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白谷 正治  SHIRATANI Masaharu

研究者番号 90206293
その他のID
  • ORCIDhttps://orcid.org/0000-0002-4103-3939
外部サイト
所属 (現在) 2020年度: 九州大学, システム情報科学研究院, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2016年度 – 2020年度: 九州大学, システム情報科学研究院, 教授
2009年度 – 2015年度: 九州大学, システム情報科学研究科(研究院, 教授
2013年度: 九州大学, システム情報科学研究院, 教授
2011年度: 九州大学, 大学院・システム情報科学研究院, 教授
2007年度 – 2011年度: 九州大学, システム情報科学研究院, 教授 … もっと見る
2008年度: 九州大学, システム情報科学研究科, 教授
2007年度 – 2008年度: 九州大学, 大学院・システム情報科学研究院, 教授
2007年度: 九州大学, システム情報科学研究, 教授
2007年度: 九州大学, 大学院・システム情報研究院, 教授
2006年度: 九州大学, 大学院システム情報科学研究院, 教授
2005年度: 九州大学, 大学院・システム情報科学研究院, 教授
2004年度: 九州大学, 助教授
2003年度 – 2004年度: 九州大学, 大学院・システム情報科学研究院・電子デバイス工学部門, 助教授
2002年度: 九州大学, システム情報科学研究院, 助教授
2000年度: 九州大学, システム情報科学研究院・電子デバイス工学部門, 助教授
2000年度: 九州大学, 大学院・システム情報科学研究院, 助教授
1999年度: 九州大学, システム情報科学研究科, 助教授
1994年度 – 1995年度: 九州大学, 工学部, 助教授
1990年度 – 1992年度: 九州大学, 工学部, 助教授
1988年度 – 1989年度: 九州大学, 工学部, 助手 隠す
審査区分/研究分野
研究代表者
応用物理学一般 / 電子・電気材料工学 / 理工系 / プラズマエレクトロニクス / 応用物理学一般 / 表面界面物性 / 薄膜・表面界面物性 / プラズマ科学 / 中区分14:プラズマ学およびその関連分野
研究代表者以外
プラズマ科学 … もっと見る / 衛生学 / 応用物理学一般 / プラズマ理工学 / 応用物理学一般 / 電子・電気材料工学 / 電力工学 / 小区分14030:プラズマ応用科学関連 隠す
キーワード
研究代表者
プラズマ / プラズマCVD / LSI / ナノ粒子 / 銅薄膜 / プラズマプロセス / トップダウンプロセス / ボトムアッププロセス / ナノ界面制御 / プラズマ局所反応場 … もっと見る / コンビナトリアル摂動解析 / 相互作用 / 揺らぎ / 銅配線 / スパッタリング / 埋め込み形状 / Plasma CVD / Sputtering / 異方性製膜 / 集積回路 / プラズマCVD法 / 選択プラズマCVD法 / 有機金属安定供給装置 / MOCVD / 配線材料 / 銅原子 / 吸収法 / 空洞化 / ナノ構造体 / イオン抗力 / パルス変調放電 / ナノカプセル / マルチホロー放電 / 電子線照射 / プラズマナノ工場 / ナノ材料 / プラズマ加工 / 異方性CVD / ナノ粒子輸送 / ナノ粒子配置 / 振幅変調パルス放電 / ナノ界面 / 相互作用ゆらぎ / プラズマナノテクノロジー / ボンドエンジニアリング / パルスプラズマ / 細胞周期 / 細胞増殖 / 細胞活性 / 大気圧放電 / カイワレ / 酵母 / 細胞増殖加速 / ゆらぎ / 電気・電子材料 / ３Dプリンティング / 電子・電気材料 / 第３世代太陽電池 / ３Ｄプリンティング / ナノ粒子計測 / ドリフトチューブ / 水晶振動子 / 電場 / 核融合ダスト / 電場摂動 / レーザ散乱 / 2次元計測 / その場計測 / 偏光 / 微粒子 / シランプラズマ / レーザ偏光散乱法 / ダスト / バ-ティクル / 屈折率 / その場測定 / laser-light-scattering / two demensional measurement / simultaneous / polarization / particles / plasma CVD / plasma process / silane plasma / 異方性成膜 / イオンアシスト成膜 / モンテカルロシミュレーション / 水素原子 / イオン照射 / Cu Interconnects / Anisotropic Deposition / Ion-Assisted Deposition / Monte-Carlo Simulation / Deposition Profile in Trench / イオンアシスト製膜 / ナノ構造 / 誘導結合型放電 / ルテニウム / 異法性製膜 / Copper interconnects / Anisotropic deposition / Ion-assisted CVD / Nano-structure / Inductive coupled plasma / 製膜形状制御 / マイクロプラズマ / カーボン保護膜 / 異方性堆積 / 光捕捉 / シース電場ゆらぎ / 高アスペクト比エッチング / 微粒子プラズマ / 高感度電場計測 … もっと見る
研究代表者以外
シランプラズマ / 微粒子 / プラズマCVD / 水素化アモルファスシリコン / ダスト / アモルファスシリコン / 矩形波振幅変調高周波放電 / ラジカル種の寿命 / ミ-散乱 / ラジカル / 凝集 / プラズマプロセス / 微小重力 / 微粒子プラズマ / 太陽電池 / パーティクル / 高周波放電 / silane plasma / 微細構造パラメータ / 光劣化 / 水素希釈 / シラン / RF放電 / 変調RF放電 / 反応制御 / 帯電凝集 / プラズマCVD法 / 変調高周波放電法 / レーザ偏光散乱法 / 走査型電子顕微鏡 / 微重力 / 結晶シリコンナノ微粒子 / プラズマスパッタリング / ナノ構造制御 / カーボン微粒子 / スパッタリング / 収率 / 自己組織化 / プラズマ / 臨界現象 / 国際宇宙ステーション / ダストプラズマ / マグネトロンプラズマ / インジウム / インジウム-スズ酸化物 / 水酸化インジウム / 酸化インジウム / 肺障害,気管内投与 / ラット / 衛生 / 環境 / 社会医学 / 間質性肺炎 / CIGS / 炭素クラスター / アーク放電 / ミー散乱計測 / 合成過程 / 拡散と融合 / ナノチューブ / 無対流 / 冷却合成過程 / ナノチューブ合成 / 微粒子空間計測 / 微粒子コレクター / アモルファスシリコン膜 / シランガス / パウダー / レーザ散乱法 / 水素化アモルファシスシリコン / 散乱比法 / rf放電 / 負イオン / SILANE PLASMA / PARTICULATE / POWDER / PARTICLE / AMORPHOUS SILICON / RF DISCHARGE / DUSTY PLASMA / LASER SCATTERING METHOD / 放電周波数依存性 / 高周波プラズマ / 放電周波数 / VHFプラズマ / particles / dust / discharge frequency dependence / high frequency plasma / coagulation / plasma CVD / クラスタ / 熱泳動力 / ガス粘性力 / パルス放電 / 曲線因子 / Siクラスタ / 変調放電法 / 核形成 / cluster / a-Si : H / thermophoretic force / gas viscous force / pulse discharges / microstructure parameter / fill factor / クラスタ抑制プラズマCVD法 / シリコン微粒子 / 薄膜太陽電池 / クラスタ除去フィルタ / マルチホロー電極 / 高次シラン / Si-H結合 / Si-H_2結合 / ショットキセル / amorphous silicon / clustering reaction control in plasma CVD / silicon particle / thin film solar cell / light induced degradation / cluster eliminating filter / multi-hollow discharge / higher order silane / MHD発電 / 電極境界層 / アーク / レーザ干渉法 / 温度測定 / MHD power generation / electrode boudary layer / arc / laser interferometry / プラズマエレクトロニクスエ / エキシトント / トランジスタ / 量子井戸 / 結晶成長 / プラズマエレクトロニクス / エキシトン / エキシトントランジスタ / ZION / 歪み量子井戸 / ピエゾ電界 隠す

  • 研究課題

    (29件)

  • 研究成果

    (583件)

  • 共同研究者

    (47人)

  •  プラズマ中光捕捉微粒子を用いたシース電場の時空間構造揺らぎ形成機構の解明研究代表者継続中

    • 研究代表者
      白谷 正治
    • 研究期間 (年度)
      2020 – 2023
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 審査区分
      中区分14:プラズマ学およびその関連分野
    • 研究機関
      九州大学

  •  スパッタエピタキシーによる革新的エキシトンデバイスの実現と励起子輸送機構の解明継続中

    • 研究代表者
      板垣 奈穂
    • 研究期間 (年度)
      2018 – 2021
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分14030:プラズマ応用科学関連
    • 研究機関
      九州大学

  •  圧力可変マイクロプラズマによる異方性プラズマCVD研究代表者

    • 研究代表者
      白谷 正治
    • 研究期間 (年度)
      2016 – 2017
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      プラズマ科学
    • 研究機関
      九州大学

  •  プラズマを用いたナノ粒子精密配置制御の学術基盤創成研究代表者

    • 研究代表者
      白谷 正治
    • 研究期間 (年度)
      2014 – 2018
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      プラズマエレクトロニクス
    • 研究機関
      九州大学

  •  コンパクトドリフトチューブ型ナノ粒子検出法の創成研究代表者

    • 研究代表者
      白谷 正治
    • 研究期間 (年度)
      2014 – 2015
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      プラズマエレクトロニクス
    • 研究機関
      九州大学

  •  細胞周期同期パルスプラズマ照射による細胞増殖加速研究代表者

    • 研究代表者
      白谷 正治
    • 研究期間 (年度)
      2010 – 2011
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      応用物理学一般
    • 研究機関
      九州大学

  •  プラズマとナノ界面の相互作用に関する学術統合研究研究代表者

    • 研究代表者
      白谷 正治
    • 研究期間 (年度)
      2009 – 2013
    • 研究種目
      新学術領域研究(研究領域提案型)
    • 審査区分
      理工系
    • 研究機関
      九州大学

  •  ナノ粒子含有プラズマによるナノ界面ボンドエンジニアリングの創生研究代表者

    • 研究代表者
      白谷 正治
    • 研究期間 (年度)
      2009 – 2013
    • 研究種目
      新学術領域研究(研究領域提案型)
    • 審査区分
      理工系
    • 研究機関
      九州大学

  •  プラズマとナノ界面の相互作用に関する学術基盤の創成領域代表者

    • 領域代表者
      白谷 正治
    • 研究期間 (年度)
      2009 – 2013
    • 研究種目
      新学術領域研究(研究領域提案型)
    • 研究機関
      九州大学

  •  ナノブロック輸送・配置の学術・技術基盤構築研究代表者

    • 研究代表者
      白谷 正治
    • 研究期間 (年度)
      2008 – 2010
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      応用物理学一般
    • 研究機関
      九州大学

  •  微粒子プラズマによる臨界現象

    • 研究代表者
      林 康明
    • 研究期間 (年度)
      2007 – 2009
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      プラズマ科学
    • 研究機関
      京都工芸繊維大学

  •  インジウム新素材におけるインジウム肺発症の実験的研究

    • 研究代表者
      田中 昭代
    • 研究期間 (年度)
      2007 – 2009
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      衛生学
    • 研究機関
      九州大学

  •  炭素クラスターのアーク合成におけるクラスター径と密度の空間分布測定

    • 研究代表者
      三重野 哲
    • 研究期間 (年度)
      2007 – 2008
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      プラズマ科学
    • 研究機関
      静岡大学

  •  プラズマを用いたナノカプセルの創製と物質内包技術の開発研究代表者

    • 研究代表者
      白谷 正治
    • 研究期間 (年度)
      2006 – 2007
    • 研究種目
      萌芽研究
    • 研究分野
      応用物理学一般
    • 研究機関
      九州大学

  •  ナノ構造の新作製法としてのプラズマ異方性CVD研究代表者

    • 研究代表者
      白谷 正治
    • 研究期間 (年度)
      2004 – 2006
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      薄膜・表面界面物性
    • 研究機関
      九州大学

  •  微重力反応性プラズマ中の微粒子成長

    • 研究代表者
      渡辺 征夫
    • 研究期間 (年度)
      2003 – 2004
    • 研究種目
      萌芽研究
    • 研究分野
      プラズマ科学
    • 研究機関
      九州大学

  •  超高効率太陽電池のためのクラスタ反応制御プラズマCVD

    • 研究代表者
      渡辺 征夫
    • 研究期間 (年度)
      2002 – 2004
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      九州大学

  •  LSI内微細銅配線のためのプラズマ異方性CVD研究代表者

    • 研究代表者
      白谷 正治
    • 研究期間 (年度)
      2002 – 2003
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      表面界面物性
    • 研究機関
      九州大学

  •  シランプラズマ中のSiクラスタの成長機構に関する研究

    • 研究代表者
      渡辺 征夫
    • 研究期間 (年度)
      1999 – 2000
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      応用物理学一般
    • 研究機関
      九州大学

  •  プラズマCVD法による銅薄膜の選択形成に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      白谷 正治
    • 研究期間 (年度)
      1995
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      九州大学

  •  高周波プラズマ・微粒子間相互作用の放電周波数依存性に関する研究

    • 研究代表者
      渡辺 征夫
    • 研究期間 (年度)
      1995 – 1996
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      プラズマ理工学
    • 研究機関
      九州大学

  •  シランプラズマ中Si微粒子の凝集過程に関する研究

    • 研究代表者
      渡辺 征夫
    • 研究期間 (年度)
      1994
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      九州大学

  •  プラズマCVD法による銅薄膜形成機構に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      白谷 正治
    • 研究期間 (年度)
      1994
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      九州大学

  •  気相中微粒子の粒径・密度・屈折率の超高感度レーザ偏光散乱その場測定法の開発研究代表者

    • 研究代表者
      白谷 正治
    • 研究期間 (年度)
      1994 – 1995
    • 研究種目
      試験研究(B)
    • 研究分野
      応用物理学一般
    • 研究機関
      九州大学

  •  シランプラズマ中シリコン微粒子の成長機構の解明

    • 研究代表者
      渡辺 征夫
    • 研究期間 (年度)
      1991 – 1992
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      応用物理学一般
    • 研究機関
      九州大学

  •  高周波電圧矩形波変調法によるシランプラズマの反応制御

    • 研究代表者
      渡辺 征夫
    • 研究期間 (年度)
      1990
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      九州大学

  •  パルス放電希ガス希釈プロセシングプラズマの反応促進機構の解明と応用に関する研究

    • 研究代表者
      渡辺 征夫
    • 研究期間 (年度)
      1989
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      九州大学

  •  パルス放電希ガス希釈プロセシングプラズマの反応促進機構の解明と応用に関する研究

    • 研究代表者
      渡辺 征夫
    • 研究期間 (年度)
      1988
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      九州大学

  •  レザーを用いたMHD発電電極境界層アーク現象に関する研究

    • 研究代表者
      渡辺 征夫
    • 研究期間 (年度)
      1987 – 1988
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      電力工学
    • 研究機関
      九州大学

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すべて 雑誌論文 学会発表 図書 産業財産権

  • [図書] Chapter 31. Title : "Nano-block Assembly Using RF Discharge with Amplitude Modulation (Wiley-VCH Verlag GmbH & Co.)2010
    • 著者名/発表者名
      S.Iwashita, H.Mityata, K.Koga, M.Shiratani
    • 出版者
      Industrial Plasma Technology
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [図書] Industrial Plasma Technology Chapter 31. Title : "Nano-block Assembly Using RF Discharge with Amplitude Modulation" (pp.377-383)2010
    • 著者名/発表者名
      S.Iwashita, H.Mityata, K.Koga, M.Shiratani
    • 総ページ数
      7
    • 出版者
      Wiley-VCH Verlag GmbH & Co.
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [雑誌論文] Room-temperature fabrication of amorphous In2O3:Sn films with high electron mobility via nitrogen mediated amorphization2019
    • 著者名/発表者名
      K. Imoto, H. Wang, D. Yamashita, H. Seo, K. Koga, M. Shiratani, N. Itagaki
    • 雑誌名

      J. Phys.: Conf. Ser.

      巻: in press

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206

  • [雑誌論文] Sputter Epitaxy of (ZnO)x(InN)1-x films on Lattice-mismatched Sapphire Substrate2019
    • 著者名/発表者名
      Miyahara Nanoka、Urakawa Seichi、Yamashita Daisuke、Kamataki Kunihiro、Koga Kazunori、Shiratani Masaharu、Itagaki Naho
    • 雑誌名

      MRS Advances

      巻: in press ページ: 1-6

    • DOI

      10.1557/adv.2019.17

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206

  • [雑誌論文] Effects of Gas Pressure on Size Distribution and Structure of Carbon Nanoparticles Using Ar + CH4 Multi-Hollow Discharged Plasma Chemical Vapor Deposition2019
    • 著者名/発表者名
      Sung Hwa Hwang, Kunihiro Kamataki, Naho Itagaki, Kazunori Koga and Masaharu Shiratani
    • 雑誌名

      Plasma and Fusion Research

      巻: -

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [雑誌論文] Effects of nitrogen impurity on zno crystal growth on Si substrates2019
    • 著者名/発表者名
      Muraoka Soichiro、Jiahao Lyu、Yamashita Daisuke、Kamataki Kunihiro、Koga Kazunori、Shiratani Masaharu、Itagaki Naho
    • 雑誌名

      MRS Advances

      巻: in press ページ: 1-7

    • DOI

      10.1557/adv.2019.28

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206

  • [雑誌論文] Photoluminescence of (ZnO)<sub>0.82</sub>(InN)<sub>0.18</sub> Films: Incident Light Angle Dependence2018
    • 著者名/発表者名
      Miyahara Nanoka、Iwasaki Kazuya、Yamashita Daisuke、Nakamura Daisuke、Seo Hyun Woong、Koga Kazunori、Shiratani Masaharu、Itagaki Naho
    • 雑誌名

      Materials Science Forum

      巻: 941 ページ: 2099-2103

    • DOI

      10.4028/www.scientific.net/msf.941.2099

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206

  • [雑誌論文] Sputter deposition of low resistive amorphous In2O3:Sn films using nitrogen-mediated amorphization method: Effects of target-substrate distance2018
    • 著者名/発表者名
      K. Imoto, D. Yamashita, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani and N, Itagaki
    • 雑誌名

      Proceedings of 40th International Symposium on Dry Process, P-62

      巻: 0

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206

  • [雑誌論文] The effect of the H2 /(H2+Ar) flow-rate ratio on hydrogenated amorphous carbon films grown using Ar/H2/C7H8 plasma chemical vapor deposition2018
    • 著者名/発表者名
      Fang Taojun、Yamaki Kenji、Koga Kazunori、Yamashita Daisuke、Seo Hyunwoong、Itagaki Naho、Shiratani Masaharu、Takenaka Kosuke、Setsuhara Yuichi
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: 印刷中

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2018.02.035

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K13922

  • [雑誌論文] Cross-Correlation Analysis of Fluctuations of Interactions between Nanoparticles and Low Pressure Reactive Plasmas2018
    • 著者名/発表者名
      Zhou Ren、Mori Kento、Ohtomo Hiroshi、Yamashita Daisuke、Seo Hyun Woong、Itagaki Naho、Koga Kazunori、Shiratani Masaharu
    • 雑誌名

      Materials Science Forum

      巻: 941 ページ: 2104-2108

    • DOI

      10.4028/www.scientific.net/msf.941.2104

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [雑誌論文] Effects of Sputtering Pressure on (ZnO)<sub>x</sub>(InN)<sub>1-x</sub> Crystal Film Growth at 450°C2018
    • 著者名/発表者名
      Itagaki Naho、Takeuchi Kazuto、Miyahara Nanoka、Imoto Kouki、Seo Hyun Woong、Koga Kazunori、Shiratani Masaharu
    • 雑誌名

      Materials Science Forum

      巻: 941 ページ: 2093-2098

    • DOI

      10.4028/www.scientific.net/msf.941.2093

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206

  • [雑誌論文] Dependence of CO2 Conversion to CH4 on the CO2 Flow Rate in a Helicon Discharge Plasma2018
    • 著者名/発表者名
      Susumu Toko, Ryu Katayama, Kaunori Koga, Edbertho Leal-Quiros, Masaharu Shiratani
    • 雑誌名

      Science of Advanced Materials

      巻: 10 ページ: 655-659

    • DOI

      10.1166/sam.2018.3141

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15J05441, KAKENHI-PROJECT-18K18754, KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [雑誌論文] Synthesis of Nanoparticles using Low Temperature Plasmas and Its Application to Solar Cells and Tracers in Living Body2017
    • 著者名/発表者名
      Koga Kazunori、Seo Hyunwoong、Tanaka Akiyo、Itagaki Naho、Shiratani Masaharu
    • 雑誌名

      ECS Trans.

