安井学 Yasui Manabu

研究者番号	80426361
その他のID
所属 (現在)	2025年度: 地方独立行政法人神奈川県立産業技術総合研究所, 電子技術部, 上席研究員
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2025年度: 地方独立行政法人神奈川県立産業技術総合研究所, 電子技術部, 主任研究員 2017年度 – 2023年度: 地方独立行政法人神奈川県立産業技術総合研究所, 電子技術部, 主任研究員 2016年度: 神奈川県産業技術センター, 電子技術部, 主任研究員 2015年度: 神奈川県産業技術センター, その他部局等, その他 2012年度 – 2014年度: 神奈川県産業技術センター, その他部局等, 研究員 2009年度: 神奈川県産業技術センター, 電子技術部, 主任研究員
審査区分/研究分野	研究代表者生産工学・加工学 / 小区分18020:加工学および生産工学関連研究代表者以外小区分90110:生体医工学関連 / 元素戦略
キーワード	研究代表者金型 / ガラス / Ni-W / 電子線描画 / LSPRデバイス / Ni-Wナノ金型 / アルミナノホール / 微粒子 / フッ素樹脂 / フッ素 … もっと見る / アッシング / SU8 / 熱ナノインプリント / HSQ / 厚膜 / ナノ / 原盤 / アルミニウム / アルミ二ウム / めっき / ナノインプリント / Ni-W金型 / エポキシ樹脂 / サブミクロンパターン / 残渣 / Ni-W電鋳 / ネガ型レジスト / ナノパターン / 電鋳 / Ni-Wめっき / 電鋳金型 / マイクロ・ナノ加工 … もっと見る研究代表者以外精子遊泳 / 体外受精 / 精子選別 / マイクロ流体デバイス / 集団遊泳 / 走触性 / 走流性 / 蠕動運動 / エージェントベースモデル / アクティブマター / 哺乳類精子 / 粘弾性流体 / マイクロ流体チップ / エピタキシャル / シリコンカーバイド / 電気特性 / 薄膜成長 / エピタキシャル成長 / 半導体 / 鉄シリサイド隠す

哺乳類精子の動的集団ナビゲーション機構の解明と高性能体外受精システムの構築
- 研究代表者
  
  百武徹
- 研究期間 (年度)
  2025 – 2027
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分90110:生体医工学関連
- 研究機関
  横浜国立大学
受精環境下における精子ナビゲーション戦略の解明と体外受精への応用
- 研究代表者
  
  百武徹
- 研究期間 (年度)
  2021 – 2023
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分90110:生体医工学関連
- 研究機関
  横浜国立大学
LSPRデバイスへの応用を目指したアルミナノホール形成技術の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  安井学
- 研究期間 (年度)
  2021 – 2023
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分18020:加工学および生産工学関連
- 研究機関
  地方独立行政法人神奈川県立産業技術総合研究所
アクティブマターとしての集団精子遊泳のバイオメカニクスと形態進化解析への展開
- 研究代表者
  
  百武徹
- 研究期間 (年度)
  2018 – 2021
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分90110:生体医工学関連
- 研究機関
  横浜国立大学
ガラス表面に複雑な形状のナノパターンを形成できる熱ナノインプリント用金型の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  安井学
- 研究期間 (年度)
  2015 – 2017
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  地方独立行政法人神奈川県立産業技術総合研究所
ガラスを対象とした熱インプリント用電鋳金型の研究研究代表者
- 研究代表者
  
  安井学
- 研究期間 (年度)
  2012 – 2014
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  神奈川県産業技術センター
半絶縁性シリコン・カーバイド基板を用いた鉄シリサイド半導体の電気特性評価
- 研究代表者
  
  秋山賢輔
- 研究期間 (年度)
  2008 – 2010
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  元素戦略
- 研究機関
  神奈川県産業技術センター

すべて 2023 2022 2021 2020 2019 2018 2017 2016 2015 2014 2013 2011 2010 その他

すべて雑誌論文学会発表産業財産権

[雑誌論文] Ni板の親水化に対するプラズマ照射の効果2021
- 著者名/発表者名
  YASUI Manabu、NAGANUMA Yasuhiro、TANAKA Satomi、KATO Chihiro、KUROUCHI Masahito、KANEKO Satoru
- 雑誌名
  
