、Nishida Hiroshi、Nishimiya Nobuo、Tona Masahide、Yamamoto Hiroaki、Tsukamoto Keizo、Fuke Kiyokazu、Ohshimo Keijiro、Koyasu Kiichirou、Misaizu Fuminori
- 雑誌名
  
  Journal of Applied Physics
  
  巻: 131 号: 24 ページ: 243301-243301
- DOI
  10.1063/5.0089592
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K03503, KAKENHI-PROJECT-21K03520, KAKENHI-PUBLICLY-21H05418
[雑誌論文] 高出力パルスマグネトロンスパッタリングにおけるリフレクトロン型飛行時間質量分析計を用いたプラズマ診断法の開発2022
- 著者名/発表者名
  實方真臣, 塚本恵三, 美齊津文典
- 雑誌名
  
  質量分析
  
  巻: 70 号: 1 ページ: 30-35
- DOI
  10.5702/massspec.S22-06
- ISSN
  1340-8097, 1880-4225, 1884-3271
- 年月日
  2022-03-01
- 言語
  日本語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K03503, KAKENHI-PROJECT-21K03520
[雑誌論文] Delayed discharge bridging two sputtering modes from modulated pulsed power magnetron sputtering (MPPMS) to deep oscillation magnetron sputtering (DOMS)2021
- 著者名/発表者名
  Masaomi Sanekata, Hiroshi Nishida, Tatsuya Watabe, Yuki Nakagomi, Yoshihiro Hirai, Nobuo Nishimiya, Masahide Tona, Hiroaki Yamamoto, Naoki Hirata, Keizo Tsukamoto, Keijiro Ohshimo, Fuminori Misaizu, and Kiyokazu Fuke
- 雑誌名
  
  Plasma
  
  巻: 4 号: 2 ページ: 239-251
- DOI
  10.3390/plasma4020016
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K03503, KAKENHI-PROJECT-21K03520
[雑誌論文] Dependence of Optical Emission Spectra on Argon Gas Pressure during Modulated Pulsed Power Magnetron Sputtering (MPPMS)2021
- 著者名/発表者名
  Masaomi Sanekata, Hiroshi Nishida, Yuki Nakagomi, Yoshihiro Hirai, Nobuo Nishimiya, Masahide Tona, Hiroaki Yamamoto, Naoki Hirata, Keizo Tsukamoto, Keijiro Ohshimo, Fuminori Misaizu, and Kiyokazu Fuke
- 雑誌名
  