      巻: 77 ページ: 17-24

    • DOI

      10.1149/07703.0017ecst

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036, KAKENHI-PROJECT-16H03895, KAKENHI-PROJECT-15H05431

  • [雑誌論文] Hysteresis in volume fraction of clusters incorporated into a-Si:H films deposited by SiH 4 plasma chemical vapor deposition2017
    • 著者名/発表者名
      S. Toko, Y. Torigoe, K. Keya, T. Kojima, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
    • 雑誌名

      Surf. Coat. Technol.

      巻: 印刷中 ページ: 388-394

    • DOI

      10.1016/j.surfcoat.2017.01.034

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15J05441, KAKENHI-PROJECT-26246036, KAKENHI-PROJECT-15H05431

  • [雑誌論文] 低温プラズマによるナノ粒子の合成と太陽電池への応用2017
    • 著者名/発表者名
      古閑一憲, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治
    • 雑誌名

      信学技報 (IEICE Technical Report)

      巻: 117 ページ: 5-9

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [雑誌論文] Performance enhancement of quantum dot-sensitized solar cells based on polymer nano-composite catalyst2017
    • 著者名/発表者名
      Seo Hyunwoong、Gopi Chandu V.V.M.、Kim Hee-Je、Itagaki Naho、Koga Kazunori、Shiratani Masaharu
    • 雑誌名

      Electrochim. Acta

      巻: 249 ページ: 337-342

    • DOI

      10.1016/j.electacta.2017.08.030

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036, KAKENHI-PROJECT-15H05431

  • [雑誌論文] 色素増感太陽電池のポリマー対向電極における触媒反応の活性化2017
    • 著者名/発表者名
      徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 雑誌名

      信学技報 (IEICE Technical Report)

      巻: 117 ページ: 27-29

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [雑誌論文] Surface Modification of Polymer Counter Electrode for Low Cost Dye-sensitized Solar Cells2016
    • 著者名/発表者名
      H. Seo, M. K. Son, S. Hashimoto, T. Takasaki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 雑誌名

      Electrochimica Acta

      巻: 210 ページ: 880-887

    • DOI

      10.1016/j.electacta.2016.06.020

    • 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036, KAKENHI-PROJECT-15H05431, KAKENHI-PROJECT-15K21223

  • [雑誌論文] Catalytic Improvement on Counter Electrode of Dye-Sensitized Solar Cells Using Electrospun Pt Nano-Fibers2016
    • 著者名/発表者名
      H. Seo, M. Shiratani, K. Seneekatima, R. Pornprasertsuk
    • 雑誌名

      J. Nanosci. Nanotechnol.

      巻: 16 ページ: 3332-3337

    • DOI

      10.1166/jnn.2016.12294

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [雑誌論文] Improvement of Charge Transportation in Si Quantum Dot-Sensitized Solar Cells Using Vanadium Doped TiO22016
    • 著者名/発表者名
      H. Seo, D. Ichida, S. Hashimoto, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, S. H. Nam and J. H. Boo
    • 雑誌名

      J. Nanosci. Nanotechnol.

      巻: 16 ページ: 4875-4879

    • DOI

      10.1166/jnn.2016.12210

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036, KAKENHI-PROJECT-15H05431

  • [雑誌論文] Effects of Gas Flow Rate on Deposition Rate and Amount of Si Clusters Incorporated into a-Si:H Films2016
    • 著者名/発表者名
      S. Toko, Y. Torigoe, K. Keya, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 55 号: 1S ページ: 01AA19-01AA19

    • DOI

      10.7567/jjap.55.01aa19

    • ISSN
      0021-4922, 1347-4065
    • 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036, KAKENHI-PROJECT-15H05431, KAKENHI-PROJECT-15J05441

  • [雑誌論文] Fluctuation of Position and Energy of a Fine Particle in Plasma Nanofabrication2016
    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, M. Soejima, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga
    • 雑誌名

      Materials Science Forum

      巻: 879 ページ: 1772-1777

    • DOI

      10.4028/www.scientific.net/msf.879.1772

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036, KAKENHI-PROJECT-15H05431

  • [雑誌論文] Cross correlation analysis of plasma perturbation in amplitude modulated reactive dusty plasmas2015
    • 著者名/発表者名
      T. Ito, M. Soejima, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, T. Kobayashi, S. Inagaki
    • 雑誌名

      Proc. 68th GEC/9th ICRP/33rd SPP

      巻: 60

    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [雑誌論文] Photovoltaic application of Si nanoparticles fabricated by multihollow plasma discharge CVD: Dye and Si co-sensitized solar cells2015
    • 著者名/発表者名
      H. Seo, D. Ichida, S. Hashimoto, G. Uchida, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 54 号: 1S ページ: 01AD02-01AD02

    • DOI

      10.7567/jjap.54.01ad02

    • NAID

      210000144740

    • ISSN
      0021-4922, 1347-4065
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [雑誌論文] Effects of electrode structure on characteristics of multi-hollow discharges2015
    • 著者名/発表者名
      Y. Torigoe, K. Keya, S. Toko, H. Seo, N. Itagaki, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani
    • 雑誌名

      Proc. 68th GEC/9th ICRP/33rd SPP

      巻: 60

    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [雑誌論文] Raman spectroscopy of PIN hydrogenated amorphous silicon solar cells2015
    • 著者名/発表者名
      K. Keya, Y. Torigoe, S. Toko, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 雑誌名

      Proc. 68th GEC/9th ICRP/33rd SPP

      巻: 60

    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [雑誌論文] Laser trapped single fine particle as a probe of plasma parameters2015
    • 著者名/発表者名
      D. Yamashita, M. Soejima, T. Ito, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 雑誌名

      Proc. 68th GEC/9th ICRP/33rd SPP

      巻: 60

    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [雑誌論文] Effects of cluster incorporation into hydrogenated amorphous silicon films in initial discharge phase on film stability2015
    • 著者名/発表者名
      S. Toko, Y. Torigoe, W. Chen, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: 587 ページ: 126-131

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2015.02.052

    • 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108009, KAKENHI-PROJECT-26246036, KAKENHI-PROJECT-15H05431

  • [雑誌論文] Cluster Incorporation into A-Si:H Films Deposited Using H 2 +SiH 4 Discharge Plasmas2015
    • 著者名/発表者名
      S. Toko, Y. Torigoe, K. Keya, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 雑誌名

      Proc. 68th GEC/9th ICRP/33rd SPP

      巻: 60

    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [雑誌論文] Real-time mass measurement of dust particles deposited on vessel wall in a divertor simulator using quartz crystal microbalances2015
    • 著者名/発表者名
      M. Tateishi, K. Koga, R. Katayama, D. Yamashita, K. Kamataki, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, N. Ashikawa, S. Masuzaki, K. Nishimura, A. Sagara, and the LHD Experiment Group
    • 雑誌名

      J. Nucl. Mater.

      巻: 463 ページ: 865-868

    • DOI

      10.1016/j.jnucmat.2014.10.049

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-24108009, KAKENHI-PROJECT-15H05431, KAKENHI-PROJECT-26600126

  • [雑誌論文] Deposition rate and etching rate due to neutral radicals and dust particles measured using QCMs together with a dust eliminating filter2015
    • 著者名/発表者名
      R. Katayama, K. Koga, D. Yamashita, K. Kamataki, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, N. Ashikawa, M. Tokitani, S. Masuzaki, K. Nishimura, A. Sagara, LHD Experimental Group
    • 雑誌名

      Proc. 68th GEC/9th ICRP/33rd SPP

      巻: 60

    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [雑誌論文] Deposition rate and etching rate due to neutral radicals and dust particles measured using QCMs together with a dust eliminating filter2015
    • 著者名/発表者名
      R. Katayama, K. Koga, D. Yamashita, K. Kamataki, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, N. Ashikawa, M. Tokitani, S. Masuzaki, K. Nishimura, A. Sagara, LHD Experimental Group
    • 雑誌名

      Proc. 68th GEC/9th ICRP/33rd SPP

      巻: 60

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600126

  • [雑誌論文] Spatial Profile of Flux of Dust Particles Generated Due to Interaction between Hydrogen Plasmas and Graphite Target2014
    • 著者名/発表者名
      Mizuki Tateishi, Kazunori Koga, Daisuke Yamashita, Kunihiro Kamataki, Giichiro Uchida, Hyunwoong Seo, Naho Itagaki, Masaharu Shiratani, Naoko Ashikawa, Suguru Masuzaki, Kiyohiko Nishimura, Akio Sagara
    • 雑誌名

      JPS Conf. Proc.

      巻: 1 ページ: 15020-15020

    • DOI

      10.7566/jpscp.1.015020

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [雑誌論文] Theory for correlation between plasma fluctuation and fluctuation of nanoparticle growth in reactive plasmas2014
    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani, K.Koga, K.Kamataki, S.Iwashita, G.Uchida, H.Seo, and N.Itagaki
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 53巻 ページ: 10201-10201

    • NAID

      210000143213

    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [雑誌論文] Formation of carbon nanoparticle using Ar+CH4 high pressure nanosecond discharges2014
    • 著者名/発表者名
      K. Koga, X. Dong, S. Iwashita, U. Czarnetzki and M. Shiratani
    • 雑誌名

      J. Phys. : Conf. Series

      巻: 518 ページ: 12020-12020

    • DOI

      10.1088/1742-6596/518/1/012020

    • 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセスとしている
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [雑誌論文] Performance enhancement of dye and Si quantum dot hybrid nanostructured solar cell with TiO2 barrier2014
    • 著者名/発表者名
      H. Seo, D. Ichida, S. Hashimoto, G. Uchida, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
    • 雑誌名

      Trans. Mateｒ. Res. Soc. Jpn.

      巻: 39 ページ: 321-324

    • NAID

      130005004352

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [雑誌論文] Self-organized formation of hierarchically-ordered structures in laser-activated plasma CVD of sp3-bonded BN films2014
    • 著者名/発表者名
      Shojiro Komatsu and Masaharu Shiratani
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 53 号: 1 ページ: 010202-010202

    • DOI

      10.7567/jjap.53.010202

    • NAID

      210000143214

    • ISSN
      0021-4922, 1347-4065
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [雑誌論文] Emission spectroscopy of Ar + H2 + C7H8 plasmas: C7H8 flow rate dependence and pressure dependence2014
    • 著者名/発表者名
      X. Dong, K. Koga, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, Y. Setsuhara, M. Sekine and M. Hori
    • 雑誌名

      J. Phys. : Conf. Series

      巻: 518 ページ: 012010-012010

    • DOI

      10.1088/1742-6596/518/1/012010

    • 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセスとしている
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001, KAKENHI-PROJECT-25600126

  • [雑誌論文] Correlation between Nanoparticle Growth and Plasma Parameters in Low Pressure Reactive VHF Discharge Plasmas2014
    • 著者名/発表者名
      Masaharu Shiratani, Yasuhiko Morita, Kunihiro Kamataki, Hyunwoong Seo, Giichiro Uchida, Naho Itagaki, Kazunori Koga
    • 雑誌名

      JPS Conf. Proc.

      巻: 1 ページ: 15083-15083

    • DOI

      10.7566/jpscp.1.015083

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [雑誌論文] Nanostructure Control of Si and Ge Quantum Dots Based Solar Cells Using Plasma Processes2014
    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, G. Uchida, H. Seo, D. Ichida, K. Koga, N. Itagaki, and K. Kamataki
    • 雑誌名

      Materials Science Forum

      巻: 783-786 ページ: 2022-2027

    • DOI

      10.4028/www.scientific.net/msf.783-786.2022

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [雑誌論文] Theory for correlation between plasma fluctuation and fluctuation of nanoparticle growth in reactive plasmas2014
    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, K. Koga, K. Kamataki, S. Iwashita, G. Uchida, H. Seo, and N. Itagaki
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 53 号: 1 ページ: 010201-010201

    • DOI

      10.7567/jjap.53.010201

    • NAID

      210000143213

    • ISSN
      0021-4922, 1347-4065
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001, KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [雑誌論文] Contribution of H2 plasma etching to radial profile of amount of dust particles in a divertor simulator2014
    • 著者名/発表者名
      M. Tateishi, K. Koga, D. Yamashita, K. Kamataki, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, N. Ashikawa, S. Masuzaki, K. Nishimura and A. Sagara, the LHD Experimental Group
    • 雑誌名

      J. Phys. : Conf. Series

      巻: 518 ページ: 012009-012009

    • DOI

      10.1088/1742-6596/518/1/012009

    • 査読あり / オープンアクセスとしている
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600126

  • [雑誌論文] Dust Hour Glass in a Capacitive RF Discharge2014
    • 著者名/発表者名
      S. Iwashita, E. Schungel, J. Schulze, P. Hartmann, Z. Donko, G. Uchida, K. Koga, M. Shiratani, U. Czarnetzki
    • 雑誌名

      IEEE Trans. Plasma Science

      巻: 42 ページ: 2672-2673

    • DOI

      10.1109/tps.2014.2343975

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [雑誌論文] Plasma etching of single fine particle trapped in Ar plasma by optical tweezers2014
    • 著者名/発表者名
      T. Ito, K. Koga, D. Yamashita, K. Kamataki, N. Itagaki, G. Uchida and M. Shiratani
    • 雑誌名

      J. Phys. : Conf. Series

      巻: 518 ページ: 12014-12014

    • DOI

      10.1088/1742-6596/518/1/012014

    • 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセスとしている
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [雑誌論文] The reduction of charge recombination and performance enhancement by the surface modification of Si quantum dot-sensitized solar cell2013
    • 著者名/発表者名
      Hyunwoong Seo, Yuting Wang, Giichiro Uchida, Kunihiro Kamataki, Naho Itagaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani
    • 雑誌名

      Electrochimica Acta

      巻: 87 ページ: 213-217

    • DOI

      10.1016/j.electacta.2012.09.087

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [雑誌論文] Correlation between Volume Fraction of Silicon Clusters in Amorphous Silicon Films and Optical Emission Properties of Si and SiH2013
    • 著者名/発表者名
      Y. Kim, K. Hatozaki, Y. Hashimoto, G. Uchida, K. Kamataki, N. Itagaki, H. Seo, K. Koga, and M. Shiratani
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 52 号: 11S ページ: 11NA07-11NA07

    • DOI

      10.7567/jjap.52.11na07

    • NAID

      210000143093

    • ISSN
      0021-4922, 1347-4065
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [雑誌論文] the LHD Experimental Group, Flux Control of Carbon Nanoparticles Generated due to Interactions between Hydrogen Plasmas and Graphite Using DC-Biased Substrates2013
    • 著者名/発表者名
      K.Koga, M.Tateishi, K.Nishiyama, G.Uchida, K.Kamataki, D.Yamashita, H.Seo, N.Itagaki, M.Shiratani, N.Ashikawa, S.Muzaki, K.Nishimura, Akiko Sagara
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: Vol.52

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [雑誌論文] Coreshell nanoparticles generated by plasma CVD and their applications to Li ion batteries2013
    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, Y. Morita, K. Kamataki, Y. Kanemitsu, D. Ichida, G. Uchida, H. Seo, N. Itagaki and K. Koga
    • 雑誌名

      ISPC 21 Proceedings

      巻: - ページ: 212-212

    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [雑誌論文] High Amount Cluster Incorporation in Initial Si Film Deposition by SiH4 Plasma Chemical Vapor Deposition2013
    • 著者名/発表者名
      Yeonwon Kim, Kosuke Hatozaki, Yuji Hashimoto, Giichiro Uchida, Kunihiro Kamataki, Naho Itagaki, Hyunwoong Seo, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 52 号: 1S ページ: 01AD01-01AD01

    • DOI

      10.7567/jjap.52.01ad01

    • NAID

      210000141764

    • ISSN
      0021-4922, 1347-4065
    • 年月日
      2013-01-01
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [雑誌論文] Effects of nanoparticle incorporation on properties of microcrystalline films deposited using multi-hollow discharge plasma CVD2013
    • 著者名/発表者名
      Y.Kim, T.Matsunaga, K.Nakahara, H.Seo, K.Kamataki, G.Uchida, N.Itagaki, K.Koga, M.Shiratani
    • 雑誌名

      Surf. Coat. Technol.

      巻: Vol.228

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [雑誌論文] Analysis on the effect of polysulfide electrolyte composition for higher performance of Si quantum dot-sensitized solar cells2013
    • 著者名/発表者名
      Hyunwoong Seo, Yuting Wang, Giichiro Uchida, Kunihiro Kamataki, Naho Itagaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani
    • 雑誌名

      Electrochimica Acta

      巻: 95 ページ: 43-47

    • DOI

      10.1016/j.electacta.2013.02.026

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [雑誌論文] Observation of nanoparticle growth process using a high speed camera2013
    • 著者名/発表者名
      Y. Morita, S. Iwashita, D. Yamashita, G. Uchida, K. Kamataki, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
    • 雑誌名

      ISPC 21 Proceedings

      巻: - ページ: 264-264

    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [雑誌論文] Flux Control of Carbon Nanoparticles Generated due to Interactions between Hydrogen Plasmas and Graphite Using DC-Biased Substrates2013
    • 著者名/発表者名
      K. Koga, M. Tateishi, K. Nishiyama, G. Uchida, K. Kamataki, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, N. Ashikawa, S. Muzaki, K. Nishimura, Akiko Sagara, the LHD Experimental Group
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 52 号: 11S ページ: 11NA08-11NA08

    • DOI

      10.7567/jjap.52.11na08

    • NAID

      210000143094

    • ISSN
      0021-4922, 1347-4065
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [雑誌論文] Effects of nanoparticle incorporation on properties of microcrystalline films deposited using multi-hollow discharge plasma CVD2013
    • 著者名/発表者名
      Y. Kim, T. Matsunaga, K. Nakahara, H. Seo, K. Kamataki, G. Uchida, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 雑誌名

      Surface and Coatings Technology

      巻: 228

    • DOI

      10.1016/j.surfcoat.2012.04.029

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005, KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [雑誌論文] Correlation between Volume Fraction of Silicon Clusters in Amorphous Silicon Films and Optical Emission Properties of Si and SiH2013
    • 著者名/発表者名
      Y.Kim, K.Hatozaki, Y.Hashimoto, G.Uchida, K.Kamataki, N.Itagaki, H.Seo, K.Koga, and M.Shiratani
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: Vol.52

    • NAID

      210000143093

    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [雑誌論文] Dust particle formation due to interaction between graphite and helicon deuterium plasmas2013
    • 著者名/発表者名
      Shinya Iwashita, Katsushi Nishiyama, Giichiro Uchida, Hyunwoong Seo, Naho Itagaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani
    • 雑誌名

      Fusion Engineering and Design

      巻: 88 ページ: 28-32

    • DOI

      10.1016/j.fusengdes.2012.10.002

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [雑誌論文] Improvement of Si Adhesion and Reduction of Electron Recombination for Si Quantum Dot-Sensitized Solar Cells2013
    • 著者名/発表者名
      Hyunwoong Seo, Yuting Wang, Muneharu Sato, Giichiro Uchida, Kunihiro Kamataki, Naho Itagaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 52 号: 1S ページ: 01AD05-01AD05

    • DOI

      10.7567/jjap.52.01ad05

    • NAID

      210000141768

    • ISSN
      0021-4922, 1347-4065
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [雑誌論文] Effects of nanoparticle incorporation on properties of microcrystalline films deposited using multi-hollow discharge plasma CVD2013
    • 著者名/発表者名
      Y.Kim, T.Matsunaga, K.Nakahara, H.Seo, K.Kamataki, G.Uchida, N.Itagaki, K.Koga, M.Shiratani
    • 雑誌名

      Surf. Coat. Technol.