  表面技術
  
  巻: 72 号: 12 ページ: 716-718
- DOI
  10.4139/sfj.72.716
- NAID
  130008124228
- ISSN
  0915-1869, 1884-3409
- 年月日
  2021-12-01
- 言語
  日本語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K03815
[雑誌論文] Effect of metal ion concentration in Ni-W plating solution on surface roughness of Ni-W film2016
- 著者名/発表者名
  Manabu Yasui, Satoru Kaneko, Masahito Kurouchi, Hiroaki Ito, Takeshi Ozawa and Masahiro Arai
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 55 号: 1S ページ: 01AA22-01AA22
- DOI
  10.7567/jjap.55.01aa22
- NAID
  210000145938
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05747, KAKENHI-PROJECT-15K21684
[雑誌論文] Formation of highly planarized Ni-W electrodeposits for glass imprinting mold2016
- 著者名/発表者名
  Manabu Yasui, Satoru Kaneko, Masahito Kurouchi, Hiroaki Ito, Takeshi Ozawa and Masahiro Arai
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 56 号: 1S ページ: 01AB04-01AB04
- DOI
  10.7567/jjap.56.01ab04
- NAID
  210000147364
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K21684, KAKENHI-PROJECT-15K05747
[雑誌論文] Micro Imprinting for Al Alloy Using Ni-W Electroformed Mold2015
- 著者名/発表者名
  1)M. Yasui, S. Kaneko, M. Takahashi, T. Sano, Y. Hirabayashi, T. Ozawa, and R. Maeda
- 雑誌名
  
  International Journal of Automation Technology
  
  巻: 9 号: 6 ページ: 674-677
- DOI
  10.20965/ijat.2015.p0674
- NAID
  130007673918
- ISSN
  1881-7629, 1883-8022
- 年月日
  2015-11-05
- 言語
  英語
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05747
[雑誌論文] Effects of post exposure bake temperature and exposure time on SU-8 nanopattern obtained by electron beam lithography2014
- 著者名/発表者名
  M. Yasui, E. Kazawa, S. Kaneko, R. Takahashi, M Kurouchi, T. Ozawa, and M. Arai
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: ５３号: 11S ページ: 11RF03-11RF03
- DOI
  10.7567/jjap.53.11rf03
- NAID
  210000144644
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760112
[雑誌論文] Preparation of Diamond-Like Carbon on Ti Film with Tetramethylsilane Buffer Layer2013
- 著者名/発表者名
  S. Kaneko, T. Horiuchi, T. Ito, S. Takagi, M. Yasui, M. Saitoh, T. Matsunaga, K. Ikenaga, S. Yasuhara, K. Mihirogi,M. Kobayashi, M. Kumagai, E. Shimodaira, and R. Sudo
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 52 号: 11S ページ: 11NA02-11NA02
- DOI
  10.7567/jjap.52.11na02
- NAID
  210000143088
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760112
[雑誌論文] Property Variation of Ni-W Electroformed Mold for Micro-Press Molding2013
- 著者名/発表者名
  M. Yasui, S. Kaneko, M. Takahashi, H. Ito, M. Arai, Y. Hirabayashi, T. Ozawa, and R. Maeda
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 52 号: 11S ページ: 11NJ05-11NJ05
- DOI
  10.7567/jjap.52.11nj05
- NAID
  210000143134
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760112
[雑誌論文] 硼珪酸ガラスを対象とした熱インプリント用Ni-W電鋳金型の作製2013
- 著者名/発表者名
  安井学，金子智
- 雑誌名
  
  日本機械学会論文集Ａ編
  
  巻: 79 号: 800 ページ: 507-511
- DOI
  10.1299/kikaia.79.507
- NAID
  130003374624
- ISSN
  0387-5008, 1884-8338
- 言語
  日本語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760112
[雑誌論文] Growth of Nanocubic MgO on Silicon Substrate by Pulsed Laser Deposition2013
- 著者名/発表者名
  安井学（第一著者：金子智）
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 52 号: 1S ページ: 01AN02-01AN02
- DOI
  10.7567/jjap.52.01an02
- NAID
  210000141803
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760112
[雑誌論文] Nano-strip grating lines self-organized by a high speed scanning Cwlaser2011
- 著者名/発表者名
  S.Kaneko, T.Ito, K.Akiyama, M.Yasui, C.Kato, S.Tanaka, Y.Hirabayashi, A.Mastuno, T.Nire, H. Funakubo M.Yoshimoto
- 雑誌名
  
