鈴木陽香 SUZUKI Haruka

研究者番号	80779356
その他のID
所属 (現在)	2022年度: 名古屋大学, 工学研究科, 講師
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2022年度: 名古屋大学, 工学研究科, 講師 2016年度 – 2021年度: 名古屋大学, 工学研究科, 助教
審査区分/研究分野	研究代表者小区分14030:プラズマ応用科学関連 / プラズマエレクトロニクス研究代表者以外プラズマエレクトロニクス / 小区分14030:プラズマ応用科学関連
キーワード	研究代表者大気圧プラズマ / 大気圧マイクロ波プラズマ / 水蒸気プラズマ / 大気遮蔽 / アッシング / マイクロ波 / マイクロ波放電 / マイクロ波プラズマ / 表面プロセス / 電子温度 … もっと見る / パルスプラズマ / 誘導結合型プラズマ / プロセスプラズマ / プラズマ電位 … もっと見る研究代表者以外マイクロ波プラズマ / 大気圧プラズマ / プラズマ加工 / プラズマCVD / 廃棄物処理 / 弱減圧プラズマ隠す

気体流および液体流を用いた弱減圧マイクロ波プラズマ生成と応用
- 研究代表者
  
  豊田浩孝
- 研究期間 (年度)
  2022 – 2024
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分14030:プラズマ応用科学関連
- 研究機関
  名古屋大学
高周波プロセスプラズマにおいて真空容器壁面の状態がプラズマに与える影響の評価研究代表者
- 研究代表者
  
  鈴木陽香
- 研究期間 (年度)
  2021 – 2022
- 研究種目
  
  若手研究
- 審査区分
  
  小区分14030:プラズマ応用科学関連
- 研究機関
  名古屋大学
ラジカル生成促進のための大気圧マイクロ波プラズマの電子温度制御技術の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  鈴木陽香
- 研究期間 (年度)
  2018 – 2020
- 研究種目
  
  若手研究
- 審査区分
  
  小区分14030:プラズマ応用科学関連
- 研究機関
  名古屋大学
大気圧マイクロ波水蒸気プラズマによる高密度かつ高純度活性種の生成と応用研究代表者
- 研究代表者
  
  鈴木陽香
- 研究期間 (年度)
  2016 – 2017
- 研究種目
  
  研究活動スタート支援
- 研究分野
  
  プラズマエレクトロニクス
- 研究機関
  名古屋大学
分子ガスを用いた大気圧長尺マイクロ波プラズマによる幅広ラジカル生成とその応用展開
- 研究代表者
  
  豊田浩孝
- 研究期間 (年度)
  2016 – 2018
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  プラズマエレクトロニクス
- 研究機関
  名古屋大学

すべて 2021 2020 2019 2018 2017 2016

すべて雑誌論文学会発表

[雑誌論文] Spatial Uniformity Evaluation of Atmospheric-Pressure Microwave Line Plasma for Wide-Area Surface Treatment2021
- 著者名/発表者名
  Haruka Suzuki, Hirotsugu Koma, Tomohiro Ogasawara, Yosuke Koike, Hirotaka Toyoda
- 雑誌名
  
  Plasma and Fusion Research
  
  巻: 16 号: 0 ページ: 1406046-1406046
- DOI
  10.1585/pfr.16.1406046
- NAID
  130008033373
- ISSN
  1880-6821
- 言語
  英語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K13531
[雑誌論文] 大気圧マイクロ波放電による高密度長尺ラインプラズマ2019
- 著者名/発表者名
  豊田浩孝、鈴木陽香
- 雑誌名
  