      巻: Vol.228

    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [雑誌論文] The Optical Analysis and Application of Size-controllable Si Quantum Dots Fabricated by Multi-hollow Discharge Plasma Chemical Vapor Deposition2012
    • 著者名/発表者名
      Hyunwoong Seo, Yuting Wang, Giichiro Uchida, Kunihiro Kamataki, Naho Itagaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani
    • 雑誌名

      Materials Research Society Symposium Proceedings 2012 MRS Spring Meeting

      巻: 426 ページ: 313-318

    • DOI

      10.1557/opl.2012.890

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [雑誌論文] Growth Control of Dry Yeast Using Scalable Atmospheric Pressure Dielectric Barrier Discharge Plasma Irradiation2012
    • 著者名/発表者名
      S.Kitazaki, K.Koga, M.Shiratani, N.Hayashi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 51 号: 1 ページ: 01AE01-01AE01

    • DOI

      10.1143/jjap.51.01ae01

    • NAID

      210000141656

    • ISSN
      0021-4922, 1347-4065
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-10J06939, KAKENHI-PROJECT-22656022, KAKENHI-PROJECT-24340143

  • [雑誌論文] In situ analysis of size dispersion of nano-particles in reactive plasma using two dimentional laser light scattering method2012
    • 著者名/発表者名
      K.Kamataki, Y.Morita, M.Shiratani, K.Koga, G.Uchida, N.Itagaki
    • 雑誌名

      J. Inst.

      巻: Vol.7

    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [雑誌論文] In situ analysis of size dispersion of nano-particles in reactive plasmas using two dimentional laser light scattering method2012
    • 著者名/発表者名
      K. Kamataki, Y. Morita, M. Shiratani, K. Koga, G. Uchida and N. Itagaki
    • 雑誌名

      Journal of Instrumentation (JINST)

      巻: Vol. 7

    • DOI

      10.1088/1748-0221/7/04/c04017

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23740408, KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [雑誌論文] Effects of crystalline nanoparticle incorporation on growth, structure, and properties of microcrystalline silicon films deposited by plasma CVD2012
    • 著者名/発表者名
      Yeonwon Kim, Takeaki Matsunaga, Kenta Nakahara ,Giichiro Uchida, Kunihiro Kamataki , Naho Itagaki, Hyunwoong Seo, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: 523 ページ: 29-33

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2012.06.023

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [雑誌論文] In-situ Measurements of Cluster Volume Fraction in Silicon Thin Films Using Quartz Crystal Microbalances2012
    • 著者名/発表者名
      Yeonwon Kim, Kosuke Hatozaki, Yuji Hashimoto, Hyunwoong Seo, Giichiro Uchida, Kunihiro Kamataki, Naho Itagaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani
    • 雑誌名

      Materials Research Society Symposium Proceedings 2012 MRS Spring Meeting

      巻: 1426 ページ: 307-311

    • DOI

      10.1557/opl.2012.839

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [雑誌論文] Control of radial density profile of nano-particle produced in reactive plasma by amplitude modulation of rf discharge voltage2012
    • 著者名/発表者名
      Kunihiro Kamataki, Kazunori Koga, Giichiro Uchida, Naho Itagaki, Daisuke Yamashita, Hidefumi Matsuzaki, Masaharu Shiratani
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: Vol.523 ページ: 76-76

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [雑誌論文] High quality epitaxial ZnO films grown on solid-phase crystallized buffer layers2012
    • 著者名/発表者名
      K. Kuwahara, N. Itagaki
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: Vol. 520 ページ: 4674-4674

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2011.10.136

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23760285, KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [雑誌論文] Nano-factories in plasma : present status and outlook2011
    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani, K.Koga, S.Iwashita, G.Uchida, N.Itagaki, K.Kamataki
    • 雑誌名

      Journal of Physics D : Applied Physics

      巻: 44

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [雑誌論文] Study of interaction between plasma fluctuation and nucleation of nanoparticle in plasma CVD2011
    • 著者名/発表者名
      K.Kamataki, K.Koga, G.Uchida, N.Itagaki, M.Shiratani
    • 雑誌名

      Proceedings of Plasma Conference 2011

    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [雑誌論文] Impacts of Amplitude Modulation of RF Discharge Voltage on the Growth of Nanoparticles in Reactive Plasmas2011
    • 著者名/発表者名
      K.Kamataki, H.Miyata, K.Koga, G.Uchida, N.Itagaki, M.Shiratani
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: Vol.4 ページ: 100501-100501

    • NAID

      120005289478

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [雑誌論文] Growth promotion characteristics of bread yeast by atmospheric pressure dielectric barrier discharge plasma irradiation2011
    • 著者名/発表者名
      S. Kitazaki, K. Koga, M. Shiratani, N. Hayashi
    • 雑誌名

      Proceedings of Plasma Conference 2011

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22656022

  • [雑誌論文] Nano-factories in plasma : present status and outlook2011
    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani, K.Koga, S.Iwashita, G.Uchida, N.Itagaki, K.Kamataki
    • 雑誌名

      J. Phys. D : Appl. Phys.

      巻: Vol.44 ページ: 174038-174038

    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [雑誌論文] Growth promotion characteristics of bread yeast by atmospheric pressure dielectric barrier discharge plasma irradiation2011
    • 著者名/発表者名
      S.Kitazaki, K.Koga, M.Shiratani, N.Hayashi
    • 雑誌名

      Proceedings of Plasma Conference 2011 (PLASMA2011)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22656022

  • [雑誌論文] Redox Characteristics of Amino Acids Using Low Pressure Water Vapor RF Plasma2010
    • 著者名/発表者名
      Y. Akyoshi, A. Nakasigashi, N. Hayashi, S. Kitazaki, T. Iwao, K. Koga, M. Shiratani
    • 雑誌名

      Proceedings of IEEE TENCON 2010

      ページ: 1957-1957

    • DOI

      10.1109/tencon.2010.5686467

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22656022

  • [雑誌論文] Review of pulmonary toxicity of indium compounds to animals and humans.2010
    • 著者名/発表者名
      A. Tanaka、M. Hirata, Y. Kiyohara, K. Omae, M. Nakano, M. Shiratani, K. Koga
    • 雑誌名

      Thin Solid Films. 518

      ページ: 2937-2936

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19390164

  • [雑誌論文] Redox Characteristics of Amino Acids Using Low Pressure Water Vapor RF Plasma2010
    • 著者名/発表者名
      Y.Akiyoshi, A.Nakahigashi, N.Hayashi, S.Kitazaki, T.Iwao, K.Koga, M.Shiratani
    • 雑誌名

      Proceedings of IEEE TENCON 2010

      ページ: 1957-1959

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22656022

  • [雑誌論文] Fluctuation Control for Plasma Nanotechnologies2010
    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani, K.Koga, G.Uchida, N.Itagaki, K.Kamataki
    • 雑誌名

      Proc. IEEE TENCON 2010

      巻: XII

    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [雑誌論文] Academic Roadmap of Plasma Process Technologies2010
    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani
    • 雑誌名

      Proceedings of 63^<rd> Annual Gaseous Electronics Conference and 7^<th> International Conference on Reactive Plasmas

    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [雑誌論文] LHD Experimental Group, Carbon Dust Particles Generated Due to H_2 Plasma-Carbon Wall Interaction2010
    • 著者名/発表者名
      H.Miyata, K.Nishiyama, S.Iwashita, H.Matsuzaki, D.Yamashita, G.Uchida, N.Itagaki, K.Kamataki, K.Koga, M.Shiratani, N.Ashikawa, S.Masuzaki, K.Nishimura, A.Sagara
    • 雑誌名

      Proceedings of 63rd Annual Gaseous Electronics Conference and 7th International Conference on Reactive Plasmas

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [雑誌論文] Academic Roadmap of Plasma Process Technologies2010
    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani
    • 雑誌名

      Proc. 63rd Annual Gaseous Electronics Conf.

    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [雑誌論文] Fluctuation Control for Plasma Nano technologies2010
    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani, K.Koga, G. Uchida, K.Kamataki, N.Itagaki
    • 雑誌名

      Proceedings of IEEE TENCON 2010

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [雑誌論文] Carbon Dust Particles Generated Due to H_2 Plasma-Carbon Wall Interaction2010
    • 著者名/発表者名
      H.Miyata, K.Nishiyama, S.Iwashita, H.Matsuzaki, D.Yamashita, G.Uchida, N.Itagaki, K.Kamataki, K.Koga, M.Shiratani, N.Ashikawa, S.Masuzaki, K.Nishimura, A.Sagara LHDexperimentalGroup
    • 雑誌名

      Proceedings of 63^<rd> Annual Gaseous Electronics Conference and 7th International Conference on Reactive Plasmas

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [雑誌論文] Growth Stimulation of Radish Sprouts Using Discharge Plasmas2010
    • 著者名/発表者名
      S. Kitazaki, D. Yamashita, H. Matsuzaki, G. Uchida, K. Koga, M. Shiratani
    • 雑誌名

      roceedings of IEEE TENCON 2010

      ページ: 1960-1960

    • DOI

      10.1109/tencon.2010.5686474

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22656022

  • [雑誌論文] Growth Stimulation of Radish Sprouts Using Discharge Plasmas2010
    • 著者名/発表者名
      S.Kitazaki, D.Yamashita, H.Matsuzaki, G.Uchida, K.Koga, M.Shiratani
    • 雑誌名

      Proceedings of IEEE TENCON 2010

      ページ: 1960-1963

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22656022

  • [雑誌論文] プラズマ・プロセス技術2010
    • 著者名/発表者名
      白谷正治
    • 雑誌名

      応用物理

      巻: 79 ページ: 717-719

    • NAID

      10026494758

    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [雑誌論文] Effects of Amplitude Modulation of rf Discharge Voltage on Growth of Nano-Particles in Reactive Plasmas2010
    • 著者名/発表者名
      K.Kamataki, H.Miyata, K.Koga, G.Uchida, N.Itagaki, D.Yamashita, H.Matsuzaki, M.Shiratani
    • 雑誌名

      Proc.of IEEE TENCON 2010

      ページ: 1943-1947

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [雑誌論文] Effects of Ar Addition on Breakdown Voltage in a Si(CH_3)_2(OCH_3)_2 RF Discharge2010
    • 著者名/発表者名
      G.Uchida, S.Nunomura, H.Miyata, S.Iwashita, D.Yamashita, H.Matsuzaki, K.Kamataki, N.Itagaki, K.Koga, M.Shiratani
    • 雑誌名

      Proceedings of IEEE TENCON 2010

      ページ: 2199-2201

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [雑誌論文] Detection of nano-particles formed in CVD plasmas using a two-dimensional photon-counting laser-light-scattering method2009
    • 著者名/発表者名
      Hiroomi Miyahara, Shinya Iwashita, Hiroshi Miyata, Hidefumi Matsuzaki, Kazunori Koga, Masaham Shiratani
    • 雑誌名

      Journal of Plasma and Fusion Research Series 8

      ページ: 700-704

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [雑誌論文] Porosity Control of Nano-Particle Composite Porous Low Dielectric Films using Pulse RF Discharges with Amplitude Modulation2009
    • 著者名/発表者名
      S.Iwashita, H.Miyata, K.Koga, H.Matsuzaki, M.Shiratani, M.Akiyama
    • 雑誌名

      Proceedings of 2009 International Symposium on Dry Process

      ページ: 99-100

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [雑誌論文] Porosity Control of Nano-Particle Composite Porous Low Dielectric Films using Pulse RF Discharges with Amplitude Modulation2009
    • 著者名/発表者名
      Shinya Iwashita, Hiroshi Miyata, Kazunori Koga, Hidefumi Matsuzaki, Masaharu Shiratani, Morito Akiyama
    • 雑誌名

      Proceedings of 2009 International Symposium on Dry Process

      ページ: 99-100

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [雑誌論文] Control of Three Dimensional Transport of Nano-blocks by Amplitude Modulated Pulse RF Discharges using an Electrode with Needles2009
    • 著者名/発表者名
      Shinya Iwashita, Hiroshi Miyata, Hidefumi Matsuzaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani
    • 雑誌名

      Journal of Plasma and Fusion Research Series 8

      ページ: 582-586

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [雑誌論文] Detection of nano-particles formed in CVD plasmas using a two-dimensional photon counting laser light scattering method2009
    • 著者名/発表者名
      H.Miyahara, S.Iwashita, H.Miyata, H.Matsuzaki, K.Koga, M.Shiratani
    • 雑誌名

      Journal of Plasma and Fusion Research Series vol.8

      ページ: 700-704

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [雑誌論文] Control of Three Dimensional Transport of Nano-blocks by Amplitude Modulated Pulse RF Discharges using an Electrode with Needles2009
    • 著者名/発表者名
      S.Iwashita, H.Miyata, H.Matsuzaki, K.Koga, M.Shiratani
    • 雑誌名

      Journal of Plasma and Fusion Research Series vol.8

      ページ: 582-586

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [雑誌論文] Rapid transport of nano-particles having a fractional elemental charge on average in capacitively coupled rf discharges by amplitude modulating discharge voltage2008
    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani, K.Koga, S.Iwashita, S.Nunomura
    • 雑誌名

      Faraday Discussions Vol.137

      ページ: 127-138

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [雑誌論文] Rapid transport of nano-particles having a fractional elemental charge on average in capacitivelly coupled rf discharges by amplitude modulating discharge voltage2008
    • 著者名/発表者名
      Masaharu Shiratani, Kazunori Koga, Shinya Iwashita and Syota Nunomura
    • 雑誌名

      Faraday Discussions 138

      ページ: 127-127

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18656027

  • [雑誌論文] Nanoparticle coagulation in fractionally charged and charge fluctuating dusty plasmas2008
    • 著者名/発表者名
      S.Nunomura, M.Shiratani, K.Koga, M.Kondo, Y.Watanabe
    • 雑誌名

      Art. vol.15

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [雑誌論文] Nanoparticle coagulation in fractionally charged and charge fluctuating dusty plasmas2008
    • 著者名/発表者名
      Shota Nunomura, Masaharu Shiratani, Kazunori Koga, Michio Kondo, Yukio Watanabe
    • 雑誌名

      Phys. Plasmas 15

      ページ: 80703-80703

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [雑誌論文] Rapid transport of nano-particles in amplitude modulated rf discharges for depositing porous ultra-low-k films2008
    • 著者名/発表者名
      Shinya Iwashita, Michihito Morita, Kazunori Koga, and Masaharu Shiratani
    • 雑誌名

      Journal of Physics: Conference Series (In press)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18656027

  • [雑誌論文] Rapid transport of nano-particles having a fractional elemental charge on average in capacitively coupled rf discharges by amplitude modulating discharge voltage2008
    • 著者名/発表者名
      Masaharu Shiratani, Kazunori Koga, Shinya Iwashita, Shota Nunomura
    • 雑誌名

      Faraday Discussions 137

      ページ: 127-138

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [雑誌論文] Nanoparticle coagulation in fractionally charged and charge fluctuating dusty plasmas2008
    • 著者名/発表者名
      S. Nunomura, M. Shiratani, K. Koga, M. Kondo, Y. Watanabe
    • 雑誌名

      Physics of Plasmas 15

      ページ: 80703-80703

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19340177

  • [雑誌論文] Transport of Nano-particles in Amplitude Modulated RF Discharges2007
    • 著者名/発表者名
      Shinya Iwashita, Kazunori Koga, and Masaharu Shiratani
    • 雑誌名

      Transactions of the Materials Research Society of Japan 32

      ページ: 501-504

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18656027

  • [雑誌論文] Transport of nano-particles after turning off rf discharges2007
    • 著者名/発表者名
      Shinya Iwashita, Michihito Morita, Kazunori Koga, and Masaharu Shiratani
    • 雑誌名

      Proceedings of 18th Internatiolnal Symposium on Plasma Chemistry (CD-ROM)

      ページ: 507-507

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18656027

  • [雑誌論文] ransport of nano-particles in capacitively coupled rf discharges without and with amplitude modulation of discharge voltage2007
    • 著者名/発表者名
      Kazunori Koga, Shinya Iwashita, and Masaharu Shiratani
    • 雑誌名

      Journal of Physics D: Applied Physics 40

      ページ: 2267-2271

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18656027

  • [雑誌論文] Mechanism of Cu deposition from Cu(EDMDD)_2 using H-assisted plasma CVD2006
    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe, Toshiya Shingen
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 506-507

      ページ: 197-201

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360020

  • [雑誌論文] Substrate temperature dependence of deposition rate in anisotropic plasma CVD of Cu2006
    • 著者名/発表者名
      Masaharu Shiratani, Kosuke Takenaka, Takao Kaji, Kazunori Koga, Yukio Watanabe
    • 雑誌名

      Thin Solid Films (in press)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360020

  • [雑誌論文] Mechanism of Cu deposition from Cu (EDMDD)_2 using H-assisted plasma CVD2006
    • 著者名/発表者名
      K.Takenaka, K.Koga, M.Shiratani, Y.Watanabe, T.Shingen
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 506-507

      ページ: 197-201

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360020

  • [雑誌論文] Mechanism of Cu deposition from Cu(EDMDD)_2 using H-assisted plasma CVD2006
    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe, Toshiya Shingen
    • 雑誌名

      Thin Solid Films (in press)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360020

  • [雑誌論文] Plasma anisotropic CVD of high purity Cu using Cu(hfac)_22006
    • 著者名/発表者名
      Masaharu Shiratani, Takao Kaji, Kazunori Koga, Yukio Wtanabe, Tomohiro Kubota, Seiji Samukawa
    • 雑誌名

      Proceedings of the 6th International Conference on Reactive Plasmas and 23rd Symposium on Plasma Processing

      ページ: 119-120

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360020

  • [雑誌論文] Production of crystalline Si nano-clusters using pulsed H_2+SiH_4 VHF discharge2005
    • 著者名/発表者名
      Tomohide Kakeya, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe, Michio Kondo
    • 雑誌名

      Thin Solid Films (in press)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205047

  • [雑誌論文] Measruement of H density in Cu CVD discharges using VUV absorption spectroscopy2005
    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Takao Kaji, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe
    • 雑誌名