  Nanotechnology vol.22
  
  ページ: 1753071-6
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20613015
[雑誌論文] Nano-strip grating lines self-organized by a high speed scanning CWlaser2011
- 著者名/発表者名
  S.Kaneko, T.Ito, K.Akiyama, M.Yasui, C.Kato, S.Tanaka, Y Hirabayashi, A.Mastuno, T.Nire, H.Funakubo, M.Yoshimoto
- 雑誌名
  
  Nanotechnology
  
  巻: 22
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20613015
[雑誌論文] Large lattice mist on epitaxial thin film -coincidence site lattice expanded on polar coordinates system-2010
- 著者名/発表者名
  S.Kaneko, K.Akiyama, T.Ito, M.Yasui, M.Soga, Y.Hirabayashi, H.Funakubo, M.Yoshimoto
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 49
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20613015
[雑誌論文] Large constriction of lattice constant in epitaxial magnesium oxide thin film : Effect of point defects on lattice constant2010
- 著者名/発表者名
  S.Kaneko, T.Nagano, K.Akiyama, T.Ito, M.Yasui, Y.Hirabayashi, H.Funakubo, M.Yoshimoto
- 雑誌名
  
  Journal of Applied Physics
  
  巻: 107
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20613015
[雑誌論文] Large constriction of lattice constant in epitaxial magnesium oxide thin film : Effect of point defects on lattice constant2010
- 著者名/発表者名
  S.Kaneko, T.Nagano, K.Akiyama, T.Ito, M.Yasui, Y.Hirabayashi, H.Funakubo M.Yoshimoto
- 雑誌名
  