  応用物理
  
  巻: Vol.88No.2 ページ: 101-104
- NAID
  130007709464
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[雑誌論文] Production of atmospheric pressure microwave plasma with dielectric half-mirror resonator and its application to polymer surface treatment2018
- 著者名/発表者名
  Kensuke Sasai, Kazuki Keyamura, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: Vol.57No.6
- NAID
  210000149131
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[雑誌論文] Atmospheric pressure water-vapor plasma in an air-shielded environment by water flow2018
- 著者名/発表者名
  Hikaru Senba, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: Vol.58No.SA
- NAID
  210000135214
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[雑誌論文] An approach to line-shaped nitrogen plasma production at atmospheric pressure by slot-excited microwave discharge2017
- 著者名/発表者名
  Haruka Suzuki1and Hirotaka Toyoda
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 56 号: 2 ページ: 026201-026201
- DOI
  10.7567/jjap.56.026201
- NAID
  210000148431
- ISSN
  0021-4922, 1347-4065
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] Ashing Treatment of Polyimide Film by Atmospheric-pressure Microwave Line Plasma with Ar/O22021
- 著者名/発表者名
  Haruka Suzuki, Tomohiro Ogasawara, Yuki Iwata, Hirotaka Toyoda
- 学会等名
  ISPlasma2021/IC-PLANTS2021
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K13531
[学会発表] パルスマイクロ波励起大気圧酸素添加アルゴンプラズマによる広幅アッシング処理2021
- 著者名/発表者名
  小笠原知裕, 岩田悠揮, 鈴木陽香, 豊田浩孝
- 学会等名
  第68回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K13531
[学会発表] Heat flux evaluation of the atmospheric pressure microwave line plasma from spatio-temporal temperature measurement of the slot-plate2020
- 著者名/発表者名
  Manh Hung Chu, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
- 学会等名
  第67回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K13531
[学会発表] Film Surface Treatment with O2/Ar Line Plasma under Atmospheric Pressure2020
- 著者名/発表者名
  Haruka Suzuki, Hirotsugu Koma, Tomohiro Ogasawara, Manh Hung Chu, Hirotaka Toyoda
- 学会等名
  The 73rd Annual Gaseous Electronics Conference
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K13531
[学会発表] Temperature measurement of slot-plate in an atmospheric-pressure microwave linear plasma2020
- 著者名/発表者名
  Manh Hung Chu, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
- 学会等名
  ISPlasma/IC-PLANTS2020
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K13531
[学会発表] 大気圧長尺マイクロ波ラインプラズマによる表面親水化処理2020
- 著者名/発表者名
  小笠原知裕, 小間浩嗣, 鈴木陽香, 本田剛, 豊田浩孝
- 学会等名
  令和2年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K13531
[学会発表] 大気圧マイクロ波プラズマの大面積かつ高速表面処理への応用2020
- 著者名/発表者名
  鈴木陽香, 小笠原知裕, Chu Manh Hung, 岩田悠揮, 豊田浩孝
- 学会等名
  プラズマ・核融合学会　第37回年会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K13531
[学会発表] メートル級長尺スロット型プラズマ源における大気圧マイクロ波プラズマの顕微計測2019
- 著者名/発表者名
  小間　浩嗣、小池　洋右、鈴木　陽香、豊田　浩孝、
- 学会等名
  SPP-36/SPMS-32、第36回プラズマプロセシング研究会と第31回プラズマ材料科学シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] シミュレーションを援用した大気圧マイクロ波プラズマ源の非対称断面導波管内電磁界分布の解析2019
- 著者名/発表者名
  Chu Manh Hung, 鈴木陽香, 豊田浩孝
- 学会等名
  第36回プラズマプロセシング研究会と第31回プラズマ材料科学シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K13531
[学会発表] シミュレーションを援用した大気圧マイクロ波プラズマ源の非対称断面導波管内電磁界分布の解析 A Systematic Analysis of Modified Waveguide Structure for Atmospheric-Pressure Microwave Plasma Source via Simulations2019
- 著者名/発表者名
  チュー　マン・フン、鈴木　陽香、豊田　浩孝
- 学会等名
  SPP-36/SPMS-32、第36回プラズマプロセシング研究会と第31回プラズマ材料科学シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] Time-resolved Measurement of Cross-Sectional Structure of a Narrow Gap Plasma Produced by an Atmospheric Pressure Microwave Discharge2019
- 著者名/発表者名
  Yoshiki Baba, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda
- 学会等名
  ISPlasma/IC-PLANTS2019,Nagoya Institute of Technology
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] Optimized waveguide structure for atmospheric pressure microwave plasma2019
