久保田章亀 KUBOTA AKIHISA

研究者番号	80404325
その他のID
所属 (現在)	2025年度: 熊本大学, 大学院先端科学研究部(工), 准教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2023年度: 熊本大学, 大学院先端科学研究部(工), 准教授 2018年度 – 2020年度: 熊本大学, 大学院先端科学研究部(工), 准教授 2016年度: 熊本大学, 自然科学研究科, 准教授 2012年度 – 2014年度: 熊本大学, 自然科学研究科, 准教授 2012年度 – 2013年度: 熊本大学, 大学院・自然科学研究科, 准教授 … もっと見る 2011年度: 熊本大学, 自然科学研究科, 助教 2007年度 – 2009年度: 熊本大学, 大学院・自然科学研究科, 助教 2006年度: 熊本大学, 自然科学研究科, 助手隠す
審査区分/研究分野	研究代表者生産工学・加工学 / 小区分18020:加工学および生産工学関連研究代表者以外生産工学・加工学
キーワード	研究代表者精密研磨 / ダイヤモンド / 先端機能デバイス / 研磨 / 超精密加工 / 化学的加工 / 触媒援用加工 / シリコンカーバイド(SiC) / 精密部品加工 / 平坦化 … もっと見る / パワーデバイス / 超精密研磨 / ドライ研磨 / エッチング / トライボプラズマ / ウエット研磨 / 紫外線 / マイクロバブル / 紫外光 / オゾン / 紫外光援用研磨 / シリコンカーバイド / シリコンカーバイド（SiC） / 紫外光援用ウエットエッチング / 鉄触媒援用研磨 / 紫外光支援加工 / 触媒支援加工 / SiC / 基板表面平坦化 … もっと見る研究代表者以外ダイヤモンド基板 / 超精密研磨 / ダイヤモンドウェハ / 研削砥石 / 切削工具 / 研磨機構（メカニズム） / 刃先鋭利化 / 鏡面研磨 / 精密研削 / 工具刃先鋭利化 / 超硬 / ダイヤモンド砥石 / PCD / ダイヤモンド製切削工具 / 紫外光励起研磨 / 高能率研削加工 / 鏡面研削 / 作用砥粒数 / 精密ツルーイング / 鋭利化 / PCD製切削工具 / ダイシングブレード / ダイヤモンド / 原子スケール平坦化 / 鏡面加工 / 紫外線照射 / 紫外光支援加工 / 紫外光支援研磨 / 多結晶ダイヤモンド / 仕上げ面粗さの改善 / 切削抵抗低減効果 / 工具切れ刃の鋭利化 / 研磨メカニズム / 超平滑化加工 / 仕上げ面粗さ / 転位 / 紫外光励起 / 紫外線照射研磨隠す

トライボプラズマを援用したダイヤモンド基板の高能率ドライエッチング法の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  久保田章亀
- 研究期間 (年度)
  2023 – 2025
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分18020:加工学および生産工学関連
- 研究機関
  熊本大学
紫外光/オゾンを援用したダイヤモンド基板の高効率ウエット加工法の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  久保田章亀
- 研究期間 (年度)
  2018 – 2020
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分18020:加工学および生産工学関連
- 研究機関
  熊本大学
紫外光励起研磨によるダイヤモンドウェハおよび工具の高度化技術の開発
- 研究代表者
  
  峠睦
- 研究期間 (年度)
  2014 – 2016
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  熊本大学
次世代パワーデバイス用ダイヤモンド基板の高能率加工プロセスの開発研究代表者
- 研究代表者
  
  久保田章亀
- 研究期間 (年度)
  2013 – 2014
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  熊本大学
省エネパワーデバイス用ダイヤモンドウェハ実現のための紫外光支援加工技術の開発
- 研究代表者
  
  峠睦
- 研究期間 (年度)
  2011 – 2013
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  熊本大学
ダイヤモンドパワーデバイス製作のための超平坦面創成プロセスの開発研究代表者
- 研究代表者
  
  久保田章亀
- 研究期間 (年度)
  2011 – 2012
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  熊本大学
省エネルギーＳｉＣパワーデバイス製作のための高能率・高精度ウエット加工法の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  久保田章亀
- 研究期間 (年度)
  2011 – 2013
- 研究種目
  
  若手研究(A)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  熊本大学
高性能SiC パワーデバイス実現に必要な超平坦面形成技術の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  久保田章亀
- 研究期間 (年度)
  2008 – 2009
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  熊本大学
触媒作用を援用した化学研磨プロセスによるSiC基板表面平坦化に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  久保田章亀
- 研究期間 (年度)
  2006 – 2007
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  熊本大学

