篠原 正典  SHINOHARA Masanori

表面と真空

巻: 66 号: 8 ページ: 442-447

10.1380/vss.66.442

電気学会論文誌．　Ａ

巻: 138 号: 11 ページ: 538-543

10.1541/ieejfms.138.538

電気学会論文誌．　Ａ

巻: 138 号: 11 ページ: 544-550

10.1541/ieejfms.138.544

IEEE Transactions of Plasma Science

巻: 44 号: 12 ページ: 3107-3111

10.1109/tps.2016.2595599

Japanese Journal of Applied Physics

巻: 54 号: 1S ページ: 01AB04-01AB04

10.7567/jjap.54.01ab04

プラズマ・核融合学会誌

巻: 91

Journal of Spectroscopy

巻: 2015 ページ: 1-7

10.1155/2015/417024

Proceedings of 8th International conference on reactive plasmas

巻: 1

Proceedoings of 8th International conference on reactive plasmas

巻: 1

Japanese Journal of Applied Physics

巻: 53 号: 1 ページ: 10204-10204

10.7567/jjap.53.010204

210000143216

Proceedings of 8th International conference on reactive plasma

巻: 1

Jpn. J. Appl. Phys.

巻: Vol. 52, No.11 号: 11S ページ: 11NC06-11NC06

10.7567/jjap.52.11nc06

210000143109

Proceedings of 8th International conference on reactive plasmas

巻: １

電気学会論文誌．　Ａ

巻: 134 号: 1 ページ: 41-46

10.1541/ieejfms.134.41

130003382669

JPS Conference. Proceedings

巻: 1 ページ: 15081-15081

10.7566/jpscp.1.015081

プラズマ・核融合学会誌

巻: 91 ページ: 329-335

Japanese Journal of Applied Physics

巻: 53 号: 9 ページ: 096202-096202

10.7567/jjap.53.096202

210000144458

電気学会プラズマ研究会資料

巻: PST-13-086～103 ページ: 91-94

電気学会プラズマ研究会資料

巻: PST-13-103 ページ: 91-94

IEEE Trans. Plasma Sci.

巻: 41 号: 8 ページ: 1878-1883

10.1109/tps.2013.2263850

IEEE Transactions of Plasma Science

巻: 40 号: 8 ページ: 2073-2078

10.1109/tps.2012.2203613

化学工業

巻: 63 ページ: 942-946

Proceeding of IC－PLANTS2012

巻: 1

化学工業

巻: 63 ページ: 942-946

化学工業

巻: 63 ページ: 942-946

化学工業

巻: 63 ページ: 942-946

IEEE Trans. of Plasma Science

巻: Vo l . 40, No. 10 号: 10 ページ: 2756-2761

10.1109/tps.2012.2208766

化学工業

巻: 63 ページ: 942-946

ICRERA 2012 Proceedings

巻: CD-ROM

Proceedings of ICRERA 2012

巻: 1

電気学会プラズマ　パルスパワー　合同研究会 資料

巻: PST-11-093, PPT-11-094 ページ: 11-14

10030330356

Proceeding of The 8th Asian-European Internationala Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE-2011)

巻: 1 ページ: 345-345

Transactions of MRS-Japan

巻: (in press)

130003399004

電気学会プラズマ研究会資料

巻: PST-11-069, ページ: 31-34

10029502639

Transactions of MRS-Japan

巻: 36 ページ: 491-494

130003399004

Thin Solid Films 518

ページ: 3497-3501

プラズマ・核融合学会九州・山口・沖縄支部支部会 論文集

巻: 1 ページ: 11-12

Trans. of MRS-Japan

巻: Vol. 35, No. 3 ページ: 563-566

130004676329

Thin Solid Films Vol.518

ページ: 3497-3501

応用物理学会九州支部学術講演会予稿集

巻: 1 ページ: 96-96

Trans.of MRS-Japan vol.35

ページ: 563-566

130004676329

Thin Solid Films

巻: 518 ページ: 3497-350

表面科学 31

ページ: 156-161

10026319645

日本MRS学術シンポジウム予稿集

巻: 1

Thin Solid Films

巻: Vol. 518, No. 13 号: 13 ページ: 3497-3501

10.1016/j.tsf.2009.11.033

表面科学

巻: 31 ページ: 400-404

10026546055

Transactions of MRS-Japan

巻: 35 ページ: 563-566

130004676329

Proceedings of IEEE TENCON 2010

ページ: 1948-1950

Proceedings of TENCON 2010

ページ: 1948-1950

表面科学 Vol.31

ページ: 400-404

10026546055

J. of Vac. Sci. and Technol. A

巻: Vol. 27, No. 4 号: 4 ページ: 813-817

10.1116/1.3077278

プラズマ科学シンポジウム/第26回プラズマプロセス研究会プロシーデイングス 1

ページ: 216-217

Journal of Vacuum Science and Technologies A 27

ページ: 613-817

J.Vac.Sci.and Technol.A Vol.27

ページ: 813-817

電気学会プラズマ研究会資料2008/7/4-5 PST-08-39

ページ: 9-12

10025666837

Proceedings of the Symposium on the Application of Plasma to Bio-Medical Engineering 1

ページ: 80-83

Proceedings of the 24t^<th> Symposium on Plasma Processing

ページ: 261-262

Applied Surface Science 253

ページ: 6242-6247

Proceedings of the 5th Asia-Pacific International Symposium on Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT-5) vol.1

ページ: 16-19

Proceedings of the 24^<th> Symposium on Plasma Processing

ページ: 397-398

Proc. of the 6th Asia-Europe International Symposium on Plasma Surface Engineering vol.1

ページ: 156-156

Thin Solid Films (In press)

Proc. of International Workshop on Microplasma Tainan, Taiwan vol.1

ページ: 41-41

Transaction of MRS-J (In press)

130007922828

Transaction of the Materials Research Society of Japan 32

ページ: 473-476

130007922828

Proceedings of the 17^<th> symposium of the Materials Research Society of Japan

ページ: 189-189

130007922828

Thin Solid Films (in press)

応物シンポジウム 次世代半導体のための新材料デポジション&エッチングプロセス 講演資料集

ページ: 37-37

Applied Surface Science (in press)

Proceedings of International Conference on Reactive Plasma

ページ: 615-616

Journal of Advanced Oxidation Technologies Vol.8 No.1

ページ: 41-46

10018979750

Proc.of the 17th International Symposium on Plasma Chemistry proceeding,

ページ: 453-454

Thin Solid films (In press)

Proc.of the 17^<th> International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC-17)

ページ: 581-582

Proceedings of the 16^<th> symposium of the Materials Research Society of Japan

ページ: 173-173

Thin Solid films Vol.475 No.1-2

ページ: 128-132

Proc.5th Asian-European Int.Conf.on Plasma Surface Engineering

表面科学 Vol.25 No.9

ページ: 541-547

Thin Solid films vol.464-465

ページ: 14-17

電気学会研究会資料プラズマ研究会 PST-04-70.72-81

ページ: 9-12

Thin Solid Films (In press)