- 著者名/発表者名
  Manh Hung Chu,Haruka Suzuki ,Hirotaka Toyoda
- 学会等名
  ISPlasma/IC-PLANTS2019,Nagoya Institute of Technology
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] Large-area surface treatment using microwave plasma excited in meter-length slot with sub-millimeter gap2019
- 著者名/発表者名
  Haruka Suzuki, Hirotsugu Koma, Manh Hung Chu, Hansin Bae, Yoshiki Baba, Hirotaka Toyoda
- 学会等名
  The 10th of International Workshop on Microplasmas　（IWM-10）
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K13531
[学会発表] Microscopic Measurement of Long Microwave Plasma at Atmospheric Pressure2019
- 著者名/発表者名
  Hirotsugu Koma, Yosuke Koike, Haruka Suzuki,Hirotaka Toyoda
- 学会等名
  ISPlasma/IC-PLANTS2019,Nagoya Institute of Technolog
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] Oxygen Radical Measurement of Atmospheric Pressure Microwavw Line Plasma by Vacuum Uｌtraviolet Absorption Spectroscop2019
- 著者名/発表者名
  Hansin Bae, Koike Yosuke, Hirotsugu Koma, Haruka Suzuki Hirotaka Toyoda
- 学会等名
  第66回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] スロット型大気圧マイクロ波プラズマの時空間分解計測2019
- 著者名/発表者名
  馬場賀己，鈴木陽香，豊田浩孝
- 学会等名
  第66回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] Time-resolved microscopic measurement of cross-sectional structure of slot excited atmospheric pressure microwave plasma スロット励起大気圧マイクロ波プラズマの断面構造の時分解顕微観測2019
- 著者名/発表者名
  Yoshiki Baba, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda 馬場賀己, 鈴木陽香, 豊田浩孝
- 学会等名
  SPP-36/SPMS-32、第36回プラズマプロセシング研究会と第31回プラズマ材料科学シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] Time-resolved Measurement of Pulsed-microwave Excited Atmospheric-pressure Long-scale Slot Plasma2019
- 著者名/発表者名
  チューマンフン，鈴木陽香，豊田浩孝
- 学会等名
  第80回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K13531
[学会発表] Oxygen radical measurement of atmospheric pressure microwave plasma employing vacuum ultraviolet absorption spectroscopy2019
- 著者名/発表者名
  Hansin Bae, Koike Yosuke, Hirotsugu Koma, Haruka Suzuki Hirotaka Toyoda
- 学会等名
  ISPlasma/IC-PLANTS2019,Nagoya Institute of Technology
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] Optimized waveguide structure for atmospheric pressure microwave plasma2019
- 著者名/発表者名
  Manh Hung Chu, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda
- 学会等名
  11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/12th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K13531
[学会発表] 大気圧長尺マイクロ波プラズマによる大面積高速表面処理2019
- 著者名/発表者名
  小間浩嗣，杉山敦士，鈴木陽香，本田剛，豊田浩
- 学会等名
  第66回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] メートル級長尺大気圧マイクロ波プラズマの顕微計測2018
- 著者名/発表者名
  鈴木陽香、小池洋右、小間浩嗣、馬場賀己、豊田浩孝
- 学会等名
  応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] Optimal design of atmospheric-pressure plasma source for industrial application2018
- 著者名/発表者名
  Haruka Suzuki
- 学会等名
  The 40th International Symposium on Dry Process
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] Long-scale atmospheric-pressure microwave plasma -production mechanism and its application-2018
- 著者名/発表者名
  H. Toyoda, H. Suzuki Y. Koike, H. Koma, Y. Baba, J.H. Qiu, M.H. Chu, A. Sugiyama
- 学会等名
  JAPAN-RUB Workshop on Plasma Science
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] Water-vapor Atmospheric Pressure Microwave Plasma in an Air-Shielded Environment by Water Flow2018
- 著者名/発表者名
  Haruka Suzuki, Hikaru Senba, Hirotaka Toyoda
- 学会等名
  ISPlasma2018/IC-PLANTS2018
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06859
[学会発表] スロット励起大気圧マイクロ波プラズマにおけるスロット断面構造の顕微観測2018
- 著者名/発表者名
  馬場賀己,　鈴木陽香,豊田浩孝
- 学会等名
  平成30年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会講演論文集
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] スロット励起マイクロ波プラズマを用いた水蒸気プラズマ処理プロセス/Water Vapor Plasma Treatment Process using Slot-Excited Microwave Plasma2018
- 著者名/発表者名
  鈴木陽香、豊田浩孝
- 学会等名
  第28回日本MRS年次大会, 28th Annual Meeting of MRS-Japan 2018