      Proc.of Plasma Science Sympoium-2005 and 22nd Symposium on Plasma Processing

      ページ: 639-640

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360020

  • [雑誌論文] Production of crystalline Si nano-clusters using pulsed H_2+SiH_4 VHF discharges2005
    • 著者名/発表者名
      Tomohide Kakeya, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe, Michio Kondo
    • 雑誌名

      Thin Solid Films (in oress)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15654082

  • [雑誌論文] Evaluation of contribution of higher-order silane radicals in silane discharges to Si-H_2 bond formation in a-Si:H films2005
    • 著者名/発表者名
      Kazunori Koga, Naoto Kaguchi, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe
    • 雑誌名

      Proceedings of International Symposium on Novel Materials Processing by Advanced Electromagnetic Energy Sources (in press)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205047

  • [雑誌論文] Productin of Crystalline Si Nano-particles Using Pulse VHF discharges and Their Stability2005
    • 著者名/発表者名
      Tomohide Kakeya, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe
    • 雑誌名

      Proceedings of Plasma Science Symposium 2005 and The 22nd Symposium on Plasma Processing

      ページ: 643-644

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205047

  • [雑誌論文] Plasma anisotropic CVD of high purity Cu using Cu(hfac)_22005
    • 著者名/発表者名
      Masaharu Shiratani, Takao Kaji, Kazunori Koga, Yukio Watanabe, Tomohiro Kubota, Seiji Samukawa
    • 雑誌名

      Proc.of the 6 th International Conference on Reactive Plasmas and 23 rd Symposium on Plasma Processing

      ページ: 119-120

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360020

  • [雑誌論文] Effects of ion irradiation on plasma anisotropic CVD2005
    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Manabu Takeshita, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe
    • 雑誌名

      Novel Materials Processing by Advanced Electromagnetic Energy Sources

      ページ: 75-78

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360020

  • [雑誌論文] Deposition of highly stable a Si:H films using cluster-eliminating filter2005
    • 著者名/発表者名
      Kazunori Koga, Naoto Kaguchi, Kouki Bando, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe
    • 雑誌名

      Proceedings of Plasma Science Symposium 2005 and The 22nd Symposium on Plasma Processing

      ページ: 157-158

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205047

  • [雑誌論文] Nano-particle formation due to interaction between H_2 plasma and carbon wall2005
    • 著者名/発表者名
      Kazunori Koga, Yasuhiro Kitamura, Masaharu SHiratani, Yukio Watanabe, Akio Komori
    • 雑誌名

      Thin Solid Films (in press)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15654082

  • [雑誌論文] Deposition of highly stable a-Si : H films using cluster-eliminating filter2005
    • 著者名/発表者名
      Kazunori Koga, Naoto Kaguchi, Kouki Bando, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe
    • 雑誌名

      Proceedings of Plasma Science Symposium 2005 and The 22nd Symposium on Plasma Processing

      ページ: 157-158

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205047

  • [雑誌論文] Species responsible for Si-H_2 bond formation in a-Si:H films deposited using silane high frequency discharges2005
    • 著者名/発表者名
      Masaharu Shiratani, Kazunori Koga, Naoto Kaguchi, Kouki Bando, Yukio Watanabe
    • 雑誌名

      Thin Solid Films (in press)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205047

  • [雑誌論文] Mechanism of Cu deposition from Cu(EDMDD)_2 using H-assisted plasma CVD2005
    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe, Toshiya Shingenn
    • 雑誌名

      Thin Solid Films (in press)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360020

  • [雑誌論文] Production of crystalline Si nano-clusters using pulsed H_2+SiH_4 VHF discharges2005
    • 著者名/発表者名
      Tomohide Kakeya, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe, Michio Kondo
    • 雑誌名

      Thin Solid Films (in press)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205047

  • [雑誌論文] Control of deposition profile of Cu for LSI interconnects by plasma chemical vapor deposition2005
    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Masaharu Shiratani, Manabu Takeshita, Makoto Kita, Kazunori Koga, Yukio Watanabe
    • 雑誌名

      Pure Appl.Chem. 77, 2

      ページ: 391-398

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360020

  • [雑誌論文] Control of deposition profile of Cu for LSI interconnects by plasma chemical vapor deposition2005
    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Masaharu Shiratani, Manabu Takeshita, Makoto Kita, Kazunori Koga, Yukio Watanabe
    • 雑誌名

      Pure Appl. Chem. 77

      ページ: 391-398

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360020

  • [雑誌論文] Deposition of highly stable a-Si:H films using cluster-eliminating filter2005
    • 著者名/発表者名
      Kazunori Koga, Naoto Kaguchi, Kouki Bando, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe
    • 雑誌名

      Proceedings of Plasma Science Symposium 2005 and The 22nd Symposium on Plasma Processing

      ページ: 157-158

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205047

  • [雑誌論文] Measruement of H density in Cu CVD discharges using VUV absorption spectroscopy2005
    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Takao Kaji, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe
    • 雑誌名

      Proc. of Plasma Science Sympoium-2005 and 22nd Symposium on Plasma Processing

      ページ: 639-640

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360020

  • [雑誌論文] Study on ion irradiation effects on plasma anisotropic Cu CVD using triode discharge2005
    • 著者名/発表者名
      Takao Kaji, Kosuke Takenaka, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe
    • 雑誌名

      Proc.of Plasma Science Sympoium-2005 and 22nd Symposium on Plasma Processing

      ページ: 641-642

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360020

  • [雑誌論文] Effects of sputtering due to ion irradiation on plasma anisotoropiv CVD of Cu2005
    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka Manabu Takeshita, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe
    • 雑誌名

      Novel Materials Processing by Advanced Electromagnetic Energy Sources

      ページ: 75-78

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360020

  • [雑誌論文] Study on ion irradiation effects on plasma anisotropic Cu CVD using triode discharge2005
    • 著者名/発表者名
      Takao Kaji, Kosuke Takenaka, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe
    • 雑誌名

      Proc. of Plasma Science Sympoium-2005 and 22nd Symposium on Plasma Processing

      ページ: 391-398

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360020

  • [雑誌論文] Production of Crystalline Si Nano-particles Using Pulse VHF discharges and Their Stability2005
    • 著者名/発表者名
      Tomohide Kakeya, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe
    • 雑誌名

      Proceedings of Plasma Science Symposium 2005 and The 22nd Symposium on Plasma Processing

      ページ: 643-644

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205047

  • [雑誌論文] Anisotropic deposition of Cu using plasma CVD2004
    • 著者名/発表者名
      Masaharu Shiratani, Kosuke Takenaka, Kazunori Koga, Yukio Watanabe
    • 雑誌名

      Proceedings of International COE Forum on Plasma Science and Technology

      ページ: 33-34

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360020

  • [雑誌論文] Evaluation of contribution of higher-order silane radicals in silane discharges to Si-H_2 bond formation in a-Si:H films2004
    • 著者名/発表者名
      Kazunori Koga, Naoto Kaguchi, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe
    • 雑誌名

      Proceedings of International Symposium on Novel Materials Processing by Advanced Electromagnetic Energy Sources (in press)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205047

  • [雑誌論文] Effects of solvent on properties of Cu films prepared by HAPCVD using Cu (EDMDD)_22004
    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Takao Kaji, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe
    • 雑誌名

      Proceedings of 26th International Symposium on Dry Process

      ページ: 347-352

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360020

  • [雑誌論文] Anisotropic deposition of Cu using plasma CVD2004
    • 著者名/発表者名
      Masaharu Shiratani, Kosuke Takenaka, Kazunori Koga, Yukio Watanabe
    • 雑誌名

      Proceedings of International COR Forum on Plasma Science and Technology

      ページ: 33-34

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360020

  • [雑誌論文] Effects of solvent on properties of Cu films prepared by HAPCVD using Cu(EDMDD)_22004
    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Takao Kaji, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe
    • 雑誌名

      Proceedings of 26th International Symposium on Dry Process

      ページ: 347-352

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360020

  • [雑誌論文] Correlation between volume fraction of clusters incorporated into a-Si : H films and hydrogen content associated with Si-H_2 bonds in the films2004
    • 著者名/発表者名
      Kazunori Koga, Naoto Kaguchi, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science and Technology A 22-4

      ページ: 1536-1539

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205047

  • [雑誌論文] Anisotropic Deposition of Cu in trenches by H-assisted Plasma Chemical Vapor Deposition2004
    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Makoto Kita, Toshio Kinoshita, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science and Technology A 22, 4

      ページ: 1903-1907

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360020

  • [雑誌論文] Correlation between volume fraction of clusters incorporated into a-Si:H films and hydrogen content associated with Si-H_2 bonds in the films2004
    • 著者名/発表者名
      Kazunori Koga, Naoto Kaguchi, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science and Technology A 22・4

      ページ: 1536-1539

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205047

  • [雑誌論文] Anisotropic Deposition of Cu in trenches by H-assisted Plasma Chemical Vapor Deposition2004
    • 著者名/発表者名
      K.Takenaka, M.Kita, T.Kinoshita, K.Koga, M.Shiratani, Y.Watanabe
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science and Technology A 22・4

      ページ: 1903-1907

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360020

  • [雑誌論文] Dissociative ionization of Cu(EDMDD)_2 by electron impact2004
    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Manabu Takeshita, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe
    • 雑誌名

      Proceedings of International COE Forum on Plasma Science and Technology

      ページ: 171-172

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360020

  • [雑誌論文] Si Nano-Particles Formed in Plasmas under Microgravity and One G Conditions2004
    • 著者名/発表者名
      Masaharu Shiratani, T.Kakeya, K.Koga, Yukio Watanabe
    • 雑誌名

      Proc.of International Workshop on Plasma Nano-Technology and Its Future Vision

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15654082

  • [雑誌論文] Effects of ion irradiation on plasma anisotropic CVD2004
    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Manabu Takeshita, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe
    • 雑誌名

      Proceedings of International Symposium on Novel Materials Processing by Adbanced Electromagnetic Energy Sources (in press)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360020

  • [雑誌論文] Anisotropic Deposition of Cu in trenches by H-assisted Plasma Chemical Vapor Deposition2004
    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Makoto Kita, Toshio Kinoshita, hazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science and Technology A 22

      ページ: 1903-1907

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360020

  • [雑誌論文] Dissociative ionization of Cu(EDMDD)_2 by electron impact2004
    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka, Manabu Takeshita, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe
    • 雑誌名

      Proceedings of International COR Forum on Plasma Science and Technology

      ページ: 171-172

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360020

  • [雑誌論文] Control of Three Dimensional Transport of Nano-blocks by Amplitude Modulated Pulse RF discharges using an Electrode with Needles
    • 著者名/発表者名
      Shinya IWASHITA, Hiroshi MIYATA, Hidefumi MATSUZAKI, Kazunori KOGA, Masaharu SHIRATANI
    • 雑誌名

      Journal of Plasma and Fusion Research Series (in press)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [雑誌論文] Detection of nano-particles formed in cvd plasmas using a two-dimensional photon-counting laser-light-scattering method
    • 著者名/発表者名
      Hiroomi Miyahara, Shinya Iwashita, Hiroshi Miyata, Hidefumi Matsuzaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani
    • 雑誌名

      Journal of Plasma and Fusion Research Series (in press)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [産業財産権] クラスタフリーアモルファスシリコン膜とそれを製造する方法及び装置2004
    • 発明者名
      渡辺 征夫, 白谷 正治, 古閑 一憲
    • 権利者名
      九州大学
    • 産業財産権番号
      2004-244333
    • 出願年月日
      2004-08-31
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-14205047

  • [学会発表] スパッタエピタキシーによるサファイア基板上(ZnO)x(InN)1-x薄膜の2段階成長2019
    • 著者名/発表者名
      宮原奈乃華，浦川聖市，山下大輔, 鎌滝晋礼，古閑 一憲，白谷 正治，板垣 奈穂
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春季学術講演会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206

  • [学会発表] Deposition Control of Carbon Nanoparticles Synthesized by Using Ar + CH4 Multi-Hollow Discharge Plasma CVD Method2019
    • 著者名/発表者名
      S. H Hwang, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga and M. Shiratani
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Motion analysis of inter-particle interactions of three fine particles in Ar plasma2018
    • 著者名/発表者名
      H.Ohtomo, R.Zhou, D.Yamashita, K.Kamataki, N.Itagaki, K.Koga, and M.Shiratani
    • 学会等名
      40th International Symposium on Dry Process (DPS2018)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Fabrication of high-mobility amorphous In2O3:Sn films via nitrogen-mediated amorphization: effects of target-substrate distance2018
    • 著者名/発表者名
      K. Imoto, D. Yamashita, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani and N. Itagaki
    • 学会等名
      28th Annual Meeting of Material Research Society Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206

  • [学会発表] カーボン薄膜の選択プラズマCVD2018
    • 著者名/発表者名
      白谷正治, 方トウジュン, 山木健司, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲
    • 学会等名
      平成30年電気学会全国大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K13922

  • [学会発表] Sputter deposition of low resistive amorphous In2O3:Sn films using nitrogen-mediated amorphization method: Effects of target-substrate distance2018
    • 著者名/発表者名
      K. Imoto, D. Yamashita, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani and N, Itagaki
    • 学会等名
      40th International Symposium on Dry Process
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206

  • [学会発表] A tailored voltage waveform plasma CVD method for carbon film deposition2018
    • 著者名/発表者名
      K. Yamaki, T. Fang, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      ISPlasma2018/IC-PLANTS2018
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] 反応性プラズマ中のナノ粒子量揺らぎの構造解析2018
    • 著者名/発表者名
      周靭,鎌滝晋礼,大友洋,山下大輔,板垣奈穂,古閑一憲,白谷正治
    • 学会等名
      第35回プラズマ・核融合学会年会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] 非平衡プラズマを用いたカーボンリサイクルによるエネルギー貯蔵2018
    • 著者名/発表者名
      谷田知史, 都甲将, 山本瑛久, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      九州大学エネルギーウィーク2018
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Sputter Epitaxy of ZnO Based Compounds for Excitonic Deviceser Epitaxy of Compound Semiconductors via Inverse Stranski-Krastanov Mode: A Method of Single-Crystalline Film Growth2018
    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, K. Imoto, N. Miyahara, D. Yamashita, K. Kamataki, K. Koga and M. Shiratani
    • 学会等名
      28th Annual Meeting of Material Research Society Japan
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206

  • [学会発表] Reduction of activation energy of CO2 methanation reaction using plasma-catalytic method2018
    • 著者名/発表者名
      A. Yamamoto, S. Toko, S. Tanida, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      5th Korea-Japan Joint Symposium on Advanced Solar Cells 2018, 2nd International Symposium on Energy Research and Application
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Towards ultra-high capacity batteries2018
    • 著者名/発表者名
      K. Koga, G. Uchida, M. Shiratani
    • 学会等名
      Joint workshop btw SKKU and Kyushu University Emerging materials and devices
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Inverse Stranski-Krastanov Growth of Single Crystalline Films: A New Mode of Heteroepitaxy for Large Lattice Mismatched System2018
    • 著者名/発表者名
      Naho Itagaki, M. Shiratani
    • 学会等名
      Int'l Conf. Processing Manufacturing Adv. Matter. (THERMEC2018)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206

  • [学会発表] A tailored voltage waveform plasma CVD method for carbon film deposition2018
    • 著者名/発表者名
      K. Yamaki, T. Fang, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      ISPlasma2018/IC-PLANTS2018
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K13922

  • [学会発表] Impact of Amplitude Modulation of RF Discharge Voltage on the Spatial Profile of Nanoparticle Characteristics in Reactive Plasma2018
    • 著者名/発表者名
      Kunihiro Kamataki, Ren Zhou, Hiroshi Ohtomo, Daisuke Yamashita, Naho Itagaki, Kazunori Koga and Masaharu ShirataniKazunori Koga, Masaharu Shiratani
    • 学会等名
      2st Asia-Pacific Conference on Plasma Physics (AAPPS-DPP2018)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Effects of nitrogen impurity on sputtering growth of ZnO films on Si(111) substrates2018
    • 著者名/発表者名
      Soichiro Muraoka, Jiahao Lyu, Daisuke Yamashita, Kunihiro Kamataki1, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Naho Itagaki
    • 学会等名
      Materials Research Society 2018 Meeting & Exhibit
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206

  • [学会発表] CH4+Arマルチホロー放電プラズマで生成したカーボンナノ粒子の基板堆積に対するガス流量の影響2018
    • 著者名/発表者名
      H. Sung Hwa, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Effects of Gas Pressure on Size of Carbon Nanoparticles Prepared by Methane Plasma Process2018
    • 著者名/発表者名
      H. Sung Hwa, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
    • 学会等名
      2st Asia-Pacific Conference on Plasma Physics (AAPPS-DPP2018)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] CO2のCH４化のための低圧高周波プラズマの分光計測2018
    • 著者名/発表者名
      谷田知史,山本瑛久, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第35回プラズマ・核融合学会年会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] スパッタエピタキシーによるサファイア基板直上へのIn-rich (ZnO)x(InN)1-x膜の作製2018
    • 著者名/発表者名
      宮原 奈乃華，山下 大輔，鎌滝 晋礼，中村大輔，古閑 一憲，白谷 正治，板垣 奈穂
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206

  • [学会発表] RFマグネトロンスパッタ法を用いたSi(111)基板上でのZnO結晶成長における窒素不純物の効果2018
    • 著者名/発表者名
      村岡宗一郎、呂佳豪、山下大輔、鎌滝晋礼、古閑一憲、白谷正治、板垣奈穂
    • 学会等名
      第35回 プラズマ・核融合学会 年会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206

  • [学会発表] 水素原子源付プラズマCVD法に任意電圧波形を併用したa-C:H薄膜の堆積2018
    • 著者名/発表者名
      古閑一憲, 山木健司, 方トウジュン, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K13922

  • [学会発表] Analysis of Inter-particle Interactions of Two Fine Particles in Ar Plasma2018
    • 著者名/発表者名
      Hiroshi Ohtomo, Ren Zhou, Daisuke Yamashita, Kunihiro Kamataki, Naho Itagaki, Kazunori Koga, and Masaharu Shiratani
    • 学会等名
      JP-KO dust workshop 2018
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] 銅電極を用いた低圧放電によるCO2のメタン変換2018
    • 著者名/発表者名
      谷田知史，山本瑛久，古閑一憲，白谷正治
    • 学会等名
      放電/プラズマ・パルスパワー合同研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Effects of CH4 Concentration on Size of Carbon Nano-Particles Formed in Multi-hollow Discharge Plasma2018
    • 著者名/発表者名
      H. Sung Hwa, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
    • 学会等名
      6th UK-Japan Engineering Education League Workshop 2018
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Utilizing cluster cloud as a selective filter of deposition precursors of aSi:H films2018
    • 著者名/発表者名
      S. Toko, T. Kojima, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      5th Korea-Japan Joint Symposium on Advanced Solar Cells 2018, 2nd International Symposium on Energy Research and Application
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Strategy for the commercialization of dye-sensitized solar cells2018
    • 著者名/発表者名
      H. Seo, D. Sakamoto, B. Zhang, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      5th Korea-Japan Joint Symposium on Advanced Solar Cells 2018, 2nd International Symposium on Energy Research and Application
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Ar/N2スパッタリングによる低抵抗アモルファスITO膜の作製：ターゲット－基板間距離の影響2018
    • 著者名/発表者名
      井本幸希, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 古閑一憲, 白谷正治, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第35回 プラズマ・核融合学会 年会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206

