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徳田 規夫  tokuda norio

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 80462860
その他のID
外部サイト
所属 (現在) 2025年度: 金沢大学, ナノマテリアル研究所, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2025年度: 金沢大学, ナノマテリアル研究所, 教授
2018年度 – 2023年度: 金沢大学, ナノマテリアル研究所, 教授
2018年度: 金沢大学, 学内共同利用施設等, 准教授
2018年度: 金沢大学, 電子情報学系, 教授
2012年度 – 2017年度: 金沢大学, 電子情報学系, 准教授
2009年度: 金沢大学, 電子情報学系, 助教
2008年度: 独立行政法人産業技術総合研究所, エネルギー技術研究部門, 産総研特別研究員
審査区分/研究分野
研究代表者
薄膜・表面界面物性 / 無機材料・物性 / 材料工学およびその関連分野
研究代表者以外
小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連 / 中区分29:応用物理物性およびその関連分野 / ナノ材料工学 / 中区分28:ナノマイクロ科学およびその関連分野 / 電子デバイス・電子機器 / 無機材料・物性
キーワード
研究代表者
ダイヤモンド / 表面・界面物性 / 結晶成長 / 半導体 / 構造・機能材料 / 半導体物性 / 触媒・化学プロセス / ダイヤモンド薄膜 / パワーデバイス / カーボン材料 / 標準試料 / 表面制御 … もっと見る
研究代表者以外
… もっと見る ダイヤモンド / NV中心 / 量子センサ / NVセンタ / NMR / 量子センシング / 強誘電体 / 複合イメージング / 電子スピン二重共鳴 / n型ダイヤモンド / CVDダイヤモンド合成 / バイオ計測 / イメージング / ナノダイヤモンド / 量子計測 / 発光中心 / スピン / 量子エレクトロニクス / 磁気共鳴 / 磁気センサ / 量子技術 / T2 / コヒーレンス時間 / 量子デバイス / 超微細構造 / 表面制御 / 窒素空孔ペアー / ダイヤモンド成膜 / 量子 / 量子シミュレータ / キャリアオフセット / Pb(Zr,Ti)O3 / パワーデバイス / ワイドギャップ半導体 / 電界効果トランジスタ / 国際情報交換 / 電界効果 / グラフェン 隠す
  • 研究課題

    (12件)
  • 研究成果

    (173件)
  • 共同研究者

    (18人)
  •  ダイヤモンド電子スピン二重共鳴量子センサによる交流磁場-温度の同時イメージング

    • 研究代表者
      早瀬 潤子 (伊師潤子)
    • 研究期間 (年度)
      2025 – 2027
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連
    • 研究機関
      慶應義塾大学
  •  ダイヤモンドNV中心の量子状態高度制御による量子センシング顕微鏡計測研究

    • 研究代表者
      水落 憲和
    • 研究期間 (年度)
      2021 – 2023
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 審査区分
      中区分29:応用物理物性およびその関連分野
    • 研究機関
      京都大学
  •  ダイヤモンドパワーエレクトロニクスの創成研究代表者

    • 研究代表者
      徳田 規夫
    • 研究期間 (年度)
      2019 – 2024
    • 研究種目
      国際共同研究加速基金(国際共同研究強化(A))
    • 研究分野
      薄膜・表面界面物性
    • 研究機関
      金沢大学
  •  ダイヤモンド表面核スピン格子を用いた室温量子シミュレータの基盤構築

    • 研究代表者
      山崎 聡
    • 研究期間 (年度)
      2018 – 2020
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 審査区分
      中区分28:ナノマイクロ科学およびその関連分野
    • 研究機関
      金沢大学
      国立研究開発法人産業技術総合研究所
  •  ダイヤモンドを用いた革新的アンモニア合成法の開発研究代表者

    • 研究代表者
      徳田 規夫
    • 研究期間 (年度)
      2017 – 2019
    • 研究種目
      挑戦的研究(萌芽)
    • 研究分野
      材料工学およびその関連分野
    • 研究機関
      金沢大学
  •  低損失縦型ダイヤモンドパワーMOSFET研究代表者

    • 研究代表者
      徳田 規夫
    • 研究期間 (年度)
      2017 – 2019
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      薄膜・表面界面物性
    • 研究機関
      金沢大学
  •  強誘電体の巨大分極を利用した超低損失ダイヤモンドパワーFETの創出

    • 研究代表者
      川江 健
    • 研究期間 (年度)
      2017 – 2019
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電子デバイス・電子機器
    • 研究機関
      金沢大学
  •  ダイヤモンドによる超高感度・超高分解能量子ナノセンサ

    • 研究代表者
      水落 憲和
    • 研究期間 (年度)
      2016 – 2018
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      ナノ材料工学
    • 研究機関
      京都大学
  •  インチスケールダイヤモンドウェハ開発のための基盤研究研究代表者

    • 研究代表者
      徳田 規夫
    • 研究期間 (年度)
      2014 – 2016
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      薄膜・表面界面物性
    • 研究機関
      金沢大学
  •  巨大残留分極を用いたカーボン系材料の表面キャリア制御

    • 研究代表者
      川江 健
    • 研究期間 (年度)
      2012 – 2013
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      無機材料・物性
    • 研究機関
      金沢大学
  •  超低損失ダイヤモンドパワーデバイス開発のための基盤研究研究代表者

    • 研究代表者
      徳田 規夫
    • 研究期間 (年度)
      2012 – 2014
    • 研究種目
      若手研究(A)
    • 研究分野
      無機材料・物性
    • 研究機関
      金沢大学
  •  原子的に平坦なダイヤモンド(111)表面の大面積形成及びその機能の創出研究代表者

    • 研究代表者
      徳田 規夫
    • 研究期間 (年度)
      2008 – 2009
    • 研究種目
      若手研究(B)
    • 研究分野
      無機材料・物性
    • 研究機関
      金沢大学

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すべて 雑誌論文 学会発表 図書 産業財産権

  • [図書] Novel Aspects of Diamond (Chapter 1. Homoepitaxial Diamond Growth by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Depositionを担当)2014

    • 著者名/発表者名
      Norio Tokuda
    • 総ページ数
      325
    • 出版者
      Springer
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686074
  • [図書] 2013ナノカーボン技術大全2012

    • 著者名/発表者名
      徳田規夫
    • 出版者
      電子ジャーナル
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686074
  • [雑誌論文] Temperature sensing with RF-dressed states of nitrogen-vacancy centers in diamond2023

    • 著者名/発表者名
      Tabuchi Hibiki、Matsuzaki Yuichiro、Furuya Noboru、Nakano Yuta、Watanabe Hideyuki、Tokuda Norio、Mizuochi Norikazu、Ishi-Hayase Junko
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 133 号: 2 ページ: 024401-024401

    • DOI

      10.1063/5.0129706

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04653, KAKENHI-PROJECT-23K22828
  • [雑誌論文] <i>n</i>-type diamond synthesized with <i>tert</i>-butylphosphine for long spin coherence times of perfectly aligned NV centers2022

    • 著者名/発表者名
      Kawase Riku、Kawashima Hiroyuki、Kato Hiromitsu、Tokuda Norio、Yamasaki Satoshi、Ogura Masahiko、Makino Toshiharu、Mizuochi Norikazu
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 132 号: 17 ページ: 174504-174504

    • DOI

      10.1063/5.0101215

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04653
  • [雑誌論文] Selectively buried growth of heavily B doped diamond layers with step-free surfaces in N doped diamond (1 1 1) by homoepitaxial lateral growth2022

    • 著者名/発表者名
      Kobayashi Kazuki、Zhang Xufang、Makino Toshiharu、Matsumoto Tsubasa、Inokuma Takao、Yamasaki Satoshi、Nebel Christoph E.、Tokuda Norio
    • 雑誌名

      Applied Surface Science

      巻: 593 ページ: 153340-153340

    • DOI

      10.1016/j.apsusc.2022.153340

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18KK0383, KAKENHI-PROJECT-21H01363
  • [雑誌論文] Fabrication of inversion p-channel MOSFET with a nitrogen-doped diamond body2021

    • 著者名/発表者名
      Matsumoto Tsubasa、Yamakawa Tomoya、Kato Hiromitsu、Makino Toshiharu、Ogura Masahiko、Zhang Xufang、Inokuma Takao、Yamasaki Satoshi、Tokuda Norio
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 119 号: 24 ページ: 242105-242105

    • DOI

      10.1063/5.0075964

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H01363, KAKENHI-PROJECT-18KK0383
  • [雑誌論文] Inversion-type p-channel diamond MOSFET issues2021

    • 著者名/発表者名
      Xufang Zhang, Tsubasa Matsumoto, Satoshi Yamasaki, Christoph E. Nebel, Takao Inokuma, and Norio Tokuda
    • 雑誌名

      Journal of Materials Research

      巻: 36 号: 23 ページ: 4688-4702

    • DOI

      10.1557/s43578-021-00317-z

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K14773, KAKENHI-PROJECT-18KK0383
  • [雑誌論文] Inversion channel MOSFET on heteroepitaxially grown free-standing diamond2021

    • 著者名/発表者名
      Zhang Xufang、Matsumoto Tsubasa、Nakano Yuta、Noguchi Hitoshi、Kato Hiromitsu、Makino Toshiharu、Takeuchi Daisuke、Ogura Masahiko、Yamasaki Satoshi、Nebel Christoph E.、Inokuma Takao、Tokuda Norio
    • 雑誌名

