岡部貴雄 Okabe Takao

研究者番号	80649400
その他のID
所属 (現在)	2025年度: 東京大学, 生産技術研究所, 特任助教
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2022年度 – 2025年度: 東京大学, 生産技術研究所, 特任助教 2021年度: 東京理科大学, 先進工学部電子システム工学科, 助教
審査区分/研究分野	研究代表者小区分18040:機械要素およびトライボロジー関連研究代表者以外小区分18040:機械要素およびトライボロジー関連 / 小区分19020:熱工学関連
キーワード	研究代表者流体軸受 / イオン液体 / 蛍光観察 / 高真空 / アウトガス / 冷却 / 半導体製造装置 / 超高真空研究代表者以外低温 / 真空 … もっと見る / イオン液体 / 流体軸受 / 電極 / 燃料電池隠す

半導体露光用高真空対応イオン液体軸受の低温特性の解明
- 研究代表者
  
  杣谷啓
- 研究期間 (年度)
  2025 – 2027
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分18040:機械要素およびトライボロジー関連
- 研究機関
  大同大学
超高真空下における流体軸受内部のイオン液体挙動の解明研究代表者
- 研究代表者
  
  岡部貴雄
- 研究期間 (年度)
  2024 – 2026
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分18040:機械要素およびトライボロジー関連
- 研究機関
  東京大学
固体酸化物形セル燃料極実運転環境下のin-operando観察
- 研究代表者
  
  鹿園直毅
- 研究期間 (年度)
  2021 – 2023
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分19020:熱工学関連
- 研究機関
  東京大学
イオン液体を用いた超高真空対応流体潤滑軸受のアウトガス発生メカニズムの解明研究代表者
- 研究代表者
  
  岡部貴雄
- 研究期間 (年度)
  2021 – 2024
- 研究種目
  
  若手研究
- 審査区分
  
  小区分18040:機械要素およびトライボロジー関連
- 研究機関
  東京大学
   東京理科大学

すべて 2023 2022 2021

すべて雑誌論文学会発表産業財産権

[雑誌論文] Direct synthesis of fluoropolymer particles in ionic liquids via the photopolymerization of solid lubricants2023
- 著者名/発表者名
  Kobayashi Yuma、Somaya Kei、Miyamoto Junji、Okabe Takao
- 雑誌名
  
  Tribology International
  
  巻: 188 ページ: 108731-108731
- DOI
  10.1016/j.triboint.2023.108731
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14068
[雑誌論文] Development of a Hydrostatic Bearing in High Vacuum Using an Ionic Liquid for a Semiconductor Fabrication Device2023
- 著者名/発表者名
  Takao Okabe, Kei Somaya
- 雑誌名
  
  Advances in Science and Technology
  
  巻: 139 ページ: 33-40
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14068
[雑誌論文] Development of ionic liquid circulation system in high-vacuum chamber for semiconductor device fabrication2023
- 著者名/発表者名
  Okabe Takao、Somaya Kei
- 雑誌名
  
  Vacuum
  
  巻: 207 ページ: 111562-111562
- DOI
  10.1016/j.vacuum.2022.111562
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14068
[雑誌論文] Development of a Hydrostatic Bearing in High Vacuum Using an Ionic Liquid for a Semiconductor Fabrication Device2023
- 著者名/発表者名
  Takao Okabe, Kei Somaya
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials
  
