中尾正史 NAKAO Masashi

研究者番号	80447177
所属 (現在)	2025年度: 東北大学, マイクロシステム融合研究開発センター, 非常勤講師
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2008年度 – 2010年度: 独立行政法人情報通信研究機構, 未来ICT研究センターナノICTグループ, 専攻研究員
審査区分/研究分野	研究代表者構造・機能材料
キーワード	研究代表者 √<3>条件 / 周期構造評価 / 大面積ナノ構造 / SiCモールド / 1/3条件 / モールド作製 / メタルパタン / リフトオフ / UVインプリント / ナノ周期構造 … もっと見る / エキシマ洗浄 / √3条件 / 1 / 陽極酸化 / インプリントリソグラフィ / アルミナナノホール / 大面積ナノ周期構造隠す

研究課題
(1件)
研究成果
(22件)

大面積ナノレベル超周期構造の形成とその応用研究代表者
- 研究代表者
  
  中尾正史
- 研究期間 (年度)
  2008 – 2010
- 研究種目
  
  新学術領域研究(研究課題提案型)
- 研究分野
  
  構造・機能材料
- 研究機関
  独立行政法人情報通信研究機構

すべて 2011 2010 2009

すべて雑誌論文学会発表

[雑誌論文] Regeneration of imprint molds using vacuum ultraviolet light2011
- 著者名/発表者名
  M.Nakao, M.Yamaguchi, S.Yabu
- 雑誌名
  
  Proc.of SPIE Advanced Lithography 2011 Vol.7972
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20200028
[雑誌論文] Regeneration of imprint molds using vacuum ultraviolet light2011
- 著者名/発表者名
  M.Nakao
- 雑誌名
  
  Proceeding of Advances in Resist Materials and Processing Technology XXVIII
  
  巻: 7972
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20200028
[雑誌論文] インプリントリソグラフィのフォトニクスへの応用～総論2010
- 著者名/発表者名
  中尾正史
- 雑誌名
  
  月刊OPTRONICS 338
  
  ページ: 80-82
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20200028
[雑誌論文] Imprint-Mold-Cleaning by Vacuum Ultraviolet Light2010
- 著者名/発表者名
  M.Nakao, M.Yamaguchi, S.Yabu
- 雑誌名
  
  Journal of Nonlinear Optical Physics & Materials 19(4)
  
  ページ: 773-779
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20200028
[雑誌論文] UVインプリントによる各種基板上への回折格子形成技術2010
- 著者名/発表者名
  中尾正史, 水野潤
- 雑誌名
  
  OPTRONICS Vol.29,No.2
  
  ページ: 93-99
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20200028
[雑誌論文] UVインプリントによる各種基板上への回折格子形成技術2010
- 著者名/発表者名
  中尾正史
- 雑誌名
  
  月刊OPTRONICS 338
  
  ページ: 93-99
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20200028
[雑誌論文] インプリントリソグラフィのフォトニクスへの応用:総論2010
- 著者名/発表者名
  中尾正史
- 雑誌名
  
  OPTRONICS Vol.29,No.2
  
  ページ: 80-82
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20200028
[雑誌論文] Imprint-Mold-Cleaning by Vacuum Ultraviolet Light2010
- 著者名/発表者名
  M.Nakao
- 雑誌名
  
  Journal of Nonlinear Optical Physics & Materials
  
  巻: 19 ページ: 773-779
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20200028
[雑誌論文] Reduction of pitch of nanohole array by self-organizing anodic oxidation after nanoimprinting2010
- 著者名/発表者名
  S.Shingubara, S.Maruo, T.Yamashita, M.Nakao, T.Shimizu
- 雑誌名
  
  Microelectro.Engineer. 87
  
  ページ: 1451-1454
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20200028
[雑誌論文] Grating Fabrication on Nitrides Grown by MOVPE for DFB Lasers2009
- 著者名/発表者名
  M.Nakao, T.Kimura, Y.H.Liu, S.Y.Ji, T.Matsuoka
- 雑誌名
  
  phys.stat.sol.(c) Vol.6(S2)
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20200028
[雑誌論文] MOVPE Growth of InN : A Comparison between a Horizontal and a Vertical Reactor2009
- 著者名/発表者名
  Y.H.Liu, T.Kimura, T.Shimada, M.Hirata, M.Wakaba, M.Nakao, S.Y.Ji, T.Matsuoka
- 雑誌名
  