      Carbon

      巻: 175 ページ: 615-619

    • DOI

      10.1016/j.carbon.2020.11.072

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18KK0383, KAKENHI-PROJECT-19K15042, KAKENHI-PROJECT-20K14773
  • [雑誌論文] Mechanical damage-free surface planarization of single-crystal diamond based on carbon solid solution into nickel2021

    • 著者名/発表者名
      Sakauchi Kazuto、Nagai Masatsugu、Tabakoya Taira、Nakamura Yuto、Yamasaki Satoshi、Nebel Christoph E.、Zhang Xufang、Matsumoto Tsubasa、Inokuma Takao、Tokuda Norio
    • 雑誌名

      Diamond and Related Materials

      巻: 116 ページ: 108390-108390

    • DOI

      10.1016/j.diamond.2021.108390

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K15042, KAKENHI-PROJECT-18KK0383
  • [雑誌論文] Insight into temperature impact of Ta filaments on high-growth-rate diamond (100) films by hot-filament chemical vapor deposition2021

    • 著者名/発表者名
      Takamori Yue、Nagai Masatsugu、Tabakoya Taira、Nakamura Yuto、Yamasaki Satoshi、Nebel Christoph E.、Zhang Xufang、Matsumoto Tsubasa、Inokuma Takao、Tokuda Norio
    • 雑誌名

      Diamond and Related Materials

      巻: 118 ページ: 108515-108515

    • DOI

      10.1016/j.diamond.2021.108515

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18KK0383
  • [雑誌論文] Energy distribution of Al2O3/diamond interface states characterized by high temperature capacitance-voltage method2020

    • 著者名/発表者名
      Xufang Zhang, Tsubasa Matsumoto, Ukyo Sakurai, Toshiharu Makino, Masahiko Ogura, Satoshi Yamasaki, Mitsuru Sometani, Dai Okamoto, Hiroshi Yano, Noriyuki Iwamuro, Takao Inokuma, and Norio Tokuda
    • 雑誌名

      CARBON

      巻: 168 ページ: 659-664

    • DOI

      10.1016/j.carbon.2020.07.019

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K14773, KAKENHI-PROJECT-18KK0383, KAKENHI-PROJECT-19K15042
  • [雑誌論文] Formation of U-shaped diamond trenches with vertical {111} sidewalls by anisotropic etching of diamond (110) surfaces2020

    • 著者名/発表者名
      Nagai M.、Nakamura Y.、Yamada T.、Tabakoya T.、Matsumoto T.、Inokuma T.、Nebel C.E.、Makino T.、Yamasaki S.、Tokuda N.
    • 雑誌名

      Diamond and Related Materials

      巻: 103 ページ: 107713-107713

    • DOI

      10.1016/j.diamond.2020.107713

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H02786, KAKENHI-PROJECT-19J12733
  • [雑誌論文] Insight into Al2O3/diamond interface states with high-temperature conductance method2020

    • 著者名/発表者名
      Xufang Zhang, Tsubasa Matsumoto, Ukyo Sakurai, Toshiharu Makino, Masahiko Ogura, Mitsuru Sometani, Satoshi Yamasaki, Christoph E. Nebel, Takao Inokuma, and Norio Tokuda
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 117 号: 9 ページ: 092104-092104

    • DOI

      10.1063/5.0021785

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K14773, KAKENHI-PROJECT-18KK0383, KAKENHI-PROJECT-19K15042
  • [雑誌論文] Step-edge growth and doping of diamond2020

    • 著者名/発表者名
      Tokuda Norio
    • 雑誌名

      Diamond for Quantum Applications Part 1

      巻: 103 ページ: 57-72

    • DOI

      10.1016/bs.semsem.2020.03.003

    • ISBN
      9780128202401
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18KK0383
  • [雑誌論文] Homoepitaxial Diamond Growth by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition2019

    • 著者名/発表者名
      Tokuda Norio
    • 雑誌名

      Novel Aspects of Diamond

      巻: 121 ページ: 1-29

    • DOI

      10.1007/978-3-030-12469-4_1

    • ISBN
      9783030124687, 9783030124694
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H02786, KAKENHI-PROJECT-17K18980
  • [雑誌論文] High‐Rate Growth of Single‐Crystalline Diamond (100) Films by Hot‐Filament Chemical Vapor Deposition with Tantalum Filaments at 3000?°C2019

    • 著者名/発表者名
      Tabakoya Taira、Kanada Shohei、Wakui Yusuke、Takamori Yue、Yamada Tatsuki、Nagai Masatsugu、Kojima Yoshiyasu、Ariyada Osamu、Yamasaki Satoshi、Nebel Christoph E.、Matsumoto Tsubasa、Inokuma Takao、Tokuda Norio
    • 雑誌名

      physica status solidi (a)

      巻: 216 号: 21 ページ: 1900244-1900244

    • DOI

      10.1002/pssa.201900244

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H02786
  • [雑誌論文] Inversion channel mobility and interface state density of diamond MOSFET using N-type body with various phosphorus concentrations2019

    • 著者名/発表者名
      Matsumoto Tsubasa、Kato Hiromitsu、Makino Toshiharu、Ogura Masahiko、Takeuchi Daisuke、Yamasaki Satoshi、Inokuma Takao、Tokuda Norio
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 114 号: 24 ページ: 242101-242101

    • DOI

      10.1063/1.5100328

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K15042, KAKENHI-PROJECT-17H02786
  • [雑誌論文] Conductive-probe atomic force microscopy and Kelvin-probe force microscopy characterization of OH-terminated diamond (111) surfaces with step-terrace structures2019

    • 著者名/発表者名
      Nagai Masatsugu、Yoshida Ryo、Yamada Tatsuki、Tabakoya Taira、Nebel Christoph E.、Yamasaki Satoshi、Makino Toshiharu、Matsumoto Tsubasa、Inokuma Takao、Tokuda Norio
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 58 号: SI ページ: SIIB08-SIIB08

    • DOI

      10.7567/1347-4065/ab1b5c

    • NAID

      210000156440

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H02786, KAKENHI-PROJECT-19J12733
  • [雑誌論文] Anisotropic diamond etching through thermochemical reaction between Ni and diamond in high-temperature water vapour2018

    • 著者名/発表者名
      Nagai Masatsugu、Nakanishi Kazuhiro、Takahashi Hiraku、Kato Hiromitsu、Makino Toshiharu、Yamasaki Satoshi、Matsumoto Tsubasa、Inokuma Takao、Tokuda Norio
    • 雑誌名

      Scientific Reports

      巻: 8 号: 1 ページ: 6687-6687

    • DOI

      10.1038/s41598-018-25193-2

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H02786
  • [雑誌論文] Formation of atomically flat hydroxyl-terminated diamond (1?1?1) surfaces via water vapor annealing2018

    • 著者名/発表者名
      Yoshida Ryo、Miyata Daisuke、Makino Toshiharu、Yamasaki Satoshi、Matsumoto Tsubasa、Inokuma Takao、Tokuda Norio
    • 雑誌名

      Applied Surface Science

      巻: 458 ページ: 222-225

    • DOI

      10.1016/j.apsusc.2018.07.094

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K18980, KAKENHI-PROJECT-17H02786
  • [雑誌論文] Direct observation of inversion capacitance in p-type diamond MOS capacitors with an electron injection layer2018

    • 著者名/発表者名
      T. Matsumoto, H. Kato, T. Makino, M. Ogura, D. Takeuchi, S. Yamasaki, M. Imura, A. Ueda, T. Inokuma, and N. Tokuda
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 57 号: 4S ページ: 04FR01-04FR01

    • DOI

      10.7567/jjap.57.04fr01

    • NAID

      210000149007

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K06330, KAKENHI-PROJECT-17H02786
  • [雑誌論文] B-doped diamond field effect transistor with ferroelectric vinylidene fluoride-trifluoroethylene gate insulator2017

    • 著者名/発表者名
      Ryota Karaya, Ikki Baba, Yosuke Mori, Tsubasa Matsumoto, Takashi Nakajima, Norio Tokuda and Takeshi Kawae
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 56 号: 10S ページ: 10PF06-10PF06

    • DOI

      10.7567/jjap.56.10pf06

    • NAID

      210000148383

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03248, KAKENHI-PROJECT-17H04814
  • [雑誌論文] Self-separation of freestanding diamond films using graphite interlayers precipitated from C-dissolved Ni substrates2017

    • 著者名/発表者名
      Shinya Ito, Masatsugu Nagai, Tsubasa Matsumoto, Takao Inokuma, Norio Tokuda
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth

      巻: 470 ページ: 104-107

    • DOI

      10.1016/j.jcrysgro.2017.04.014

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600096
  • [雑誌論文] 原子的平坦面を有するダイヤモンド(111)膜の成長2016

    • 著者名/発表者名
      徳田 規夫,松本 翼,猪熊 孝夫, 梅沢 仁,小倉 政彦,加藤 宙光, 牧野 俊晴,竹内 大輔,大串 秀世, 寺地 徳之,山部 紀久夫,有屋田 修, 山崎 聡
    • 雑誌名

      NEW DIAMOND

      巻: 第120号 ページ: 9-14

    • 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600096
  • [雑誌論文] Anisotropic lateral growth of homoepitaxial diamond (111) films by plasma-enhanced chemical vapor deposition2014

