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福田 明  Fukuda Akira

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 80643220
その他のID
所属 (現在) 2025年度: 徳山工業高等専門学校, 機械電気工学科, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2021年度 – 2022年度: 徳山工業高等専門学校, 機械電気工学科, 教授
2015年度 – 2020年度: 徳山工業高等専門学校, 機械電気工学科, 准教授
審査区分/研究分野
研究代表者
小区分18020:加工学および生産工学関連 / 生産工学・加工学
キーワード
研究代表者
研磨パッド / スラリー流れ / 化学的機械研磨 / 研磨能率 / 研磨 / 摩耗 / 下降流 / 上昇流 / 相関 / 研磨速度 … もっと見る / 流れの相似則 / 研磨レート / 循環流れ / ミクロスケール / 可視化 隠す
  • 研究課題

    (2件)
  • 研究成果

    (7件)
  • 共同研究者

    (1人)
  •  ミクロなスラリー循環流れの制御および好適化による研磨能率の向上研究代表者

    • 研究代表者
      福田 明
    • 研究期間 (年度)
      2018 – 2022
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 審査区分
      小区分18020:加工学および生産工学関連
    • 研究機関
      徳山工業高等専門学校
  •  ミクロスケール・スラリー流れ可視化観察による研磨メカニズムの解明研究代表者

    • 研究代表者
      福田 明
    • 研究期間 (年度)
      2015 – 2017
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      徳山工業高等専門学校

すべて 2023 2021 2019 2018 2017 2016

すべて 雑誌論文 学会発表

  • [雑誌論文] CMPにおけるミクロなスラリー循環流れと研磨レートとの関係2023

    • 著者名/発表者名
      福田 明
    • 雑誌名

      砥粒加工学会誌

      巻: 67 ページ: 79-82

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K03893
  • [雑誌論文] 研磨パッド・アスペリティ内のミクロなスラリー循環流れ2018

    • 著者名/発表者名
      福田 明
    • 雑誌名

      精密工学会誌

      巻: 84 号: 2 ページ: 182-187

    • DOI

      10.2493/jjspe.84.182

    • NAID

      130006337597

    • ISSN
      0912-0289, 1882-675X
    • 言語
      日本語
    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K05743
  • [雑誌論文] 研磨パッド・アスペリティ内スラリー流れの可視化方法の検討2017

    • 著者名/発表者名
      福田 明,御手洗 真人
    • 雑誌名

      精密工学会誌

      巻: 83 号: 2 ページ: 173-179

    • DOI

      10.2493/jjspe.83.173

    • NAID

      130005313314

    • ISSN
      0912-0289, 1882-675X
    • 言語
      日本語
    • 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K05743
  • [学会発表] ガラス研磨における研磨レートとスラリー流れの関係2021

    • 著者名/発表者名
      南桑 辰徳, 山本 颯真, 金盛 智志, 福田 明
    • 学会等名
      2021年度精密工学会秋季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K03893
  • [学会発表] ウェーハ・研磨パッド間アスペリティ領域におけるスラリー流れの可視化(第2報)ミクロな循環流れの存在について2019

    • 著者名/発表者名
      福田 明
    • 学会等名
      精密工学会 プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会 第177回研究会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K03893
  • [学会発表] CMPにおけるウェーハ・研磨パッド間スラリー流れの可視化(第3報)ウェーハ・研磨パッド間凹凸領域における循環流れの存在について2017

    • 著者名/発表者名
      福田 明,秀毛春也,山縣 翔,渡辺健介
    • 学会等名
      2017年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      慶應義塾大学 矢上キャンパス(横浜市)
    • 年月日
      2017-03-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K05743
  • [学会発表] CMPにおけるウェーハ・研磨パッド間スラリー流れの可視化(第2報)パッド摩耗の影響の可視化に関する試み2016

    • 著者名/発表者名
      福田 明,石田 士,潮田拓海
    • 学会等名
      2016年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京理科大学 野田キャンパス(千葉県野田市)
    • 年月日
      2016-03-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K05743
  • 1.  鈴木 恵友 (50585156)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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