[図書] ワイドバンドギャップ半導体基板の原子スケール平坦化加工,65巻1号2014
- 著者名/発表者名
  久保田章亀
- 総ページ数
  5
- 出版者
  化学工業
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686027
[図書] ワイドバンドギャップ半導体基板の原子スケール平坦化加工2014
- 著者名/発表者名
  久保田章亀
- 総ページ数
  5
- 出版者
  化学工業，65巻 1号
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686027
[雑誌論文] 石英ツルーイングした小径軸付CBN砥石の研削性能2017
- 著者名/発表者名
  宮本竜成，峠　直樹，坂本武司，久保田章亀，峠　　睦
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 61
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289020
[雑誌論文] 紫外線照射研磨によるPCD製切削工具の高度化と切削性能2017
- 著者名/発表者名
  和泉康夫，後藤健太，坂本武司，久保田章亀，峠　　睦
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 61 ページ: 210-215
- NAID
  130005679549
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289020
[雑誌論文] UVツルーイングした電着ダイヤモンド砥石の研削性能の向上2017
- 著者名/発表者名
  柴元翔太郎，坂本武司，久保田章亀，峠　　睦
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 61 ページ: 204-209
- NAID
  130005679550
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289020
[雑誌論文] Abrasive-Free Polishing of Single-Crystal 4H-SiC with Silica Glass Plates2015
- 著者名/発表者名
  Akihisa Kubota, Yuta Hatasako, Takahiro Takita and Mutsumi Touge
- 雑誌名
  
  ECS Journal of Solid State Science and Technology
  
  巻: 4 ページ: 468-475
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289020
[雑誌論文] Two-step polishing technique for single crystal diamond (100) substrate utilizing a chemical reaction with iron plate2015
- 著者名/発表者名
  Akihisa Kubota, Shin Nagae, Shuya Motoyama and Mutsumi Touge
- 雑誌名
  
  Diamond & Related Materials
  
  巻: 60 ページ: 75-80
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289020
[雑誌論文] 2インチSiC基板の紫外光支援研磨に関する研究2013
- 著者名/発表者名
  坂本武司, 久保田章亀, 峠睦
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 57巻,8号ページ: 524-529
- NAID
  10031189082
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360070
[雑誌論文] 2インチSiC基板の紫外光支援研磨に関する研究2013
- 著者名/発表者名
  坂本武司，久保田章亀，峠　　睦
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 57 ページ: 524-529
- NAID
  10031189082
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360070
[雑誌論文] SurfaceSmoothing of Single Crystal Diamond(100) Substrate by Polishing Technique2012
- 著者名/発表者名
  Akihisa Kubota, Sakae Fukuyama, YuyaIchimori and Mutsumi Touge
- 雑誌名
  
  Diamond and related materials
  
  巻: 24(2012) ページ: 59-62
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656110
[雑誌論文] Planarization of C-face 4H-SiC substrate using Fe particles and hydrogen peroxide solution2012
- 著者名/発表者名
  A.Kubota, M.Yoshimura, S.Fukuyama, C.Iwamoto, M.Touge
- 雑誌名
  
  Precision Engineering
  
  巻: 36 ページ: 137-140
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360070
[雑誌論文] Surface polishing of 2-inch 4H-SiC wafer using Fe abrasive particles2012
- 著者名/発表者名
  Akihisa Kubota, Yuya Ichimori, Mutsumi Touge
- 雑誌名
  
  Key Engineering materials
  
  巻: 516 ページ: 487-491
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686027
[雑誌論文] Surface Smoothing of Single Crystal Diamond (100) Substrate by Polishing Technique2012
- 著者名/発表者名
  Akihisa Kubota, Sakae Fukuyama, Yuya Ichimori and Mutsumi Touge
- 雑誌名
  
  Diamond and related materials
  
  巻: 24 ページ: 59-62
- DOI
  10.1016/j.diamond.2011.10.022
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656110
[雑誌論文] Fabrication of smooth surface on 4H-SiC substrate by ultraviolet assisted local polishing in hydrogen peroxide solution2012
- 著者名/発表者名
  Akihisa Kubota, Kazuya Kurihara and Mutsumi Touge
- 雑誌名
  
  Key Engineering materials
  
  巻: 523-524 ページ: 24-28
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686027
[雑誌論文] Planarization of C-face 4H-SiC substrate using Fe particles and hydrogen peroxide solution2012
- 著者名/発表者名
  Akihisa Kubota, Masahiko Yoshimura, Sakae Fukuyama, Chihiro Iwamoto, Mutsumi Touge
- 雑誌名
  
  Precision Engineering
  
  巻: 36 ページ: 137-140
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686027
[雑誌論文] 単結晶SiC基板の紫外光支援研磨における粒子の影響2011
- 著者名/発表者名
  山口桂司, 峠睦, 久保田章亀, 室田忠俊, 渡邉純二, 豊福陽樹, 沢見有輝
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 55 ページ: 220-225
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360070
[雑誌論文] A Study on a Surface Preparation Method for Single-Crystal SiC Using an Fe Catalyst2009
- 著者名/発表者名
  Akihisa Kubota, Keita Yagi, Junji Murata, Heiji Yasui, Shiro Miyamoto, Hideyuki Hara, Yasuhisa Sano, Kazuto Yamauchi
- 雑誌名
  