    • 著者名/発表者名
      Norio Tokuda, Masahiko Ogura, Satoshi Yamasaki, and Takao Inokuma
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 53 号: 4S ページ: 04EH04-04EH04

    • DOI

      10.7567/jjap.53.04eh04

    • NAID

      210000143648

    • 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686074
  • [雑誌論文] Formation of Graphene-on-Diamond Structure by Graphitization of Atomically Flat Diamond (111) Surface2013

    • 著者名/発表者名
      Norio Tokuda, Makoto Fukui, Toshiharu Makino, Daisuke Takeuchi, Satoshi Yamasaki, and Takao Inokuma
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 52 号: 11R ページ: 110121-110121

    • DOI

      10.7567/jjap.52.110121

    • NAID

      210000143041

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686074
  • [雑誌論文] Fabrication of (Bi,Pr)(Fe,Mn)O3 thin films on poly-crystalline diamond substrate by chemical solution deposition and their properties2012

    • 著者名/発表者名
      T. Kawae, M. Kawasaki, T. Nakajima, N. Tokuda, S. Okamura, A. Morimoto, and Y Takano
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 51 号: 9S1 ページ: 09LA08-09LA08

    • DOI

      10.1143/jjap.51.09la08

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656212, KAKENHI-PROJECT-24656380
  • [雑誌論文] Formation of Step-Free Surfaces on Diamond (111) Mesas by Homoepitaxial Lateral Growth2012

    • 著者名/発表者名
      Norio Tokuda
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 51 号: 9R ページ: 90107-90107

    • DOI

      10.1143/jjap.51.090107

    • NAID

      210000141151

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686074
  • [雑誌論文] プラズマCVD法によるステップフリーダイヤモンド(111)表面の形成2012

    • 著者名/発表者名
      徳田規夫
    • 雑誌名

      日本結晶成長学会誌

      巻: 39 ページ: 185-189

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686074
  • [雑誌論文] 正確に0. 2ナノメートルを測れますか?~ ダイヤによるナノスケール標準試料の可能性~2010

    • 著者名/発表者名
      徳田規夫, 権太聡, 牧野俊晴, 山崎聡
    • 雑誌名

      MATERIAL STAGE 9

      ページ: 1-3

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20760455
  • [雑誌論文] Growth of atomically step-free s urface on diamond {111} mesas2010

    • 著者名/発表者名
      Norio Tokuda, Hitoshi Umezawa, Kikuo Yamabe, Hideyo Okushi, Satoshi Yam asaki
    • 雑誌名

      Diamond and Related Materials 19

      ページ: 288-290

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20760455
  • [雑誌論文] Growth of atomically step-free surface on diamond {111} mesas2010

    • 著者名/発表者名
      Norio Tokuda, Hitoshi Umezawa Kikuo Yamabe, Hideyo Okushi, Satoshi Yamasaki
    • 雑誌名

      Diamond and Related Materials 19

      ページ: 288-290

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20760455
  • [雑誌論文] 正確に0.2ナノメートルを測れますか?~ダイヤによるナノスケール標準試料の可能性~2010

    • 著者名/発表者名
      徳田規夫, 権太聡, 牧野俊晴, 山崎聡
    • 雑誌名

      MATERIAL STAGE 9

      ページ: 1-3

    • NAID

      40017002371

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20760455
  • [雑誌論文] Nanometer Scale Height Standard Using Atomically Controlled Diamond Surface2009

    • 著者名/発表者名
      徳田規夫、梅沢仁、加藤宙光、小倉政彦、権太聡、山部紀久夫、大串秀世、山崎聡
    • 雑誌名

      Applied Physics Express Vol.2, No.5

      ページ: 55001-55001

    • NAID

      10025086166

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20760455
  • [雑誌論文] ナノサイズを測るダイヤの"ものさし"2009

    • 著者名/発表者名
      徳田規夫, 山崎聡
    • 雑誌名

      Newton 8

      ページ: 13-13

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20760455
  • [雑誌論文]2009

    • 著者名/発表者名
      Norio Tokuda, Hitoshi Umezawa, Hirom itsu Kato, Masahiko Ogura, Satoshi Gond a, Kikuo Yamabe, Hideyo Okushi, Satoshi Yamasaki
    • 雑誌名

      Applied Physics Express 2

      ページ: 55001-55001

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20760455
  • [雑誌論文] ナノサイズを測るダイヤの"ものさし"2009

    • 著者名/発表者名
      徳田規夫、山崎聡
    • 雑誌名

      Newton 8

      ページ: 13-13

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20760455
  • [産業財産権] ダイヤモンドの製造方法2015

    • 発明者名
      徳田規夫、猪熊孝夫、伊藤槙哉、有屋田修
    • 権利者名
      金沢大学、アリオス株式会社
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2015-102143
    • 出願年月日
      2015-05-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600096
  • [産業財産権] 半導体装置2013

    • 発明者名
      小山和博、牧野俊晴、小倉政彦、加藤宙光、山崎聡、徳田規夫他3名
    • 権利者名
      小山和博、牧野俊晴、小倉政彦、加藤宙光、山崎聡、徳田規夫他3名
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2013-248166
    • 出願年月日
      2013-11-29
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686074
  • [産業財産権] 単結晶ダイヤモンド基板2009

    • 発明者名
      徳田規夫, 他7名
    • 権利者名
      (独)産業技術総合研究所
    • 産業財産権番号
      2009-100870
    • 出願年月日
      2009-04-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20760455
  • [産業財産権] 単結晶ダイヤモンド基板2009

    • 発明者名
      徳田規夫、小倉政彦、加藤宙光、竹内大輔、牧野俊晴、小山和博、大串秀 世、山崎聡
    • 権利者名
      産業技術総合研究所
    • 産業財産権番号
      2009-100870
    • 出願年月日
      2009-04-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20760455
  • [産業財産権] ナノメートルスケールの計測標準試料およびナノメートルスケールの計測標準試料を用いた走査型顕微鏡の校正方法2009

    • 発明者名
      徳田規夫、山崎聡、栗原健一、権太聡、太田敏隆
    • 権利者名
      (独)産業技術総合研究所
    • 産業財産権番号
      2009-037517
    • 出願年月日
      2009-02-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20760455
  • [産業財産権] ナノメートルスケールの計測標準試料及びナノメートルスケールの計測標準試料を使用した走査型顕微鏡の校正方法2008

    • 発明者名
      徳田規夫、山崎聡、栗原健一、権太聡、太田敏隆
    • 権利者名
      (独)産業技術総合研究所
    • 産業財産権番号
      2008-222042
    • 出願年月日
      2008-08-29
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20760455
  • [産業財産権] ナノメートルスケールの計測標準試料及びナノメートルスケールの計測標準試料を使用した走査型顕微鏡の校正方法体2008

    • 発明者名
      徳田規夫、山崎聡、栗原健一、権太聡、太田敏隆
    • 権利者名
      産業技術総合研究所
    • 産業財産権番号
      2008-222042
    • 出願年月日
      2008-08-29
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20760455
  • [学会発表] ダイヤモンドウェーハの平坦化技術~ダイヤモンド半導体の最新動向を踏まえて~2024

    • 著者名/発表者名
      徳田規夫
    • 学会等名
      公益社団法人砥粒加工学会 次世代固定砥粒加工プロセス専門委員会 第113回研究会 「硬脆材料の平坦化・平滑化技術 ~半導体素材・電子デバイス素材・光学素材の平面加工~」
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18KK0383
  • [学会発表] ダイヤモンドパワー半導体の現状2024

    • 著者名/発表者名
      徳田規夫
    • 学会等名
      応用物理学会 システムデバイスロードマップ産学連携委員会(SDRJ) 2023年度第5回Beyond CMOS、More than Moore合同委員会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18KK0383
  • [学会発表] 圧力によるCVD ダイヤモンドの 不純物取り込み制御と NV中心コヒーレンス時間の改善2023

    • 著者名/発表者名
      川瀬 凜久,川島 宏幸,加藤 宙光,徳田 規夫, 山崎 聡 , 小倉 政彦,牧野 俊晴,水落 憲和
    • 学会等名
      第37回ダイヤモンドシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04653
  • [学会発表] ダイヤモンド半導体を用いた反転層MOSFET2023

    • 著者名/発表者名
      徳田規夫
    • 学会等名
      2023年度電子情報通信学会総合大会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18KK0383
  • [学会発表] Advances in diamond MOSFET technologies2023

    • 著者名/発表者名
      Norio Tokuda, Kazuki Kobayashi, Kan Hayashi, Kimiyoshi Ichikawa, Xufang Zhang, Tsubasa Matsumoto, Takao Inokuma, Satoshi Yamasaki, Hiromitsu Kato, Masahiko Ogura, Toshiharu Makino, Daisuke Takeuchi, Christoph E. Nebel
    • 学会等名
      E-MRS 2023 Spring Meeting
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18KK0383
  • [学会発表] Inversion type diamond MOSFET technology2023

    • 著者名/発表者名
      Norio Tokuda
    • 学会等名
      2023 FUNCTIONAL DIAMOND SYMPOSIUM
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18KK0383
  • [学会発表] TBP による(111)面リンドープ n 型ダイヤモンド膜のホール移動度2023

