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齋藤 洋司  SAITO Yoji

ORCIDORCID連携する *注記
… 別表記

斎藤 洋司  SAITO Yoji

齊藤 洋司  SAITO Yoji

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研究者番号 90196022
その他のID
外部サイト
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2005年度 – 2007年度: 成蹊大学, 理工学部, 教授
2002年度 – 2004年度: 成蹊大学, 工学部, 教授
1993年度 – 1995年度: 成蹊大学, 工学部, 助教授
1991年度: 豊橋技術科学大学, 工学部, 助手
1988年度: 豊橋技術科学大学, 工学部, 文部教官助手
1987年度 – 1988年度: 豊橋技術科学大学, 工学部, 助手
審査区分/研究分野
研究代表者
電子・電気材料工学 / 電子・電気材料工学
研究代表者以外
電子材料工学
キーワード
研究代表者
chlorine trifluoride / 三フッ化塩素 / オージェ分析 / リモートプラズマ / lifetime / passivation / reflectivity / texture / multicrvstalline / silicon solar cells … もっと見る / dry etching / 発電効率 / グループ構造 / ハニカム構造 / 反射スペクトル / 電子顕微鏡 / 反射損失 / 太陽光発電 / ライフタイム / パッシベーション / 反射率 / テクスチャー / 多結晶 / シリコン太陽電池 / ドライエッチング / hydrogen fluoride / micro-channel / texturing / biosensors / solar cells / infrared sensor / 光検出器 / ガラス状炭素 / 流路 / シリコン / マイクロマシニング / マイクロリアクタ / BST膜 / フッ化水素 / 微小流路 / テクスチャー構造 / バイオセンサ / 太陽電池 / 赤外線センサ / polysilicon films / hydrogen passivation / fluorine adsorbates / silicon surfaces / atomic hydrogen / remote plasma / thermal excitation / フッ素吸着物 / 反応カイネティクス / 多結晶シリコン膜 / 水素パッシベーション / 吸着フッ素 / シリコン表面 / 原子状水素 / 熱励起 / 不揮発性メモリ / シリコン窒化酸化膜 / 半導体表面 / 電子分光 / 準安定原子脱励起分光 / 表面電子状態 / 金属ー半導体界面 … もっと見る
研究代表者以外
シンクロトロン放射光 / 水素化アモルファスシリコン / マイクロ波励起水素放電管 / グロー放電分解 / vacuum ultra violet / hydrogenated amorphous silicon / hydrogenated amorphous carbon / Synchrotron radiation / 薄膜形成 / 光電離プロセス / アモルファスカーボン膜 / 真空紫外光 / 水素化アモルファスカーボン / 電子スピン共鳴 / 光誘起劣化 / 劣化現象 / 熱分解 / 光学定数測定 / エッチング液開発 / 混晶半導体 / ワイドギャップ半導体 / 窒化物系化合物半導体 / CuInSe_2薄膜 / 分子軌道法 / 光誘起欠陥 / 真空紫外光励起プロセス / 薄膜太陽電池材料 / アモルファスシリコン 隠す
  • 研究課題

    (10件)
  • 研究成果

    (67件)
  • 共同研究者

    (6人)
  •  多結晶半導体太陽電池におけるプラズマレスドライテクスチャー化プロセスの研究研究代表者

    • 研究代表者
      齋藤 洋司
    • 研究期間 (年度)
      2005 – 2007
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      成蹊大学
  •  マイクロシステム作製におけるプラズマレスドライエッチングプロセスの研究研究代表者

    • 研究代表者
      齋藤 洋司
    • 研究期間 (年度)
      2002 – 2004
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      成蹊大学
  •  励起窒素酸素によるシリコン絶縁膜形成プロセスの研究研究代表者

    • 研究代表者
      齋藤 洋司
    • 研究期間 (年度)
      1995
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      成蹊大学
  •  低エネルギー水素による半導体表面パッシベーションの研究研究代表者

    • 研究代表者
      斎藤 洋司
    • 研究期間 (年度)
      1993 – 1994
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      成蹊大学
  •  極端紫外光による高性能アモルファス材料の作製と高効率太陽電池への応用