  Journal of Electronic Materials 38
  
  ページ: 159-163
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760087
[雑誌論文] A Study on a Surface Preparation Method for Single-Crystal SiC Using an Fe Catalyst2009
- 著者名/発表者名
  Akihisa Kubota
- 雑誌名
  
  Journal of Electronic Materials 38
  
  ページ: 159-163
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760087
[雑誌論文] 触媒作用を援用したSiCの超精密研磨に関する研究-単結晶SiC表面研磨の試み-2007
- 著者名/発表者名
  久保田章亀, 八木圭太, 村田順二, 原英之, 宮本士郎, 三村秀和, 佐野泰久, 山内和人
- 雑誌名
  
  2007年度精密工学会春季大会学術講演会学術論文集
  
  ページ: 81-82
- NAID
  130005028723
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18760102
[雑誌論文] 触媒作用を援用したSiCの超精密研磨に関する研究-焼結SiC表面研磨の試み-2006
- 著者名/発表者名
  久保田章亀, 八木圭太, 安井平司, 山内和人
- 雑誌名
  
  2006年度精密工学会秋季大会学術講演会学術論文集
  
  ページ: 253-254
- NAID
  130004658052
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18760102
[産業財産権] 加工方法及び加工装置2024
- 発明者名
  久保田章亀
- 権利者名
  久保田章亀
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2024-031251
- 出願年月日
  2024
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K03621
[産業財産権] 加工方法及び加工装置2014
- 発明者名
  久保田章亀
- 権利者名
  熊本大学
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2014-266464
- 出願年月日
  2014-12-26
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25630029
[産業財産権] 加工方法及び加工装置2013
- 発明者名
  久保田章亀
- 権利者名
  熊本大学
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2013-273289
- 出願年月日
  2013-12-27
- 外国
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686027
[産業財産権] 加工方法及び加工装置2013
- 発明者名
  久保田章亀，峠　睦
- 権利者名
  久保田章亀，峠　睦
- 産業財産権種類
  特許
- 出願年月日
  2013
- 外国
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25630029
[産業財産権] 加工方法及び加工装置2013
- 発明者名
  久保田章亀，峠　睦
- 権利者名
  久保田章亀，峠　睦
- 産業財産権種類
  特許
- 出願年月日
  2013
- 外国
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25630029
[産業財産権] 触媒支援型化学加工方法及びそれを用いた加工装置2013
- 発明者名
  久保田章亀
- 権利者名
  熊本大学
- 産業財産権種類
  特許
- 取得年月日
  2013-08-23
- 外国
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686027
[産業財産権] 加工方法及び加工装置2012
- 発明者名
  久保田章亀，峠　睦
- 権利者名
  久保田章亀，峠　睦
- 産業財産権種類
  特許
- 出願年月日
  2012-09-03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656110
[産業財産権] 加工方法及び加工装置2012
- 発明者名
  久保田章亀,峠睦
- 権利者名
  熊本大学
- 産業財産権番号
  2012-192834
- 出願年月日
  2012-09-03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656110
[産業財産権] 加工方法2010
- 発明者名
  久保田章亀峠睦
- 権利者名
  熊本大学
- 産業財産権番号
  2010-068021
- 出願年月日
  2010-03-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760087
[産業財産権] 加工方法2010
- 発明者名
  久保田章亀
- 権利者名
  熊本大学
- 産業財産権番号
  2010-068021
- 出願年月日
  2010-03-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760087
[産業財産権] 触媒支援型化学加工方法及びそれを用いた加工装置2009
- 発明者名
  久保田章亀
- 権利者名
  熊本大学
- 産業財産権番号
  2009-037182
- 出願年月日
  2009-02-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760087
[産業財産権] 加工装置および加工方法2007
- 発明者名
  久保田章亀
- 権利者名
  久保田章亀
- 産業財産権番号
  2007-266987
- 出願年月日
  2007-10-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18760102
[学会発表] 合成石英とダイヤモンドの摩擦．・摩耗とその評価2024
- 著者名/発表者名
  大坪樹季，久保田章亀
- 学会等名
  日本機械学会九州学生会第55回学生員卒業研究発表講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K03621
[学会発表] トライボプラズマを援用したダイヤモンド基板の高能率ドライエッチング法の開発―基礎加工特性の調査―2023
- 著者名/発表者名
  久保田章亀，横井裕之
- 学会等名
  2023年度砥粒加工学会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K03621
[学会発表] オゾン／紫外光援用ウエット研磨法の開発－マイクロバブルの効果－2020
- 著者名/発表者名
  久保田章亀
- 学会等名
  2020年度精密工学会春季大会学術講演会（開催中止CD-ROM）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K03876
[学会発表] マイクロ/ナノバブルを利用したウエット研磨法によるダイヤモンド基板の平坦化2019
- 著者名/発表者名
  中神宏崇，松尾篤樹，久保田章亀
- 学会等名
  2019年度精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K03876
[学会発表] Influence of micro-bubbles on wet polishing technique of single-crystal diamond2019
- 著者名/発表者名
  Nakagami Hirotaka1, Akihisa Kubota
- 学会等名
  The 8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K03876
[学会発表] 紫外線照射研磨を用いたPCD製工具の切削性能の改善2016