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] 大気圧長尺マイクロ波プラズマにおける電力吸収の空間分布2018
- 著者名/発表者名
  小池洋右，田村宥人，鈴木陽香，豊田浩孝
- 学会等名
  第65回応用物理学会春季学術講演会講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] 大面積かつ高速表面処理のための大気圧プラズマ装置開発2018
- 著者名/発表者名
  鈴木　陽香
- 学会等名
  最先端プラズマプロセス：未来への挑戦ー産官学連携による新たなイノベーションー
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] 大気圧下でのメートル級マイクロ波プラズマの生成と応用2018
- 著者名/発表者名
  鈴木陽香、豊田浩孝
- 学会等名
  プラズマ核融合学会第35回年会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] Scaling of Microwave Absorption in Atmospheric Pressure Microwave Line Plasma2018
- 著者名/発表者名
  Ivan Ganachev, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda
- 学会等名
  The Eighteenth Biennial IEEE Conference on Electromagnetic Field Computation (CEFC2018)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] Ring-shaped microwave plasma production in liquid flow environment for nanoparticle synthesis2018
- 著者名/発表者名
  S. Fujimura, S. Yang, K. Sasai, H. Suzuki and H. Toyoda
- 学会等名
  The 40th International Symposium on Dry Process
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] 新規大気圧マイクロ波プラズマ源の開発と応用2018
- 著者名/発表者名
  鈴木陽香
- 学会等名
  高機能トライボ表面プロセス部会第12回例会「トライボロジーと表面技術」
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] 大気圧マイクロ波ラインプラズマにおける酸素原子の紫外吸収分光計測2018
- 著者名/発表者名
  BAE Hansin，小池洋右，小間浩嗣，鈴木陽香，豊田浩孝
- 学会等名
  プラズマ核融合学会第35回年会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] 大気圧下でのメートル級マイクロ波プラズマの生成と応用2018
- 著者名/発表者名
  鈴木陽香、豊田浩孝
- 学会等名
  第35回プラズマ・核融合学会年会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K13531
[学会発表] Observation of cross sectional plasma structure in a gap of an atmospheric pressure microwave discharge2018
- 著者名/発表者名
  Hirotaka Toyoda Yoshiki Baba Haruka Suzuki
- 学会等名
  71st Annual Gaseous Electronics Conference
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] Power Absorption Mechanism of Atmospheric-Pressure Microwave Line Plasma2018
- 著者名/発表者名
  Haruka Suzuki, Yosuke Koike, Yuto Tamura, Yoshiki Baba and Hirotaka Toyoda
- 学会等名
  ISPlasma2018 / IC-PLANTS2018
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] High speed photoresist removal using slot-excited atmospheric-pressure microwave O2/CF4 plasma2018
- 著者名/発表者名
  Shota Ishikaw, Haruka Suzuki, Tsuyoshi Honda and Hirotaka Toyoda
- 学会等名
  The 40th International Symposium on Dry Process
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] 大気圧メートル級長尺マイクロ波ラインプラズマの顕微計測2018
- 著者名/発表者名
  小間　浩嗣、小池　洋右、鈴木　陽香、豊田　浩孝
- 学会等名
  平成30年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会講演論文集
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] 電磁界シミュレーションを用いた大気圧長尺マイクロ波プラズマにおける定在波抑制2018
- 著者名/発表者名
  小池洋右、小間浩嗣、鈴木陽香、豊田浩孝
- 学会等名
  応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] Space-Resolved Measurement of Microwave Power along Waveguide in Atmospheric Pressure Microwave Line Plasma2018
- 著者名/発表者名
  Yosuke Koike, Haruka Suzuki, Yuto Tamura, Yoshiki Baba and Hirotaka Toyoda
- 学会等名
  ISPlasma2018 / IC-PLANTS2018
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] 改良導波管および連続発振マイクロ波電力によるメートル級長尺大気圧ラインプラズマの効率的生成2017
- 著者名/発表者名
  鈴木陽香，田村宥人，猪俣弥雄起, 伊藤仁，関根誠，堀勝，豊田浩孝
- 学会等名
  第34回プラズマプロセシング研究会／第29回プラズマ材料科学シンポジウム
- 発表場所
  北海道大学（北海道・札幌市）
- 年月日
  2017-01-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] 水流により遮蔽された空間での大気圧プラズマジェット生成2017
- 著者名/発表者名
  仙波輝 , 小池洋右 , 鈴木陽香 , 豊田浩孝
- 学会等名
  第64回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  パシフィコ横浜, 横浜, 日本
- 年月日
  2017-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06859
[学会発表] Long-scale N2 line plasma production under atmospheric pressure2017
- 著者名/発表者名
  Haruka Suzuki, Yuto Tamura, Yaoki Inomata, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori, and Hirotaka Toyoda
- 学会等名
  9th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/10th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
- 発表場所
  中部大学（愛知県・春日井市）
- 年月日
  2017-03-02