    • 研究代表者
      吉田 明
    • 研究期間 (年度)
      1991
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      岡崎国立共同研究機構
  •  マイクロ波励起リモ-トプラズマを用いた新しい混晶半導体単結晶薄膜成長

    • 研究代表者
      吉田 明
    • 研究期間 (年度)
      1991
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      岡崎国立共同研究機構
  •  半導体ー金属接触構造のヘリウム準安定原子と吸着キセノン光電子による微視的研究研究代表者

    • 研究代表者
      斎藤 洋司
    • 研究期間 (年度)
      1991
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      豊橋技術科学大学
  •  高効率多層アモルファス太陽電池の高エネルギ照射劣化現象

    • 研究代表者
      吉田 明
    • 研究期間 (年度)
      1988
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      豊橋技術科学大学
  •  高効率アモルファス太陽電池のシンクロトロン放射光による劣化現象

    • 研究代表者
      吉田 明
    • 研究期間 (年度)
      1987
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      豊橋技術科学大学
  •  シンクロトロン放射光励起によるアモルファス薄膜形成とその評価

    • 研究代表者
      吉田 明
    • 研究期間 (年度)
      1987 – 1988
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      電子材料工学
    • 研究機関
      豊橋技術科学大学

すべて 2008 2007 2006 2005 2004 2003 2002

すべて 雑誌論文 学会発表

  • [雑誌論文] Optical properties of groove-and honeycomb-textured silicon surfaces using chlorine trifluoride gas2007

    • 著者名/発表者名
      S.Narita, H.Sano, T.Momma, Y.Saito
    • 雑誌名

      Proc.Int.Conf.on Elec.Eng.2007 1

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [雑誌論文] Electrical properties of silicon-related solar cells with groove-and honey comb-textured surfaces using chlorine trifluoride gas2007

    • 著者名/発表者名
      Y.Saito
    • 雑誌名

      Proc.2007 Korea-Japan Joint Workshop on Advaneed Semiconductor Processes and Equipments 1

      ページ: 105-106

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [雑誌論文] プラズマレスドライエッチングによるシリコン表面処理とその赤外線センサ作製への応用2007

    • 著者名/発表者名
      齋藤 洋司
    • 雑誌名

      日本赤外線学会第4回赤外放射の応用関連学会等年会 IR-07-03

      ページ: 21-25

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [雑誌論文] Honeycomb-textured structures on crystalline silicon surfaces for solar cells by spontaneous dry etching with chlorine trifluoride gas2007

    • 著者名/発表者名
      Y., Saito, T., Kosuge
    • 雑誌名

      Solar Energy Materials and Solar Cells Vol. 91

      ページ: 1800-1804

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [雑誌論文] texturing process by plasamaless dry etching for crystalline silicon solar cells2007

    • 著者名/発表者名
      Y., Saito, T., Kosuge, T., Momma
    • 雑誌名

      The Journal of Science and Technology, Seikei Univ Vol. 44, No. 2

      ページ: 43-44

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [雑誌論文] 結晶系半導体太陽電池のプラズマレスドライテクステヤー化プロセス2007

    • 著者名/発表者名
      齋藤 洋司, 門馬 正, 小菅 雄史
    • 雑誌名

      成蹊大学理工学研究報告 44

      ページ: 43-44

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [雑誌論文] Honeycomb-textured structures on crystalline silicon surfaces for solar cells by spontaneous dry etching with chlorine trifluoride gas2007

    • 著者名/発表者名
      Y.Saito and T.Kosuge
    • 雑誌名

      Solar Energy Materials and Solar Cells 91

      ページ: 1800-1804

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [雑誌論文] Electrical properties of silicon-related solar cells with groove-and honeycomb-textured surfaces using chlorine trifluoride gas2007

    • 著者名/発表者名
      Y., Saito
    • 雑誌名

      Proc. 2007 Korea-Japan Joint Workshop on Advanced Semiconductor Processes and Equipments