    • 著者名/発表者名
      川島 宏幸,川瀬 凜久,加藤 宙光,徳田 規夫,山崎 聡, 小倉 政彦,牧野 俊晴,森岡 直也,水落 憲和
    • 学会等名
      応用物理学会秋季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04653
  • [学会発表] Diamond MOSFET technology:   current status and future perspectives2023

    • 著者名/発表者名
      Norio Tokuda
    • 学会等名
      33rd International Conference on Diamond and Carbon Materials
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18KK0383
  • [学会発表] TBP を用いた(111)面リンドープ n 型ダイヤモンド膜のホール移動度の向上2023

    • 著者名/発表者名
      川島 宏幸,川瀬 凜久,加藤 宙光,徳田 規夫,山崎 聡, 小倉 政彦,牧野 俊晴,森岡 直也,水落 憲和
    • 学会等名
      第37回ダイヤモンドシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04653
  • [学会発表] NV 中心による二次元 NMR を目指した直交検波手法の開発2023

    • 著者名/発表者名
      森田 航希,大木 出,徳田 規夫, 水落 憲和
    • 学会等名
      応用物理学会秋季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21H04653
  • [学会発表] ダイヤモンドMOS界面の進展2022

    • 著者名/発表者名
      徳田規夫
    • 学会等名
      ワイドギャップ半導体学会 第9回研究会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18KK0383
  • [学会発表] ダイヤモンドウェハの研究開発動向2022

    • 著者名/発表者名
      徳田規夫
    • 学会等名
      第23回KENMA研究会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18KK0383
  • [学会発表] Recent Progress in Electrical Characterization of Al2O3/Diamond Interface2022

    • 著者名/発表者名
      X. Zhang, T. Matsumoto, M. Sometani, M. Ogura, T. Makino, D. Takeuchi, C.E. Nebel, T. Inokuma, S. Yamasaki, and N. Tokuda
    • 学会等名
      14th Topical Workshop on Heterostructure Microelectronics
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18KK0383
  • [学会発表] ダイヤモンドMOS界面の原子レベル制御 - 反転層ダイヤモンドMOSFETの実現に向けて -2022

    • 著者名/発表者名
      徳田規夫
    • 学会等名
      2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18KK0383
  • [学会発表] Progress in inversion channel diamond MOSFET technologies2022

    • 著者名/発表者名
      Norio Tokuda, Kazuki Kobayashi, Xufang Zhang, Tsubasa Matsumoto, Takao Inokuma, Satoshi Yamasaki, Hiromitsu Kato, Masahiko Ogura, Toshiharu Makino, Daisuke Takeuchi, Christoph E. Nebel
    • 学会等名
      2022 MRS SPRING MEETING & EXHIBIT
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18KK0383
  • [学会発表] Advances in Diamond MOS Interface2021

    • 著者名/発表者名
      Norio Tokuda, Xufang Zhang, Tsubasa Matsumoto, Takao Inokuma, Hiromitsu Kato, Toshiharu Makino, Daisuke Takeuchi, Christoph E. Nebel, Satoshi Yamasaki
    • 学会等名
      2021 International Workshop on DIELECTRIC THIN FILMS FOR FUTURE ELECTRON DEVICES
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18KK0383
  • [学会発表] Diamond Etching Based on Carbon Solid Solution into Nickel for Wafer and Device Fabrication Processes2021

    • 著者名/発表者名
      Norio Tokuda, Xufang Zhang, Tsubasa Matsumoto, Takao Inokuma, Christoph Nebel, Satoshi Yamasaki
    • 学会等名
      2021 MRS Fall Meeting & Exhibit
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18KK0383
  • [学会発表] ダイヤモンドFeFETに対する残留分極を用いた疑似ノーマリオフ動作に関する検証2020

    • 著者名/発表者名
      玉村達哉、山田 樹、松本 翼、中嶋宇史、徳田規夫、川江 健
    • 学会等名
      第67回 応用物理学会 春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03248
  • [学会発表] Inversion Layer Diamond MOSFET2020

    • 著者名/発表者名
      Norio Tokuda
    • 学会等名
      Second Workshop on Diamond Electronics
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18KK0383
  • [学会発表] MOS interface control for inversion channel diamond MOSFET2020

    • 著者名/発表者名
      N. Tokuda, T. Matsumoto, X. Zhang, T. Inokuma, S. Yamasaki, H. Kato, T. Makino, C.E. Nebel, R.J. Nemanich
    • 学会等名
      Hasselt Diamond Workshop 2020
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H02786
  • [学会発表] ダイヤモンドパワー半導体  ~ウェハ・プロセス・デバイス~2020

    • 著者名/発表者名
      徳田 規夫,張 旭芳,松本 翼,猪熊 孝夫, Christoph E. Nebel, 山崎 聡
    • 学会等名
      2021年第68回応用物理学会春季学術講演会 分科企画シンポジウム「パワーデバイスの最新動向と今後の展望」
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18KK0383
  • [学会発表] MOS interface control for inversion channel diamond MOSFET2020

    • 著者名/発表者名
      N. Tokuda, T. Matsumoto, X. Zhang, T. Inokuma, S. Yamasaki, H. Kato, T. Makino, C.E. Nebel, R.J. Nemanich
    • 学会等名
      Hasselt Diamond Workshop 2020
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18KK0383
  • [学会発表] ダイヤモンド半導体の技術動向と可能性2019

    • 著者名/発表者名
      徳田規夫
    • 学会等名
      技術情報協会セミナー
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H02786
  • [学会発表] Reduction of Interface State Density for Diamond MOS structures by Wet Annealing after Hydrogen Plasma Treatment2019

    • 著者名/発表者名
      U. Sakurai, T. Matsumoto, M. Nagai, M. Ogura, T. Makino, S. Yamasaki, C.E. Nebel, T. Inokuma, N. Tokuda
    • 学会等名
      EM-NANO 2019
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H02786
  • [学会発表] ダイヤモンドエレクトロニクスの基礎と技術動向2019

    • 著者名/発表者名
      徳田規夫
    • 学会等名
      サイエンス&テクノロジーセミナー
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H02786
  • [学会発表] Electrical characteristics of Ni/B-doped diamond (111) contact after annealing2019

    • 著者名/発表者名
      Y. Nakamur, T. Tabakoya, M. Nagai, Y. Katagiri, C.E. Nebel, T. Matsumoto, T. Inokuma, N. Tokuda
    • 学会等名
      EM-NANO 2019
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H02786
  • [学会発表] 部分O終端チャネルを用いたダイヤモンドFeFETの疑似ノーマリオフ動作化に関する検討2019

    • 著者名/発表者名
      玉村達哉、山田 樹、高橋和暉、中嶋宇史、松本翼、徳田規夫、川江 健
    • 学会等名
      第80回 応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03248
  • [学会発表] ダイヤモンドパワーデバイス2019

    • 著者名/発表者名
      徳田規夫
    • 学会等名
      新技術研究会主催 第314回 月例研究会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H02786
  • [学会発表] 部分O終端構造化ダイヤモンド表面伝導層をチャネルとした強誘電体ゲートFETの作製2019

    • 著者名/発表者名
      玉村達哉、中嶋宇史、松本翼、徳田規夫、川江 健
    • 学会等名
      第36回 強誘電体応用会議
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03248
  • [学会発表] Conductive-Probe AFM and Kelvin-Probe Force Microscopy Characterization of OH-terminated Diamond (111) Surfaces with Step-Terrace Structures through Water Vapor Annealing2019

    • 著者名/発表者名
      M. Nagai, R. Yoshida, T. Yamada, T. Tabakoya, C.E. Nebel, S. Yamasaki, T. Makino, T. Matsumoto, T. Inokuma, N. Tokuda
    • 学会等名
      EM-NANO 2019
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H02786
  • [学会発表] Advances in inversion channel diamond MOSFETs2019

    • 著者名/発表者名
      N. Tokuda, T. Matsumoto, T. Inokuma, S. Yamasaki, H. Kato, T. Makino, C.E. Nebel
    • 学会等名
      SSDM 2019
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H02786
  • [学会発表] ダイヤモンド半導体の技術動向と可能性2019

    • 著者名/発表者名
      徳田規夫
    • 学会等名
      技術情報協会セミナー
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K18980
  • [学会発表] ダイヤモンドエレクトロニクスの基礎と技術動向2019

    • 著者名/発表者名
      徳田規夫
    • 学会等名
      サイエンス&テクノロジーセミナー
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K18980
  • [学会発表] Recent Progress in Inversion Channel Diamond MOSFET2019

    • 著者名/発表者名
      N. Tokuda, T. Matsumoto, T. Inokuma, S. Yamasaki, H. Kato, T. Makino, C.E. Nebel
    • 学会等名
      2019 MRS FALL MEETING&EXHBIT
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H02786
  • [学会発表] Surface planarization of diamond substrates using carbon solid solution into nickel2019

    • 著者名/発表者名
      K. Sakauchi, T. Tabakya, M. Nagai, C.E. Nebel, T. Matsumoto, T. Inokuma, N. Tokuda
    • 学会等名
      EM-NANO 2019
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H02786
  • [学会発表] Recent progress for inversion channel mobility improvement in diamond MOSFETsRecent progress for inversion channel mobility improvement in diamond MOSFETsRecent progress for inversion channel mobility improvement in diamond MOSFETsRecent progress for inversion channel mobility improvement in diamond MOSFETsRecent progress for inversion channel mobility improvement in diamond MOSFETs2019