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] 大気圧マイクロ波プラズマCVDによるSiO2膜形成及び膜評価2017
- 著者名/発表者名
  石川翔太、鈴木陽香、豊田浩孝
- 学会等名
  Plasma Conference 2017
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] 長尺ラインプラズマ生成のための改良型導波管の電磁界シミュレーション2017
- 著者名/発表者名
  田村宥人，鈴木陽香，猪俣弥雄起, 伊藤仁，関根誠，堀勝，豊田浩孝
- 学会等名
  第34回プラズマプロセシング研究会／第29回プラズマ材料科学シンポジウム
- 発表場所
  北海道大学（北海道・札幌市）
- 年月日
  2017-01-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] Power Absorption Mechanism of Atmospheric Microwave Line Plasma2017
- 著者名/発表者名
  H. Suzuki, Y. Koike, Y. Tamura, Y. Baba, and H. Toyoda
- 学会等名
  DPS2017
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] 高速表面処理に向けた新しい大気圧プラズマ源の開発2017
- 著者名/発表者名
  鈴木陽香
- 学会等名
  プラズマ材料科学153委員会 30周年記念講演会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] Improvement of SiO2 film properties synthesized by plasma-enhanced chemical vapor deposition using slot-type microwave plasma with O 2/TEOS2017
- 著者名/発表者名
  S. Ishikawa , M. Yamamoto, H. Suzuki, and H. Toyoda
- 学会等名
  IUMRS-ICAM 2017
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] Microwave plasma production inside the micro-gap with metergap with meter -scale length2017
- 著者名/発表者名
  H. Suzuki and H. Toyoda
- 学会等名
  IWM 2017
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] マイクロ波励起長尺大気圧プラズマにおけるプラズマ維持機構の検討2017
- 著者名/発表者名
  田村宥人，猪俣弥雄起 , 鈴木陽香 , 豊田浩孝
- 学会等名
  第64回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  パシフィコ横浜（神奈川県・横浜市）
- 年月日
  2017-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] スロット励起大気圧マイクロ波プラズの電力消費に関する電磁界シミュレーョン2017
- 著者名/発表者名
  鈴木陽香，小池洋右 , 田村宥人 , 馬場賀己 , 豊田浩孝
- 学会等名
  第78回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] 水流により遮蔽された空間での大気圧プラズマジェット生成2017
- 著者名/発表者名
  仙波輝 , 小池洋右 , 鈴木陽香 , 豊田浩孝
- 学会等名
  第64回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  パシフィコ横浜（神奈川県・横浜市）
- 年月日
  2017-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] Shielding of plasma jets from ambient air by water flow certain2017
- 著者名/発表者名
  Hikaru Senba, Yosuke Koike, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda
- 学会等名
  9th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/10th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
- 発表場所
  CHUBU UNIVERSITY, Aichi, Japan
- 年月日
  2017-03-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06859
[学会発表] Meter -scale microwave plasma production with various discharge gases for large-area surface treatment under atmospheric pressure2017
- 著者名/発表者名
  H. Suzuki, Y. Tamura, Y. Inomata, and H. Toyoda
- 学会等名
  IUMRS-ICAM 2017
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] インラインマイクロ波プラズマ処理の高流速化による有機物分解効率の向上2017
- 著者名/発表者名
  堤和紀，滝藤奨，藤村昇平, 伊藤美智子，高島成剛，鈴木陽香，豊田浩孝
- 学会等名
  第34回プラズマプロセシング研究会／第29回プラズマ材料科学シンポジウム（合同会議）
- 発表場所
  北海道大学, 札幌, 日本
- 年月日
  2017-01-16
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06859
[学会発表] 電磁界シミュレーションを用いた大気圧マイクロ波ラインプラズマの均一性向上の検討2017
- 著者名/発表者名
  小池洋右、田村宥人、鈴木陽香、豊田浩孝
- 学会等名
  Plasma Conference 2017
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] Film quality improvement in slot-type microwave plasma CVD of SiO22017
- 著者名/発表者名
  Masaki Yamamoto, Shota Ishikawa, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda
- 学会等名
  9th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/10th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
- 発表場所
  中部大学（愛知県・春日井市）
- 年月日
  2017-03-04
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] Development of atmospheric pressure microwave plasma source for large-area surface treatment2017
- 著者名/発表者名
  H. Suzuki and H. Toyoda
- 学会等名
  The 22th KJ workshop
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] 水流遮蔽水蒸気マイクロ波プラズマの生成とその応用2017
- 著者名/発表者名
  鈴木陽香, 仙波輝, 豊田浩孝
- 学会等名
  Plasma Conference 2017
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06859
[学会発表] 大気圧マイクロ波ラインプラズマにおける電力吸収機構2017
- 著者名/発表者名
  田村宥人，小池洋右 , 鈴木陽香 , 豊田浩孝
- 学会等名
  第78回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] マイクロ波励起メートル級大気圧プラズマの生成とその特性2017