  phys.stat.sol.(c) Vol.6(S2)
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20200028
[学会発表] 窒素を導入したGaPナノワイヤの結晶成長及び光学特性2011
- 著者名/発表者名
  中尾
- 学会等名
  第58回応用物理学関係連合講演会(24a-BQ9.)
- 発表場所
  神奈川工科大学,神奈川
- 年月日
  2011-03-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20200028
[学会発表] Regeneration of imprint molds using vacuum ultraviolet light2011
- 著者名/発表者名
  M.Nakao
- 学会等名
  SPIE Advanced Lithography(7972-93)
- 発表場所
  San Jose Convention Center, California, USA
- 年月日
  2011-02-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20200028
[学会発表] Fast dry cleaning of resins by high-power vacuum ultraviolet light2011
- 著者名/発表者名
  M.Nakao
- 学会等名
  SPIE Advanced Lithography(7972-49)
- 発表場所
  San Jose Convention Center, California, USA
- 年月日
  2011-03-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20200028
[学会発表] Fast dry cleaning of resins by high-power vacuum ultraviolet light2011
- 著者名/発表者名
  M.Nakao
- 学会等名
  Symposium on SPIE Advanced Lithography
- 発表場所
  San Jose Convention Center San Jose, California, USA
- 年月日
  2011-03-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20200028
[学会発表] Regeneration of imprint molds using vacuum ultraviolet light2011
- 著者名/発表者名
  M.Nakao
- 学会等名
  Symposium on SPIE Advanced Lithography
- 発表場所
  San Jose Convention Center San Jose, California, USA
- 年月日
  2011-03-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20200028
[学会発表] Imprint-Mold-Cleaning by Vacuum Ultraviolet Light2010
- 著者名/発表者名
  M.Nakao
- 学会等名
  The International Conference on Nanophotonics
- 発表場所
  Epocal Tsukuba, Tsukuba Ibaragi
- 年月日
  2010-05-31
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20200028
[学会発表] Imprint-Mold-Cleaning by Vacuum Ultraviolet Light2010
- 著者名/発表者名
  M.Nakao
- 学会等名
  The Int.Conf.on Nanophotonics 2010(O-01)
- 発表場所
  Tsukuba International Congress Center, Ibaragi
- 年月日
  2010-05-03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20200028
[学会発表] Towards the Implementation of an Organic Inorganic Laser for Next Generation Optical Applications2010
- 著者名/発表者名
  M.Nakao
- 学会等名
  CLEO 2010(ATuB4)
- 発表場所
  San Jose Convention Center, California, USA
- 年月日
  2010-05-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20200028
[学会発表] Fabrication of a Grating on Composite Semiconductors using UV Nanoimprint Lithography2009
- 著者名/発表者名
  M.Nakao
- 学会等名
  26th Internat.Conference of Photopolymer Science and Technology(ICPST-26)(A7)
- 発表場所
  Univ.Chiba,Chiba
- 年月日
  2009-06-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20200028
[学会発表] Optoelectronic materials and components characterization for organic inorganic laser assembly2009
- 著者名/発表者名
  M.Nakao
- 学会等名
  The 14th OptoElectronics and Communications Conference (OECC2009)(5222647)
- 発表場所
  Hong Kong Convention Exhibition Centre, China
- 年月日
  2009-07-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20200028
[学会発表] Hybrid Organic Active Waveguide for C-band Applications2009
- 著者名/発表者名
  M.Nakao
- 学会等名
  11th Int.Conference on Transparent Optical Network(pp.1-3.)
- 発表場所
  Island of Sao Miguel, Azzores, Portugal
- 年月日
  2009-06-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20200028

中尾 正史 NAKAO Masashi

研究課題

研究成果

大面積ナノレベル超周期構造の形成とその応用研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] Regeneration of imprint molds using vacuum ultraviolet light2011

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Regeneration of imprint molds using vacuum ultraviolet light2011

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] インプリントリソグラフィのフォトニクスへの応用～総論2010

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Imprint-Mold-Cleaning by Vacuum Ultraviolet Light2010

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] UVインプリントによる各種基板上への回折格子形成技術2010

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] UVインプリントによる各種基板上への回折格子形成技術2010

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] インプリントリソグラフィのフォトニクスへの応用:総論2010

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Imprint-Mold-Cleaning by Vacuum Ultraviolet Light2010

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Reduction of pitch of nanohole array by self-organizing anodic oxidation after nanoimprinting2010

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Grating Fabrication on Nitrides Grown by MOVPE for DFB Lasers2009

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] MOVPE Growth of InN : A Comparison between a Horizontal and a Vertical Reactor2009

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[学会発表] 窒素を導入したGaPナノワイヤの結晶成長及び光学特性2011

著者名/発表者名

学会等名

発表場所

年月日

データソース

[学会発表] Regeneration of imprint molds using vacuum ultraviolet light2011

著者名/発表者名

学会等名

発表場所

年月日

データソース

[学会発表] Fast dry cleaning of resins by high-power vacuum ultraviolet light2011

著者名/発表者名

学会等名

発表場所

年月日

データソース

[学会発表] Fast dry cleaning of resins by high-power vacuum ultraviolet light2011

著者名/発表者名

学会等名

発表場所

年月日

データソース

[学会発表] Regeneration of imprint molds using vacuum ultraviolet light2011

著者名/発表者名

学会等名

中尾正史 NAKAO Masashi