    • 著者名/発表者名
      T. Matsumoto, U. Sakurai, T. Yamakawa, H. Kato, T. Makino, M. Ogura, D. Takeuchi, S. Yamasaki, T. Inokuma, N. Tokuda
    • 学会等名
      APWS 2019
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H02786
  • [学会発表] 反転層チャネルダイヤモンドMOSFETの実証2019

    • 著者名/発表者名
      松本翼,加藤宙光,小山和博,牧野俊晴,小倉政彦,竹内大輔,猪熊孝夫,山崎聡,徳田規夫
    • 学会等名
      2019年第66回応用物理学会春季学術講演会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H02786
  • [学会発表] Inversion channel MOSFET on lightly impurity doped n-type diamond2018

    • 著者名/発表者名
      T. Matsumoto, H. Kato, T. Makino, S. Ohmagari, M. Ogura, D. Takeuchi, T. Inokuma, S. Yamasaki and N. Tokuda
    • 学会等名
      ACSIN-14 & ICSPM26
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H02786
  • [学会発表] ダイヤモンドエレクトロニクスの 将来像と結晶材料開発2018

    • 著者名/発表者名
      徳田規夫
    • 学会等名
      日本学術振興会 結晶成長の科学と技術 第161委員会第108回研究会「2025年結晶産業の未来~新規材料素材編~」(
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K18980
  • [学会発表] 反転層チャネルダイヤモンドMOSFET ~ ウェットアニール処理による高品質ダイヤモンドMOS界面の形成 ~2018

    • 著者名/発表者名
      松本翼,加藤宙光,牧野俊晴,小倉政彦,竹内大輔,猪熊孝夫,山崎聡,徳田規夫
    • 学会等名
      MOSデバイス・メモリ高性能化-材料・プロセス技術 (シリコン材料・デバイス研究会と応用物理学会シリコンテクノロジー分科会との合同開催)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H02786
  • [学会発表] ダイヤモンドパワーデバイスの最新動向とその可能性2018

    • 著者名/発表者名
      徳田規夫
    • 学会等名
      技術情報協会主催セミナー 次世代パワーデバイスの最新開発動向と実用化展望
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H02786
  • [学会発表] Inversion channel diamond MOSFET with lightly phosphorus doped body2018

    • 著者名/発表者名
      T. Matsumoto, H. Kato, T. Makino, M. Ogura, D. Daisuke, T. Inokuma, N. Tokuda, S. Yamasaki
    • 学会等名
      Hasselt Diamond Workshop 2018
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H02786
  • [学会発表] 窒素ドープダイヤモンド膜における光伝導2018

    • 著者名/発表者名
      亀井 悠平,池田 眞二,松本 翼,猪熊 孝夫,徳田 規夫
    • 学会等名
      第4回有機・無機エレクトロニクスシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K18980
  • [学会発表] 100 kA/cm2 Schottky-pn diodes on freestanding diamond (100) substrate2018

    • 著者名/発表者名
      T. Matsumoto, R. Yoshida, T. Yamamoto, T. Teraji, O. Ariyada, H. Kato, S. Yamasaki, T. Inokuma, N. Tokuda
    • 学会等名
      Hasselt Diamond Workshop 2018
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H02786
  • [学会発表] ダイヤモンドで究極の省エネ~低炭素社会の実現を目指す~2018

    • 著者名/発表者名
      徳田規夫
    • 学会等名
      日本海イノベーション会議 新エネルギー戦略-振動発電とダイヤモンド-
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H02786
  • [学会発表] P(VDF-TrFE)をゲート絶縁膜としたBドープダイヤモンドFETの開発2018

    • 著者名/発表者名
      庄司駿輔、森 陽介、松本翼、中嶋宇史、小倉政彦、徳田規夫、川江 健
    • 学会等名
      第6回 強的秩序とその操作に関わる研究グループ研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03248
  • [学会発表] 強誘電体の残留分極を用いたダイヤモンド表面伝導層の空乏化に関する検証2018

    • 著者名/発表者名
      庄司駿輔、玉村達哉、中嶋宇史、松本翼、徳田規夫、川江 健
    • 学会等名
      第79回 応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03248
  • [学会発表] 熱化学反応を用いた選択的かつ高速な結晶異方性ダイヤモンドエッチング2018

    • 著者名/発表者名
      長井 雅嗣,松本 翼,猪熊 孝夫, 徳田 規夫
    • 学会等名
      第4回有機・無機エレクトロニクスシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H02786
  • [学会発表] Conductive-Probe AFM Characterization of Atomically Well-Defined Diamond (111) Surfaces2018

    • 著者名/発表者名
      Norio TOKUDA, Ryo YOSHIDA, Masatsugu NAGAI, Taira TABAKOYA, Tsubasa MATSUMOTO, Takao INOKUMA
    • 学会等名
      The 12th International New Diamond and Nano Carbons Conference (NDNC 2018)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H02786
  • [学会発表] ダイヤモンド MOS キャパ シタにおける 低界面準位密度 10^11 cm -2eV-1オーダーの実現2018

    • 著者名/発表者名
      桜井 海匡、松本 翼、 牧野 俊晴、山崎 聡 、Christoph E. Nebel、猪熊 孝夫、徳田 規夫
    • 学会等名
      平成30年度(2018年)応用物理学会北陸・信越支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H02786
  • [学会発表] ダイヤモンドエレクトロニクスの 将来像と結晶材料開発2018

    • 著者名/発表者名
      徳田規夫
    • 学会等名
      日本学術振興会 結晶成長の科学と技術 第161委員会第108回研究会「2025年結晶産業の未来~新規材料素材編~」
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H02786
  • [学会発表] Conductive-Probe AFM Characterization of Diamond (111) Surfaces with Step-Terrace Structures2018

    • 著者名/発表者名
      N. Tokuda, R. Yoshida, M. Nagai, T. Tabakoya, S. Yamasaki, T. Makino, T. Matsumoto and T. Inokuma
    • 学会等名
      ACSIN-14 & ICSPM26
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H02786
  • [学会発表] Photoconduction in nitrogen-doped diamond films2018

    • 著者名/発表者名
      Yuhei Kamei,Shinji Ikeda,Tsubasa Matsumoto,Takao Inokuma, Norio Tokuda
    • 学会等名
      ACSIN-14 & ICSPM26
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K18980
  • [学会発表] Non-plasma Anisotropic Diamond Etching with High Rate and Selectivity2018

    • 著者名/発表者名
      M. Nagai, K. Nakanishi, T. Tabakoya, H. Kato, T. Makino, S. Yamasaki, T. Matsumoto, T. Inokuma and N. Tokuda
    • 学会等名
      ACSIN-14 & ICSPM26
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H02786
  • [学会発表] 100 kA/cm2 Schottky-pn diodes on freestanding diamond (100) substrate2018

    • 著者名/発表者名
      T. Matsumoto, R. Yoshida, T. Yamamoto, T. Teraji, O. Ariyada, H. Kato, S. Yamasaki, T. Inokuma, N. Tokuda
    • 学会等名
      Hasselt Diamond Workshop 2018
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K18980
  • [学会発表] ダイヤモンドパワーデバイス開発の最新動向と離陸への課題2017

    • 著者名/発表者名
      徳田規夫
    • 学会等名
      第14回 PDEAパワーデバイスセミナー
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H02786
  • [学会発表] ダイヤモンドMOSFET における反転層確認とFET 動作実証2017

    • 著者名/発表者名
      松本翼、加藤宙光、牧野俊晴、小倉政彦、竹内大輔、猪熊孝夫、徳田規夫、山崎聡
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H02786
  • [学会発表] リンドープダイヤモンドにおけるNV中心の電荷安定性とスピン特性2017

    • 著者名/発表者名
      丸山 祐一,加藤 宙光,徳田 規夫,牧野 俊晴,山崎 聡,下岡 孝明,森下 弘樹,藤原 正規,水落 憲和
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川県横浜市
    • 年月日
      2017-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02088
  • [学会発表] 窒素ドープn 層/低抵抗p+-ダイヤモンド(100)CVD 自立基板を用いた ショットキーpn ダイオード2017

    • 著者名/発表者名
      吉田稜、山本貴大、長井雅嗣、松本翼、寺地徳之、有屋田修、加藤宙光、山崎聡、徳田規夫、猪熊孝夫
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H02786
  • [学会発表] High-Rate and Anisotropic Diamond Etching by Oxidation-Reduction Reaction at NiO/Diamond Interface2017

    • 著者名/発表者名
      Masatsugu Nagai, Taira Tabakoya, Tsubasa Matsumoto, Takao Inokuma, Norio Tokuda
    • 学会等名
      The 8th International Symposium on Surface Science
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H02786
  • [学会発表] P(VDF-TrFE)をゲートとしたボロンドープダイヤモンドFET2017

    • 著者名/発表者名
      森 陽介、柄谷涼太、馬場一気、吉田稜、中嶋宇史、松本翼、徳田規夫、川江 健
    • 学会等名
      第34回 強誘電体応用会議
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03248
  • [学会発表] 自然剥離を用いたドーム状ダイヤモンド自立膜の作製2016

