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久保田 雅則  KUBOTA Masanori

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 80447424
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2014年度: 東京大学, 大学院工学系研究科, 助教
2011年度 – 2013年度: 東京大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教
2008年度 – 2012年度: 東京大学, 工学系研究科, 助教
審査区分/研究分野
研究代表者
流体工学
研究代表者以外
工学 / 理工系 / 電子デバイス・電子機器
キーワード
研究代表者
MEMS / 高アスペクト比トレンチ / ピラニーゲージ / 熱マイクロフォン / MEMSプローブ / ステルスダイシング / 集積化MEMS / 超臨界流体製膜 / 集積化ガスシステム / 極微細高アスペクト比トレンチ / 熱伝導圧力センサ … もっと見る
研究代表者以外
… もっと見る アダブティブ / 偏波制御 / ユニタリ変換 / 光波合成 / モノリシック / アダプティブ / 半導体 / 光集積回路 / 集積フォトニクス / MOVPEデジタル光回路 / 全光フリップフロツプ / 半導体光デバイス / デジタル光回路 / MOVPE / 全光処理 / 非相反光デバイス / 全光フリップフロップ / 全光論理ゲート / 半導体デバイス / 半導体光集積回路 / 光回路 / 光デバイス 隠す
  • 研究課題

    (3件)
  • 研究成果

    (20件)
  • 共同研究者

    (5人)
  •  半導体モノリシック光波合成・任意ユニタリ変換光集積回路の創出

    • 研究代表者
      中野 義昭
    • 研究期間 (年度)
      2014 – 2018
    • 研究種目
      特別推進研究
    • 審査区分
      理工系
      工学
    • 研究機関
      東京大学
  •  極微細シリコン構造内における気体の分子流を利用した集積化ガスシステム研究代表者

    • 研究代表者
      久保田 雅則
    • 研究期間 (年度)
      2011 – 2012
    • 研究種目
      若手研究(B)
    • 研究分野
      流体工学
    • 研究機関
      東京大学
  •  ディジタルフォトニクス-光エレクトロニクスのパラダイムシフト

    • 研究代表者
      中野 義昭
    • 研究期間 (年度)
      2008 – 2012
    • 研究種目
      基盤研究(S)
    • 研究分野
      電子デバイス・電子機器
    • 研究機関
      東京大学

すべて 2014 2013 2012 2008

すべて 学会発表

  • [学会発表] High precision measurement of on-wafer LED device by CMOS-MEMS probe card with electrical contact sensing function2014

    • 著者名/発表者名
      Kota Hosaka, Masanori Kubota, Yu-Tang Chen, and Yoshio Mita
    • 学会等名
      第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • 発表場所
      仙台国際センター(宮城)
    • 年月日
      2014-11-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760145
  • [学会発表] A test structure of bypass diodes for on-chip high-voltage silicon photovoltaic cell array2014

    • 著者名/発表者名
      Isao Mori, Masanori Kubota, and Yoshio Mita
    • 学会等名
      2014 IEEE Conference on Microelectronic Test Structures
    • 発表場所
      ウーディネ(イタリア)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760145
  • [学会発表] 非接触MEMS駆動を目指したマイクロ電磁界共鳴電力伝送回路に関する研究2014

    • 著者名/発表者名
      坂本直之 , 塩見英久 , 久保田雅則 , 岡村康行 , 三田吉郎
    • 学会等名
      電子情報通信学会集積回路研究会
    • 発表場所
      京都大学時計台記念館(京都)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760145
  • [学会発表] EXPERIMENTAL EVALUATION OF HIGH VOLTAGE HOLD-OFF CAPABILITY OF POST-PROCESS MESA-ISOLATED SERIES STANDARD CMOS TRANSISTORS2013

    • 著者名/発表者名
      A. Hirakawa, S. Morishita, I. Mori, M. Kubota, and Y. Mita
    • 学会等名
      The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
    • 発表場所
      バルセロナ(スペイン)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760145
  • [学会発表] Evaluation of Silicon Fracture Strength Dependence on Stealth Dicing Layers for"Cleave-before-Use"MEMS Freestanding Cantilever Probes2013

    • 著者名/発表者名
      Masanori Kubota, Kota Hosaka, Masakazu Sugiyama, and Yoshio Mita
    • 学会等名
      The 17^<th> International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
    • 発表場所
      バルセロナ(スペイン)
    • 年月日
      2013-06-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760145
  • [学会発表] Evaluation of Silicon Fracture Strength Dependence on Stealth Dicing ayers for "Cleave-before-Use" MEMS Freestanding Cantilever Probes2013

    • 著者名/発表者名
      Masanori Kubota, Kota Hosaka, Masakazu Sugiyama, and Yoshio Mita
    • 学会等名
      The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
    • 発表場所
      バルセロナ(スペイン)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760145
  • [学会発表] High precision measurement of on-wafer LED devices by CMOS-MEMS probe card with electrical contact sensing function2013

    • 著者名/発表者名
      Kota Hosaka, Masanori Kubota, Yu-Tang Chen, and Yoshio Mita
    • 学会等名
      第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • 発表場所
      仙台国際センター(宮城)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760145
  • [学会発表] MEMS技術を用いた音波の熱的な検知に関する研究2013

