川田博昭 Kawata Hiroaki

研究者番号	90186099
その他のID
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2022年度: 大阪公立大学, 大学院工学研究科, 客員研究員 2020年度 – 2021年度: 大阪府立大学, 工学(系)研究科(研究院), 客員研究員 2019年度: 大阪府立大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 2008年度: 大阪府立大学, 大学院・工学研究科, 准教授 2007年度 – 2008年度: 大阪府立大学, 工学研究科, 准教授 … もっと見る 2003年度: 大阪府立大学, 大学院・工学研究科, 助教授 2001年度 – 2003年度: 大阪府立大学, 工学研究科, 助教授 1998年度: 大阪府立大学, 工学部, 助教授 1995年度 – 1996年度: 大阪府立大学, 工学部, 講師隠す
審査区分/研究分野	研究代表者小区分29020:薄膜および表面界面物性関連 / 電子デバイス・機器工学 / 電子デバイス・電子機器研究代表者以外機械力学・制御 / 電子デバイス・機器工学 / 知能機械学・機械システム
キーワード	研究代表者自立薄膜 / ナノ孔 / 自立フィルム / 自立樹脂薄膜 / アスペクト比増大 / 分子流 / 樹脂薄膜 / ナノインプリント / ナノ貫通孔 / reactive ion etching … もっと見る / Cr pattern / selective growth / Fe catalyst / carbon-nanotubes / field emitter / 電界放出特性 / 垂直配向 / 低電圧動作 / ゲート付き微小電子線源 / 反応性イオンエッチング / Crゲート電極 / 選択成長 / Fe触媒 / ゲート付微小電子線源 / カーボンナノチューブ / 離型 / リソグラフィレス / 移植法 / 微小質量計測 / 薄膜カンチレバー / MEMS / 微細プロセス技術 … もっと見る研究代表者以外 atomic force microscopy / living material / cell / visco-eleastic / 表面粘性 / 表面剛性 / フォースモジュレーション法 / カンチレバー / AFM / 生体 / 細胞 / 粘弾性 / LIFT OFF / HOLOGRAFIC LITHOGRAPHY / SILICON / NICKL / FIELD EMISSION / FIELD EMITTER ARRAY / 微細加工 / タングステン / モリブデン / 電子ビーム蒸着 / リフトオフ / ホログラフィックリソグラフィ / シリコン / ニッケル / 電界放出 / 微小電子線源 / 周波数応答 / 熱励起振動 / 光リソグラフィ / 屈折率 / 減圧気相堆積法 / マイクロ梁 / マイクロマシン / 力・距離曲線 / 力平衡方式 / 原子間力顕微鏡 / 薄膜 / ヤング率 / 3次元静電場 / 大たわみ理論 / カンチレバ- / resonance / viscous fluid / drag force / electric field / large deflection / micro cantilever / リソグラフィ / 量子ドット / インプリンティング隠す

環境ガス交換のための分子流生成用ナノ貫通孔付自立薄膜の創出研究代表者
- 研究代表者
  
  川田博昭
- 研究期間 (年度)
  2019 – 2022
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分29020:薄膜および表面界面物性関連
- 研究機関
  大阪公立大学
   大阪府立大学
ディスポーザブルなマイクロマシン作製プロセス開発研究代表者
- 研究代表者
  
  川田博昭
- 研究期間 (年度)
  2007 – 2008
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  電子デバイス・電子機器
- 研究機関
  大阪府立大学
生きた動物細胞の粘弾性分布の走査型プローブ顕微鏡による定量的評価法の開発
- 研究代表者
  
  平井義彦
- 研究期間 (年度)
  2002 – 2003
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  機械力学・制御
- 研究機関
  大阪府立大学
カーボンナノチューブを用いた高性能微小電子線源の作製研究代表者
- 研究代表者
  
  川田博昭
- 研究期間 (年度)
  2001 – 2002
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  電子デバイス・機器工学
- 研究機関
  大阪府立大学
ナノ・インプリンティングによる量子ドット形成に関する研究
- 研究代表者
  
  平井義彦
- 研究期間 (年度)
  1998
- 研究種目
  
  特定領域研究(A)
- 研究機関
  大阪府立大学
生体液体中におけるマイクロマシン部材の動作特性
- 研究代表者
  
  田中芳雄
- 研究期間 (年度)
  1995 – 1996
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  知能機械学・機械システム
- 研究機関
  大阪府立大学
低電圧動作、大電流密度の真空マイクロデバイスの開発に関する研究
- 研究代表者
  
  村田顕二
- 研究期間 (年度)
  1995 – 1996
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  電子デバイス・機器工学
- 研究機関
  大阪府立大学

すべて 2022 2021 2020 2019 2009 2008 2007

すべて雑誌論文学会発表産業財産権

[雑誌論文] Fabrication of Nickel Plasma Etching Mask by Nano-Imprint Lithography and Electroless Plating2020
- 著者名/発表者名
  Shimizu Shingo、Tanabe Hideki、Yasuda Masaaki、Hirai Yoshihiko、Kawata Hiroaki
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 33 号: 5 ページ: 551-556
- DOI
  10.2494/photopolymer.33.551
- NAID
  130007867667
- ISSN
  0914-9244, 1349-6336
- 年月日
  2020-07-01
- 言語
  英語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K05274
[雑誌論文] Fabrication of Self-standing Polystyrene Thin Films with Fine Through Holes by use of Water Soluble Resin Sacrificial Layer2019
- 著者名/発表者名
  H. Kawata, K. Uchida, M. Yasuda, and Y. Hirai
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 32 号: 1 ページ: 137-141
- DOI
  10.2494/photopolymer.32.137
- NAID
  130007744309
- ISSN
  0914-9244, 1349-6336
- 年月日
  2019-06-24
- 言語
  英語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K05274
[雑誌論文] Fabrication of Cantilevers by Two-Step Transfer Process without Lithography2009
- 著者名/発表者名
  H. Kawata, K. Ryugou, S. Ohta, M. Yasuda, Y. Hirai
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics (掲載確定) 48(印刷中)
- NAID
  210000066988
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560349
[雑誌論文] Fabrication of Cantilevers by Two-Step Transfer Process without Lithography2009
- 著者名/発表者名
  H. Kawata, K. Ryugou, S. Ohta, M. Yasuda, Y. Hirai
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics vol.48(掲載決定)
- NAID
  210000066988
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560349
[雑誌論文] Cantilever Fabrication by Force-Free Release Transfer2008
- 著者名/発表者名
  H. Kawata, K. Ryugou, S. Ohta, M. Yasuda, Y. Hirai
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics 47
  
  ページ: 5248-5251
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560349
[雑誌論文] Cantilever Fabrication by Force-Free Release Transfer2008
- 著者名/発表者名
  H. Kawata, K. Ryugou, S. Ohta, M. Yasuda, Y. Hirai
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics vol.47
  
  ページ: 5248-5251
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560349
[産業財産権] 材料パターンの製造方法, テンプレートおよびマイクロマシンの製造方法2008
- 発明者名
  川田博昭
- 権利者名
  大阪府立大学
- 産業財産権番号
  2008-151741
- 出願年月日
  2008-06-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560349
[学会発表] 熱インプリントとフォトリソ併用による貫通孔付き自立樹脂薄膜の作製2022
- 著者名/発表者名
  川田博昭、安田雅昭、平井義彦
- 学会等名
  第83回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K05274
[学会発表] ピッチ可変格子パターン付き自立PDMS膜の作製2022
- 著者名/発表者名
  長濱瑠星、川田博昭、水谷彰夫、菊田久雄、平井義彦
- 学会等名
  第69回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K05274
[学会発表] Fabrication of PDMS self-standing film with embedded fine polystyrene grating for stretchable optical device by nanoimprint process2022
- 著者名/発表者名
  Hiroaki Kawata, Ryusei Nagahama, Akio Mizutani, Hisao Kikuta, Yoshihiko Hirai
- 学会等名
  The 39th International Conference of Photopolymer Science and Technology
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K05274
[学会発表] Fabrication of self-standing thin films with small through-holes by imprint and photolithography hybrid process2021
- 著者名/発表者名
  H. Tanabe, H. Kawata, M. Yasuda, Y. Hirai, and H. Kikuta
- 学会等名
  34th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2021)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K05274
[学会発表] 熱ナノインプリントにおけるインプリント温度の低温化2021
- 著者名/発表者名
  田邉英毅, 清水進吾, 川田博昭, 安田雅昭, 平井義彦
- 学会等名
  第68回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K05274
[学会発表] Fabrication of self-standing thin resin film with small through holes by low temperature nanoimprint process2021
- 著者名/発表者名
  H. Kawata, S. Shimizu, H. Tanabe, M. Yasuda, H. Kikuta, and Y. Hirai
- 学会等名
  38th. International Conference of Photopolymer Science and Technology
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K05274
[学会発表] Fabrication of Multilayer Fine Structures by use of Double Layer Polymethyl Methacrylate Film2020
- 著者名/発表者名
  T. Yamamoto, S. Yagi, M. Yasuda, Y. Hirai, and H. Kawata
- 学会等名
  37th International Conference of Pheotopolymer Science and Technology
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K05274
[学会発表] 二層PMMAフィルムの貼り合わせによる多段微細構造物の作製2020
- 著者名/発表者名
  川田博昭，山本健生，八木駿典，安田雅昭，平井義彦
- 学会等名
  第67回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K05274
[学会発表] Fabrication of Nickel Plasma Etching Mask by Nano-Imprint Lithography and Electroless Plating2020
- 著者名/発表者名
  S. Shimizu, H. Tanabe, M. Yasuda, Y. Hirai, and H. Kawata
- 学会等名
  37th International Conference of Pheotopolymer Science and Technology
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K05274
[学会発表] キャスティング法を用いた微細貫通孔付きポリスチレン自立薄膜の作製2019
- 著者名/発表者名
  川田博昭，清水進吾，安田雅昭，平井義彦
- 学会等名
  第80回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K05274
[学会発表] Fabrication of self-standing polystyrene thin films with fine through holes by use of water-soluble resin sacrificial layer2019
- 著者名/発表者名
  Hiroaki Kawata, Keito Uchida, Masaaki Yasuda, Yoshihiko Hirai
- 学会等名
  The 36th International Conference of Photopolymer Science and Technology
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K05274
[学会発表] カンチレバーを用いた超小型薄膜用膜厚モニター2009
- 著者名/発表者名
  川田博昭
- 学会等名
  地域発技術シース発表会(独立行政法人科学技術振興機構主催)
- 発表場所
  大阪
- 年月日
  2009-02-05
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560349
[学会発表] カンチレバーを用いた超小型薄膜用膜厚モニター2009
- 著者名/発表者名
  川田博昭
- 学会等名
  地域発技術シーズ発表会(独立行政法人科学技術振興機構主催)
- 発表場所
  大阪
- 年月日
  2009-02-05
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560349
[学会発表] Cantilever fabrication by use of two step transfer printing process2008
- 著者名/発表者名
  H. Kawata, K. Ryugou, S. Kubo, M. Yasuda, Y. Hirai
- 学会等名
  34th International Conference on Micro and Nano Engineering (NME2008)
- 発表場所
  アテネ, ギリシャ
- 年月日
  2008-09-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560349
[学会発表] 移植法によるリソグラフィレスマイクロマシン作製プロセスの開発2008
- 著者名/発表者名
  流郷謙一, 川田博昭, 安田雅昭, 平井義彦
- 学会等名
  センサー・マイクロマシン準部門総合研究会
- 発表場所
  仙台
- 年月日
  2008-06-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560349
[学会発表] Fabrication of cantilevers by two step transfer process without Lithography2008
- 著者名/発表者名
  K. Ryugou, S. Kubo, H. Kawata, M. Yasuda and Y. Hirai
- 学会等名
  2008 Int. Microprocesses and Nanotechnology Conf. (MNC2008)
- 発表場所
  Fukuoka(Japan)
- 年月日
  2008-10-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560349
[学会発表] Fabrication of cantilevers by two step transfer process without lithography2008
- 著者名/発表者名
  K. Ryugou, S. Kubo, H. Kawata, M. Yasuda, Y. Hirai
- 学会等名
  2008 Int. Microprocesses and Nanotechnology Conf, (MNC2008)
- 発表場所
  福岡
- 年月日
  2008-10-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560349
[学会発表] Cantilever fabrication by use of two step transfer printing process2008
- 著者名/発表者名
  H. Kawata, K. Ryugou, S. Kubo, M. Yasuda and Y. Hirai
- 学会等名
  34th International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE2008)
- 発表場所
  Athens (Greece)
- 年月日
  2008-09-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560349
[学会発表] 2段階移植法によるリソグラフィレスでのカンチレバー作製2008
- 著者名/発表者名
  川田博昭, 流郷謙一, 安田雅昭, 平井義彦
- 学会等名
  第69回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  春日井
- 年月日
  2008-09-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560349
[学会発表] Cantilever Fabrication by Force Free Release Transfer Process2008
- 著者名/発表者名
  H. Kawata, K. Ryugou, M. Yasuda and Y. Hira
- 学会等名
  2008 Int. Microprocesses and Nanotechnology Conf. (MNC2008)
- 発表場所
  Kyoto (Japan)
- 年月日
  2008-10-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560349
[学会発表] 移植法によるリソグラフイレスマイクロマシン作製プロセスの開発2008
- 著者名/発表者名
  流郷謙一, 川田博昭, 安田雅昭, 平井義彦
- 学会等名
  センサー・マイクロマシン準部門総合研究会
- 発表場所
  仙台
- 年月日
  2008-06-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560349
[学会発表] リソグラフィを用いない新規なカンチレバー作製プロセス2007
- 著者名/発表者名
  川田博昭, 新甫純也, 安田雅昭, 平井義彦
- 学会等名
  センサー・マイクロマシン準部門総合研究会
- 発表場所
  筑波
- 年月日
  2007-07-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560349
[学会発表] 離型力を要しない移植法によるカンチレバー作製2007
- 著者名/発表者名
  川田博昭、安田雅昭、平井義彦
- 学会等名
  第68回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  札幌
- 年月日
  2007-09-05
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560349
[学会発表] Cantilever Fabrication by Force Free Release Transfer Prooess2007
- 著者名/発表者名
  H. Kawata, K. Ryugou, S. Ohta, M. Yasuda and Y. Hirai
- 学会等名
  2007 Int. Microprocesses and Nanotechnology Conf.(NMC2007)
- 発表場所
  京都
- 年月日
  2007-11-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560349

1. 村田顕二 (30029079)

共同の研究課題数: 4件

共同の研究成果数: 0件
2. 平井義彦 (50285300)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 14件
3. 田中芳雄 (60081246)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
4. 菊田久雄 (10214743)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
5. 岩田耕一 (20081242)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
6. 秋田成司 (60202529)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
7. 中山喜萬 (20128771)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
8. 芳賀永 (00292045)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
9. 川端和重 (20261274)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
10. 村田一夫

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

川田 博昭 Kawata Hiroaki

研究課題

研究成果

共同研究者

環境ガス交換のための分子流生成用ナノ貫通孔付自立薄膜の創出研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

ディスポーザブルなマイクロマシン作製プロセス開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

生きた動物細胞の粘弾性分布の走査型プローブ顕微鏡による定量的評価法の開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

カーボンナノチューブを用いた高性能微小電子線源の作製研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

ナノ・インプリンティングによる量子ドット形成に関する研究

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究機関

生体液体中におけるマイクロマシン部材の動作特性

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

低電圧動作、大電流密度の真空マイクロデバイスの開発に関する研究

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] Fabrication of Nickel Plasma Etching Mask by Nano-Imprint Lithography and Electroless Plating2020

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

ISSN

年月日

言語

データソース

[雑誌論文] Fabrication of Self-standing Polystyrene Thin Films with Fine Through Holes by use of Water Soluble Resin Sacrificial Layer2019

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

ISSN

年月日

言語

データソース

[雑誌論文] Fabrication of Cantilevers by Two-Step Transfer Process without Lithography2009

著者名/発表者名

雑誌名

NAID

データソース

[雑誌論文] Fabrication of Cantilevers by Two-Step Transfer Process without Lithography2009

著者名/発表者名

雑誌名

NAID

データソース

[雑誌論文] Cantilever Fabrication by Force-Free Release Transfer2008

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Cantilever Fabrication by Force-Free Release Transfer2008

著者名/発表者名

雑誌名

川田博昭 Kawata Hiroaki