  Journal of Applied Physics vol.107
  
  ページ: 0735231-3
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20613015
[雑誌論文] Large lattice mist on epitaxial thin film ~coincidence site lattice expanded on polar coordinates system~2010
- 著者名/発表者名
  S.Kaneko, K.Akiyama, T.Ito, M.Yasui, M. Soga, Y.Hirabayashi, H.Funakubo M.Yoshimoto
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics vol.49
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20613015
[産業財産権] 運動性精子選別デバイス、及び運動性精子の選別方法2023
- 発明者名
  三田正弘，安井学，百武徹，大日方塁，塚原隼人
- 権利者名
  三田正弘，安井学，百武徹，大日方塁，塚原隼人
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2023-205929
- 出願年月日
  2023
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K12622
[産業財産権] 運動性精子選別チップ及びその方法2020
- 発明者名
  三田正弘，安井学，百武徹
- 権利者名
  三田正弘，安井学，百武徹
- 産業財産権種類
  特許
- 出願年月日
  2020
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K12052
[学会発表] 樹脂薄膜の粘弾性特性に及ぼす試験片寸法の影響2022
- 著者名/発表者名
  伊藤寛明,伏岡拓洋, 藤井奨吾, 安井学
- 学会等名
  日本非破壊検査協会令和4年度　第3回応力・ひずみ測定部門講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K03815
[学会発表] フッ素樹脂を用いたアッシングによるSU8のエッチング2022
- 著者名/発表者名
  安井学, 本泉佑, 黒内正仁, 金子智
- 学会等名
  第13回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K03815
[学会発表] マイクロ流体チップを用いたウシ精子の運動性評価2019
- 著者名/発表者名
  杉田健太, 氏福祥太, 櫻井凛太郎, 村上蓮太, 安井学, 三田正弘, 百武徹
- 学会等名
  第32回バイオエンジニアリング講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K12052
[学会発表] Aluminum nano dot pattern formation with Ni-W nano electroformed mold2018
- 著者名/発表者名
  M. Yasui, S. Yasaka, S. Kaneko, M. Kurouchi, H. Ito, M. Arai
- 学会等名
  Isplasma2018
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05747
[学会発表] Ni-W film Processing with Pulse Plating2017
- 著者名/発表者名
  M. Yasui, S. Kaneko, M. Kurouchi, H. Ito, M. Arai
- 学会等名
  電気学会　電子材料研究会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05747
[学会発表] Ni-W thick film processing with higher frequency of pulse plating2017
- 著者名/発表者名
  M. Yasui, S. Kaneko, M. Kurouchi, H. Ito, T. Ozawa, M. Arai
- 学会等名
  Isplasma2017
- 発表場所
  中部大学
- 年月日
  2017-03-01
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05747
[学会発表] 添加剤を加えたN-メチル-2-ピロリドンによるSU8の剥離2017
- 著者名/発表者名
  安井学，中野一史，黒内正仁，川野伸一，金子智
- 学会等名
  第8回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05747
[学会発表] Ni-W Mold for Moth-eye Structure on Inorganic Material2017
- 著者名/発表者名
  M. Yasui, S. Kaneko, M. Kurouchi, T. Ozawa
- 学会等名
  IUMRS-ICAM 2017
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05747
[学会発表] Multi-graphene Growth on Paper Drawn by 10B Pencil using Laser Annealing2017
- 著者名/発表者名
  S. KANEKO, T. ENDO, K. SATOH, Y. MOTOIZUMI, T. RACHI, M. YASUI, Y. SHIMIZU, S. TANAKA, C. KATO, M. CAN, S. SHAWUTI, A. MATSUDA, M. YOSHIMOTO
- 学会等名
  IUMRS-ICAM 2017
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05747
[学会発表] Removal of SU8 with N-Methyl-2-Pyrrolidone Doping LiCl and H2O2016
- 著者名/発表者名
  M. Yasui, H. Nakano, M. Kurouchi, T. Ozawa, S. Kawano and S. Kaneko
- 学会等名
  29th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2016)
- 発表場所
  ANAクラウンプラザホテル京都
- 年月日
  2016-11-08
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05747
[学会発表] 「神奈川県産業技術センターの活動紹介」-無機材料を対象としたインプリント金型の開発を例として-2016
- 著者名/発表者名
  安井学
- 学会等名
  日本機械学会　機械材料・材料加工部門次世代３Dプリンティング研究会
- 発表場所
  神奈川県産業技術センター
- 年月日
  2016-04-28
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05747
[学会発表] めっき液中の金属濃度がインプリント金型用Ni-W 膜に与える影響2016
- 著者名/発表者名
  安井学，黒内正仁，金子智，伊藤寛明，小沢武，荒井政大
- 学会等名
  日本機械学会2016年度年次大会
- 発表場所
  九州大学伊都キャンパス
- 年月日
  2016-09-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05747
[学会発表] Effect of metal concentration in Ni-W bath on Ni-W alloy film2016
- 著者名/発表者名
  0)M. Yasui, S. Kaneko, M. Kurouchi, H. Ito, T. Ozawa and M. Arai
- 学会等名
  ISPlasma 2016
- 発表場所
  名古屋大学
- 年月日
  2016-03-06
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05747
[学会発表] 熱インプリント用金型材料としてのNi-W膜の組成・結晶構造に関する研究2015
- 著者名/発表者名
  安井学,金子智,黒内正仁,小沢武,伊藤寛明,荒井政大
- 学会等名
  第23回機械材料・材料加工技術講演会
- 発表場所
  広島大学
- 年月日
  2015-11-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05747
[学会発表] 金属イオン濃度がNi-W めっき膜の平坦性に与える影響に関する一考察2015
- 著者名/発表者名
  安井学,金子智,黒内正仁,伊藤寛明,小沢武,荒井政大
- 学会等名
  日本機械学会2015年度年次大会
- 発表場所
  北海道大学
- 年月日
  2015-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05747
[学会発表] Study of SU-8 electron beam lithography on the W substrate for Ni-W mold2014
- 著者名/発表者名
  M. Yasui, E. Kazawa, S. Kaneko, R. Takahashi, M. Kurouchi, M. Arai, T. Ozawa
- 学会等名
  ISPlasma 2014
- 発表場所
  名城大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760112
[学会発表] Expansion of Lattice Constants of Aluminum Nitride Thin Film Prepared on Sapphire Substrate by ECR Plasma Sputtering Method2014
- 著者名/発表者名
  S. Kaneko, T. Ito, M. Yasui, M. Kurouchi, H. Torii, T. Amazawa, A. Fukushima, T. Tokumasu, S. Lee, S. Park, M. Yoshimoto
- 学会等名
  ISPlasma 2014
- 発表場所
  名城大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760112
[学会発表] Ni-W電鋳金型を用いたアルミ合金の微細プレス成型に関する研究2013
- 著者名/発表者名
  安井学，金子智，高橋正春，佐野孝史，平林康男，小沢武，前田龍太郎
- 学会等名
  日本機械学会 2013年度年次大会
- 発表場所
  岡山大学津島キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760112
[学会発表] Property of Ni-W Mold after Multiple Thermal Imprint2013
- 著者名/発表者名
  安井学
- 学会等名
  5rd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials
- 発表場所
  名古屋大学　東山キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760112
[学会発表] Ni-W電鋳金型を用いたマイクロ成型技術の開発2013
- 著者名/発表者名
  安井学，金子智，高橋正春，佐野孝史，平林康男，小沢武，前田龍太郎
- 学会等名
  第21回機械材料・材料加工技術講演会(M&P2013)
- 発表場所
  首都大学東京南大沢キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760112
[学会発表] Effect of metal ion concentration in Ni-W plating solution on surface roughness of Ni-W film
- 著者名/発表者名
  M. Yasui, S. Kaneko, M. Kurouchi, H. Ito, T. Ozawa and M. Arai
- 学会等名
  Isplasma3015
- 発表場所
  名古屋大学
- 年月日
  2015-03-26 – 2015-03-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760112
[学会発表] ガラスインプリント用Ni-W 電鋳金型のパターンの微細化に関する研究
- 著者名/発表者名
  安井学,伊藤寛明,荒井政大,金子智,小沢武,黒内正仁
- 学会等名
  日本機械学会 2014年度年次大会
- 発表場所
  東京電機大学　東京千住キャンパス
- 年月日
  2014-09-07 – 2014-09-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760112
[学会発表] Thermal Imprinting for Aluminum Alloy Using Ni-W Electroformed Mold
- 著者名/発表者名
  M. Yasui, S. Kaneko, M. Takahashi, T. Sano, Y. Hirabayashi, T. Ozawa and R. Maeda
- 学会等名
  MNC2014
- 発表場所
  Hilton Fukuoka Sea Hawk
- 年月日
  2014-11-04 – 2014-11-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760112