- 著者名/発表者名
  後藤健太，和泉康夫，坂本武司，久保田章亀，峠睦
- 学会等名
  2016年度砥粒加工学会学術講演会
- 発表場所
  兵庫県立大学
- 年月日
  2016-08-31
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289020
[学会発表] Cutting Performance of PCD Tools Improved by Ultraviolet-ray Irradiation Polishing2016
- 著者名/発表者名
  K. Goto, Y. Izumi, T. Sakamoto, A. Kubota, M. Touge
- 学会等名
  International Committee for Abrasive Technology，ISAAT 2016
- 発表場所
  Stockholm, Sweden
- 年月日
  2016-10-02
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289020
[学会発表] UVツルーイングによるダイヤモンド砥石の研削性能の向上と寿命評価2016
- 著者名/発表者名
  柴元翔太郎，坂本武司，久保田章亀，峠睦
- 学会等名
  2016年度砥粒加工学会学術講演会
- 発表場所
  兵庫県立大学
- 年月日
  2016-08-31
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289020
[学会発表] 石英ツルーイングしたCBN軸付砥石の研削性能評価とツルーイングメカニズムの解明2016
- 著者名/発表者名
  宮本竜成，峠　直樹，坂本武司，久保田章亀，峠睦
- 学会等名
  2016年度砥粒加工学会学術講演会
- 発表場所
  兵庫県立大学
- 年月日
  2016-08-31
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289020
[学会発表] 紫外光援用研磨によるダイヤモンドの平坦化　－1cm角サイズの単結晶ダイヤモンド基板の加工－2015
- 著者名/発表者名
  久保田章亀，田北隆浩，峠　睦
- 学会等名
  2015年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東洋大学
- 年月日
  2015-03-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25630029
[学会発表] 紫外光照射と加熱併用による新しい研磨法の開発　－単結晶ダイヤモンド基板の加工特性の調査－2014
- 著者名/発表者名
  田北隆浩，久保田章亀，峠　睦
- 学会等名
  2014年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  鳥取大学
- 年月日
  2014-09-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25630029
[学会発表] 難加工半導体材料の高精度研磨法の開発2014
- 著者名/発表者名
  久保田章亀
- 学会等名
  平成25年度北部九州自動車産業活性化人材養成等事業（先端金型技術者人材育成事業）
- 発表場所
  福岡工業大学
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686027
[学会発表] 紫外光援用研磨によるダイヤモンド基板の平坦化　－研磨定盤の表面改質効果－2014
- 著者名/発表者名
  田北隆浩，久保田章亀，峠　睦
- 学会等名
  2014年度公益財団法人精密工学会九州支部鹿児島地方講演会
- 発表場所
  鹿児島大学
- 年月日
  2014-12-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25630029
[学会発表] 紫外光援用ウエットエッチングによる難加工材料の表面平滑化2014
- 著者名/発表者名
  安藤弘明,久保田章亀,峠睦
- 学会等名
  日本機械学会九州支部九州学生会第45回卒業研究発表講演会
- 発表場所
  九州大学
- 年月日
  2014-03-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686027
[学会発表] 高能率・高精度研磨法の新提案2013
- 著者名/発表者名
  田北隆浩，久保田章亀，本山修也
- 学会等名
  2013年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656110
[学会発表] 溶液環境下での高精度ローカル研磨法の開発―単結晶SiC基板の基礎加工特性―2013
- 著者名/発表者名
  永江　伸，久保田章亀，峠　　睦
- 学会等名
  2013年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  関西大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686027
[学会発表] 鉄の反応性を利用した難加工材料の精密加工法に関する研究2013
- 著者名/発表者名
  永江伸,久保田章亀,峠睦
- 学会等名
  日本機械学会九州支部九州学生会第44回卒業研究発表講演会
- 発表場所
  阿蘇ファームランド(熊本)
- 年月日
  2013-03-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686027
[学会発表] 鉄の反応性を利用した難加工材料の精密加工法に関する研究2013
- 著者名/発表者名
  永江伸,久保田章亀,峠睦
- 学会等名
  日本機械学会九州支部九州学生会第44回卒業研究発表講演会
- 発表場所
  阿蘇ファームランド
- 年月日
  2013-03-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656110
[学会発表] 大口径ダイヤモンドウェハへのUVアシスト研磨技術の開発2013
- 著者名/発表者名
  田川智彦, 峠睦, 久保田章亀, 坂本武司, 鹿田真一(産総研), 山田英明(産総研), 加藤有香子(産総研)
- 学会等名
  2013年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  関西大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360070
[学会発表] 溶液環境下での高精度ローカル研磨法の開発—単結晶SiC基板の基礎加工特性—2013
- 著者名/発表者名
  永江伸,久保田章亀,峠睦
- 学会等名
  2013年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  関西大学
- 年月日
  2013-09-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686027
[学会発表] 溶液環境下での高精度ローカル研磨法の開発-2インチ単結晶SiC基板の全面平坦化-2013
- 著者名/発表者名
  永江伸,久保田章亀,峠睦
- 学会等名
  2013年度公益財団法人精密工学会九州支部宮崎地方講演会第14回学生研究発表会
- 発表場所
  宮崎大学
- 年月日
  2013-12-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686027
[学会発表] 鉄の反応性を利用した難加工材料の精密加工法に関する研究2013
- 著者名/発表者名
  永江伸，久保田章亀，峠　睦
- 学会等名
  日本機械学会九州支部九州学生会第44回卒業研究発表講演会
- 発表場所
  阿蘇ファームランド（熊本）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686027
[学会発表] UVアシスト研磨による大口径SiC基板の高能率加工技術の開発2013
- 著者名/発表者名
  稲木匠, 小田和明, 坂本武司, 峠睦, 久保田章亀
- 学会等名
  2013年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  関西大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360070