  • [学会発表] マグネトロンスパッタによる擬２元系混晶(ZnO)x (InN,AlN)1-xのヘテロエピタキシー2018
    • 著者名/発表者名
      浦川 聖市，宮原 奈乃華，山下 大輔，鎌滝 晋礼，古閑 一憲，白谷正治，板垣奈穂
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会　九州・沖縄・山口支部　支部大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206

  • [学会発表] Room Temperature Photoluminescence from (ZnO)0.79(InN)0.21 films fabricated by RF magnetron sputtering2018
    • 著者名/発表者名
      Nanoka Miyahara, Liu Shi, Kazuya Iwasaki, Hyunwoong Seo, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, and Naho Itagaki
    • 学会等名
      Int'l Conf. Processing Manufacturing Adv. Matter. (THERMEC2018)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206

  • [学会発表] Sputter epitaxy of single crystalline ZnO on 18%-lattice-mismatched sapphire using multi buffer layers fabricated via nitrogen mediated crystallization2018
    • 著者名/発表者名
      Jiahao Lyu, Daisuke Yamashita, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Naho Itagaki
    • 学会等名
      2nd Asia-Pacific Conference on Plasma Physics
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206

  • [学会発表] Enhancement on photovoltaic performance of dye-sensitized solar cells by applying up-conversion Y2O3:Er3 + nanoparticles2018
    • 著者名/発表者名
      D. Sakamoto, B. Zhang, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      5th Korea-Japan Joint Symposium on Advanced Solar Cells 2018, 2nd International Symposium on Energy Research and Application
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] プラズマCVDによるSiN製膜時のクラスターの混入が膜物性へ与える影響2018
    • 著者名/発表者名
      永石翔大, 佐々木勇輔, 田中和真, 原尚志, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第35回プラズマ・核融合学会年会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Growth Kinetics of Carbon Nano Particles Generated in an Ar/CH4 Multi-Hollow Discharge Plasmas2018
    • 著者名/発表者名
      H. Sung Hwa, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
    • 学会等名
      第35回プラズマ・核融合学会年会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] プラズマ-触媒併用型二酸化炭素メタン変換における律速段階2018
    • 著者名/発表者名
      都甲将, 谷田知史, 山本瑛久, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Effect of gas flow rate on plasma-catalytic methanation reaction2018
    • 著者名/発表者名
      A. Yamamoto, S. Tanida, S. Toko, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      29th Symposium on Plasma Physics and Technology (SPPT)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] 任意電圧波形を用いたC7H8+Ar+H2プラズマ生成2018
    • 著者名/発表者名
      古閑一憲, 山木健司, 方トウジュン, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治
    • 学会等名
      平成30年電気学会全国大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K13922

  • [学会発表] Methanation of CO2 using low temperature and catalyst2018
    • 著者名/発表者名
      A. Yamamoto, S. Tanida, S. Toko, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      Workshop "Plasma surface interaction for technological applications"
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] フラックス制御スパッタによるIn-rich (ZnO)x(InN)1-x膜のヘテロエピタキシー2018
    • 著者名/発表者名
      宮原 奈乃華, 浦川 聖市, 山下 大輔, 鎌滝 晋礼，中村大輔, 古閑 一憲，白谷 正治，板垣 奈穂
    • 学会等名
      第35回 プラズマ・核融合学会 年会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206

  • [学会発表] IoT-oriented solar cells fabricated using plasma-based nanotechnology (Invited)2018
    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga
    • 学会等名
      ISPlasma2018/IC-PLANTS2018
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Size and Structure Control of Carbon Nano-particles Synthesized by Multi-hollow Discharge Plasma CVD Method2018
    • 著者名/発表者名
      S. H Hwang, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga and M. Shiratani
    • 学会等名
      28th Annual Meeting of MRS-Japan 2018
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Cross correlation analysis of fluctuation of interactions between nanoparticles and low pressure reactive plasmas2018
    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, K. Koga
    • 学会等名
      10th International Conference on Processing & Manufacturing of Advanced Materials Processing, Fabrication, Properties, Applications (THERMEC 2018)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] 反応性プラズマにおけるプラズマ揺らぎとラジカルとナノ粒子成長の関係2018
    • 著者名/発表者名
      鎌滝晋礼, 周靭, 大友洋,山下大輔,板垣奈穂,古閑一憲,白谷正治
    • 学会等名
      第35回プラズマ・核融合学会年会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Thin film deposition using low temperature plasmas: past, present, and future (Plenary)2018
    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, K. Koga, H. Seo, N. Itagaki
    • 学会等名
      4th International Workshop on Advanced Plasma Technology and Applications (The 4th IWAPTA workshop)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] CO2 hydrogenation by plasma catalytic method: pressure dependence2018
    • 著者名/発表者名
      A. Yamamoto, S. Tanida, K. Koga, and M. Shiratani
    • 学会等名
      28th Annual Meeting of MRS-Japan 2018
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Arプラズマ中微粒子の相互作用の評価2018
    • 著者名/発表者名
      大友 洋，周 靭，山下 大輔，鎌滝 晋礼，板垣 奈穂，古閑 一憲，白谷 正治
    • 学会等名
      第35回プラズマ・核融合学会年会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Density modulation of nanoparticles in amplitude modulated discharge plasmas2018
    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, R. Zhou, H. Ohtomo, N. Itagaki, K. Koga
    • 学会等名
      24th Europhysics Conference on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases (ESCAMPIG 2018)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] 任意電圧波形を用いたC7H8+Ar+H2プラズマ生成2018
    • 著者名/発表者名
      古閑一憲, 山木健司, 方トウジュン, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治
    • 学会等名
      平成30年電気学会全国大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] A deep insight of plasma-nanoparticle interaction2018
    • 著者名/発表者名
      Kazunori Koga, Kunihiro Kamataki, Naho Itagaki and Masaharu Shiratani
    • 学会等名
      19th International Congress on Plasma Physics
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Approaches to increase throuput of Plasma- Catalytic CO2 methanation2018
    • 著者名/発表者名
      S. Tanida, A. Yamamoto, K. Koga, and M. Shiratani
    • 学会等名
      28th Annual Meeting of MRS-Japan 2018
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] SiH4 gas flow rate dependence of Si-H2 bond density at P/I interface in aSi:H solar cells fabricated by plasma CVD2018
    • 著者名/発表者名
      K. Tanaka, H. Hara, S. Toko, T. Kojima, S. Nagaishi, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      5th Korea-Japan Joint Symposium on Advanced Solar Cells 2018, 2nd International Symposium on Energy Research and Application
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Catalyst-free growth of (ZnO)0.79(InN)0.21 nanorods by RF magnetron sputtering2018
    • 著者名/発表者名
      Nanoka Miyahara, Daisuke Yamashita, Daisuke Nakamura, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Naho Itagaki
    • 学会等名
      Materials Research Society 2018 Meeting & Exhibit
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206

  • [学会発表] Spatial-Structure of Density Fluctuation of Nanoparticles in Amplitude Modulated Capactively Coupled Plasma2018
    • 著者名/発表者名
      Ren Zhou, Kunihiro Kamataki, Hiroshi Ohtomo, Daisuke Yamashita, Naho Itagaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani
    • 学会等名
      2st Asia-Pacific Conference on Plasma Physics (AAPPS-DPP2018)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Sputter Epitaxy of Compound Semiconductors via Inverse Stranski-Krastanov Mode: A Method of Single-Crystalline Film Growth beyond Lattice Matching Condition2018
    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, K. Imoto, N. Miyahara, D. Yamashita, K. Kamataki, K. Koga and M. Shiratani
    • 学会等名
      28th Annual Meeting of Material Research Society Japan
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206

  • [学会発表] Plasma CVD of a-C:H films as protective layers for solar cells (Invited)2018
    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, T. Fang, K. Yamaki, K. Koga, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Takenaka, Y. Setsuhara
    • 学会等名
      5th Korea-Japan Joint Symposium on Advanced Solar Cells 2018, 2nd International Symposium on Energy Research and Application
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K13922

  • [学会発表] Effects of DC Bias Voltage on Deposition of Carbon Nano Particles Synthesized by Ar + CH4 Multi-Hollow Discharge Plasma2018
    • 著者名/発表者名
      S. H Hwang, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga and M. Shiratani
    • 学会等名
      The 3rd Asian Applied Physics Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Analysis of Coupling of Interaction Fluctuation between Reactive Plasmas and Nanoparticles2018
    • 著者名/発表者名
      R. Zhou, K. Mori, H. Ohtomo, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      ISPlasma2018/IC-PLANTS2018
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] 窒素添加結晶化法による格子不整合基板上へZnOエピタキシャル成長―窒素酸素共添加多段バッファー層の効果―2018
    • 著者名/発表者名
      呂 佳豪, 鎌滝 晋礼, 山下 大輔, 古閑 一憲, 白谷 正治, 板垣 奈穂
    • 学会等名
      第35回 プラズマ・核融合学会 年会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01206

  • [学会発表] Spatiotemporal Non-uniformity of CVD Plasmas and Film Qualities (Invited)2017
    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani
    • 学会等名
      American Vacuum Society 64th International Symposium and Exhibition (AVS64)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] 色素増感太陽電池の触媒としてのポリマーナノコンポジット2017
    • 著者名/発表者名
      徐鉉雄, 坂本大輔, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜
    • 年月日
      2017-03-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] 微粒子プラズマの揺動解析(招待講演)2017
    • 著者名/発表者名
      白谷正治
    • 学会等名
      H29年度東北大学電気通信研究所共同プロジェクト研究会 微粒子－流体混成系がもたらす多様な機能性 ～ 基礎物理から、メタマテリアル効果、熱応答性、種々の新現象 ～
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] マルチホロー放電プラズマCVD下流におけるラジカル製膜速度と膜中クラスター混入量の動的振る舞い2017
    • 著者名/発表者名
      都甲将, 小島尚, 毛屋公孝, 田中和真, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜
    • 年月日
      2017-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Evaluation of coupling among interaction fluctuations in nanoparticle growth in reactive plasmas2017
    • 著者名/発表者名
      K. Koga, K. Mori, R. Zhou, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani
    • 学会等名
      18th Workshop on Fine Particle Plasmas
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Spatiotemporal structure of fluctuation of interactions between plasmas and nanoparticles in capacitively-coupled rf discharge reactive plasmas2017
    • 著者名/発表者名
      K. Mori, H. Ohtomo, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      International Union of Materials Research Societies - The 15th International Conference on Advanced Materials (IUMRS-ICAM 2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Effects of electrode material on low pressure plasma-catalytic CO2 methanation2017
    • 著者名/発表者名
      S. Tanida, S. Toko, A. Yamamoto, K. Koga, and M. Shiratani
    • 学会等名
      The 2nd Asian Applied Physics Conference (Asian-APC)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Cloud of a-Si:H Clusters as Selective Filter in SiH4 Multi-Hollow Discharge Plasma2017
    • 著者名/発表者名
      T. Kojima, K. Tanaka, S. Nagaishi, H. Hara, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      18th Workshop on Fine Particle Plasmas
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Film thickness dependence of structure of a-Si:H thin films measured by Raman spectroscopy2017
    • 著者名/発表者名
      K. Tanaka, S. Toko, K. Keya, T. Kojima, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      International Union of Materials Research Societies - The 15th International Conference on Advanced Materials (IUMRS-ICAM 2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] 容量結合型プラズマを用いたCO2メタン化におけるCO2変換率のガス流量依存性2017
    • 著者名/発表者名
      谷田知史, 都甲将, 山本瑛久, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Optical Trapping Process of Single Fine Particle in Ar Plasma2017
    • 著者名/発表者名
      H. Ohtomo, K. Mori, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      International Union of Materials Research Societies - The 15th International Conference on Advanced Materials (IUMRS-ICAM 2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Ar プラズマ中で光捕捉した微粒子を用いたプラズマ揺動の評価2017
    • 著者名/発表者名
      大友洋, 森研人, 周靭, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第21回支部大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Deposition of High Quality Silicon Thin Films Utilizing Nanoparticles Trapped in Plasmas2017
    • 著者名/発表者名
      K. Koga, T. Kojima, S. Toko, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani
    • 学会等名
      27th annual meeting of MRS-J
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Effects of H2 flow rate on methanation of CO2 using low pressure nonthermal plasma2017
    • 著者名/発表者名
      S. Toko, S. Tanida, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      International Union of Materials Research Societies - The 15th International Conference on Advanced Materials (IUMRS-ICAM 2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] 基板温度制御によるa-Si:H薄膜のSiネットワーク秩序性の向上2017
    • 著者名/発表者名
      田中和真, 小島尚, 都甲将, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      Plasma Conference 2017
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] 低温プラズマによるナノ粒子の合成と太陽電池への応用2017
    • 著者名/発表者名
      古閑一憲, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治
    • 学会等名
      電子情報通信学会有機エレクトロニクス研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Surface-driven CH4 generation from CO2 in Low-pressure Non-thermal Plasma2017
    • 著者名/発表者名
      K. Koga, S. Toko, S. Tanida, M. Shiratani
    • 学会等名
      American Vacuum Society 64th International Symposium and Exhibition (AVS64)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] 低圧プラズマを用いた CO2 のメタン化反応の活性化エネルギー2017
    • 著者名/発表者名
      山本瑛久, 都甲将, 谷田知史, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      2017年度応用物理学会九州支部学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Corrational study of fluctuation of coupling between plasmas and nanoparticles2017
    • 著者名/発表者名
      K. Koga, K. Mori, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani
    • 学会等名
      ISPlasma2017/IC-PLANTS2017
    • 発表場所
      Chubu University
    • 年月日
      2017-03-03
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] 光ピンセットを用いたArプラズマと単一微粒子との相互作用解析2017
    • 著者名/発表者名
      大友洋, 森研人, 周靭, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      Plasma Conference 2017
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Arプラズマ中で光捕捉された単一微粒子の運動解析2017
    • 著者名/発表者名
      大友洋, 森研人, 周靭, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] 反応性プラズマとナノ粒子の相互作用ゆらぎのクロスコリレーション解析区間の比較2017
    • 著者名/発表者名
      周靭, 森研人, 大友洋, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      Plasma Conference 2017
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] 色素増感太陽電池におけるポリマー対向電極へのシリコンナノ粒子添加効果2017
    • 著者名/発表者名
      坂本大輔, 張博辰, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] 色素増感太陽電池のポリマー対向電極における触媒反応の活性化（招待講演）2017
    • 著者名/発表者名
      徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      電子情報通信学会有機エレクトロニクス研究会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Development of a fine particle transport analyzer for processing plasmas2017
    • 著者名/発表者名
      K. Koga, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani
    • 学会等名
      The 39th International Symposium on Dry Process (DPS 2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Local Fluctuations of Plasma Detected with an Optically Trapped Fine Particle2017
    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, H. Ohtomo, K. Mori, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga
    • 学会等名
      1st Asia-Pacific Conference on Plasma Physics (AAPPS-DPP2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Catalytic Enhancement of Polymer Counter Electrode of Photochemical Photovoltaics based on Nano-particle Application2017
    • 著者名/発表者名
      H. Seo, D. Sakamoto, H. Chou, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      International Union of Materials Research Societies - The 15th International Conference on Advanced Materials (IUMRS-ICAM 2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] ポリマーナノコンポジットを用いた量子ドット増感太陽電池の対向電極2017
    • 著者名/発表者名
      徐鉉雄, 坂本大輔, 張博辰, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] A new insight into nanoparticle-plasma interactions (Invited)2017
    • 著者名/発表者名
      K. Koga, K. Mori, R. Zhou, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani
    • 学会等名
      JP-KO dust workshop
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Effects of bias voltage on the surface morphology of a-C:H films deposited using Ar + H2+ C7H8 Plasma CVD2017
    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, T. Fang, K. Yamaki, K. Koga, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki
    • 学会等名
      International Union of Materials Research Societies - The 15th International Conference on Advanced Materials (IUMRS-ICAM 2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K13922

  • [学会発表] Time evolution of CH4 yield in methanation of CO2 using helicon discharge plasma2017
    • 著者名/発表者名
      S. Tanida, S. Toko, R. Katayama, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      ISPlasma2017/IC-PLANTS2017
    • 発表場所
      Chubu University
    • 年月日
      2017-03-03
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] P/I界面のSi-H2結合形成に対する基板温度の効果2017
    • 著者名/発表者名
      田中和真, 原尚志, 小島尚, 永石翔大, 都甲将, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Correlation analysis between high energy electrons and nanoparticles in AM CCP2017
    • 著者名/発表者名
      R. Zhou, K. Mori, H. Ohtomo, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      The 2nd Asian Applied Physics Conference (Asian-APC)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Theoretical Consideration on Methane Production Using Plasma on Mars2017
    • 著者名/発表者名
      S. Toko, S. Tanida, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      34th Symposium on Plasma Processing (SPP34) / The 29th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM29)
    • 発表場所
      Hokkaido University
    • 年月日
      2017-01-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Fluctuation Analysis of An Optical Trapped Fine Particle in Ar Plasma2017
    • 著者名/発表者名
      H. Ohtomo, K. Mori, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      27th annual meeting of MRS-J
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Novel Fabrication Methods of Thin Films using Low Temperature Plasmas (Invited)2017
    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, K. Koga, H. Seo, N. Itagaki
    • 学会等名
      Taiwan Association for Coating and Thin Film Technology (TACT) 2017
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] 反応性プラズマとナノ粒子の相互作用ゆらぎの相関関係解析2017
    • 著者名/発表者名
      周靭, 森研人, 大友洋, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Nanoparticle Composite Films: Fabrication and Functions (Invited)2017
    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, K. Koga, H. Seo, N. Itagaki
    • 学会等名
      The 4th International Symposium on Hybrid Materials and Processing (HyMaP 2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] 反応性プラズマ中ナノ粒子とプラズマの相互作用ゆらぎの起因解明2017
    • 著者名/発表者名
      森研人, 周靭, 大友洋, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Effects of gas flow rate ratio on structure of a-C:H films deposited using Ar + H2+ C7H8 plasma CVD2017
    • 著者名/発表者名
      T. Fang, K. Yamaki, K. Koga, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani
    • 学会等名
      Taiwan Association for Coating and Thin Film Technology (TACT) 2017
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K13922

  • [学会発表] 高圧マルチホロー放電プラズマCVD下流におけるラジカル成膜速度の時間変化2017
    • 著者名/発表者名
      小島尚, 都甲将, 田中和真, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Effect of Gas flow rate ratio on the structure and properties of a-C:H films deposited using Ar + H2+ C7H8 Plasma CVD2017
    • 著者名/発表者名
      T. Fang, K. Yamaki, K .Koga, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani
    • 学会等名
      1st Asia-Pacific Conference on Plasma Physics (AAPPS-DPP2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K13922

  • [学会発表] An Analysis on a Kinetic Motion of Optical Trapped Single Fine Particle in Ar Plasma2017
    • 著者名/発表者名
      H. Ohtomo, K. Mori, Z. Ren, D. Yamashita H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      The 4th International Symposium on Hybrid Materials and Processing (HyMaP 2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Carbon recycling using Cu catalyst together with low pressure capacitively-coupled plasma2017
    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, S. Toko, S. Tanida, K. Koga
    • 学会等名
      2017 International Forum on Functional Materials (IFFM2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Si Nanoparticles Fabricated by Multi-hollow Discharge Plasma Chemical Vapor Deposition and their Photovoltaic Application2017
    • 著者名/発表者名
      D. Sakamoto, H. Chou, S. Tanami, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      34th Symposium on Plasma Processing (SPP34) / The 29th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM29)
    • 発表場所
      Hokkaido University
    • 年月日
      2017-01-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] SiH4+N2マルチホロー放電プラズマ CVD による SiN 系膜の作製2017
    • 著者名/発表者名
      永石翔大, 小島尚, 田中和真, 原尚志, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第21回支部大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Carbon Recycling using Low Temperature Plasma with Activated Catalysts2017
    • 著者名/発表者名
      S. Tanida, S. Toko, K. Koga, A. Yamamoto, M. Shiratani
    • 学会等名
      The 4th International Symposium on Hybrid Materials and Processing (HyMaP 2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] プラズマを用いたCO2 のメタン化反応の考察2017
    • 著者名/発表者名
      都甲将, 谷田知史, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜
    • 年月日
      2017-03-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] プラズマプロセスにおけるtailored voltage waveformsの使用に向けての設計及びマッチング2017
    • 著者名/発表者名
      山木健司, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      Plasma Conference 2017
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K13922

  • [学会発表] プラズマとナノ粒子の相互作用ゆらぎのモード間相関2017
    • 著者名/発表者名
      森研人, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      日本物理学会第72回年次大会（2017年）
    • 発表場所
      大阪大学
    • 年月日
      2017-03-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] 火星上CO2のCH4資源化のための低温低圧プラズマ触媒プロセス2017
    • 著者名/発表者名
      古閑一憲, 都甲将, 谷田知史, 白谷正治, 細田聡史, 星野健
    • 学会等名
      第61回宇宙科学技術連合講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] プラズマ CVD で作製した a-Si:H 積層膜の P/I 界面 SiH2結合量の基板温度依存性2017
    • 著者名/発表者名
      原尚志, 田中和真, 小島尚, 永石翔大, 都甲将, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第21回支部大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Rise time of Sabatier process using low pressure and low temperature plasma2017
    • 著者名/発表者名
      S. Toko, S. Tanida, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG 2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] プラズマを用いた二酸化炭素のメタン化における電極表面の影響2017
    • 著者名/発表者名
      都甲将, 谷田知史, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Cross-spectrum Analysis of Interaction Fluctuation between Plasma and Nanoparticles in Capacitively-Coupled RF Discharge Reactive Plasmas2017
    • 著者名/発表者名
      K. Mori, R. Zhou, H. Ohtomo, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      18th Workshop on Fine Particle Plasmas
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Synthesis of Nanoparticles Using Low Temperature Plasmas and Its Application to Solar Cells and Tracers in Living Body (Invited)2017
    • 著者名/発表者名
      K. Koga, H. Seo, A. Tanaka, N. Itagaki, M. Shiratani
    • 学会等名
      231st Meeting of Electrochemical Society (ECS)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] 色素増感太陽電池におけるナノ粒子を用いた表面改質によるポリマー触媒の反応活性化2017
    • 著者名/発表者名
      坂本大輔, 張博辰, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      平成29年度九州表面・真空研究会2017（兼第22回九州薄膜表面研究会）
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Suppression of Si-H2 bond formation at P/I interface in a-Si:H solar cells deposited by multi-hollow discharge plasma CVD2017
    • 著者名/発表者名
      S. Toko, K. Tanaka, K. Keya, T. Kojima, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG 2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Fine Particle Plasma and Plasma Process (Invited)2017
    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, K. Koga
    • 学会等名
      18th Workshop on Fine Particle Plasmas
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] 結晶Geナノ粒子膜の堆積とそのLiイオン電池への応用2017
    • 著者名/発表者名
      内田儀一郎, 古閑一憲, 白谷正治, 神原淳
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] a‐Si:H 薄膜中の Si ネットワーク秩序性のラマン分光法を_いた評価2017
    • 著者名/発表者名
      田中和真, 小島尚, 都甲将, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      平成29年度九州表面・真空研究会2017（兼第22回九州薄膜表面研究会）
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] プラズマ CVD で作製した a-Si:H 薄膜の Si ネットワーク秩序性向上2017
    • 著者名/発表者名
      田中和真, 原尚志, 小島尚, 永石翔大, 都甲将, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第21回支部大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Spatial Structure of Interactions between Nanoparticles and Low Pressure Plasmas (Invited)2017
    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga
    • 学会等名
      11th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2017)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] A Theoretical Model for Time Evolution of Radical Deposition Rate in Silane Plasma CVD2017
    • 著者名/発表者名
      T. Kojima, S. Toko, K. Keya, K. Tanaka, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      International Union of Materials Research Societies - The 15th International Conference on Advanced Materials (IUMRS-ICAM 2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Analysis of Inter-particle Fluctuation in Capacitively Coupled Low Pressure Ar Plasma Using Optical Tweezers2017
    • 著者名/発表者名
      H. Ohtomo, K. Mori, R. Zhou, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      18th Workshop on Fine Particle Plasmas
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Next Generation Photovoltaics Based on Si Nano-particles Fabricated by Advanced Plasma Process2017
    • 著者名/発表者名
      H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      International Union of Materials Research Societies - The 15th International Conference on Advanced Materials (IUMRS-ICAM 2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Catalytic enhancement on polymer composite counter electrode for low cost quantum dot-sensitized solar cells2016
    • 著者名/発表者名
      H. Seo, D. Sakamoto, C. V. V. M. Gopi, M. Kim, H. J. Kim, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      The 6th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology (ICMAP 2016)
    • 発表場所
      Dream Center, Gyeongju
    • 年月日
      2016-09-28
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] プラズマ中微粒子の相互作用計測2016
    • 著者名/発表者名
      添島雅大, 大友洋, 森研人, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第20回支部大会
    • 発表場所
      九州大学
    • 年月日
      2016-12-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] プラズマ中微粒子を用いたプラズマポテンシャルゆらぎの評価2016
    • 著者名/発表者名
      古閑一憲, 添島雅大, 伊藤鉄平, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治
    • 学会等名
      日本物理学会第71回年次大会
    • 発表場所
      東北学院大学
    • 年月日
      2016-03-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] 反応性プラズマとナノ粒子の相互作用ゆらぎの時空間構造2016
    • 著者名/発表者名
      森研人, 添島雅大, 大友洋, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第20回支部大会
    • 発表場所
      九州大学
    • 年月日
      2016-12-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Effects of electrostatic field direction on dust accumulation to mirror in a plasma reactor2016
    • 著者名/発表者名
      R. Katayama, T. Fang, K. Koga, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, S. Masuzaki, N. Ashikawa, M. Tokitani, K. Nishimura, A. Sagara
    • 学会等名
      26th annual meeting of MRS-J
    • 発表場所
      Yokohama Port Opening Plaza
    • 年月日
      2016-12-20
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Fluctuation in interaction potential between binary colliding fine particles suspended in plasmas2016
    • 著者名/発表者名
      M. Soejima, T. Ito, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      5th International Conference on Advanced Plasma Technologies (ICAPT-5)
    • 発表場所
      Rogla, Slovenia
    • 年月日
      2016-03-01
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] 容量結合RFプラズマを用いた低温低圧下におけるCO2のメタン化2016
    • 著者名/発表者名
      谷田知史, 都甲将, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第20回支部大会
    • 発表場所
      九州大学
    • 年月日
      2016-12-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] 小型ダスト飛跡分析装置を用いたミラー上ダスト堆積抑制の検討2016
    • 著者名/発表者名
      古閑一憲, 片山龍, 方韜鈞, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治, 増崎貴, 芦川直子, 時谷政行, 西村清彦, 相良明男
    • 学会等名
      第33回プラズマ・核融合学会年会
    • 発表場所
      東北大学
    • 年月日
      2016-12-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Discharge power dependence of methanation of CO2 under low pressure2016
    • 著者名/発表者名
      S. Toko, R. Katayama, S. Tanida, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      26th annual meeting of MRS-J
    • 発表場所
      Yokohama Port Opening Plaza
    • 年月日
      2016-12-20
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Catalytic Activation of Polymer Composite Catalyst for Photochemical Solar Cells2016
    • 著者名/発表者名
      H. Seo, M. Son, S. Tanami, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      The 67th Annual Meeting of the International Society of Electrochemistry
    • 発表場所
      The Hague, Netherland
    • 年月日
      2016-08-23
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Time evolution of radical deposition rate and cluster amount (Invited)2016
    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, S. Toko, Y. Torigoe, K. Keya, T. Kojima, H. Seo, N. Itagaki and K. Koga
    • 学会等名
      20th International Vacuum Congress (IVC-20)
    • 発表場所
      Busan Exhibition Convention Center
    • 年月日
      2016-08-22
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Effects of particle size on catalytic characteristics of polymer counter electrode containing Si nanoparticles in dye-sensitized solar cells2016
    • 著者名/発表者名
      D. Sakamoto, Y. Oide, S. Tanami, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
    • 学会等名
      26th International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-26)
    • 発表場所
      Sands Expo and Convention Centre
    • 年月日
      2016-10-28
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] プラズマ中でレーザートラップされた微粒子を用いたプラズマのその場計測2016
    • 著者名/発表者名
      大友洋, 添島雅大, 森研人, 山下大輔, 徐鉉雄, 古閑一憲, 板垣奈穂, 白谷正治
    • 学会等名
      第10回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール
    • 発表場所
      国立中央青少年交流の家, 静岡
    • 年月日
      2016-09-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] 低圧プラズマによるCO2変換への放電電力・ガス滞在時間の効果2016
    • 著者名/発表者名
      都甲将, 谷田知史, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      平成28年度応用物理学会九州支部学術講演会
    • 発表場所
      対馬市交流センター, 長崎
    • 年月日
      2016-12-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Surface modification of polymeric catalyst for the catalytic enhancement of dye and quantum dot sensitized solar cells2016
    • 著者名/発表者名
      H. Seo, M. K. Son, S. Tanami, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      20th International Vacuum Congress (IVC-20)
    • 発表場所
      Busan Exhibition Convention Center
    • 年月日
      2016-08-23
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Envelope analysis and cross correlation analysis of plasma perturbation in amplitude modulated reactive dusty plasmas2016
    • 著者名/発表者名
      K. Mori, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani and S. Inagaki
    • 学会等名
      Workshop on Plasma surface interaction for technological applications
    • 発表場所
      University of Kiel, Germany
    • 年月日
      2016-07-20
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] プラズマプロセスによって作成されたSiナノ粒子の光電変換特性2016
    • 著者名/発表者名
      張博辰, 坂本大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第20回支部大会
    • 発表場所
      九州大学
    • 年月日
      2016-12-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] プラズマによるクラスター捕捉を利用した低クラスター混入 a-Si:H 薄膜の作製2016
    • 著者名/発表者名
      都甲将, 毛屋公孝, 小島尚, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第7回薄膜太陽電池セミナー
    • 発表場所
      山形大学
    • 年月日
      2016-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] プラズマ中微粒子の光捕捉2016
    • 著者名/発表者名
      大友洋, 添島雅大, 森研人, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第20回支部大会
    • 発表場所
      九州大学
    • 年月日
      2016-12-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] 低圧ヘリコン放電プラズマを用いたCO2のメタン化2016
    • 著者名/発表者名
      谷田知史, 都甲将, 片山龍, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第10回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール
    • 発表場所
      国立中央青少年交流の家, 静岡
    • 年月日
      2016-09-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] マルチホロー放電プラズマCVD法によって作成されたSiナノ粒子の量子測定と太陽電池への応用2016
    • 著者名/発表者名
      張博辰, 坂本大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第10回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール
    • 発表場所
      国立中央青少年交流の家, 静岡
    • 年月日
      2016-09-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] DC bias voltage dependence of dust transport in a compact dust trajectory analyzer2016
    • 著者名/発表者名
      R. Katayama, T. Fang, K. Koga, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, S. Masuzaki, N. Ashikawa, M. Tokitani, K. Nishimura, A. Sagara
    • 学会等名
      17th Workshop on Fine Particle Plasmas and JAPAN-KOREA Workshop on Dust Particles 2016
    • 発表場所
      National Institute of Fusion Science, Gifu
    • 年月日
      2016-12-20
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Effects of bias voltage on mass density of a-C:H films deposited using Ar + H2+ C7H8 Plasma CVD2016
    • 著者名/発表者名
      T. Fang, K. Yamaki, K. Koga, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani
    • 学会等名
      26th annual meeting of MRS-J
    • 発表場所
      Yokohama Port Opening Plaza
    • 年月日
      2016-12-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K13922

  • [学会発表] Effects of modulation frequency on interaction fluctuation between plasma and nanoparticles2016
    • 著者名/発表者名
      K. Mori, M. Soejima, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      26th annual meeting of MRS-J
    • 発表場所
      Yokohama Port Opening Plaza
    • 年月日
      2016-12-20
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Low cost dye-sensitized solar cells based on polymer composite catalyst2016
    • 著者名/発表者名
      D. Sakamoto, H. Seo, S. Tanami, Y. Oide, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      26th International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-26)
    • 発表場所
      Sands Expo and Convention Centre
    • 年月日
      2016-10-26
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] マルチホロー放電プラズマ中のクラスターサイズ・密度の放電時間依存性2016
    • 著者名/発表者名
      小島尚, 都甲将, 毛屋公孝, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      平成28年度応用物理学会九州支部学術講演会
    • 発表場所
      対馬市交流センター, 長崎
    • 年月日
      2016-12-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] QCMを用いたLHD内ダスト堆積量のその場測定2016
    • 著者名/発表者名
      古閑一憲, 片山龍, 方韜鈞, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治, 増崎貴, 芦川直子, 時谷政行, 西村清彦, 相良明男, LHD実験グループ
    • 学会等名
      第11回核融合エネルギー連合講演会
    • 発表場所
      九州大学
    • 年月日
      2016-07-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Effects of clusters transport on hydrogenated amorphous silicon solar cells2016
    • 著者名/発表者名
      T. Kojima, S. Toko, K. Keya, K. Tanaka, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
    • 学会等名
      Workshop on Plasma surface interaction for technological applications
    • 発表場所
      University of Kiel, Germany
    • 年月日
      2016-07-18
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] 反応性プラズマとナノ粒子の相互作用ゆらぎの時空間構造解析2016
    • 著者名/発表者名
      森研人, 添島雅大, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ, 新潟
    • 年月日
      2016-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] コンパクトドリフトチューブへのダスト入射角度に対する印加バイアス電圧の影響2016
    • 著者名/発表者名
      片山龍, 方韜鈞, 古閑一憲, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治, 増崎貴, 芦川直子, 時谷政行, 西村清彦, 相良明男
    • 学会等名
      第11回核融合エネルギー連合講演会
    • 発表場所
      九州大学
    • 年月日
      2016-07-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] マルチホロー放電プラズマ下流における電場とクラスター輸送の関係2016
    • 著者名/発表者名
      小島尚, 都甲将, 毛屋公孝, 田中和真, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ, 新潟
    • 年月日
      2016-09-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Time evolution of cross-correlation between two fluctuations of couplings between plasmas and nanoparticles in amplitude modulated discharges2016
    • 著者名/発表者名
      K. Koga, K. Mori, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani
    • 学会等名
      17th Workshop on Fine Particle Plasmas and JAPAN-KOREA Workshop on Dust Particles 2016
    • 発表場所
      National Institute of Fusion Science, Gifu
    • 年月日
      2016-12-21
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] ヘリコンプラズマを用いた低温低圧下におけるCO2からのCH4生成2016
    • 著者名/発表者名
      都甲将, 片山龍, 谷田知史, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ, 新潟
    • 年月日
      2016-09-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] マルチホロー放電プラズマCVD下流領域におけるクラスター輸送量と膜中クラスター混入量の関係2016
    • 著者名/発表者名
      小島尚, 都甲将, 毛屋公孝, 田中和真, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第20回支部大会
    • 発表場所
      九州大学
    • 年月日
      2016-12-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] コンパクトドリフトチューブを用いたプラズマ生成ダスト捕集2016
    • 著者名/発表者名
      白谷正治, 片山龍, 古閑&#12032;憲, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 増崎貴, 芦川直子, 時谷政行, 西村清彦, 相良明男, LHD実験グループ白谷正治, 片山龍, 古閑&#12032;憲, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 増崎貴, 芦川直子, 時谷政行, 西村清彦, 相良明男, LHD実験グループ
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学
    • 年月日
      2016-03-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600126

  • [学会発表] Ar+H2+C7H8プラズマCVD法におけるアモルファス水素化炭素膜に対する水素流量比の影響2016
    • 著者名/発表者名
      方韜鈞, 山木健司, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第20回支部大会
    • 発表場所
      九州大学
    • 年月日
      2016-12-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K13922