    • 著者名/発表者名
      伊藤 槙哉、叶田 翔平、松本 翼、徳田 規夫、猪熊 孝夫
    • 学会等名
      第30回ダイヤモンドシンポジウム
    • 発表場所
      東京大学 駒場リサーチキャンパス コンベンションホール(東京都目黒区)
    • 年月日
      2016-11-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600096
  • [学会発表] Perfect selective alignment of nitrogen-vacancy centers in diamond2016

    • 著者名/発表者名
      福井貴大,土井悠生,宮崎剛英,宮本良之,加藤宙光, 松本翼,牧野俊晴,山崎聡,徳田規夫,波多野睦子,坂川優希,森下弘樹,田嶌俊之,三輪真嗣,鈴木義茂,水落憲和
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      新潟県新潟市
    • 年月日
      2016-09-13
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02088
  • [学会発表] 革新的パワーデバイスの実現に向けた半導体ダイヤモンドの研究2016

    • 著者名/発表者名
      徳田規夫
    • 学会等名
      第3回有機・無機エレクトロニクスシンポジウム
    • 発表場所
      石川県政記念 しいのき迎賓館(石川県 金沢市)
    • 年月日
      2016-07-15
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600096
  • [学会発表] マイクロ波プラズマCVD法によるダイヤモンド膜の成長2016

    • 著者名/発表者名
      徳田規夫
    • 学会等名
      第63回CVD研究会
    • 発表場所
      ひょうご共済会館(兵庫県神戸市)
    • 年月日
      2016-08-18
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600096
  • [学会発表] マイクロ波プラズマCVD によるダイヤモンド単結晶膜の 超高速ホモエピタキシャル成長2016

    • 著者名/発表者名
      徳田規夫
    • 学会等名
      プラズマ材料科学第153委員会 第129回研究会
    • 発表場所
      島根県産業技術センター(島根県松江市)
    • 年月日
      2016-12-09
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600096
  • [学会発表] MPCVD法を用いたNi基板上のダイヤモンド成長2016

    • 著者名/発表者名
      伊藤 槙哉,叶田 翔平,松本 翼,徳田 規夫,猪熊 孝夫
    • 学会等名
      第3回有機・無機エレクトロニクスシンポジウム
    • 発表場所
      石川県政記念 しいのき迎賓館(石川県 金沢市)
    • 年月日
      2016-07-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600096
  • [学会発表] MPCVD法を用いたNi上での 自立多結晶ダイヤモンド膜の成長2015

    • 著者名/発表者名
      伊藤槙哉、渡邊俊介、金田大輝、徳田規夫、猪熊孝夫
    • 学会等名
      第29回ダイヤモンドシンポジウム
    • 発表場所
      東京理科大学(東京都葛飾区新宿)
    • 年月日
      2015-11-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600096
  • [学会発表] 革新的パワーデバイスの実現に向けた半導体ダイヤモンドの研究開発2015

    • 著者名/発表者名
      徳田規夫
    • 学会等名
      金沢大学理工研究域サステナブルエネルギー研究センター第3回公開シンポジウム(依頼講演)
    • 発表場所
      香林坊プラザホール(石川県金沢市)
    • 年月日
      2015-11-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600096
  • [学会発表] 球型共振器構造MPCVDによる ダイヤモンド(111)膜の高速成長2015

    • 著者名/発表者名
      馬場 一気、金田 大輝、渡邊 俊介、徳田 規夫、猪熊 孝夫
    • 学会等名
      第29回ダイヤモンドシンポジウム
    • 発表場所
      東京理科大学(東京都葛飾区新宿)
    • 年月日
      2015-11-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600096
  • [学会発表] Mechanism of anisotropic etching of diamond (111) surfaces by hydrogen plasma treatment2015

    • 著者名/発表者名
      H. Kuroshima, N. Tokuda, T. Makino, S. Yamasaki, T. Inokuma
    • 学会等名
      International Conference on Diamond and Carbon Materials 2015
    • 発表場所
      Bad Homburg, Germany
    • 年月日
      2015-09-07
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600096
  • [学会発表] Growth of Diamond Films on Nickel Substrates by Microwave Plasma-Enhanced CVD2015

    • 著者名/発表者名
      Shinya Ito, Shunsuke Watanabe, Daiki Kaneta, Norio Tokuda, Takao Inokuma
    • 学会等名
      The 5th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟県新潟市)
    • 年月日
      2015-06-16
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600096
  • [学会発表] Surface roughening of homoepitaxial diamond (111) films by oxygen addition2015

    • 著者名/発表者名
      Ikki Baba, Daiki Kanata, Shunsuke Watanabe, Tohiharu Makino, Masahiko Ogura, Satoshi Yamasaki2, Norio Tokuda, Takao Inokuma
    • 学会等名
      The 5th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟県新潟市)
    • 年月日
      2015-06-16
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600096
  • [学会発表] Growth of atomically flat diamond films2015

    • 著者名/発表者名
      Norio Tokuda, Tsubasa Matsumoto, Satoshi Yamasaki, Takao Inokuma
    • 学会等名
      EMN 3CG 2015(招待講演)
    • 発表場所
      Hong Kong, China
    • 年月日
      2015-12-14
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600096
  • [学会発表] Self-separation of freestanding diamond films from Ni substrates by MPCVD2015

    • 著者名/発表者名
      S. Ito, S. Watanabe, D. Kaneta, N. Tokuda, T. Inokuma
    • 学会等名
      International Conference on Diamond and Carbon Materials 2015
    • 発表場所
      Bad Homburg, Germany
    • 年月日
      2015-09-07
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600096
  • [学会発表] Fabrication of BiFeO_3/p-diamond hetero structure for power device applications Collaborative Conference on Materials2013

    • 著者名/発表者名
      T. Kawae, N. Tokuda, Y. Takano, and A. Morimoto
    • 学会等名
      Research 2013 (CCMR2013)
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • 年月日
      2013-06-24
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656380
  • [学会発表] Fabrication of BiFeO3/p-diamond hetero structure for power device applications2013

    • 著者名/発表者名
      T. Kawae, N. Tokuda, Y. Takano, and A. Morimoto
    • 学会等名
      Collaborative Conference on Materials Research 2013 (CCMR2013)
    • 発表場所
      韓国、済州島
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656380
  • [学会発表] Fatigue Characteristics of BFO/STO/B-doped Diamond Layered Structures International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies2013

    • 著者名/発表者名
      K. Kinoshita, H. Kawasaki, T. Kawae, N. Tokuda, Y. Takano, S. Okamura, and A. Morimoto
    • 学会等名
      EM-NANO 2013
    • 発表場所
      Kanazawa, Japan
    • 年月日
      2013-06-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656380
  • [学会発表] Fabrication of BiFeO3/B-doped diamond layered structure and its high temperature operation2013

    • 著者名/発表者名
      T. Kawae, N. Tokuda, Y. Takano, and A. Morimoto
    • 学会等名
      Annual World Congress of Advanced Materials-2013 (WCAM-2013)
    • 発表場所
      中国、Suzhou
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656380
  • [学会発表] Fabrication of BiFeO_3/B-doped diamond layered structure and its high temperature operation Annual World Congress of Advanced Materials-20132013

    • 著者名/発表者名
      T. Kawae, N. Tokuda, Y. Takano, and A. Morimoto
    • 学会等名
      WCAM-2013
    • 発表場所
      Suzhou,China
    • 年月日
      2013-06-05
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656380
  • [学会発表] 化学溶液法による多結晶ダイヤモンド上への(Bi,Pr)(Fe,Mn)O_3薄膜の作製と評価2013

    • 著者名/発表者名
      川江健、川崎寛樹、中嶋宇史、徳田規夫、岡村総一郎、森本章治、高野義彦
    • 学会等名
      第29回強誘電体応用会議
    • 発表場所
      コープイン京都
    • 年月日
      2013-05-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656380
  • [学会発表] Fatigue Characteristics of BFO/STO/B-doped Diamond Layered Structures2013

    • 著者名/発表者名
      K. Kinoshita H. Kawasaki. T. Kawae, N. Tokuda, Y. Takano, S. Okamura, and A. Morimoto
    • 学会等名
      International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO 2013)
    • 発表場所
      金沢市
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656380
  • [学会発表] Influence of Substrate Misorientation Angle and Direction in Diamond (111) Homoepitaxy by Plasma-Enhanced CVD2012

    • 著者名/発表者名
      Norio Tokuda
    • 学会等名
      The sixth international New Diamond and Nano Carbons Conference
    • 発表場所
      San Juan, Puerto Rico
    • 年月日
      2012-05-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686074
  • [学会発表] Formation of boron delta-doped diamond structures by lateral growth of diamond (111) films2012

    • 著者名/発表者名
      Norio Tokuda
    • 学会等名
      International Conference on Diamond and Carbon Materials
    • 発表場所
      Granada, Spain
    • 年月日
      2012-09-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686074
  • [学会発表] BiFeO3/SrTiO3/B添加ダイヤモンド積層構造の疲労特性評価2012

    • 著者名/発表者名
      川崎寛樹、木下昴洋、野村幸寛、川江 健、中嶋宇史、徳田規夫、高野義彦、岡村総一郎、森本章治
    • 学会等名
      第73回 応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      愛媛大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656380
  • [学会発表] BiFeO_3/SrTiO_3/B添加ダイヤモンド積層構造の疲労特性評価2012