1. 百武徹 (20335582)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 1件
2. 金子智 (40426359)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 18件
3. 伊藤寛明 (70534981)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 9件
4. 秋山賢輔 (70426360)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 6件
5. 平林康男 (30426358)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 6件
6. 荒井政大 (30260532)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 8件
7. 黒内正仁 (10452187)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 12件

安井 学 Yasui Manabu

研究課題

研究成果

共同研究者

哺乳類精子の動的集団ナビゲーション機構の解明と高性能体外受精システムの構築

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

受精環境下における精子ナビゲーション戦略の解明と体外受精への応用

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

LSPRデバイスへの応用を目指したアルミナノホール形成技術の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

アクティブマターとしての集団精子遊泳のバイオメカニクスと形態進化解析への展開

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

ガラス表面に複雑な形状のナノパターンを形成できる熱ナノインプリント用金型の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

ガラスを対象とした熱インプリント用電鋳金型の研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

半絶縁性シリコン・カーバイド基板を用いた鉄シリサイド半導体の電気特性評価

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] Ni板の親水化に対するプラズマ照射の効果2021

著者名/発表者名

雑誌名

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年月日

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[雑誌論文] Effect of metal ion concentration in Ni-W plating solution on surface roughness of Ni-W film2016

著者名/発表者名

雑誌名

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NAID

データソース

[雑誌論文] Formation of highly planarized Ni-W electrodeposits for glass imprinting mold2016

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

データソース

[雑誌論文] Micro Imprinting for Al Alloy Using Ni-W Electroformed Mold2015

著者名/発表者名

雑誌名

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NAID

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年月日

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データソース

[雑誌論文] Effects of post exposure bake temperature and exposure time on SU-8 nanopattern obtained by electron beam lithography2014

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

安井学 Yasui Manabu