[学会発表] 次世代半導体の超精密加工プロセスに関する研究2013
- 著者名/発表者名
  久保田章亀
- 学会等名
  第30回無機材料に関する最近の研究成果発表会(日本板硝子材料助成会 )
- 発表場所
  東海大学校友会館（東京）
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686027
[学会発表] 鉄の反応性を利用したダイヤモンド基板表面平滑化法に関する研究2013
- 著者名/発表者名
  永江　伸，久保田章亀，本山修也，峠　　睦
- 学会等名
  2013年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656110
[学会発表] 紫外光を利用した難加工材料の高能率・高精度加工法の開発2013
- 著者名/発表者名
  田北隆浩,久保田章亀,峠睦
- 学会等名
  日本機械学会九州支部九州学生会第44回卒業研究発表講演会
- 発表場所
  阿蘇ファームランド
- 年月日
  2013-03-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656110
[学会発表] 溶液環境下での高精度ローカル研磨法の開発－2インチ単結晶SiC基板の全面平坦化－2013
- 著者名/発表者名
  永江　伸，久保田章亀，峠　　睦
- 学会等名
  2013年度公益財団法人精密工学会九州支部宮崎地方講演会
- 発表場所
  宮崎大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686027
[学会発表] 紫外光照射を援用した単結晶ダイヤモンド表面の平坦化加工2012
- 著者名/発表者名
  田北隆浩，本山修也，久保田章亀，峠　睦
- 学会等名
  2012年度公益財団法人精密工学会九州支部第13回学生研究発表会
- 発表場所
  福岡工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656110
[学会発表] 摩耗したPCD工具の紫外光支援加工法を用いた再研磨技術2012
- 著者名/発表者名
  石丸大祐, 坂本武司, 久保田章亀, 峠睦
- 学会等名
  2012年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
- 発表場所
  首都大学東京南大沢キャンパス
- 年月日
  2012-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360070
[学会発表] 触媒反応援用研磨法による単結晶ダイヤモンド基板表面の超平坦化2012
- 著者名/発表者名
  久保田章亀, 峠睦
- 学会等名
  2012年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
- 発表場所
  首都大学東京南大沢キャンパス
- 年月日
  2012-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360070
[学会発表] 単結晶ダイヤモンド基板表面平滑化加工法の開発2012
- 著者名/発表者名
  本山修也，久保田章亀，峠　　睦
- 学会等名
  2012年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  九州工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656110
[学会発表] 単結晶ダイヤモンド基板表面平滑化加工法の開発2012
- 著者名/発表者名
  本山修也,久保田章亀,峠睦
- 学会等名
  2012 年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  九州工業大学
- 年月日
  2012-09-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656110
[学会発表] 単結晶ダイヤモンド基板の超平坦化2012
- 著者名/発表者名
  久保田　章亀，峠　睦
- 学会等名
  応用物理学会 SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会第21回講演会
- 発表場所
  大阪中央公会堂
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656110
[学会発表] 紫外光照射を援用した単結晶ダイヤモンド表面の平坦化加工2012
- 著者名/発表者名
  田北隆浩, 本山修也, 久保田章亀, 峠睦
- 学会等名
  2012 年度公益財団法人精密工学会九州支部第13回学生研究発表会
- 発表場所
  福岡工業大学
- 年月日
  2012-12-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656110
[学会発表] 紫外光支援加工によるPCD製金型の精密加工2012
- 著者名/発表者名
  峠睦, 久保田章亀, 坂本武司
- 学会等名
  2012年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
- 発表場所
  首都大学東京南大沢キャンパス
- 年月日
  2012-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360070
[学会発表] 小径工具を用いた単結晶SiC基板表面の平坦化に関する研究2012
- 著者名/発表者名
  永江伸,本山修也,久保田章亀,峠睦
- 学会等名
  2012年度公益財団法人精密工学会九州支部第13回学生研究発表会
- 発表場所
  福岡工業大学
- 年月日
  2012-12-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686027
[学会発表] Ultra-precision polishing method forsingle-crystal diamond substrate inhydrogen peroxide solution2012
- 著者名/発表者名
  Akihisa Kubota, Shuya Motoyama, SakaeFukuyama, Mutsumi Touge
- 学会等名
  the TenthInternational Conference on Progressof Machining Technology
- 発表場所
  新潟県燕三条地場産業振興センター
- 年月日
  2012-09-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656110
[学会発表] Ultra-precision polishing method for single-crystal diamond substrate in hydrogen peroxide solution2012
- 著者名/発表者名
  Akihisa Kubota, Shuya Motoyama, Sakae Fukuyama, Mutsumi Touge
- 学会等名
  The Tenth International Conference on Progress of Machining Technology
- 発表場所
  新潟県燕三条地場産業振興センター
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656110
[学会発表] 触媒反応援用研磨法による単結晶ダイヤモンド基板表面の超平坦化2012
- 著者名/発表者名
  久保田章亀,峠睦
- 学会等名
  2012 年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  首都大学東京
- 年月日
  2012-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656110
[学会発表] 鉄の反応性を利用したダイヤモンド基板表面平滑化法に関する研究2012
- 著者名/発表者名
  永江伸,久保田章亀,本山修也,峠睦
- 学会等名
  2013年度精密工学会春季大会
- 発表場所
  東京工業大学
