• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

佐藤 真一  SATOH Shinichi

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 80382258
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2006年度: 兵庫県立大学, 大学院工学研究科, 教授
2005年度: 兵庫県立大学, 大学院・工学研究科, 教授
審査区分/研究分野
研究代表者以外
応用物性・結晶工学
キーワード
研究代表者以外
interface trap / capacitance-voltage method / scanning capacitance microscopy / contactless characterization / high-k gate insulator / 過渡容量分光法 / フェルミピニング / 界面トラップ / C-V法 / 走査型容量顕微鏡 / 非接触評価 / High-k絶縁膜
  • 研究課題

    (1件)
  • 研究成果

    (5件)
  • 共同研究者

    (1人)
  •  非接触過渡容量分光法によるHigh-kゲート絶縁膜及びその界面現象の解明

    • 研究代表者
      吉田 晴彦
    • 研究期間 (年度)
      2005 – 2006
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      応用物性・結晶工学
    • 研究機関
      兵庫県立大学

すべて 2007 2006

すべて 雑誌論文

  • [雑誌論文] Local Characterization of Interface Properties of High-k Gate Stacks by Scanning Capacitance Microscopy.2007

    • 著者名/発表者名
      S.Kuge, H.Yoshida, M.Inoue, S.Satoh
    • 雑誌名

      Proc. of The 2007 International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai, IEEE

      ページ: 111-112

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560012
  • [雑誌論文] Local Characterization of Interface Properties of High-k Gate Stacks by Scanning Capacitance Microscopy2007

    • 著者名/発表者名
      S.Kuge, H.Yoshida, M.Inoue, S.Satoh
    • 雑誌名

      Proc. of The 2007 International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai, IEEE

      ページ: 111-112

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560012
  • [雑誌論文] Local Characterization of Interface Properties of High-k Gate Stacks by Scanning Capacitance Microscopy2007

    • 著者名/発表者名
      S.Kuge, H.Yoshida, M.Inoue, S.Satoh
    • 雑誌名

      Proc. of The 2007 International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai, IEEE (in press)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560012
  • [雑誌論文] Electrical Characterization of High-k Dielectrics/Si Interface by Contactless C-V Method2006

    • 著者名/発表者名
      K.Fukano, H.Yoshida, M.Inoue, S.Satoh
    • 雑誌名

      Proc. of The 2006 International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai, IEEE

      ページ: 63-64

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560012
  • [雑誌論文] Electrical Characterization of High-k Dielectrics/Si Interface by Contactless C-V Method.2006

    • 著者名/発表者名
      K.Fukano, H.Yoshida, M.Inoue, S.Satoh
    • 雑誌名

      Proc. of The 2006 International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai, IEEE

      ページ: 63-64

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560012
  • 1.  吉田 晴彦 (90264837)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 5件

URL: 

この研究者とORCID iDの連携を行いますか?
※ この処理は、研究者本人だけが実行できます。

Are you sure that you want to link your ORCID iD to your KAKEN Researcher profile?
* This action can be performed only by the researcher himself/herself who is listed on the KAKEN Researcher’s page. Are you sure that this KAKEN Researcher’s page is your page?

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi