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辻 輝生  TSUJI Teruo

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 90039090
その他のID
外部サイト
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2002年度 – 2004年度: 九州工業大学, 大学院・生命体工学研究科, 教授
審査区分/研究分野
研究代表者
機械力学・制御
キーワード
研究代表者
ball screw / two-degree-of-freedom control / filter / Taguchi method / acceleration control / robust / IC production equipment / predictive control / 剛体系 / 2慣性系 … もっと見る / 加速度フィードバック / 同期誤差 / 予測制御 / 位置決め / 共振 / サーボ系 / 動特性 / リニアモータ / 同期制御 / 半導体露光装置 / ボールねじ / 2自由度制御 / フィルタ / タグチメソッド / 加速度制御 / ロバスト性 / 露光装置 / 二重予測制御 隠す
  • 研究課題

    (1件)
  • 共同研究者

    (4人)
  •  新制御方式による半導体露光装置の高速ナノメータ同期位置制御研究代表者

    • 研究代表者
      辻 輝生
    • 研究期間 (年度)
      2002 – 2004
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      機械力学・制御
    • 研究機関
      九州工業大学
  • 1.  浜松 弘 (70390531)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  二見 茂
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  牧野内 進
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  中村 裕司
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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