    • 著者名/発表者名
      川崎寛樹、木下昴洋、野村幸寛、川江健、中嶋宇史、徳田規夫、高野義彦、岡村総一郎、森本章治
    • 学会等名
      第73回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      愛媛大学
    • 年月日
      2012-09-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656380
  • [学会発表] 化学溶液法による多結晶ダイヤモンド上への(Bi,Pr)(Fe,Mn)O3薄膜の作製と評価2012

    • 著者名/発表者名
      川江 健、川崎寛樹、中嶋宇史、徳田規夫、岡村総一郎、森本章治、高野義彦
    • 学会等名
      第29回強誘電体応用会議
    • 発表場所
      コープイン京都
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24656380
  • [学会発表] 完全平坦ダイヤモンド表面の形成2010

    • 著者名/発表者名
      徳田規夫, 猪熊孝夫, 山部紀久夫, 大串秀世, 山崎聡
    • 学会等名
      表面技術協会第120回講演大会
    • 発表場所
      幕張メッセ国際会議場(千葉県)
    • 年月日
      2010-09-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20760455
  • [学会発表] Atomically controlled diamond surfaces2009

    • 著者名/発表者名
      徳田規夫、牧野俊晴、小倉政彦、加藤宙光、梅沢仁、山部紀久夫、大串秀世、山崎聡
    • 学会等名
      The second international symposium on interdisciplinary Materials Science (ISIMS-2009)
    • 発表場所
      茨城県つくば市つくば国際会議場
    • 年月日
      2009-03-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20760455
  • [学会発表] 完全平坦ダイヤモンド表面の形成2009

    • 著者名/発表者名
      徳田規夫, 猪熊孝夫, 山部紀久夫, 大串秀世, 山崎聡
    • 学会等名
      表面技術協会 第120回講演大会
    • 発表場所
      幕張メッセ国際会議場(千葉県)
    • 年月日
      2009-09-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20760455
  • [学会発表] Atomically controlled diamond surfaces2009

    • 著者名/発表者名
      Norio Tokuda, Toshiharu Makino, Masahiko Ogura, Hiromitsu Kato, Hitoshi Umezawa, Kikuo Yamabe, Hideyo Okushi, Satoshi Yamasaki
    • 学会等名
      The second international symposium on interdisciplinary Materials Science (ISIMS-2009)
    • 発表場所
      つくば国際会議場(茨城県)
    • 年月日
      2009-03-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20760455
  • [学会発表] マイクロ波プラズマCVDによるステップフリーダイヤモンド(111)表面の形成2008

    • 著者名/発表者名
      徳田規夫、牧野俊晴、小倉政彦、山部紀久夫、大串秀世、山崎聡
    • 学会等名
      第38回結晶成長国内会議(NCCG-38)
    • 発表場所
      仙台市戦災復興記念館(宮城県)
    • 年月日
      2008-11-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20760455
  • [学会発表] マイクロ波プラズマ中のダイヤモンド(111)膜の成長とエッチング2008

    • 著者名/発表者名
      徳田規夫、牧野俊晴、小倉政彦、山部紀久夫、大串秀世、山崎聡
    • 学会等名
      2008年秋季第69回応用物理学会学術講演大会
    • 発表場所
      愛知県春日井市中部大学
    • 年月日
      2008-09-02
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20760455
  • [学会発表] マイクロ波プラズマCVDによるステップフリーダイヤモンド(111)表面の形成2008

    • 著者名/発表者名
      徳田規夫、牧野俊晴、小倉政彦、山部紀久夫、大串秀世、山崎聡
    • 学会等名
      第38回結晶成長国内会議(NCCG-38)
    • 発表場所
      宮城県仙台市仙台市戦災復興記念館
    • 年月日
      2008-11-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20760455
  • [学会発表] マイクロ波プラズマ中のダイヤモンド(111)膜の成長とエッチング2008

    • 著者名/発表者名
      徳田規夫、牧野俊晴、小倉政彦、山部紀久夫、大串秀世、山崎聡
    • 学会等名
      2008年秋季第69回応用物理学会学術講演大会
    • 発表場所
      中部大学(愛知県)
    • 年月日
      2008-09-02
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20760455
  • [学会発表] ウェットアニール処理 による ダイヤモンドMESFET作製プロセスの提案

    • 著者名/発表者名
      中西一浩,南山拓真,宮田大輔, 辻裕司, 徳田規夫, 小倉政彦,山崎聡,森本章治, 川江健, 猪熊孝夫
    • 学会等名
      平成26年度 応用物理学会 北陸・信越支部 学術講演会
    • 発表場所
      富山大学
    • 年月日
      2014-11-07 – 2014-11-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686074
  • [学会発表] ウェットアニール処理によるダイヤモンド MESFET作製

    • 著者名/発表者名
      中西一浩,南山拓真,宮田大輔, 辻裕司, 徳田規夫, 小倉政彦,山崎聡,森本章治, 川江健, 猪熊孝夫
    • 学会等名
      第28回ダイヤモンドシンポジウム
    • 発表場所
      東京電機大学
    • 年月日
      2014-11-19 – 2014-11-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686074
  • [学会発表] ウェットアニール処理による(100)ダイヤモンドの表面ラフネス評価

    • 著者名/発表者名
      宮田 大輔,南山 拓真, 徳田 規夫,竹内 大輔,山崎 聡,猪熊 孝夫
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季講演大会
    • 発表場所
      北海道大学
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686074
  • [学会発表] OH終端p型(111)ダイヤモンドへのオーミック接触の形成

    • 著者名/発表者名
      南山拓真,宮田大輔,長南幸直, 徳田規夫,小倉政彦,竹内大輔,山崎聡,猪熊孝夫
    • 学会等名
      平成26年度 応用物理学会 北陸・信越支部 学術講演会
    • 発表場所
      富山大学
    • 年月日
      2014-11-07 – 2014-11-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686074
  • [学会発表] ウェットアニールによるダイヤモンド(111)表面のOH終端化

    • 著者名/発表者名
      宮田 大輔, 神谷昇吾, 徳田 規夫,牧野俊晴, 竹内 大輔,山崎 聡,猪熊 孝夫
    • 学会等名
      平成26年度 応用物理学会 北陸・信越支部 学術講演会
    • 発表場所
      富山大学
    • 年月日
      2014-11-07 – 2014-11-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686074
  • [学会発表] CVD単結晶ダイヤモンド(100)自立基板の開発

    • 著者名/発表者名
      渡邊 俊介, 森本 隆介, 金田 大輝,徳田 規夫,加藤 宙光, 梅沢 仁 ,山崎 聡, 有屋田 修,猪熊 孝夫
    • 学会等名
      平成26年度 応用物理学会 北陸・信越支部 学術講演会
    • 発表場所
      富山大学
    • 年月日
      2014-11-07 – 2014-11-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686074
  • [学会発表] Electrical characteristics of boron delta-doped diamond (111) structures

    • 著者名/発表者名
      T. Minamiyama, N. Tokuda, M. Ogura, S. Yamasaki and T. Inokuma
    • 学会等名
      12th International Conference on Atomically Controlled Surfaces, Interfaces and Nanostructures (ACSIN-12)
    • 発表場所
      Tsukuba, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686074
  • [学会発表] 酸素終端ダイヤモンド(111)表面上ALD-Al2O3膜を用いたp型ダイヤモンドMOSキャパシタの電気的特性

    • 著者名/発表者名
      上田 諒浩,宮田大輔,徳田 規夫,井村将隆,小出康夫,小倉政彦,山崎聡,猪熊 孝夫
    • 学会等名
      第28回ダイヤモンドシンポジウム
    • 発表場所
      東京電機大学
    • 年月日
      2014-11-19 – 2014-11-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686074
  • [学会発表] Hydrogen termination of diamond surfaces

    • 著者名/発表者名
      T. Chonan, N. Tokuda, M. Ogura, S. Yamasaki and T. Inokuma
    • 学会等名
      12th International Conference on Atomically Controlled Surfaces, Interfaces and Nanostructures (ACSIN-12)
    • 発表場所
      Tsukuba, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686074
  • [学会発表] ポストウェットアニール処理を用いたダイヤモンドMESFETの作製

    • 著者名/発表者名
      中西一浩,南山拓真,宮田大輔, 辻裕司, 徳田規夫, 小倉政彦,山崎聡,森本章治, 川江健, 猪熊孝夫
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季講演大会
    • 発表場所
      北海道大学
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686074
  • [学会発表] ホウ素ドープダイヤモンド(100)膜の高速成長

    • 著者名/発表者名
      金田 大輝,渡邊 俊介,徳田 規夫,小倉 政彦, 加藤 宙光,梅沢 仁,山崎 聡,有屋田 修,猪熊 孝夫
    • 学会等名
      平成26年度 応用物理学会 北陸・信越支部 学術講演会
    • 発表場所
      富山大学
    • 年月日
      2014-11-07 – 2014-11-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686074
  • [学会発表] 球型共振器構造MPCVDによるホウ素 ドープダイヤモンド膜の高速成長

    • 著者名/発表者名
      金田 大輝,渡邊 俊介,徳田 規夫,小倉 政彦, 加藤 宙光,梅沢 仁,山崎 聡,有屋田 修,猪熊 孝夫
    • 学会等名
      第28回ダイヤモンドシンポジウム
    • 発表場所
      東京電機大学
    • 年月日
      2014-11-19 – 2014-11-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686074
  • [学会発表] ポストウェットアニールによる酸素終端ダイヤモンド(111)表面上のオーミック接触の形成