- 年月日
  2012-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656110
[学会発表] 単結晶ダイヤモンド基板の紫外光支援加工に関する研究～研磨条件が削除率に及ぼす影響～2012
- 著者名/発表者名
  長野拓義, 坂本武司, 久保田章亀, 峠睦, 渡邉純二, 横井裕之
- 学会等名
  2012年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
- 発表場所
  首都大学東京南大沢キャンパス
- 年月日
  2012-03-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360070
[学会発表] 単結晶ダイヤモンド基板の超平坦化2012
- 著者名/発表者名
  久保田章亀,峠睦
- 学会等名
  応用物理学会 SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会第21回講演会
- 発表場所
  大阪中央公会堂
- 年月日
  2012-11-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656110
[学会発表] 高能率・高精度研磨法の新提案2012
- 著者名/発表者名
  田北隆浩,久保田章亀,本山修也,峠睦
- 学会等名
  2013年度精密工学会春季大会
- 発表場所
  東京工業大学
- 年月日
  2012-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656110
[学会発表] 紫外光支援加工による2インチ単結晶SiCウェハの研磨特性2012
- 著者名/発表者名
  坂本武司, 沢見有輝, 久保田章亀, 峠睦, 渡邉純二, 藤田隆, 金澤雅喜, 五十嵐健二
- 学会等名
  2012年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
- 発表場所
  首都大学東京南大沢キャンパス
- 年月日
  2012-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360070
[学会発表] 触媒反応援用研磨法による単結晶ダイヤモンド基板表面の超平坦化2012
- 著者名/発表者名
  久保田章亀，峠　　睦
- 学会等名
  2012年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  首都大学東京（東京都，日本）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656110
[学会発表] Research on Ultra-Precision Polishing of Diamond and Related Materials by Ultraviolet Rays Assisted Machining2011
- 著者名/発表者名
  M.Touge, K.Yamaguchi, A.Kubota, J.Watanabe
- 学会等名
  Int.Conf.on New Diamond and Nano Carbons 2011 (NDNC2011)
- 発表場所
  島根県立産業交流会館(くにびきメッセ)
- 年月日
  2011-05-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360070
[学会発表] 単結晶ダイヤモンドの超平滑化加工2011
- 著者名/発表者名
  久保田章亀, 峠睦
- 学会等名
  応用物理学会 SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会第20回講演会
- 発表場所
  ウィンクあいち
- 年月日
  2011-12-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656110
[学会発表] Smoothing of single crystal diamond (100) substrate by polishing technique2011
- 著者名/発表者名
  A.Kubota, S.Fukuyama, Y.Ichimori, M.Touge
- 学会等名
  Int.Conf.on New Diamond and Nano Carbons 2011 (NDNC2011)
- 発表場所
  島根県立産業交流会館(くにびきメッセ)
- 年月日
  2011-05-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360070
[学会発表] Surface polishing of 2-inch 4H-SiC wafer using Fe abrasive particles2011
- 著者名/発表者名
  Akihisa Kubota, Yuya Ichimori, Mutsumi Touge
- 学会等名
  4rd International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology
- 発表場所
  Langham Place Hong Kong Hotel (Hong Kong, China)
- 年月日
  2011-11-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686027
[学会発表] 単結晶Sic基板の研磨加工に関する研究2011
- 著者名/発表者名
  一森佑也, 久保田章亀, 峠睦
- 学会等名
  2011年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  金沢大学(石川県,日本)
- 年月日
  2011-09-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686027
[学会発表] 単結晶ダイヤモンド基板の超平坦化加工法に関する基礎的研究2011
- 著者名/発表者名
  久保田章亀，一森佑也，峠　睦
- 学会等名
  2011年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  金沢大学（石川県，日本）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656110
[学会発表] 単結晶SiC基板の研磨加工に関する研究2011
- 著者名/発表者名
  一森佑也,久保田章亀,峠睦
- 学会等名
  2011年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  金沢大学
- 年月日
  2011-09-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686027
[学会発表] 単結晶ダイヤモンドの超平滑化加工2011
- 著者名/発表者名
  久保田章亀，峠　睦
- 学会等名
  応用物理学会 SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会第20回講演会
- 発表場所
  ウィンクあいち（愛知県，日本）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656110
[学会発表] 単結晶ダイヤモンド基板の超平坦化加工法に関する基礎的研究2011
- 著者名/発表者名
  久保田章亀,一森佑也,峠睦
- 学会等名
  2011 年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  金沢大学
- 年月日
  2011-09-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23656110
[学会発表] 触媒工具を利用したSiC基板表面の任意領域平坦化2010
- 著者名/発表者名
  久保田章亀
- 学会等名
  精密工学会(2010年春季大会学術講演会)
- 発表場所
  埼玉大学
- 年月日
  2010-03-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760087
[学会発表] 触媒工具を利用したSiC基板表面の任意領域平坦化2010