  • [学会発表] Characteristic length of position fluctuation of a single fine particle optically trapped in Ar plasma2016
    • 著者名/発表者名
      H. Ohtomo, M. Soejima, K. Mori, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      26th annual meeting of MRS-J
    • 発表場所
      Yokohama Port Opening Plaza
    • 年月日
      2016-12-20
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Fluctuation of position and energy of a fine particle in plasma nanofabrication (Invited)2016
    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, K. Koga
    • 学会等名
      Intl’ Conf. on Processing & Manufacturing of Advanced Materials (THERMEC’2016)
    • 発表場所
      Graz, Austria
    • 年月日
      2016-05-31
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] コンパクトドリフトチューブを用いたArプラズマとグラファイト壁の相互作用により発生したダストの捕集実験2016
    • 著者名/発表者名
      方韜鈞, 片山龍, 古閑一憲, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治, 増崎貴, 芦川直子, 時谷政行, 西村清彦, 相良明男
    • 学会等名
      第11回核融合エネルギー連合講演会
    • 発表場所
      九州大学
    • 年月日
      2016-07-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] プラズマとナノ粒子の相互作用ゆらぎの２次元空間構造の時間発展2016
    • 著者名/発表者名
      古閑一憲, 森研人, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治
    • 学会等名
      第33回プラズマ・核融合学会年会
    • 発表場所
      東北大学
    • 年月日
      2016-11-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Methanation of CO2 by low pressure helicon plasma discharge2016
    • 著者名/発表者名
      S. Toko, R. Katayama, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      20th International Vacuum Congress (IVC-20)
    • 発表場所
      Busan Exhibition Convention Center
    • 年月日
      2016-08-24
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] プラズマを用いたサバティエ反応によるCH4生成速度の理論的検討2016
    • 著者名/発表者名
      都甲将, 谷田知史, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第20回支部大会
    • 発表場所
      九州大学
    • 年月日
      2016-12-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] DC biased parallel plates for reduction of dust accumulation on first mirror2016
    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, R. Katayama, K. Koga, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, S. Masuzaki, N. Ashikawa, M. Tokitani, K. Nishimura, A. Sagara
    • 学会等名
      International Conference on Plasma Surface Interactions in Controlled Fusion Devices (22nd PSI)
    • 発表場所
      Pontifical Urbaniana University, Roma
    • 年月日
      2016-05-31
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Modulation level dependence of fluctuation of interactions between plasmas and nanoparticles grown in amplitude modulated discharges2016
    • 著者名/発表者名
      K. Mori, M. Soejima, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      23rd Europhysics Conference on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases (ESCAMPIG)
    • 発表場所
      Bratislava, Slovekia
    • 年月日
      2016-07-14
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Inter-Particle Potential Fluctuation of Two Fine Particles Suspended in Ar Plasmas2016
    • 著者名/発表者名
      M. Soejima, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      16th International Conference On Nanotechnology (IEEE NANO 2016)
    • 発表場所
      Sendai International Center
    • 年月日
      2016-08-24
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Interaction potential fluctuation between binary collisions of fine particles suspended in low pressure Ar rf plasmas2016
    • 著者名/発表者名
      M. Soejima, H. Ohtomo, K. Mori, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      26th annual meeting of MRS-J
    • 発表場所
      Yokohama Port Opening Plaza
    • 年月日
      2016-12-20
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] ナノ粒子制御による高光安定なa-Si:H太陽電池セルの作成2016
    • 著者名/発表者名
      田中和真, 毛屋公孝, 鳥越祥宏, 都甲将, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第10回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール
    • 発表場所
      国立中央青少年交流の家, 静岡
    • 年月日
      2016-09-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] In-situ laser Raman spectroscopy of an optically trapped fine particle2015
    • 著者名/発表者名
      K. Koga, M. Soejima, K. Tomita, T. Ito, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani
    • 学会等名
      17th International Symposium on Laser-Aided Plasma Diagnostics (LAPD17)
    • 発表場所
      Chateraise Gateaux Kingdom Sapporo, Japan
    • 年月日
      2015-09-26
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Temporal development of nonlinear coupling between radicals and nanoparticles in reactive plasmas2015
    • 著者名/発表者名
      K. Koga, T. Ito, H. Seo, N. Itagaki, and M. Shiratani
    • 学会等名
      The 75th IUVSTA Workshop on Sheath Phenomena in Plasma Processing of Advanced Materials
    • 発表場所
      Hotel Raj, Cerkljena Gorenjskem
    • 年月日
      2015-01-20
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] シランマルチホロー放電プラズマ下流領域におけるクラスタ量の時間変化2015
    • 著者名/発表者名
      小島尚, 都甲将, 鳥越祥宏, 毛屋公孝, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第19回支部大会
    • 発表場所
      熊本大学
    • 年月日
      2015-12-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] プラズマ中2体衝突ダスト間引力・斥力の検出2015
    • 著者名/発表者名
      白谷正治
    • 学会等名
      平成27年度 東北大学電気通信研究所共同プロジェクト研究会「微粒子プラズマ物理に基づいた新規ナノ材料創成」
    • 発表場所
      東北大学
    • 年月日
      2015-09-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Bispectrum analysis of fluctuation of nanoparticle amount in amplitude modulated capacitively-coupled discharge plasmas2015
    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, T. Ito, K. Koga, M. Soejima, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, T. Kobayashi, S. Inagaki
    • 学会等名
      The XXXII edition of the International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG2015)
    • 発表場所
      Iasi, Romania
    • 年月日
      2015-07-28
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] プラズマによるナノ粒子の合成と凝集・輸送制御2015
    • 著者名/発表者名
      白谷正治, 古閑一憲
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東海大学
    • 年月日
      2015-03-12
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] プロセスプラズマの生成と制御2015
    • 著者名/発表者名
      白谷正治
    • 学会等名
      学振153委員会 プラズマ材料科学スクール
    • 発表場所
      フォレスト仙台
    • 年月日
      2015-01-31
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] Analysis of Spatiotemporal Development of Interaction Fluctuation between Nanoparticles and Radicals in Reactive Plasmas2015
    • 著者名/発表者名
      K. Koga, T. Ito, T. Kobayashi, M. Shiratani, S. Inagaki
    • 学会等名
      9ｔｈ APSPT/28th SPSM
    • 発表場所
      Nagasaki Univ., Japan
    • 年月日
      2015-12-13
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] プラズマによるナノ粒子の合成と凝集・輸送制御2015
    • 著者名/発表者名
      白谷正治, 古閑一憲
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東海大学
    • 年月日
      2015-03-13
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] 反応性プラズマ中ナノ粒子量揺らぎのクロスコリレーション解析2015
    • 著者名/発表者名
      伊東鉄平, 添島雅大, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治, 小林達哉, 稲垣滋
    • 学会等名
      平成27年度（第68回）電気・情報関係学会九州支部連合大会
    • 発表場所
      福岡大学
    • 年月日
      2015-09-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] マルチホロー放電プラズマCVD法におけるシランガス流速のクラスターに対するラジカル損失への影響2015
    • 著者名/発表者名
      都甲将, 鳥越祥宏, 毛屋公孝, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      平成27年度（第68回）電気・情報関係学会九州支部連合大会
    • 発表場所
      福岡大学
    • 年月日
      2015-09-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Arプラズマ中の２つのダスト粒子間のポテンシャル2015
    • 著者名/発表者名
      白谷正治, 添島雅大, 伊東鉄平, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲
    • 学会等名
      第25回日本MRS年次大会
    • 発表場所
      横浜市開港記念会館
    • 年月日
      2015-12-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Position fluctuation of a fine particle optically trapped in Ar plasma2015
    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, M. Soejima, T. Ito, D. Yamashita, N. Itagaki, H. Seo, K. Koga
    • 学会等名
      The XXXII edition of the International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG2015)
    • 発表場所
      Iasi, Romania
    • 年月日
      2015-07-28
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Potential fluctuation evaluation using binary collision of fine particles suspended in plasmas (Invited)2015
    • 著者名/発表者名
      K. Koga and M. Shiratani
    • 学会等名
      第16回微粒子プラズマ研究会
    • 発表場所
      核融合科学研究所
    • 年月日
      2015-12-11
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] 核融合炉内ダスト計測用コンパクトドリフトチューブの試作2015
    • 著者名/発表者名
      片山龍, 古閑一憲, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治, 芦川直子, 時谷政行, 増崎貴, 西村清彦, 相良明男, LHD実験グループ
    • 学会等名
      第32回プラズマ・核融合学会 年会
    • 発表場所
      名古屋大学
    • 年月日
      2015-11-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600126

  • [学会発表] プラズマ・壁相互作用により発生したダスト堆積とプラズマ発光との相関2015
    • 著者名/発表者名
      片山龍, 古閑一憲, 山下大輔, Hyunwoong Seo, 板垣奈穂, 白谷正治, 芦川直子, 時谷政行, 増崎貴, 西村清彦, 相良明男, LHD実験グループ
    • 学会等名
      平成27年度（第68回）電気・情報関係学会九州支部連合大会
    • 発表場所
      福岡大学
    • 年月日
      2015-09-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600126

  • [学会発表] Control Of Nanoprticle Transport And Their Deposition For Porous Low-k Films By Using Plasma Pertubation (Invited)2015
    • 著者名/発表者名
      K. Koga and M. Shiratani
    • 学会等名
      The 10th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2015)
    • 発表場所
      Ramada Plaza Jeju Hotel, Korea
    • 年月日
      2015-09-22
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] クラスタ及びSiH3ラジカルのSiH2結合形成への寄与2015
    • 著者名/発表者名
      毛屋公孝, 鳥越祥宏, 都甲将, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第25回日本MRS年次大会
    • 発表場所
      横浜市開港記念会館
    • 年月日
      2015-12-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Solar cells using group IV semiconductor nanoparticles2015
    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani
    • 学会等名
      7th International Symposium on Innovative Solar Cells (ISISC-7)
    • 発表場所
      RCAST, the University of Tokyo
    • 年月日
      2015-01-20
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] プラズマ中微粒子運動の2次元顕微解析2015
    • 著者名/発表者名
      添島雅大, 伊東鉄平, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治, 野口将之, 内田誠一
    • 学会等名
      平成27年度（第68回）電気・情報関係学会九州支部連合大会
    • 発表場所
      福岡大学
    • 年月日
      2015-09-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Fabrication Of Ge Nanoparticle Composite Films By Reactive Dusty Plasma Process For Next Generation Energy Devices (Invited)2015
    • 著者名/発表者名
      G. Uchida, H. Seo, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      The 10th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2015)
    • 発表場所
      Ramada Plaza Jeju Hotel, Korea
    • 年月日
      2015-09-21
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Cross correlation analysis of plasma perturbation in amplitude modulated reactive dusty plasmas2015
    • 著者名/発表者名
      T. Ito, M. Soejima, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, T. Kobayashi, S. Inagaki
    • 学会等名
      ICRP9/GEC68/SPP33
    • 発表場所
      Hawaii Convention Center, USA
    • 年月日
      2015-10-13
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] 未来を拓くプラズマ工学（特別講演）2015
    • 著者名/発表者名
      白谷正治
    • 学会等名
      甲午会設立総会
    • 発表場所
      電気ビル、福岡
    • 年月日
      2015-02-07
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] Attraction during binary collision of fine particles in Ar plasma2015
    • 著者名/発表者名
      M. Soejima, T. Ito, D. Yamashita, N. Itagaki, H. Seo, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      ICRP9/GEC68/SPP33
    • 発表場所
      Hawaii Convention Center, USA
    • 年月日
      2015-10-13
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] アルゴンプラズマ中微粒子運動の画像解析によるプラズマパラメータ評価2015
    • 著者名/発表者名
      古閑一憲, 添島雅大, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治, 内田誠一
    • 学会等名
      日本物理学会　2015年秋季大会
    • 発表場所
      関西大学
    • 年月日
      2015-09-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] AM変調を用いた反応性プラズマ中のナノ粒子揺らぎの時空間解析2015
    • 著者名/発表者名
      森研人, 伊東鉄平, 古閑一憲, 添島雅大, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治,小林達哉, 稲垣滋
    • 学会等名
      第9回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール
    • 発表場所
      国立中央青少年交流の家, 静岡
    • 年月日
      2015-09-02
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] 反応性プラズマ中で形成されたナノ粒子によるレーザー散乱光強度のエンベロープ解析：変調周波数依存性2015
    • 著者名/発表者名
      森研人, 伊東鉄平, 添島雅大, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治, 小林達哉, 稲垣滋
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第19回支部大会
    • 発表場所
      熊本大学
    • 年月日
      2015-12-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] プラズマ加工とその応用に関する最近の動向～最近の研究から～2015
    • 著者名/発表者名
      白谷正治
    • 学会等名
      学振136委員会 平成26年度第5回研究会
    • 発表場所
      弘済会館、東京
    • 年月日
      2015-01-16
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] Deposition rate and etching rate due to neutral radicals and dust particles measured using QCMs together with a dust eliminating filter2015
    • 著者名/発表者名
      R. Katayama, K. Koga, D. Yamashita, K. Kamataki, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, N. Ashikawa, M. Tokitani, S. Masuzaki, K. Nishimura, A. Sagara, LHD Experimental Group
    • 学会等名
      ICRP9/GEC68/SPP33
    • 発表場所
      Hawaii Convention Center, USA
    • 年月日
      2015-10-14
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600126

  • [学会発表] プロセシングプラズマを用いたIV族半導体ナノ粒子の作製と太陽電池への応用2015
    • 著者名/発表者名
      古閑一憲, 内田儀一郎, 徐鉉雄, 白谷正治
    • 学会等名
      平成26年度　東北大学電気通信研究所共同プロジェクト研究会「プラズマナノバイオ・医療の基礎研究」
    • 発表場所
      東北大学
    • 年月日
      2015-02-19
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Three kinds of nucleation of films using plasma processes for solar cell applications2015
    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani
    • 学会等名
      2015 Japan-Korea Joint Symposium on Advanced Solar Cells
    • 発表場所
      TKP HAKATAEKIMAE Meeting Room, Fukuoka
    • 年月日
      2015-01-09
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] ダイバータシミュレータ内でのコンパクトドリフトチューブを用いたダスト捕集実験2015
    • 著者名/発表者名
      片山龍, 古閑一憲, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治, 増崎貴, 芦川直子, 時谷政行, 西村清彦, 相良明男, LHD実験グループ
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第19回支部大会
    • 発表場所
      熊本大学
    • 年月日
      2015-12-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600126

  • [学会発表] Plasma Processes in 21st Century (Plenary)2015
    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani
    • 学会等名
      7th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterial/8th International Conference on Plasma Nanotechnology and Science
    • 発表場所
      Nagoya University
    • 年月日
      2015-03-30
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] 反応性プラズマ中ナノ粒子とラジカルの非線形結合成分の時空間解析2015
    • 著者名/発表者名
      古閑一憲, 伊東鉄平, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治
    • 学会等名
      日本物理学会　2015年秋季大会
    • 発表場所
      関西大学
    • 年月日
      2015-09-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] 膜中クラスター体積分率の水素ガス流量依存性2015
    • 著者名/発表者名
      小島尚, 都甲将, 鳥越祥宏, 毛屋公孝, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第9回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール
    • 発表場所
      国立中央青少年交流の家, 静岡
    • 年月日
      2015-09-02
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Cluster Incorporation into A-Si:H Films Deposited Using H 2 +SiH 4 Discharge Plasmas2015
    • 著者名/発表者名
      S. Toko, Y. Torigoe, K. Keya, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      ICRP9/GEC68/SPP33
    • 発表場所
      Hawaii Convention Center, USA
    • 年月日
      2015-10-13
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Single Fine Particle Trapped in Ar Plasma by Optical Tweezers2014
    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, T. Ito, M. Soejima, K. Koga, D. Yamashita, K. Kamataki, N. Itagaki
    • 学会等名
      15th Workshop on Fine Particle Plasmas
    • 発表場所
      National Institute for Fusion Science, Toki
    • 年月日
      2014-10-17
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] プラズマ・壁相互作用により発生したダストの容器壁堆積のその場検出2014
    • 著者名/発表者名
      立石瑞樹, 片山龍, 古閑一憲, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治, 芦川直子, 時谷政行 増崎貴, 西村清彦, 相良明男, LHD実験グループ
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第18回支部大会
    • 発表場所
      九州大学
    • 年月日
      2014-12-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600126

  • [学会発表] マルチホロー放電プラズマCVDによるSi量子ドットの作製と新太陽電池への応用研究2014
    • 著者名/発表者名
      徐鉉雄, 橋本慎史, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      平成26年度（第67回）電気・情報関係学会九州支部連合大会
    • 発表場所
      鹿児島大学
    • 年月日
      2014-09-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Development of an in-situ Detection Method of Dust Particles Deposited on Vessel Wall Using Quartz Crystal Microbalances2014
    • 著者名/発表者名
      M. Tateishi, R. Katayama, K. Koga, D. Yamashita, K. Kamataki, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, N. Ashikawa, S. Masuzaki, K. Nishimura, A. Sagara, LHD Experimental Group
    • 学会等名
      15th Workshop on Fine Particle Plasmas
    • 発表場所
      National Institute for Fusion Science, Toki
    • 年月日
      2014-10-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600126

  • [学会発表] Si量子ドットを用いたハイブリッド型太陽電池の研究2014
    • 著者名/発表者名
      橋本慎史, 市田大樹, 徐鉉雄, 内田儀一郎, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      平成26年度（第67回）電気・情報関係学会九州支部連合大会
    • 発表場所
      鹿児島大学
    • 年月日
      2014-09-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Dust collection with dc-biased substrates in large helical device2014
    • 著者名/発表者名
      M. Tateishi, K. Koga, D. Yamashita, K. Kamataki, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, N. Ashikawa, S. Masuzaki, K. Nishimura, A. Sagara, and the LHD Experimental Group
    • 学会等名
      21th International Conference on Plasma Surface Interactions
    • 発表場所
      Ishikawa Ongakudo, Kanazawa
    • 年月日
      2014-05-27
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600126

  • [学会発表] プロセスプラズマにおけるナノ粒子の成長とその制御2014
    • 著者名/発表者名
      白谷正治
    • 学会等名
      Plasma Conference 2014
    • 発表場所
      朱鷹メッセ, 新潟
    • 年月日
      2014-11-18
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] Effects of Dust Deposition on Optical Characteristics of Mirrors Installed on First Wall in LHD2014
    • 著者名/発表者名
      R. Katayama, M. Tateishi, K. Koga, D. Yamashita, K. Kamataki, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, N. Ashikawa, S. Masuzaki, K. Nishimura, A. Sagara, LHD Experimental Group
    • 学会等名
      15th Workshop on Fine Particle Plasmas
    • 発表場所
      National Institute for Fusion Science, Toki
    • 年月日
      2014-10-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600126

  • [学会発表] High efficiency quantum dot solar cell (Plenary)2014
    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani
    • 学会等名
      The International Symposium on Plasma-Nano Materials and Processes
    • 発表場所
      The Riverside Hotel, Seoul
    • 年月日
      2014-04-03
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] Modulation frequency dependence of bispectrum of laser light scattering intensity from nanoparticles formed in reactive plasmas2014
    • 著者名/発表者名
      T. Ito, D. Yamashita, H. Seo, K. KamatakiI, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      67th Annual Gaseous Electronics Conference
    • 発表場所
      Raleigh Convention Center, North Carolina
    • 年月日
      2014-11-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Nanopartilce Composite Plasma CVD Films and Some Applications2014
    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, K. Koga
    • 学会等名
      2014 ECS and SMEQ Joint International Meeting
    • 発表場所
      Moon Palace Resort, Cancun
    • 年月日
      2014-10-07
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Nanopartilce Composite Plasma CVD Films and Some Applications2014
    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, K. Koga
    • 学会等名
      2014 ECS and SMEQ Joint International Meeting
    • 発表場所
      Moon Palace Resort, Cancun
    • 年月日
      2014-10-07
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] 水素プラズマとグラファイト壁相互作用により発生したダストのその場測定2014
    • 著者名/発表者名
      立石瑞樹, 片山龍, 古閑一憲, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治, 芦川直子, 増崎貴, 西村清彦, 相良明男, LHD実験グループ
    • 学会等名
      Plasma Conference 2014
    • 発表場所
      朱鷹メッセ, 新潟
    • 年月日
      2014-11-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600126

  • [学会発表] Coupling between radicals and nanoparticles in initial growth phase in reactive plasmas with amplitude modulation2014
    • 著者名/発表者名
      K.Koga, Y.Morita, K.Kamataki, D.Yamashita, N.Itagaki, G.Uchida, and M.Shiratani
    • 学会等名
      8th International Conference on Reactive Plasmas and 31st Symposium on Plasma Processing
    • 発表場所
      Fukuoka
    • 年月日
      2014-02-03
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [学会発表] ＩＴ活用による半導体製造イノベーション2014
    • 著者名/発表者名
      白谷正治
    • 学会等名
      第15回九州大学－ＮＴＴ技術交流会
    • 発表場所
      ホテル日航福岡
    • 年月日
      2014-12-09
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] プラズマナノプロセシングにおける揺らぎ抑制のための戦略2014
    • 著者名/発表者名
      白谷正治, 古閑一憲, 徐鉉雄, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第24回日本MRS年次大会
    • 発表場所
      横浜市開港記念会館、横浜情報文化センター
    • 年月日
      2014-12-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] 基板の光学特性に対するダスト堆積の影響2014
    • 著者名/発表者名
      片山龍, 立石瑞樹, 古閑一憲, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治, 芦川直子, 増崎貴, 西村清彦, 相良明男, LHD実験グループ
    • 学会等名
      Plasma Conference 2014
    • 発表場所
      朱鷹メッセ, 新潟
    • 年月日
      2014-11-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600126