  巻: Special issue of IC3MT2023
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14068
[産業財産権] 基板処理装置及び基板保持方法2023
- 発明者名
  岡部貴雄　他
- 権利者名
  岡部貴雄　他
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2023-078693
- 出願年月日
  2023
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14068
[産業財産権] 成膜方法及び成膜装置2023
- 発明者名
  岡部貴雄　他
- 権利者名
  岡部貴雄　他
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2023-078598
- 出願年月日
  2023
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14068
[産業財産権] 潤滑剤の製造方法および潤滑剤2022
- 発明者名
  杣谷啓，小林優馬，岡部貴雄
- 権利者名
  杣谷啓，小林優馬，岡部貴雄
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2022-152419
- 出願年月日
  2022
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14068
[産業財産権] 液体循環システム、基板処理装置及び液体循環方法2021
- 発明者名
  岡部貴雄
- 権利者名
  岡部貴雄
- 産業財産権種類
  特許
- 出願年月日
  2021
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14068
[学会発表] Modeling and prediction of Ni dynamic morphology change in patterned Ni/YSZ electrode2023
- 著者名/発表者名
  Tao, J., Sciazko, A., Onishi, J., Ouyang, Z., Komatsu, Y., Yao, G., Okabe, T. and Shikazono, N.
- 学会等名
  第32回SOFC研究発表会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H01258
[学会発表] Lubrication Properties of Ionic Liquid with Polymer Particles Dispersing2022
- 著者名/発表者名
  Yuma Kobayashi, Kei Somaya, Takao Okabe
- 学会等名
  7th World Tribology Congress (WTC 2022)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14068
[学会発表] Semiconductor Wafer Floating System for High Vacuum Chamber Using an Ionic Liquid2022
- 著者名/発表者名
  Okabe Takao
- 学会等名
  The 7th World Tribology Congress (WTC2022)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14068
[学会発表] イオン液体を用いた非接触単極モータを搭載した真空対応スピンドルの開発2022
- 著者名/発表者名
  杣谷啓, 小林優馬, 岡部貴雄
- 学会等名
  日本設計工学会 2022年度秋季大会研究発表講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14068
[学会発表] Development of an ionic liquid circulation system in a high-vacuum chamber2022
- 著者名/発表者名
  Takao Okabe, Kei Somaya
- 学会等名
  2022 International Conference on Machining, Materials and Mechanical Technologies (IC3MT2022)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14068
[学会発表] 高真空対応の流体潤滑機構（イオン液体を用いた半導体製造装置用高真空対応流体軸受機構）2022
- 著者名/発表者名
  岡部貴雄, 杣谷啓
- 学会等名
  日本設計工学会 2022年度秋季大会研究発表講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14068
[学会発表] Development of an ionic liquid circulation system in a high-vacuum chamber2022
- 著者名/発表者名
  Okabe Takao
- 学会等名
  International Conference on Machining, Materials and Mechanical Technologies 2022 (IC3MT 2022)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14068
[学会発表] Semiconductor Wafer Floating System for High Vacuum Chamber Using an Ionic Liquid2022
- 著者名/発表者名
  Takao Okabe, Kei Somaya
- 学会等名
  7th World Tribology Congress (WTC 2022)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14068
[学会発表] Lubrication Properties of Ionic Liquid with SUS304 Particle Dispersing by Plasma Sputtering Deposition2022
- 著者名/発表者名
  Kei Somaya, Junji Miyamoto, Yuma Kobayashi, Takao Okabe
- 学会等名
  7th World Tribology Congress (WTC 2022)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14068
[学会発表] イオン液体を用いた高真空用流体潤滑軸受機構2021
- 著者名/発表者名
  岡部貴雄
- 学会等名
  日本機械学会機素潤滑設計部門講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14068

1. 鹿園直毅 (30345087)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 1件
2. 谷口淳 (40318225)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
3. 杣谷啓 (70581429)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
4. 宮本潤示 (50713046)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

岡部 貴雄 Okabe Takao

研究課題

研究成果

共同研究者

半導体露光用高真空対応イオン液体軸受の低温特性の解明

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

超高真空下における流体軸受内部のイオン液体挙動の解明研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

固体酸化物形セル燃料極実運転環境下のin-operando観察

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

イオン液体を用いた超高真空対応流体潤滑軸受のアウトガス発生メカニズムの解明研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

[雑誌論文] Direct synthesis of fluoropolymer particles in ionic liquids via the photopolymerization of solid lubricants2023

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Development of a Hydrostatic Bearing in High Vacuum Using an Ionic Liquid for a Semiconductor Fabrication Device2023

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Development of ionic liquid circulation system in high-vacuum chamber for semiconductor device fabrication2023

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Development of a Hydrostatic Bearing in High Vacuum Using an Ionic Liquid for a Semiconductor Fabrication Device2023

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[産業財産権] 基板処理装置及び基板保持方法2023

発明者名

権利者名

産業財産権種類

産業財産権番号

出願年月日

データソース

[産業財産権] 成膜方法及び成膜装置2023

発明者名

権利者名

産業財産権種類

産業財産権番号

出願年月日

データソース

[産業財産権] 潤滑剤の製造方法および潤滑剤2022

発明者名

権利者名

産業財産権種類

産業財産権番号

出願年月日

データソース

[産業財産権] 液体循環システム、基板処理装置及び液体循環方法2021

発明者名

権利者名

産業財産権種類

出願年月日

データソース

[学会発表] Modeling and prediction of Ni dynamic morphology change in patterned Ni/YSZ electrode2023

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] Lubrication Properties of Ionic Liquid with Polymer Particles Dispersing2022

著者名/発表者名

学会等名

岡部貴雄 Okabe Takao