- 著者名/発表者名
  久保田章亀, 濟陽崇志, 中西義孝, 峠睦
- 学会等名
  2010年度精密工学会春季大会学術講演会学術論文集
- 発表場所
  埼玉大
- 年月日
  2010-03-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760087
[学会発表] 鋳鉄定盤を用いた単結晶SiC基板のラッピング加工に関する研究2009
- 著者名/発表者名
  久保田章亀, 宮本士郎, 中西義孝, 峠睦
- 学会等名
  2009年度精密工学会秋季大会学術講演会学術論文集
- 発表場所
  神戸大
- 年月日
  2009-09-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760087
[学会発表] 単結晶SiC基板の精密研磨技術2009
- 著者名/発表者名
  久保田章亀, 宮本士郎, 濟陽崇志, 安井平司
- 学会等名
  2009年度精密工学会春季大会学術講演会学術論文集
- 発表場所
  中央大学
- 年月日
  2009-03-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760087
[学会発表] 紫外光支援ウエットエッチングを利用した単結晶SiC基板の超精密加工に関する研究-基礎加工特性の検討-2009
- 著者名/発表者名
  栗原宗也, 久保田章亀, 中西義孝, 峠睦
- 学会等名
  2009年度精密工学会秋季大会学術講演会学術論文集
- 発表場所
  神戸大
- 年月日
  2009-09-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760087
[学会発表] 紫外光支援ウエットエッチングによる単結晶SiC基板の平坦化2009
- 著者名/発表者名
  久保田章亀
- 学会等名
  応用物理学会SiC及関連ワイドギャップ半導体研究会第18回講演会
- 発表場所
  神戸国際会議場
- 年月日
  2009-12-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760087
[学会発表] 単結晶SiC基板の精密研磨技術2009
- 著者名/発表者名
  久保田章亀
- 学会等名
  精密工学会(2009年春季大会学術講演会)
- 発表場所
  中央大学
- 年月日
  2009-03-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760087
[学会発表] 紫外光支援ウエットエッチングによる単結晶SiC基板の平坦化, 応用物理学会SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会2009
- 著者名/発表者名
  久保田章亀, 栗原宗也, 中西義孝, 峠睦
- 学会等名
  第18回講演会予稿集
- 発表場所
  神戸国際会議場
- 年月日
  2009-12-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760087
[学会発表] 鋳鉄定盤を用いた単結晶SiC基板のラッピング加工に関する研究2009
- 著者名/発表者名
  久保田章亀
- 学会等名
  精密工学会(2009年秋季大会学術講演会)
- 発表場所
  神戸大学
- 年月日
  2009-09-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760087
[学会発表] SiC表面上への微細構造形成プロセスに関する研究-微細溝構造の形成-2008
- 著者名/発表者名
  久保田章亀, 宮本士郎, 濟陽崇志, 安井平司, 山内和人
- 学会等名
  2008年度精密工学会精密工学会秋季大会学術講演会学術論文集
- 発表場所
  東北大学
- 年月日
  2008-09-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760087
[学会発表] SiC表面上への微細構造形成プロセスに関する研究-微細溝構造の形成-2008
- 著者名/発表者名
  久保田章亀
- 学会等名
  精密工学会(2008年秋季大会学術講演会)
- 発表場所
  東北大学
- 年月日
  2008-09-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760087
[学会発表] 鉄微粒子を利用した単結晶SiCおよびGaN基板の平坦化加工, 応用物理学会SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会2008
- 著者名/発表者名
  久保田章亀, 宮本士郎, 村田順二, 八木圭太, 原英之, 安井平司, 佐野泰久, 山内和人
- 学会等名
  第17回講演会予稿集
- 発表場所
  大田区産業プラザ
- 年月日
  2008-12-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760087
[学会発表] 遷移金属微粒子を用いた研磨法によるGaN基板の平坦化-基礎加工特性の検討-2008
- 著者名/発表者名
  宮本士郎, 久保田章亀, 安井平司, 山内和人
- 学会等名
  2008年度精密工学会精密工学会秋季大会学術講演会学術論文集
- 発表場所
  東北大学
- 年月日
  2008-09-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760087
[学会発表] 鉄微粒子を利用した単結晶SicおよびGaN基板の平坦化加工2008
- 著者名/発表者名
  久保田章亀
- 学会等名
  応用物理学会SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会第17回講演会
- 発表場所
  大田区産業プラザ
- 年月日
  2008-12-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760087
[学会発表] 触媒作用を援用したSiCの超精密研磨に関する研究-Si面とC面の加工特性の評価-2008
- 著者名/発表者名
  久保田章亀, 他
- 学会等名
  精密工学会(2008年度精密工学会春季学術講演会)
- 発表場所
  明治大学
- 年月日
  2008-03-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18760102
[学会発表] 遷移金属微粒子を用いた単結晶SiC基板の研磨加工2007
- 著者名/発表者名
  久保田章亀, 他
- 学会等名
  応用物理学会SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会第16回講演会
- 発表場所
  愛知県女性総合センター
- 年月日
  2007-11-29
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18760102
[学会発表] 触媒作用を援用したSiCの超精密研磨に関する研究-鉄触媒を用いた基礎加工特性の検討-2007
- 著者名/発表者名
  久保田章亀, 他
- 学会等名
  精密工学会(2007年度精密工学会秋季学術講演会)
- 発表場所
  旭川市ときわ市民ホール
- 年月日
  2007-09-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18760102
[学会発表] 紫外線照射研磨によるダイヤモンドホイール研削性能の高度化
- 著者名/発表者名
  峠　　睦，坂本武司，久保田章亀，川下智幸，峠　直樹
- 学会等名
  砥粒加工学会
- 発表場所
  岩手大学工学部
- 年月日
  2014-09-11 – 2014-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289020
[学会発表] 超砥粒軸付砥石の UV ツルーイングに関する研究
- 著者名/発表者名
  坂本武司，三角真彦，久保田章亀，峠　　睦
- 学会等名
  砥粒加工学会
- 発表場所
  岩手大学工学部
- 年月日
  2014-09-11 – 2014-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289020