  Plasma
  
  巻: 4 号: 2 ページ: 269-280
- DOI
  10.3390/plasma4020018
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K03503, KAKENHI-PROJECT-21K03520, KAKENHI-PUBLICLY-21H05418
[学会発表] （レーザー誘起蛍光法を用いた）高出力マグネトロンスパッタリング(HPPMS)のプラズマ診断2024
- 著者名/発表者名
  中川悠幹、小林宏輝、横山英佐、西宮信夫、實方真臣、戸名正英、山本宏晃、塚本恵三、冨宅喜代一、大下慶次郎、美齊津文典
- 学会等名
  第71回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K03503
[学会発表] 深振動マグネトロンスパッタリング（DOMS）における発光遅延時間計測を用いたガス希薄化現象の解明2024
- 著者名/発表者名
  横山英佐、堀内楓、高橋勇成、中川悠幹、西宮信夫、實方真臣、戸名正英、山本宏晃、塚本恵三、冨宅喜代一、大下慶次郎、美齊津文典
- 学会等名
  第71回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K03503
[学会発表] リフレクトロン型飛行時間質量分析計を用いた深振動マグネトロンスパッタリングの多成分イオン同時計測法の開発2024
- 著者名/発表者名
  小林宏輝、中川悠幹、横山英佐、西宮信夫、實方真臣、戸名正英、山本宏晃、塚本恵三、冨宅喜代一、大下慶次郎、美齊津文典
- 学会等名
  第71回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K03503
[学会発表] 飛行時間質量分析計による高出力パルスマグネトロンスパッタリング(HPPMS)の多成分リアルタイム分析法の開発と展望2023
- 著者名/発表者名
  實方真臣
- 学会等名
  日本表面真空学会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP部会) 第175回定例研究会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K03503
[学会発表] 間欠型深振動マグネトロンスパッタリングの放電パルス設計とプラズマ分光計測2023
- 著者名/発表者名
  横山英佐, 永井友樹, 筒井海太, 西宮信夫, 實方真臣, 戸名正英, 山本宏晃, 塚本恵三, 冨宅喜代一, 大下慶次郎, 美齊津文典
- 学会等名
  第70回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K03503
[学会発表] 時間分解プラズマ分光計測を用いた深振動マグネトロンスパッタリングにおける発光遅延時間の解析2023
- 著者名/発表者名
  横山英佐、堀内楓、高橋勇成、中川悠幹、西宮信夫、實方真臣、戸名正英、山本宏晃、塚本恵三、冨宅喜代一、大下慶次郎、美齊津文典
- 学会等名
  第84回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K03503
[学会発表] 深振動マグネトロンスパッタリングの発光分光計測とイオン閉じ込め効果の検討2022
- 著者名/発表者名
  横山英佐、小野洋平、坂本大樹、高山昇大、西宮信夫、實方真臣、戸名正英、山本宏晃、塚本恵三、冨宅喜代一、大下慶次郎、美齊津文典
- 学会等名
  第69回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K03503
[学会発表] 深振動マグネトロンスパッタリングのパルス設計とプラズマ発光分光計測2022
- 著者名/発表者名
  横山英佐, 永井友樹, 筒井海太, 西宮信夫, 實方真臣, 戸名正英, 山本宏晃, 塚本恵三, 冨宅喜代一, 大下慶次郎, 美齊津文典
- 学会等名
  第83回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K03503
[学会発表] An optical emission spectroscopic study of deep oscillation magnetron sputtering of titanium2022
- 著者名/発表者名
  Eisuke Yokoyama, Masaomi　Sanekata, Nobuo Nishimiya, Masahide Tona, Hiroaki Yamamoto, Keizo Tsukamoto, Kiyokazu Fuke, Keijiro Ohshimo, and Fuminori Misaizu
- 学会等名
  11th International Conference on Reactive Plasmas / 2022 Gaseous Electronics Conference（ICRP-11 / GEC2022）
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K03503
[学会発表] 深振動マグネトロンスパッタリングのプラズマ発光分光計測2021
- 著者名/発表者名
  横山英佐、小野洋平、高山昇大、坂本大樹、西宮信夫、實方真臣、戸名正英、平田直之、山本宏晃、塚本恵三、冨宅喜代一、大下慶次郎、美齊津文典
- 学会等名
  第82回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K03503
[学会発表] 高出力パルスマグネトロンスパッタリングの放電時間解析2021
- 著者名/発表者名
  實方真臣、西田寛、渡部達也、中込雄基、平井芳拓、西宮信夫、戸名正英、平田直之、山本宏晃、塚本恵三、冨宅喜代一、大下慶次郎、美齊津文典
- 学会等名
  第82回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K03503
[学会発表] 簡易磁場変調器の試作とその強磁性金属ナノ粒子への応用2008
- 著者名/発表者名
  小泉清匡, ○實方真臣
- 学会等名
  第2回分子科学討論会(分子科学会)
- 発表場所
  福岡国際会議場
- 年月日
  2008-09-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19655006
[学会発表] 金ナノロッドの電場吸収と形状・サイズ依存性2007
- 著者名/発表者名
  實方真臣
- 学会等名
  第1回分子科学討論会
- 発表場所
  東北大学
- 年月日
  2007-09-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19655006

1. 美齊津文典 (20219611)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
2. 西宮信夫 (50208211)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 14件
3. 美斎津文典

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 14件

實方 真臣 SANEKATA Masaomi

研究課題

研究成果

共同研究者

高出力パルスマグネトロンスパッタリングの成膜領域における新規イオン密度分光計測法研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

非線形摂動分光法による金ナノロッドの量子井戸準位間遷移の観測研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

金属シリサイドクラスターの微視的合金化過程研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

表面プラズモン励起金属ナノクラスターによる光化学反応と量子サイズ効果研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] Optical emission spectroscopy in deep oscillation magnetron sputtering (DOMS) of titanium2023

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Time-of-flight mass spectrometry diagnostics in deep oscillation magnetron sputtering (DOMS) of titanium2022

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] 高出力パルスマグネトロンスパッタリングにおけるリフレクトロン型飛行時間質量分析計を用いたプラズマ診断法の開発2022

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

ISSN

年月日

言語

データソース

[雑誌論文] Delayed discharge bridging two sputtering modes from modulated pulsed power magnetron sputtering (MPPMS) to deep oscillation magnetron sputtering (DOMS)2021

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Dependence of Optical Emission Spectra on Argon Gas Pressure during Modulated Pulsed Power Magnetron Sputtering (MPPMS)2021

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[学会発表] （レーザー誘起蛍光法を用いた）高出力マグネトロンスパッタリング(HPPMS)のプラズマ診断2024

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] 深振動マグネトロンスパッタリング（DOMS）における発光遅延時間計測を用いたガス希薄化現象の解明2024

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] リフレクトロン型飛行時間質量分析計を用いた深振動マグネトロンスパッタリングの多成分イオン同時計測法の開発2024

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] 飛行時間質量分析計による高出力パルスマグネトロンスパッタリング(HPPMS)の多成分リアルタイム分析法の開発と展望2023

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] 間欠型深振動マグネトロンスパッタリングの放電パルス設計とプラズマ分光計測2023

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] 時間分解プラズマ分光計測を用いた深振動マグネトロンスパッタリングにおける発光遅延時間の解析2023

著者名/発表者名

学会等名

データソース

實方真臣 SANEKATA Masaomi