- 著者名/発表者名
  鈴木陽香，田村宥人，猪俣弥雄起，関根誠，堀勝，豊田浩孝
- 学会等名
  第64回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  パシフィコ横浜（神奈川県・横浜市）
- 年月日
  2017-03-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] 高速表面処理に向けた新しい大気圧プラズマ源の開発2017
- 著者名/発表者名
  鈴木陽香
- 学会等名
  プラズマ材料科学第153委員会 30周年記念講演会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06859
[学会発表] Power absorption of atmospheric-pressure microwave-line-plasma2017
- 著者名/発表者名
  HIROTAKA TOYODA, HARUKA SUZUKI, YUTO TAMURA, YOSUKE KOIKE, YOSHIKI BABA
- 学会等名
  GEC2017
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] スロット励起大気圧マイクロ波プラズマCVDによるSiO2薄膜形成2017
- 著者名/発表者名
  石川翔太，鈴木陽香，豊田浩孝
- 学会等名
  平成29年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] マイクロ波インライン液体処理における反応領域の空間分布計測2017
- 著者名/発表者名
  堤和紀，滝藤奨，藤村昇平, 鈴木陽香，豊田浩孝
- 学会等名
  第64回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  パシフィコ横浜, 横浜, 日本
- 年月日
  2017-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06859
[学会発表] スロット励起大気圧マイクロ波プラズマにおける消費電力シミュレーション2017
- 著者名/発表者名
  小池洋右，田村宥人，馬場賀己，鈴木陽香，豊田浩孝
- 学会等名
  平成29年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] Optical measurement of meter-scale microwave line plasma under atmospheric pressure2017
- 著者名/発表者名
  H. Suzuki, Y. Tamura, Y. Inomata, and H. Toyoda
- 学会等名
  ICPIG 2017
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] 水流により遮蔽された空間での水蒸気マイクロ波プラズマ生成2017
- 著者名/発表者名
  仙波輝, 小池洋右, 鈴木陽香, 豊田浩孝
- 学会等名
  第78回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06859
[学会発表] Improvement of Liquid Treatment Efficiency using Microwave In-Line Plasma System with Narrow Flow Path2016
- 著者名/発表者名
  Haruka Suzuki, Sho Takitou, Hirotaka Toyoda
- 学会等名
  The 6th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology (ICMAP2016)
- 発表場所
  Dream Center, Gyeongju, Korea
- 年月日
  2016-09-26
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06859
[学会発表] 窒素ガスを用いたマイクロ波大気圧ラインプラズマの生成2016
- 著者名/発表者名
  田村宥人，鈴木陽香，伊藤仁，関根誠，堀勝，豊田浩孝
- 学会等名
  平成28年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
- 発表場所
  豊田工業高等専門学校
- 年月日
  2016-09-03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] High speed deposition of SiO2 lm by slot-type microwave CVD system2016
- 著者名/発表者名
  HIROTAKA TOYODA, MASAKI YAMAMOTO, HARUKA SUZUKI
- 学会等名
  69th Annual Gaseous Electronics Conference
- 発表場所
  Bochum (Germany)
- 年月日
  2016-10-12
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] High-speed -camera observation of plasma behavior in atmospheric-pressure microwave line plasma2016
- 著者名/発表者名
  H. Suzuki, H. Ito, M. Sekine, M. Hori, H. Toyoda
- 学会等名
  7th International Workshop on Plasma Spectroscopy
- 発表場所
  名鉄犬山ホテル（愛知県・犬山市）
- 年月日
  2016-06-27
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] 改良型導波管構造によるマイクロ波励起純窒素大気圧ラインプラズマの生成2016
- 著者名/発表者名
  鈴木陽香，田村宥人，伊藤仁，関根誠，堀勝，豊田浩孝
- 学会等名
  第77回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  朱鷺メッセ（新潟県・新潟市）
- 年月日
  2016-09-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] O2/TEOS スロット型マイクロ波プラズマCVD によるSiO2 膜形成2016
- 著者名/発表者名
  山本匡毅、鈴木陽香、豊田浩孝
- 学会等名
  第77回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  朱鷺メッセ（新潟県・新潟市）
- 年月日
  2016-09-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] 100% N2 atmospheric-pressure microwave-line-plasma production with a modi ed waveguide structure2016
- 著者名/発表者名
  HARUKA SUZUKI, YUTO TAMURA, HITOSHI ITOH, MAKOTO SEKINE, MASARU HORI, HIROTAKA TOYODA
- 学会等名
  69th Annual Gaseous Electronics Conference
- 発表場所
  Bochum (Germany)
- 年月日
  2016-10-12
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893
[学会発表] Plasma -enhanced chemical vapor deposition of SiO2 films by slot type microwave plasma with O2/TEOS2016
- 著者名/発表者名
  Haruka Suzuki, Masaki Yamamoto, and Hirotaka Toyoda
- 学会等名
  The 38th International Symposium on Dry Process
- 発表場所
  北海道大学（北海道・札幌市）
- 年月日
  2016-11-22
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03893