      ページ: 105-106

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [雑誌論文] Optical properties of groove-and honeycomb-textured silicon surfaces using chlorine trifluoride gas2007

    • 著者名/発表者名
      S., Narita, H., Sano, T., Momma, Y., Saito
    • 雑誌名

      Proc. Int. Conf. on Electrical Eng

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [雑誌論文] 結晶系半導体太陽電池のプラズマレスドライテクステャー化プロセス2007

    • 著者名/発表者名
      齋藤 洋司, 門馬 正, 小菅 雄史
    • 雑誌名

      成蹊大学理工学研究報告 44

      ページ: 43-44

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [雑誌論文] プラズマレスドライエッチングによるシリコン表面処理とその応用2006

    • 著者名/発表者名
      齋藤 洋司
    • 雑誌名

      電気学会フィジカルセンサ研究会資料 PHS-06-20

      ページ: 5-12

    • NAID

      10018459522

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [雑誌論文] 三フッ化塩素ガスを用いてハニカム構造にテクスチャ化したシリコン表面の光学的評価2006

    • 著者名/発表者名
      小菅雄史, 土橋善之助, 門馬 正, 齋藤洋司
    • 雑誌名

      第53回応用物理学関係連合講演会予稿集 III巻

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [雑誌論文] Optical properties of crystalline silicon surface textured by spontaneous dry etching with chlorine trifluoride gas2006

    • 著者名/発表者名
      Y.Saito, H.Yamazaki, T.Kosuge
    • 雑誌名

      Abstracts of 2006 Material Research Society Spring Meeting

      ページ: 616-616

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [雑誌論文] Preparation of honeycomb-textured structures on crystalline silicon surfaces for solar cells by spontaneous dry etching with chlorine trifluoride gas2006

    • 著者名/発表者名
      Y.Saito and T.Kosuge
    • 雑誌名

      Proc.Int.Conf.on Electrical Eng.2006

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [雑誌論文] 三フッ化塩素処理したシリコン基板表面の反射率に与える熱プロセスの影響の検討2006

    • 著者名/発表者名
      成田, 山崎, 門馬, 齋藤
    • 雑誌名

      第67回応用物理学会学術講演会予稿集 III

      ページ: 718-718

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [雑誌論文] Preparation of honeycomb-textured structures on crystalline silicon surfaces for solar cells by spontaneousdry etching with chlorine trifluoride gas2006

    • 著者名/発表者名
      Y.Saito, T.Kosuge
    • 雑誌名

      Proc. Int. Conf. on Electrical Eng. 2006

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [雑誌論文] Chlorine-trifluoride-textured crystalline silicone solar cells with antireflective nitride films2006

    • 著者名/発表者名
      H.Yamazaki, T.Kosuge, T.Momma, Y.Saito
    • 雑誌名

      Proc. Int. Conf. on Electrical Eng. 2006

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [雑誌論文] Chlorine-trifluoride-textured crystalline silicon solar cells with antireflective nitride films2006

    • 著者名/発表者名
      H., Yamazaki, T., Kosuge, T., Momma, Y., Saito
    • 雑誌名

      Proc. Int. Conf. on Electrical Eng

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [雑誌論文] Preparation of honeycomb-textured structures on crystalline silicon surfaces for solar cells by spontaneous dry etching with chlorine trifluoride gas2006

    • 著者名/発表者名
      Y., Saito, T., Kosuge
    • 雑誌名

      Proc. Int. Conf. on Electrical Eng

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [雑誌論文] 酸窒化膜を有する三フッ化塩素テクスチャ結晶系シリコン太陽電池の光学特性2006

    • 著者名/発表者名
      上戸隆行, 成田昌平, 山崎英雅, 門馬 正, 齋藤洋司
    • 雑誌名

      第53回応用物理学関係連合講演会予稿集 III巻

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [雑誌論文] Chlorine-trifluoride-textured crystalline silicon solar cells with antireflective nitride films2006

    • 著者名/発表者名
      H.Yamazaki, T.Kosuge, T.Momma, Y.Saito
    • 雑誌名

      Proc.Int.Conf.on Electrical Eng.2006

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [雑誌論文] Surface treatments of silicon by plasmaless etching and their applications2006

    • 著者名/発表者名
      Y., Saito
    • 雑誌名

      The Papers of Tech. Meet. On Phys. Sensor, IEE Japan

      ページ: 5-12

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [雑誌論文] Optical properties of polycrystalline siliconsurfaces for solar cells treated with chlorine trifluoride gas2005

    • 著者名/発表者名
      T.Kosuge, T.Momma, Y.Saito
    • 雑誌名

      Proc.International Conference on Electrical Engineering 2005 (in press)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14550305
  • [雑誌論文] A Study on the reaction between chlorine trifluoride gas and glass-like carbon2005

    • 著者名/発表者名
      Y.Saito, T.Nishizawa, M.Hamaguchi
    • 雑誌名

      Applied Surface Science Vol.240/1-4

      ページ: 381-387

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14550305
  • [雑誌論文] A Study on the reaction between chlorine trifluoride gas and glass-like carbon2005

    • 著者名/発表者名
      Y.Saito, T.Nishizawa, M.Hamaguchi
    • 雑誌名

      Applied Surface Science vol.240/1-4

      ページ: 381-387

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14550305
  • [雑誌論文] Maskless surface treatments of crystalline silicon by spontaneous dry etching with chlorine trifluoride gas for photovoltaic cells2005

    • 著者名/発表者名
      Y. Saito
    • 雑誌名

      Proc. 2005 Korea-Japan Joint Workshop on Advanced Semiconductor Processes and Equipments

      ページ: 179-182

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [雑誌論文] Maskless surface treatments of crystalline silicon by spontaneous dry etching with chlorine trifluoride gas for photovoltaic cells2005

    • 著者名/発表者名
      Y., Saito
    • 雑誌名

      Proc. 2005 Korea-Japan Joint Workshop on Advanced Semiconductor Processes and Equipments

      ページ: 179-182

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [雑誌論文] Maskless surface treatments of crystalline silicon by spontaneous dry etching with chlorine trifluoride gas for photovoltaic cells"2005

    • 著者名/発表者名
      Y.Saito
    • 雑誌名

      Proc. 2005 Korea-Japan Joint Workshop on Advanced Semiconductor Processes and Equipments

      ページ: 179-182

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [雑誌論文] Optical properties of polycrystalline silicon surfaces for solar cells treated with chlorine trifluoride gas"2005

    • 著者名/発表者名
      T.Kosuge, T.Momma, Y.Saito
    • 雑誌名

      Proc.Int.Conf.on Elec.Eng.2005

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [雑誌論文] Bolometer-type infrared sensors fabricated by plasmaless dry etching2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Saito, H.Murotani
    • 雑誌名

      Sensors and Materials vol.16,No.4

      ページ: 191-198

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14550305
  • [雑誌論文] スピオンシリコン酸化膜処理温度の無水フッ化水素エッチングへの影響2004

    • 著者名/発表者名
      齋藤洋司, 中村信貴
    • 雑誌名

      材料の科学と工学 Vol.41,No.4

      ページ: 216-219

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14550305
  • [雑誌論文] Annealing effects on etching characteristics of spin-coated silicon oxide films with anhydrous hydrogen fluoride gas2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Saito, N.Nakamura
    • 雑誌名

      J.Mater.Sci.& Tech. vol.41,No.4

      ページ: 216-219

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14550305
  • [雑誌論文] Bolometer-type infrared sensors fabricated by plasmaless dry etching2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Saito, H.Murotani
    • 雑誌名

      Sensors and Materials Vol.16, No.4

      ページ: 191-198

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14550305
  • [雑誌論文] Thermal-type-infrared sensors prepared by plasmaless etching process2004

    • 著者名/発表者名
      H.Murotani, R.Okada, Y.Saito
    • 雑誌名

      Proc.Asia-Pacific Conf.of Transducers and Micro-Nano Technology 2004 Vol.3-2

      ページ: 790-793

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14550305
  • [雑誌論文] Bolometer-type infrared sensors fabricated by plasmaless dry etching2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Saito, H.Murotani
    • 雑誌名

      Sensors and Materials Vol.16,No.4

      ページ: 191-198

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14550305
  • [雑誌論文] A Study on the reaction between chlorine trifluoride gas and glass-like carbon2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Saito, T.Nishizawa, M Hamaguchi
    • 雑誌名

      Applied Surface Science Vol.240/1-4

      ページ: 381-387

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14550305
  • [雑誌論文] スピンオンシリコン酸化膜熱処理温度の無水フッ化水素エッチングへの影饗2004

    • 著者名/発表者名
      齋藤洋司, 中村信貴
    • 雑誌名

      材料の科学と工学 Vol.41, No.4

      ページ: 216-219

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14550305
  • [雑誌論文] Highly-sensitive infrared sensors using undoped polycrystalline silicon films2003

    • 著者名/発表者名
      H.Murotani, Y.Saito
    • 雑誌名

      Proc.Int.Conf.on Electrical Eng.2003 070

      ページ: 1-4

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14550305
  • [雑誌論文] Helium addition effect on the remote-plasma-enhanced etching of silicon-related materials using anhydrous hydrogen fluoride gas2003

    • 著者名/発表者名
      N.Nakamura, Y.Saito
    • 雑誌名

      Proc.International Conference on Electrical Engineering 2003 067

      ページ: 1-4

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14550305
  • [雑誌論文] Characteristics of plasmaless dry etching of silicon-related materials using chlorine trifluoride gas2002

    • 著者名/発表者名
      Yoji Saito
    • 雑誌名

      Sensors and Materials vol.14,no.5

      ページ: 231-237

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14550305
  • [雑誌論文] A study on the reaction between chlorine trifluoride gas and carbon-related materials for semiconductor equipments2002

    • 著者名/発表者名
      Y.Saito, H.Takaoka, T.Nishizawa, M.Hamaguchi
    • 雑誌名

      Proc.Int.Conf.on Electrical Engineering 2002 vol.3

      ページ: 1356-1359

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14550305
  • [学会発表] Effects of bias voltage on hydrogen passivation in multicrystalline silicon solar cell2008

    • 著者名/発表者名
      H., Sano, S., Tomita, H., Kohata, T., Momma, Y., Saito
    • 学会等名
      The 55th Spring Meet., The Jpn. Soc. of Appl. Phys. and Rel. Soc
    • 発表場所
      Funabashi
    • 年月日
      2008-03-30
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [学会発表] 多結晶Si太陽電池の水素パッシベーションにおけるバイアス電圧の効果2008

    • 著者名/発表者名
      佐野 英之, 富田 誠一, 幸畑 隼人, 門馬 正, 齋藤 洋司
    • 学会等名
      第55回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      日本大学
    • 年月日
      2008-03-30
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [学会発表] Optical properties of groove- and honeycomb-textured silicon surfaces using chlorine trifluoride gas2007

    • 著者名/発表者名
      S., Narita, H., Sano, T., Momma, Y., Saito
    • 学会等名
      The 54th Spring Meet., The Jpn. Soc. of Appl. Phys. and Rel. Soc
    • 発表場所
      Sagamihara
    • 年月日
      2007-03-27
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [学会発表] Heat treatment effects on surface reflection of chlorine-trifloride-textured single crystalline silicon2007

    • 著者名/発表者名
      H., Sano, S., Narita, T., Momma, Y., Saito
    • 学会等名
      The 68th Autumn Meet., The Jpn. Soc. of Appl. Phys
    • 発表場所
      Sapporo
    • 年月日
      2007-09-06
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [学会発表] CIF_3テクスチャ処理したシリコン基板表面の反射率に与える熱プロセスの影響2007

    • 著者名/発表者名
      佐野 英之, 成田 昌平, 門馬 正, 齋藤 洋司
    • 学会等名
      第68回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      北海道工業大学
    • 年月日
      2007-09-06
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [学会発表] 三フッ化塩素ガスを用いてグループ状テクスチャ処理を行った結晶シリコン太陽電池の特性2007

    • 著者名/発表者名
      佐野 英之, 成田 昌平, 門馬 正, 齋藤 洋司
    • 学会等名
      日本材料科学会平成19年度学術大会講演会
    • 発表場所
      東京工業大学
    • 年月日
      2007-05-25
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [学会発表] プラズマレスドライエッチングによるシリコン表面処理とその赤外線センサ作製への応用2007

    • 著者名/発表者名
      齋藤 洋司
    • 学会等名
      日本赤外線学会第4回赤外放射の応用関連学会等年会
    • 発表場所
      東京大学
    • 年月日
      2007-02-07
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [学会発表] 三フッ化塩素ガスを用いてハニカム状テクスチャ処理を行った結晶シリコン太陽電池の特性2007

    • 著者名/発表者名
      成田 昌平, 佐野 英之, 門馬 正, 齋藤 洋司
    • 学会等名
      日本材料科学会平成19年度学術大会講演会
    • 発表場所
      東京工業大学
    • 年月日
      2007-05-25
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [学会発表] Electrical properties of honeycomb-, textured solar cells using C1F3 gas2007

    • 著者名/発表者名
      S., Narita, H., Sano, T., Momma, Y., Saito
    • 学会等名
      2007 Annual Meet. Mat. Sci. Soc. Japan
    • 発表場所
      Tokyo
    • 年月日
      2007-05-25
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [学会発表] Electrical properties of groove-textured solar, cells using C1F3 gas2007

    • 著者名/発表者名
      H., Sano, S., Narita, T., Momma, Y., Saito
    • 学会等名
      2007 Annual Meet. Mat. Sci. Soc. Japan
    • 発表場所
      Tokyo
    • 年月日
      2007-05-25
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [学会発表] Surface treatments of silicon and their application to fabrication process of photo-electroric devices by plasmaless dry etching2007

    • 著者名/発表者名
      Y., Saito
    • 学会等名
      The 4th annual meeting of the Societies Related to Infrared Radiation
    • 発表場所
      Tokyo
    • 年月日
      2007-02-07
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [学会発表] 銀粒子触媒を用いた単結晶シリコンへの逆ピラミッド構造形成と太陽電池への応用2007

    • 著者名/発表者名
      津留 親佑, 圓山 洋介, 松村 道雄, 成田 昌平, 齋藤 洋司
    • 学会等名
      2007年電気化学秋季大会
    • 発表場所
      東京工業大学
    • 年月日
      2007-09-19
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [学会発表] Optical properties of crystalline silicon surfaces textured by spontaneous dry etching with chlorine trifluoride gas2006

    • 著者名/発表者名
      Y., Saito, H., Yamazaki, T., Kosuge
    • 学会等名
      2006 Material Research Society Spring Meeting
    • 発表場所
      San Francisco
    • 年月日
      2006-04-19
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [学会発表] 高周波スパッタにより結晶系シリコン上に堆積させた酸窒化反射防止膜の評価2006

    • 著者名/発表者名
      上戸 隆行, 山崎 英雅, 門馬 正, 齋藤 洋司
    • 学会等名
      日本材料科学会平成18年度学術大会講演会
    • 発表場所
      東京工業大学
    • 年月日
      2006-05-26
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [学会発表] A Study on oxynitride anti-reflection films deposited onto crystalline silicon by a high frequency sputtering method2006

    • 著者名/発表者名
      T., Uendo, H., Yamazaki, S., Narita, T., Momma, Y., Saito
    • 学会等名
      2006 Annual Meet. Mat. Sci. Soc. Japan
    • 発表場所
      Tokyo
    • 年月日
      2006-05-26
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [学会発表] Fabrication of fine honeycomb-textured solar cells using C1F3 gas2006

    • 著者名/発表者名
      H., Yamazaki, T., Kosuge, Y., Tsuchihashi, T., Momma, Y., Saito
    • 学会等名
      2006 Annual Meet. Mat. Sci. Soc. Japan
    • 発表場所
      Tokyo
    • 年月日
      2006-05-26
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [学会発表] 三フッ化塩素処理したシリコン基板表面の反射率に与える熱プロセスの影響の検討2006

    • 著者名/発表者名
      成田 昌平, 山崎 英雅, 門馬 正, 齋藤 洋司
    • 学会等名
      日本材料科学会平成18年度学術大会講演会
    • 発表場所
      東京工業大学
    • 年月日
      2006-05-26
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [学会発表] Optical properties of textured solar cells with silicon oxynitride films2006

    • 著者名/発表者名
      T., Uendo, H., Yamazaki, S., Narita, T., Momma, Y., Saito
    • 学会等名
      The 53th Spring Meet., The Jpn. Soc. of Appl. Phys. and Rel. Soc
    • 発表場所
      Tokyo
    • 年月日
      2006-03-26
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [学会発表] Optical properties of honeycomb-textured silicon surfaces using chlorine trifluoride gas2006

    • 著者名/発表者名
      T., Kosuge, Y., Tsuchihashi, T., Momma, Y., Saito
    • 学会等名
      The 53th Spring Meet., The Jpn. Soc. of Appl. Phys. and Rel. Soc
    • 発表場所
      Tokyo
    • 年月日
      2006-03-26
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [学会発表] Optical properties of crystalline silicon surfaces textured by spontaneous dry etching with chlorine trifluoride gas2006

    • 著者名/発表者名
      Y.Saito, H.Yamazaki, T.Kosuge
    • 学会等名
      2006 Material Research Society Spring Meeting
    • 発表場所
      San Francisco,USA
    • 年月日
      2006-04-19
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [学会発表] Influence of heat treatments on reflectance of textured surfaces of silicon substrates2006

    • 著者名/発表者名
      S., Narita, H., Yamazaki, T., Momma, Y., Saito
    • 学会等名
      The 67th Autumn Meet., The Jpn. Soc. of Appl. Phys
    • 発表場所
      Kusatsu
    • 年月日
      2006-09-01
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [学会発表] 酸窒化膜を有する三フッ化塩素テクスチャ結晶系シリコン太陽電池の光学特性2006

    • 著者名/発表者名
      上戸 隆行, 成田 昌平, 山崎 英雅, 門馬 正, 齋藤 洋司
    • 学会等名
      第53回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      武蔵工業大学
    • 年月日
      2006-03-26
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [学会発表] 三フッ化塩素処理したシリコン基板表面の反射率に与える熱プロセスの影響の検討2006

    • 著者名/発表者名
      成田, 山崎, 門馬, 齋藤
    • 学会等名
      第67回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      立命館大学
    • 年月日
      2006-09-01
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [学会発表] 三フッ化塩素ガスを用いた微小ハニカム状テクスチャ処理結晶系シリコン太陽電池の作製2006

    • 著者名/発表者名
      山崎 英雅, 小菅 雄史, 土橋 善之助, 門馬 正, 齋藤 洋司
    • 学会等名
      日本材料科学会平成18年度学術大会講演会
    • 発表場所
      東京工業大学
    • 年月日
      2006-05-26
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [学会発表] 三フッ化塩素ガスを用いてハニカム構造にテクスチャ化したシリコン表面の光学的評価2006

    • 著者名/発表者名
      小菅 雄史, 土橋 善之助, 門馬 正, 齋藤 洋司
    • 学会等名
      第53回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      武蔵工業大学
    • 年月日
      2006-03-26
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • [学会発表] Influence of annealing on reflectance of textured surfaces of silicon substrates2006

    • 著者名/発表者名
      S., Narita, H., Yamazaki, T., Momma, Y., Saito
    • 学会等名
      2006 Annual Meet. Mat. Sci. Soc. Japan
    • 発表場所
      Tokyo
    • 年月日
      2006-05-26
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560291
  • 1.  吉田 明 (20023145)
    共同の研究課題数: 5件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  加藤 久雄
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  鈴木 誠一 (40235958)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  上原 信吾 (40232780)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  小川 博司 (10039290)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  並木 章 (40126941)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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