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橋口 征四郎  HASHIGUCHI Seishiro

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 90033836
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 1994年度 – 1995年度: 京都工芸繊維大学, 工芸学部, 助教授
1990年度: 京都工芸繊維大学, 工芸学部, 助教授
審査区分/研究分野
研究代表者以外
プラズマ理工学
キーワード
研究代表者
低気圧グロ-放電 / 二次元モデル / 計算機シミュレ-ション
研究代表者以外
CVD / Microstructure / Surface reactions / Surface diagnostics / Radical diagnostics / Etching / Plasma processing … もっと見る / 時空間分解測定法 / ラジカル密度計測 / イオンエネルギー分布 / シース構造 / プラズマ-基板相互作用 / 加工形状 / 表面反応 / 表面計測 / ラジカル計測 / エッチング / プラズマプロセス 隠す
  • 研究課題

    (2件)
  • 共同研究者

    (1人)
  •  微細形状を有する基板に接したプラズマのミクロ構造の解析

    • 研究代表者
      橘 邦英
    • 研究期間 (年度)
      1994 – 1995
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      京都大学
      京都工芸繊維大学
  •  二次元非定常コ-ドによる反応性プラズマのシミュレ-ション研究代表者

    • 研究代表者
      橋口 征四郎
    • 研究期間 (年度)
      1990
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      京都工芸繊維大学
  • 1.  橘 邦英 (40027925)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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