1. 豊田浩孝 (70207653)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 56件
2. 仙波輝

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 5件
3. 田村宥人

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 19件
4. 山本匡毅

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 5件
5. 猪俣弥雄起

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 7件
6. 小池洋右

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 19件
7. 馬場賀己

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 13件
8. 石川翔太

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 4件

鈴木 陽香 SUZUKI Haruka

研究課題

研究成果

共同研究者

気体流および液体流を用いた弱減圧マイクロ波プラズマ生成と応用

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

高周波プロセスプラズマにおいて真空容器壁面の状態がプラズマに与える影響の評価研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

ラジカル生成促進のための大気圧マイクロ波プラズマの電子温度制御技術の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

大気圧マイクロ波水蒸気プラズマによる高密度かつ高純度活性種の生成と応用研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

分子ガスを用いた大気圧長尺マイクロ波プラズマによる幅広ラジカル生成とその応用展開

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] Spatial Uniformity Evaluation of Atmospheric-Pressure Microwave Line Plasma for Wide-Area Surface Treatment2021

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

ISSN

言語

データソース

[雑誌論文] 大気圧マイクロ波放電による高密度長尺ラインプラズマ2019

著者名/発表者名

雑誌名

NAID

データソース

[雑誌論文] Production of atmospheric pressure microwave plasma with dielectric half-mirror resonator and its application to polymer surface treatment2018

著者名/発表者名

雑誌名

NAID

データソース

[雑誌論文] Atmospheric pressure water-vapor plasma in an air-shielded environment by water flow2018

著者名/発表者名

雑誌名

NAID

データソース

[雑誌論文] An approach to line-shaped nitrogen plasma production at atmospheric pressure by slot-excited microwave discharge2017

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

ISSN

データソース

[学会発表] Ashing Treatment of Polyimide Film by Atmospheric-pressure Microwave Line Plasma with Ar/O22021

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] パルスマイクロ波励起大気圧酸素添加アルゴンプラズマによる広幅アッシング処理2021

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] Heat flux evaluation of the atmospheric pressure microwave line plasma from spatio-temporal temperature measurement of the slot-plate2020

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] Film Surface Treatment with O2/Ar Line Plasma under Atmospheric Pressure2020

著者名/発表者名

学会等名

データソース

鈴木陽香 SUZUKI Haruka

[学会発表] メートル級長尺スロット型プラズマ源における大気圧マイクロ波プラズマの顕微計測2019