    • 著者名/発表者名
      施英漢,久保田雅則,三田吉郎
    • 学会等名
      電気学会マイクロマシンセンサシステム研究会
    • 発表場所
      東京工科大学(東京)
    • 年月日
      2013-08-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760145
  • [学会発表] Evaluation of Silicon Fracture Strength Dependence on Stealth Dicing Layers for “Cleave-before-Use” MEMS Freestanding Cantilever Probes2013

    • 著者名/発表者名
      M. Kubota, K. Hosaka, M. Sugiyama, and Y. Mita
    • 学会等名
      The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
    • 発表場所
      バルセロナ(スペイン)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760145
  • [学会発表] Experimental Evaluation of High Voltage Hold-Off Capability of Post-Process Mesa-Isolated Series Standard CMOS Transistors2013

    • 著者名/発表者名
      Atsushi Hirakawa, Satoshi Morishita, Isao Mori, Masanori Kubota, and Yoshio Mita
    • 学会等名
      The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
    • 発表場所
      バルセロナ(スペイン)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760145
  • [学会発表] An Integrated CMOS-MEMS Probe having Two-Tips per Cantilever for Individual Contact Sensing and Kelvin Measurement with Two Cantilevers2013

    • 著者名/発表者名
      Kota Hosaka, Satoshi Morishita, Isao Mori, Masanori Kubota, and Yoshio Mita
    • 学会等名
      2013 IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures
    • 発表場所
      大阪大学(大阪)
    • 年月日
      2013-03-25
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760145
  • [学会発表] An Integrated CMOS-MEMS Probe having Two-Tips per Cantilever for Individual Contact Sensing and Kelvin Measurement with Two Cantilevers2013

    • 著者名/発表者名
      Kota Hosaka and Satoshi Morishita and Isao Mori and Masanori Kubota and Yoshio Mita
    • 学会等名
      2013 IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures
    • 発表場所
      大阪(大阪大学 中之島センター)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760145
  • [学会発表] ステルスダイシングを利用した埋め込み式予約素子分離法2012

    • 著者名/発表者名
      木原泰樹,久保田雅則,森下賢志,百瀬健,近藤愛子,霜垣幸浩,三田吉郎
    • 学会等名
      電気学会マイクロマシンセンサシステム研究会
    • 発表場所
      京都大学(京都)
    • 年月日
      2012-06-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760145
  • [学会発表] ステルスダイシングを利用した埋め込み式予約素子分離法2012

    • 著者名/発表者名
      木原泰樹,久保田雅則,森下賢志,百瀬健,近藤愛子,霜垣幸浩,三田吉郎
    • 学会等名
      マイクロマシン・センサシステム研究会
    • 発表場所
      京都(京都大学 百周年時計台記念館)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760145
  • [学会発表] 環境にばらまくセンサネットワーク素子実現に関する一考察2012

    • 著者名/発表者名
      森 功,久保田 雅則,三田 吉郎
    • 学会等名
      マイクロマシン・センサシステム研究会
    • 発表場所
      京都(京都大学 百周年時計台記念館)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760145
  • [学会発表] 高アスペクト比垂直ナノギャップを用いた高圧対応 MEMS ピラニーゲージ2012

    • 著者名/発表者名
      久保田 雅則
    • 学会等名
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      早稲田大学(東京)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760145
  • [学会発表] A 50 nm-Wide 5 μm-Deep Copper Vertical Gap Formation Method by A Gap-Narrowing Post-Process with Supercritical Fluid Deposition for Pirani Gauge Operating over Atmospheric Pressure2012

    • 著者名/発表者名
      久保田 雅則
    • 学会等名
      The 25th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2012)
    • 発表場所
      パリ(フランス)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760145
  • [学会発表] 高アスペクト比垂直ナノギャップを用いた高圧対応MEMSピラニーゲージ2012

    • 著者名/発表者名
      久保田雅則,三田吉郎,百瀬健,近藤愛子,霜垣幸浩,中野義昭,杉山正和
    • 学会等名
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      早稲田大学(東京)
    • 年月日
      2012-03-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760145
  • [学会発表] A 50 nm-Wide 5μm-Deep Copper Vertical Gap Formation Method by A Gap-Narrowing Post-Process with Supercritical Fluid Deposition for Pirani Gauge Operating over Atmospheric Pressure2012

    • 著者名/発表者名
      Masanori Kubota, Yoshio Mita, Takeshi Momose, Aiko Kondo, Yoshihiro Shimogaki, Yoshiaki Nakano, Masakazu Sugiyama
    • 学会等名
      The 25th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
    • 発表場所
      パリ(フランス)
    • 年月日
      2012-02-02
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760145
  • [学会発表] A novel etching-oxidation fabrication method for 3D nano structures on silicon and its application to SOI symmetric waveguid and 3D taper spot size converter2008

    • 著者名/発表者名
      Ling-Han Li, Akio Higo, Masanori Kubota, Masakazu Sugiyama, and Yoshiaki Nakano
    • 学会等名
      Technical Digest, Topical Meeting on Optical MEMS and Nanophotonics, M3.4, pp. 27-28
    • 発表場所
      Freibourg, Germany
    • 年月日
      2008-08-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20226008
  • 1.  中野 義昭 (50183885)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 1件
  • 2.  杉山 正和 (90323534)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 1件
  • 3.  種村 拓夫 (90447425)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  肥後 昭男 (60451895)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 1件
  • 5.  小関 泰之 (60437374)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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