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小栗 泰造  オグリ タイゾウ

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 80359413
所属 (現在) 2025年度: 地方独立行政法人大阪産業技術研究所, 和泉センター, 総括研究員
2025年度: 地方独立行政法人大阪府立産業技術総合研究所, その他部局等, 主幹研究員
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2019年度: 地方独立行政法人大阪府立産業技術総合研究所, その他部局等, 主幹研究員
2017年度 – 2018年度: 地方独立行政法人大阪産業技術研究所, その他部局等, 主幹研究員
審査区分/研究分野
研究代表者以外
無機材料・物性
キーワード
研究代表者以外
歪抵抗薄膜 / 薄膜 / セラミックス / 電子・電気材料 / スパッタリング / ひずみ抵抗薄膜 / オイルレス / 高温圧力センサ / 酸炭化物薄膜
  • 研究課題

    (1件)
  • 研究成果

    (6件)
  • 共同研究者

    (2人)
  •  温度補正機能付き高感度高温オイルレス圧力センサの開発

    • 研究代表者
      筧 芳治
    • 研究期間 (年度)
      2017 – 2019
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      無機材料・物性
    • 研究機関
      地方独立行政法人大阪産業技術研究所

すべて 2020 2019 2018

すべて 学会発表

  • [学会発表] 2 層型ひずみ抵抗薄膜 (TiCxOy/SiCxOy) を用いた高温オイルレス圧力センサの開発2020

    • 著者名/発表者名
      筧 芳治,佐藤 和郎,小栗 泰造,近藤 裕佑,山田 義春
    • 学会等名
      日本セラミックス協会2020年年会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K06811
  • [学会発表] MgOバッファ膜を用いたTiCxOy高温ひずみ抵抗薄膜の特性改善2019

    • 著者名/発表者名
      筧 芳治,佐藤 和郎,小栗 泰造,山田 義春,近藤 裕佑
    • 学会等名
      日本セラミックス協会2019年年会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K06811
  • [学会発表] 2層型ひずみ抵抗薄膜を用いた直圧式高温圧力センサの開発2019

    • 著者名/発表者名
      筧 芳治,佐藤 和郎,小栗 泰造,山田 義春,近藤 裕佑
    • 学会等名
      2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K06811
  • [学会発表] 磁気中性線放電プラズマによるオイルレス圧力センサ用ストレインゲージ薄膜のドライエッチング2018

    • 著者名/発表者名
      佐藤 和郎,筧 芳治,金岡 祐介, 小栗 泰造,近藤 裕佑,山田 義春
    • 学会等名
      2018年 第65回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K06811
  • [学会発表] MgO バッファ膜が高温オイルレス圧力センサ用ひずみ抵抗薄膜TiCxOy の特性に与える影響2018

    • 著者名/発表者名
      筧 芳治,佐藤 和郎,小栗 泰造,山田 義春,近藤 裕佑
    • 学会等名
      2018年日本表面真空学会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K06811
  • [学会発表] TiC薄膜を用いたストレインゲージ特性に及ぼす酸素添加の効果2018

    • 著者名/発表者名
      筧 芳治、佐藤 和郎、小栗 泰造、近藤 裕佑、山田 義春
    • 学会等名
      日本セラミックス協会2018年年会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K06811
  • 1.  筧 芳治 (90359406)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 6件
  • 2.  佐藤 和郎 (30315163)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 6件

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