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高橋 主人  TAKAHASHI Kazue

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 80517095
その他のID
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2016年度: 大島商船高等専門学校, その他部局等, 客員教授
2014年度 – 2015年度: 大島商船高等専門学校, その他部局等, その他
2011年度 – 2013年度: 大島商船高等専門学校, その他部局等, 教授
審査区分/研究分野
研究代表者
電子デバイス・電子機器
キーワード
研究代表者
付着力 / 異物除去 / 静電気力 / ドライ洗浄 / 異物低減 / 微粒子除去 / 表面洗浄 / 大気圧利用 / van der Waals力 / 微粒子付着 … もっと見る / 微粒子分散 / 高分子フィルム / ファン・デル・ワールス力 / 微粒子 / 静電吸着 隠す
  • 研究課題

    (2件)
  • 研究成果

    (15件)
  • 共同研究者

    (2人)
  •  ディープサブミクロン対応の付着微粒子静電清浄化システムの開発研究代表者

    • 研究代表者
      高橋 主人
    • 研究期間 (年度)
      2014 – 2016
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      電子デバイス・電子機器
    • 研究機関
      大島商船高等専門学校
  •  ディープサブミクロン対応の付着微粒子静電除去技術の基礎開発研究代表者

    • 研究代表者
      高橋 主人
    • 研究期間 (年度)
      2011 – 2013
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      電子デバイス・電子機器
    • 研究機関
      大島商船高等専門学校

すべて 2017 2016 2015 2014 2013 2012

すべて 雑誌論文 学会発表

  • [雑誌論文] 高分子フィルムの付着力を利用したシリコン表面上の微粒子除去2017

    • 著者名/発表者名
      高橋主人
    • 雑誌名

      粉体工学会誌

      巻: 54

    • NAID

      130006189615

    • 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26420329
  • [雑誌論文] 静電吸着によるシリコン表面上の微粒子除去における微粒子サイズの影響2014

    • 著者名/発表者名
      高橋主人
    • 雑誌名

      J. Vac. Soc. Jpn.

      巻: Vol. 57 ページ: 140-143

    • NAID

      130004952508

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560428
  • [雑誌論文] 静電吸着によるシリコン表面上の微粒子除去における微粒子サイズの影響2014

    • 著者名/発表者名
      高橋主人
    • 雑誌名

      真空

      巻: 57 ページ: 140-143

    • NAID

      130004952508

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560428
  • [雑誌論文] 静電吸着によるシリコン表面上の微粒子除去2013

    • 著者名/発表者名
      高橋主人
    • 雑誌名

      真空

      巻: 56巻5号

    • NAID

      10031184203

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560428
  • [雑誌論文] 静電吸着によるシリコン表面上の微粒子除去2013

    • 著者名/発表者名
      高橋主人
    • 雑誌名

      J. Vac. Soc. Jpn.

      巻: Vol. 56 ページ: 273-276

    • NAID

      10031184203

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560428
  • [学会発表] フィルムによるシリコン表面に付着した微粒子の除去に及ぼす押し付け力の影響2016

    • 著者名/発表者名
      高橋主人
    • 学会等名
      粉体工学会,第54回粉体に関する研究討論会
    • 発表場所
      登別温泉
    • 年月日
      2016-09-12
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26420329
  • [学会発表] 高速気流により分散した微粒子の平板試料への付着特性2016

    • 著者名/発表者名
      高橋主人
    • 学会等名
      粉体工学会,第54回粉体に関する研究討論会
    • 発表場所
      登別温泉
    • 年月日
      2016-09-12
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26420329
  • [学会発表] 家庭用真空パック器をいたシリコン表面付着微粒子の除去2016

    • 著者名/発表者名
      高橋主人
    • 学会等名
      日本真空学会,第57回真空に関す る連合講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場
    • 年月日
      2016-11-29
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26420329
  • [学会発表] 大気圧を利用した表面付着微粒子の除去2015

    • 著者名/発表者名
      高橋主人
    • 学会等名
      日本真空学会
    • 発表場所
      つくば国際会議場
    • 年月日
      2015-12-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26420329
  • [学会発表] 静電吸着によるシリコン表面上の微粒子除去における微粒子サイズの影響2013

    • 著者名/発表者名
      高橋主人
    • 学会等名
      第54回真空に関する連合後援会、日本真空学会主催
    • 発表場所
      つくば国際会議場
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560428
  • [学会発表] 軟質塩化ビニルシートと金属との付着力に及ぼす押付力の影響2013

    • 著者名/発表者名
      高橋主人
    • 学会等名
      第54回真空に関する連合講演会
    • 発表場所
      つくば国際会議場
    • 年月日
      2013-11-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560428
  • [学会発表] 静電吸着によるシリコン表面上の微粒子除去における微粒子サイズの影響2013

    • 著者名/発表者名
      高橋主人
    • 学会等名
      第54回真空に関する連合講演会
    • 発表場所
      つくば国際会議場
    • 年月日
      2013-11-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560428
  • [学会発表] 軟質塩化ビニルシートと金属との付着力に及ぼす押付力の影響2013

    • 著者名/発表者名
      高橋主人
    • 学会等名
      第54回真空に関する連合後援会、日本真空学会主催
    • 発表場所
      つくば国際会議場
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560428
  • [学会発表] 静電吸着によるシリコン表面上の微粒子除去2012

    • 著者名/発表者名
      高橋主人
    • 学会等名
      第53回真空に関する連合講演会
    • 発表場所
      甲南大学
    • 年月日
      2012-11-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560428
  • [学会発表] 静電吸着によるシリコン表面上の微粒子除去2012

    • 著者名/発表者名
      高橋主人
    • 学会等名
      真空に関する連合講演会
    • 発表場所
      甲南大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560428
  • 1.  中村 翼 (10390501)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  古瀬 宗雄 (50633228)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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