    • 著者名/発表者名
      南山拓真,宮田大輔,長南幸直, 徳田規夫,小倉政彦,竹内大輔,山崎聡,猪熊孝夫
    • 学会等名
      第28回ダイヤモンドシンポジウム
    • 発表場所
      東京電機大学
    • 年月日
      2014-11-19 – 2014-11-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686074
  • [学会発表] Atomically controlled diamond surfaces and interfaces

    • 著者名/発表者名
      N. Tokuda, D. Miyata, A. Ueda, T. Chonan, T. Minamiyama, T. Inokuma, M. Imura, Y. Koide, M. Ogura, T. Makino, D. Takeuchi, S. Yamasaki
    • 学会等名
      2014 International Conference on Diamond and Carbon Materials
    • 発表場所
      Madrid, Spain
    • 年月日
      2014-09-07 – 2014-09-11
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686074
  • [学会発表] CVD単結晶ダイヤモンド(100)自立基板の開発

    • 著者名/発表者名
      渡邊 俊介, 森本 隆介, 金田 大輝,徳田 規夫,加藤 宙光, 梅沢 仁,山崎 聡, 有屋田 修,猪熊 孝夫
    • 学会等名
      平成26年度 応用物理学会 北陸・信越支部 学術講演会
    • 発表場所
      富山大学
    • 年月日
      2014-11-07 – 2014-11-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600096
  • [学会発表] 球型共振器構造MPCVDを用いたホウ素ドープダイヤモンド(100)膜のホモエピタキシャル高速成長

    • 著者名/発表者名
      金田 大輝,渡邊 俊介,徳田 規夫,小倉 政彦, 加藤 宙光,梅沢 仁,山崎 聡,有屋田 修,猪熊 孝夫
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季講演大会
    • 発表場所
      北海道大学
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686074
  • [学会発表] 半絶縁性CVDダイヤモンド(111)膜の電気的特性

    • 著者名/発表者名
      向瀬 貴樹,金田 大輝,渡邊 俊介, 森本 隆介,徳田 規夫,山崎 聡,猪熊 孝夫
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季講演大会
    • 発表場所
      北海道大学
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686074
  • [学会発表] ウェットアニール処理によるダイヤモンドの表面形態と表面伝導層の評価

    • 著者名/発表者名
      宮田 大輔,南山 拓真, 徳田 規夫,竹内 大輔,山崎 聡,猪熊 孝夫
    • 学会等名
      第28回ダイヤモンドシンポジウム
    • 発表場所
      東京電機大学
    • 年月日
      2014-11-19 – 2014-11-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686074
  • [学会発表] 超低抵抗率ホウ素δドープダイヤモンド構造

    • 著者名/発表者名
      南山拓真,徳田規夫,小倉政彦,山崎聡,猪熊孝夫
    • 学会等名
      平成25年度応用物理学会北陸・信越支部学術講演会
    • 発表場所
      石川県金沢市
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686074
  • [学会発表] ウェットアニールダイヤモンド(111)上ALD-Al2O3膜を用いたMOSキャパシタの電気的特性

    • 著者名/発表者名
      上田 諒浩,宮田大輔,徳田 規夫,井村将隆,小出康夫,小倉政彦,山崎聡,猪熊 孝夫
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季講演大会
    • 発表場所
      北海道大学
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686074
  • [学会発表] ポストウェットアニールによるp型(111)ダイヤモンドへのオーミック接触の形成

    • 著者名/発表者名
      南山拓真,宮田大輔,長南幸直, 徳田規夫,小倉政彦,竹内大輔,山崎聡,猪熊孝夫
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季講演大会
    • 発表場所
      北海道大学
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686074
  • [学会発表] Atomically controlled diamond: homoepitaxy, doping, and surface structures

    • 著者名/発表者名
      Norio Tokuda, Satoshi Yamasaki, Takao Inokuma
    • 学会等名
      2013 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM)
    • 発表場所
      Hilton Fukuoka Sea Hawk, Fukuoka, Japan
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686074
  • [学会発表] 球型共振器構造MPCVDを用いたダイヤモンド(100)膜のホモエピタキシャル高速成長

    • 著者名/発表者名
      渡邊 俊介, 森本 隆介, 金田 大輝,徳田 規夫,加藤 宙光, 梅沢 仁 ,山崎 聡, 有屋田 修,猪熊 孝夫
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季講演大会
    • 発表場所
      北海道大学
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686074
  • [学会発表] Atomically flat oxidized diamond (111) surfaces

    • 著者名/発表者名
      N. Tokuda, S. Kamiya, T. Makino, D. Takeuchi, S. Yamasaki, T. Inokuma
    • 学会等名
      International Conference on Diamond and Carbon Materials 2013
    • 発表場所
      Riva del Garda, Italy
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686074
  • [学会発表] 球型共振器構造MPCVDを用いたダイヤモンド(111)ホモエピタキシャル高速成長

    • 著者名/発表者名
      森本隆介,渡邊俊介、矢板潤矢、徳田規夫,小倉政彦、山崎聡、猪熊孝夫
    • 学会等名
      第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      京都府京田辺市
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686074
  • [学会発表] 異方性エッチングによる原子的平坦なダイヤモンド(111)表面の形成

    • 著者名/発表者名
      黒島裕貴,徳田規夫, 牧野俊晴,山崎聡,猪熊孝夫
    • 学会等名
      第28回ダイヤモンドシンポジウム
    • 発表場所
      東京電機大学
    • 年月日
      2014-11-19 – 2014-11-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686074
  • [学会発表] 原子的平坦 OH 終端ダイヤモンド (111) 表面の形成

    • 著者名/発表者名
      宮田大輔,神谷昇吾,徳田規夫,牧野俊晴,竹内大輔,山崎 聡,猪熊孝夫
    • 学会等名
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川県相模原市
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686074
  • [学会発表] 球型共振器構造MPCVDを用いたダイヤモンド(100)膜のホモエピタキシャル高速成長

    • 著者名/発表者名
      渡邊 俊介, 森本 隆介, 金田 大輝,徳田 規夫,加藤 宙光, 梅沢 仁,山崎 聡, 有屋田 修,猪熊 孝夫
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季講演会
    • 発表場所
      北海道大学
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600096
  • [学会発表] Boron Delta-doped Diamond Structures

    • 著者名/発表者名
      Takuma Minamiyama, Norio Tokuda, Masahiko Ogura, Satoshi Yamasaki, and Takao Inokuma
    • 学会等名
      The 4th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO 2013)
    • 発表場所
      Kanazawa, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686074
  • [学会発表] Hydrogen-terminated Diamond (111) Surface by Hydrogen Annealing

    • 著者名/発表者名
      Tatsuma Chonan, Norio Tokuda, Masahiko Ogura, Satoshi Yamasaki, and Takao Inokuma
    • 学会等名
      The 4th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO 2013)
    • 発表場所
      Kanazawa, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686074
  • [学会発表] グラフェン・オン・ダイヤモンドにおけるダイヤモンド(111)表面の水素終端化

    • 著者名/発表者名
      長南幸直,徳田規夫, 小倉政彦, 牧野俊晴, 山崎聡, 猪熊孝夫
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季講演大会
    • 発表場所
      北海道大学
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686074
  • [学会発表] ホウ素δ-ドーピングによる電気的特性の改善

    • 著者名/発表者名
      南山拓真,徳田規夫,小倉政彦、山崎聡、猪熊孝夫
    • 学会等名
      第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      京都府京田辺市
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686074
  • [学会発表] 水素プラズマ処理による原子的に平坦なダイヤモンド(111)表面の選択的形成

    • 著者名/発表者名
      黒島裕貴,徳田規夫, 牧野俊晴,山崎聡,猪熊孝夫
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季講演大会
    • 発表場所
      北海道大学
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686074
  • [学会発表] 超低抵抗率ホウ素δドープダイヤモンド構造

    • 著者名/発表者名
      南山拓真,徳田規夫,小倉政彦,山崎聡,猪熊孝夫
    • 学会等名
      第18回(2013年度)北陸・信越支部発表奨励賞 授賞式・受賞記念講演会
    • 発表場所
      富山県富山市
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24686074
  • 1.  水落 憲和 (00323311)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 8件
  • 2.  川江 健 (30401897)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 18件
  • 3.  加藤 宙光 (00415655)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 15件
  • 4.  山崎 聡 (80358241)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 2件
  • 5.  森本 章治 (60143880)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 11件
  • 6.  高野 義彦 (10354341)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 10件
  • 7.  大曲 新矢 (40712211)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 1件
  • 8.  波多野 睦子 (00417007)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 9.  牧野 俊晴 (20360258)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 10.  白川 昌宏 (00202119)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 11.  大木 出 (80418574)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 1件
  • 12.  早瀬 潤子 (50342746)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 13.  渡邊 幸志 (50392684)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 14.  岩本 敏 (40359667)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 15.  伊藤 槙哉
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 6件
  • 16.  井村 将隆
    共同の研究課題数: 0件
    共同の研究成果数: 1件
  • 17.  松本 翼
    共同の研究課題数: 0件
    共同の研究成果数: 3件
  • 18.  張 旭芳
    共同の研究課題数: 0件
    共同の研究成果数: 3件

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