1. 峠睦 (00107731)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 24件
2. 中西義孝 (90304740)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
3. 岩本知広 (60311635)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
4. 横井裕之 (50358305)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

久保田 章亀 KUBOTA AKIHISA

研究課題

研究成果

共同研究者

トライボプラズマを援用したダイヤモンド基板の高能率ドライエッチング法の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

紫外光/オゾンを援用したダイヤモンド基板の高効率ウエット加工法の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

紫外光励起研磨によるダイヤモンドウェハおよび工具の高度化技術の開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

次世代パワーデバイス用ダイヤモンド基板の高能率加工プロセスの開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

省エネパワーデバイス用ダイヤモンドウェハ実現のための紫外光支援加工技術の開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

ダイヤモンドパワーデバイス製作のための超平坦面創成プロセスの開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

省エネルギーＳｉＣパワーデバイス製作のための高能率・高精度ウエット加工法の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

高性能SiC パワーデバイス実現に必要な超平坦面形成技術の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

触媒作用を援用した化学研磨プロセスによるSiC基板表面平坦化に関する研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[図書] ワイドバンドギャップ半導体基板の原子スケール平坦化加工,65巻1号2014

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[図書] ワイドバンドギャップ半導体基板の原子スケール平坦化加工2014

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[雑誌論文] 石英ツルーイングした小径軸付CBN砥石の研削性能2017

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[雑誌論文] 紫外線照射研磨によるPCD製切削工具の高度化と切削性能2017

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NAID

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[雑誌論文] UVツルーイングした電着ダイヤモンド砥石の研削性能の向上2017

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久保田章亀 KUBOTA AKIHISA