  • [学会発表] プラズマ化学の拓く新世界:半導体からバイオまで（展望講演）2014
    • 著者名/発表者名
      白谷正治
    • 学会等名
      化学工学会第46回秋季大会
    • 発表場所
      九州大学
    • 年月日
      2014-09-18
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] プロセスプラズマにおけるナノ粒子の成長とその制御2014
    • 著者名/発表者名
      白谷正治
    • 学会等名
      Plasma Conference 2014
    • 発表場所
      朱鷹メッセ, 新潟
    • 年月日
      2014-11-18
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] プラズマナノテクノロジーの現状と展望2014
    • 著者名/発表者名
      白谷正治
    • 学会等名
      第4回新学術領域研究「プラズマとナノ界面の相互作用に関する学術基盤の創成」公開シンポジウム
    • 発表場所
      名古屋大学
    • 年月日
      2014-06-14
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] In-situ Measurements of Volume Fraction of clusters in Films During Plasma CVD2014
    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, S. Toko, K. Koga, N. Itagaki, H. Seo
    • 学会等名
      International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films(ICMCTF 2014)
    • 発表場所
      Town & Country Resort Hotel, San Diego
    • 年月日
      2014-05-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] LHD内バイアス基板への長期ダスト堆積実験2014
    • 著者名/発表者名
      片山龍, 立石瑞樹, 古閑一憲, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治, 芦川直子, 時谷政行, 増崎貴, 西村清彦 相良明男, LHD実験グループ
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第18回支部大会
    • 発表場所
      九州大学
    • 年月日
      2014-12-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26600126

  • [学会発表] ラジカル密度摂動によるナノ粒子とラジカルのカップリング解析2014
    • 著者名/発表者名
      古閑一憲, 伊東鉄平, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治
    • 学会等名
      Plasma Conference 2014
    • 発表場所
      朱鷹メッセ, 新潟
    • 年月日
      2014-11-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] プラズマナノプロセシングにおける揺らぎ抑制のための戦略2014
    • 著者名/発表者名
      白谷正治, 古閑一憲, 徐鉉雄, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第24回日本MRS年次大会
    • 発表場所
      横浜市開港記念会館、横浜情報文化センター
    • 年月日
      2014-12-11
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] Quantum characterization of Si nano-particles fabricated by multi-hollow discharge plasma chemical vapor deposition2014
    • 著者名/発表者名
      H. Seo, G. Uchida, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      Global Photovoltaic Conference 2014
    • 発表場所
      BEXCO Convention center, Busan
    • 年月日
      2014-11-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Effects of amplitude modulated VHF discharge on coupling between plasmas and nanoparticles2014
    • 著者名/発表者名
      K. Koga, T. Ito, K. Kamataki, H. Seo, N. Itagaki, and M. Shiratani
    • 学会等名
      24th International Toki Conference
    • 発表場所
      Ceratopia Toki, Toki-city, Gifu
    • 年月日
      2014-11-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26246036

  • [学会発表] Nanoparticle composite plasma CVD films Fundamental and applications2014
    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani, K.Koga, G.Uchida, N.Itagaki, H.Seo, K.Kamataki
    • 学会等名
      The 9th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing
    • 発表場所
      Bohinj Park ECO Hotel, Slovenia
    • 年月日
      2014-01-21
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [学会発表] Single particle trapping in plasmas using laser for studying interaction between a fine particle and palsams2013
    • 著者名/発表者名
      Kazunori Koga, Daisuke Yamashita, Giicihro Uchida, Masaharu Shiratani
    • 学会等名
      5th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2013)
    • 発表場所
      Nagoya University, Japan
    • 年月日
      2013-01-30
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [学会発表] Fluctuation in Plasma Processes2013
    • 著者名/発表者名
      Masaharu Shiratani, Kunihiro Kamataki, Yasuhiko Morita, Kazunori Koga, Giichiro Uchida, Naho Itagaki, Hyunwoong Seo
    • 学会等名
      The 6th International Conference on Plasma Nanotechnology and Science (IC-PLANTS 2013)
    • 発表場所
      Gero Synergy Center, Japan
    • 年月日
      2013-02-03
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [学会発表] Impacts of global collaborationson plasma science and technology2013
    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani
    • 学会等名
      The Global Research and Development Centers (GRDC) Symposium 2013
    • 発表場所
      Ewha Womans University, Korea
    • 年月日
      2013-10-29
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] Novel metal oxinitride materials for optoelectronic applications2013
    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani, N.Itagaki, K.Matsushima, R.Shimizu, H.Seo, K.Koga
    • 学会等名
      2013 EMN Fall Meeting
    • 発表場所
      Orland, Florida, USA
    • 年月日
      2013-12-07
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [学会発表] 振幅変調放電プラズマ中のナノ粒子成長初期におけるナノ粒子量の時空間分布2013
    • 著者名/発表者名
      古閑一憲, 森田康彦, 内田儀一郎, 鎌滝晋礼, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治
    • 学会等名
      2013年第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学，厚木市
    • 年月日
      2013-03-28
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [学会発表] ナノ界面プラズマとは:新しいプラズマ科学の潮流2013
    • 著者名/発表者名
      白谷正治
    • 学会等名
      2013年第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学，厚木市
    • 年月日
      2013-03-28
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] 反応性プラズマ中の微粒子成長速度の時空間相関2013
    • 著者名/発表者名
      白谷正治, 鎌滝晋礼, 森田康彦, 古閑一憲, 内田儀一郎, 板垣奈穂, 徐鉉雄
    • 学会等名
      第30回プラズマプロセシング研究会
    • 発表場所
      アクトシティ浜松・研修交流センター，浜松市
    • 年月日
      2013-01-22
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] Time evolution of nanoparticle size in reactive plasmas: comparison between theory and experiments2013
    • 著者名/発表者名
      Masaharu Shiratani, Kunihiro Kamataki, Yasuhiko Morita, Giichiro Uchida, Hyunwoong Seo, Naho Itagaki, Kazunori Koga
    • 学会等名
      5th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials
    • 発表場所
      Nagoya University, Japan
    • 年月日
      2013-01-29
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] プラズマの農業応用:何が求められているのか2012
    • 著者名/発表者名
      白谷正治
    • 学会等名
      第3回プラズマ・核融合学会専門委員会「プラズマ科学の医療応用」および研究会
    • 発表場所
      東大寺総合文化センター金鐘ホール,奈良市
    • 年月日
      2012-01-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22656022

  • [学会発表] Recent progress in frontier science of interactions between plasmas and nano-interfaces2012
    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani, K.Koga, K.Kamataki, G.Uchida, H.Seo, N.Itagaki
    • 学会等名
      The 14th International Workshop of Advanced Plasma Processing and Diagnostics
    • 発表場所
      九州大学箱崎キャンパス21世紀プラザ,福岡市(招待講演)
    • 年月日
      2012-01-08
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] 反応性プラズマ中でのナノ粒子成長の時空間分布2012
    • 著者名/発表者名
      森田康彦, 鎌滝晋礼, 内田儀一郎, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会　九州・沖縄・山口支部第16回支部大会
    • 発表場所
      九州大学筑紫地区総合研究棟，春日市
    • 年月日
      2012-12-22
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [学会発表] Plasma fluctuation and plasma nanotechnologies2012
    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani, K.Kamataki, G.Uchida, H.Seo, N.Itagaki, K.Koga
    • 学会等名
      The 5th International Conference on Plasma Nanotechnology and Science (IC-PLANTS 2012)
    • 発表場所
      犬山国際観光センター,犬山市(招待講演)
    • 年月日
      2012-03-09
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] 反応性プラズマとナノ構造の相互作用の長距離相関モデル2012
    • 著者名/発表者名
      白谷正治, 鎌滝晋礼, 森田康彦, 古閑一憲, 内田儀一郎, 板垣奈穂, 徐鉉雄
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会　九州・沖縄・山口支部第16回支部大会
    • 発表場所
      九州大学筑紫地区総合研究棟，春日市
    • 年月日
      2012-12-22
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] Measurements of Nitric Oxide Generated from Dry Yeast Irradiated by Dielectric Barrier Discharge Plasmas2012
    • 著者名/発表者名
      S.Kitazaki, K.Koga, M.Shiratani,-N.Hayashi
    • 学会等名
      The 4th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2012)
    • 発表場所
      中部大学,春日井市
    • 年月日
      2012-03-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22656022

  • [学会発表] In-situ Measurements of Size Distribution of Nanoparticles Formed in Reactive Plasmas Using a Laser Light Scattering Method2012
    • 著者名/発表者名
      Masaharu Shiratani, Kunihiro Kamataki, Yasuhiko Morita, Giichiro Uchida, Hyunwoong Seo, Naho Itagaki, Kazunori Koga
    • 学会等名
      International Union of Material Research Societies International Conference on Electronic Material 2012
    • 発表場所
      PACIFICO YOKOHAMA, Japan
    • 年月日
      2012-09-24
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] Control of nanoparticle formation in reactive plasmas and its application to fabrication of green energy device2012
    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani
    • 学会等名
      The 13th International Conference on Plasma Surface Engineering (PSE2012)
    • 発表場所
      Garmisch-Partenkirchen Conference Center, Garmisch-Partenkirchen (ドイツ)(プレナリー講演)
    • 年月日
      2012-09-12
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [学会発表] 酵母の成長特性に対する大気圧DBD照射効果2012
    • 著者名/発表者名
      北崎訓, 古閑一憲, 白谷正治, 林信哉
    • 学会等名
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      早稲田大学,東京都
    • 年月日
      2012-03-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22656022

  • [学会発表] Optical Trapping of Single Fine Particle in Plasmas for study of interactions between a fine particle and plasmas2012
    • 著者名/発表者名
      Kazunori Koga, Daisuke Yamashita, Satoshi Kitazaki, Giichiro Uchida, Kunihiro Kamataki, Naho Itagaki, Masaharu Shiratani
    • 学会等名
      NANOSMAT 2012
    • 発表場所
      AquaPalace Hotel in Prague, Czech Republic
    • 年月日
      2012-09-19
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [学会発表] Long-range correlation of nanoparticle growth in in low pressure reactive VHF discharge plasmas2012
    • 著者名/発表者名
      Masaharu Shiratani, Kunihiro Kamataki, Yasuhiko Morita, Hyunwoong Seo, Naho Itagaki, Giichiro Uchida, Kazunori Koga
    • 学会等名
      54th Annual Meeting of the APS Division of Plasma Physics
    • 発表場所
      Rhode Island Convention Center, Providence, United States of America
    • 年月日
      2012-10-31
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] Growth characteristics of bread yeast using atmospheric pressure dielectric barrier discharge irradiation2012
    • 著者名/発表者名
      S. Kitazaki, K. Koga, M. Shiratani, N. Hayashi
    • 学会等名
      The 14th International Workshop of Advanced Plasma Processing and Diagnstics
    • 発表場所
      九州大箱崎キャンパス21世紀プラザ,福岡市
    • 年月日
      2012-01-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22656022

  • [学会発表] プラズマプロセスにおける揺らぎのダイナミックス2012
    • 著者名/発表者名
      鎌滝晋礼, 森田康彦, 古閑一憲, 内田儀一郎, 板垣奈穂, Hyunwoong Seo, 白谷正治
    • 学会等名
      第28回九州・山口プラズマ研究会
    • 発表場所
      由布院倶楽部, 由布市
    • 年月日
      2012-11-10
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [学会発表] Growth control of dry yeast using atmospheric pressure dielectric barrier discharge plasma irradiation2012
    • 著者名/発表者名
      S. Kitazaki, K. Koga, M. Shiratani, N. Hayashi
    • 学会等名
      The 5th International Conference on Plasma Nanotechnology and Science
    • 発表場所
      犬山国際観光センター,犬山市
    • 年月日
      2012-03-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22656022

  • [学会発表] 酵母の成長特性に対する大気圧D B D照射効果2012
    • 著者名/発表者名
      北崎訓,古閑一憲,白谷正治,林信哉
    • 学会等名
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      早稲田大学,東京都
    • 年月日
      2012-03-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22656022

  • [学会発表] Control of size distribution of nanoparticles produced in reactive plasmas2012
    • 著者名/発表者名
      Masaharu Shiratani, Kunihiro Kamataki, Yasuhiko Morita, Kazunori Koga, Giichiro Uchida, Hyunwoong Seo, Daisuke Yamashita, Naho Itagaki
    • 学会等名
      Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology
    • 発表場所
      Kyoto University ROHM Plaza, Japan
    • 年月日
      2012-10-03
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [学会発表] Impacts of plasma fluctuation on nanostructure formation using plasmas2012
    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani, K.Kamataki, G.Uchida, H.Seo, N.Itagaki, K.Koga
    • 学会等名
      The Third International Symposium on Plasma Nanoscience
    • 発表場所
      Johor, Malaysia and Nanyang Technological University,シンガポール
    • 年月日
      2012-02-29
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [学会発表] Impacts of plasma fluctuation on nanoparticle growth in reactive plasmas2012
    • 著者名/発表者名
      Masaharu Shiratani, Kunihiro Kamataki, Yasuhiko Morita, Kazunori Koga, Giichiro Uchida, Naho Itagaki, Hyunwoong Seo
    • 学会等名
      39th IEEE International Conference on Plasma Science
    • 発表場所
      the Edinburgh International Conference Centre, United Kingdom
    • 年月日
      2012-06-07
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] Growth control of dry yeast using atmospheric pressure dielectric barrier discharge plasma irradiation2012
    • 著者名/発表者名
      S.Kitazaki, K.Koga, M.Shiratani, N.Hayashi
    • 学会等名
      The 5th International Conference on Plasma Nanotechnology and Science (IC-PLANTS 2012)
    • 発表場所
      犬山国際観光センター,犬山市
    • 年月日
      2012-03-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22656022

  • [学会発表] Measurements of Nitric Oxide Generated from Dry Yeast Irradiated by Dielectric Barrier Discharge Plasmas2012
    • 著者名/発表者名
      S. Kitazaki, K. Koga, M. Shiratani, N. Hayashi
    • 学会等名
      The 4th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials
    • 発表場所
      中部大学,春日井市
    • 年月日
      2012-03-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22656022

  • [学会発表] Negative and positive feedback of nanoparticle growth in reactive plasmas2012
    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani
    • 学会等名
      第8回日欧プラズマプロセス共同シンポジウム
    • 発表場所
      東大寺総合文化センター金鐘ホール,奈良市(招待講演)
    • 年月日
      2012-01-17
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] A Theoretical Model of a Relationship between Plasma Fluctuation and Nanostructure Fluctuation2012
    • 著者名/発表者名
      Masaharu Shiratani, Yasuhiko Morita, Kunihiro Kamataki, Giichiro Uchida, Hyunwoong Seo, Naho Itagaki, Kazunori Koga
    • 学会等名
      International Union of Material Research Societies International Conference on Electronic Material 2012
    • 発表場所
      PACIFICO YOKOHAMA, Japan
    • 年月日
      2012-09-24
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [学会発表] Impacts of plasma fluctuation on growth of nanoparticles in low pressure reactive VHF discharge plasmas2012
    • 著者名/発表者名
      Masaharu Shiratani, Kunihiro Kamataki, Yasuhiko Morita, Hyunwoong Seo, Naho Itagaki, Giichiro Uchida, Kazunori Koga
    • 学会等名
      65th Annual Gaseous Electronics Conference
    • 発表場所
      The University of Texas at Austin campus in Austin, United States of America
    • 年月日
      2012-10-24
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] A simplified model of a relationship between plasma fluctuation and size distribution of nanoparticles formed in reactive plasmas2012
    • 著者名/発表者名
      Masaharu Shiratani, Yasuhiko Morita, Kunihiro Kamataki, Giichiro Uchida, Hyunwoong Seo, Naho Itagaki, Kazunori Koga
    • 学会等名
      13th Workshop on Fine Particle Plasma
    • 発表場所
      National Institute for Fusion Science, Japan
    • 年月日
      2012-12-08
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [学会発表] 放電電力変調反応性プラズマにおけるナノ粒子成長の時空間構造の観測2012
    • 著者名/発表者名
      鎌滝晋礼, 森田康彦, 古閑一憲, 内田儀一郎, 板垣奈穂, 山下大輔, 白谷正治
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会　第29回年会
    • 発表場所
      春日クローバープラザ，春日市
    • 年月日
      2012-11-27
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [学会発表] Interaction between amplitude modulated reactive plasmas and nanoparticles growth in the plasmas2012
    • 著者名/発表者名
      K.Kamataki, K.Koga, G.Uchida, N.Itagaki, H.Seo, M.Shiratani
    • 学会等名
      The 4th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2012)
    • 発表場所
      中部大学,春日井市
    • 年月日
      2012-03-07
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [学会発表] Observation of growth of nano-particles using a high speed camera2012
    • 著者名/発表者名
      Yasuhiko Morita, Kunihiro Kamataki, Kazunori Koga, Giichiro Uchida, Hyunwoong Seo, Daisuke Yamashita, Naho Itagaki, Masaharu Shiratani
    • 学会等名
      The 15th International Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics
    • 発表場所
      Sungkyunkwan University, Korea
    • 年月日
      2012-06-07
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [学会発表] フラズマとナノ界面の相互作用の制御2012
    • 著者名/発表者名
      白谷正治, 古閑一憲, 内田儀一郎, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂
    • 学会等名
      東北大学電気通信研究所共同プロジェクト研究会,仙台"プラズマフォーラム"
    • 発表場所
      秋保温泉岩沼屋,仙台市(招待講演)
    • 年月日
      2012-02-18
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] Fluctuation Control towards Ultimate Plasma Nanotechnologies2011
    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani, K.Koga, G.Uchida, N.Itagaki, K.Kamataki
    • 学会等名
      第24回プラズマ材料科学シンポジウム
    • 発表場所
      大阪大学,大阪 (Keynote)
    • 年月日
      2011-07-19
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] Flux measurements of carbon dust particles towards biased substrates in H2 helicon discharge plasmas2011
    • 著者名/発表者名
      K.Nishiyama, K.Koga, M.Shiratani, 他5名
    • 学会等名
      The 12th International Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics
    • 発表場所
      九州大学,福岡市
    • 年月日
      2011-01-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [学会発表] Control of size distribution of nanoparticles in reactive plasmas by using AM rf discharges2011
    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani, G.Uchida, N.Itagaki, K.Kamataki, K.Koga
    • 学会等名
      12th Workshop on Fine Particle Plasmas
    • 発表場所
      核融合科学研究所,土岐市
    • 年月日
      2011-11-27
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [学会発表] 高周波放電のAM変調によるナノ粒子サイズ分布の制御2011
    • 著者名/発表者名
      白谷正治, 鎌滝晋礼, 西山雄士, 古閑一憲, 内田儀一郎, 板垣奈穂
    • 学会等名
      平成23年度(第64回)電気関係学会九州支部連合大会
    • 発表場所
      佐賀大学本庄キャンパス,佐賀市
    • 年月日
      2011-09-27
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [学会発表] Multi-hollow discharge plasma CVD : Si deposition2011
    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani, K.Koga, G.Uchida, H.Seo, N.Itagaki, K.Kamataki
    • 学会等名
      the International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG2011)
    • 発表場所
      Queen's University Belfast, Belfast (英国)(プレナリー講演)
    • 年月日
      2011-08-29
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [学会発表] Flux measurements of carbon dust particles towards biased substrates in H_2 helicon discharge plasmas2011
    • 著者名/発表者名
      K.Nishiyama, H.Miyata, D.Yamashita, K.Kamataki, G.Uchida, N.Itagaki, K.Koga, M.Shiratani
    • 学会等名
      The 12^<th> International Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics
    • 発表場所
      九州大学,福岡市
    • 年月日
      2011-01-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [学会発表] Fluctuation Control towards Ultimate Plasma Nanotechnologies2011
    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani, K.Koga, G.Uchida, N.Itagaki, K.Kamataki
    • 学会等名
      第24回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM-24)
    • 発表場所
      大阪大学銀杏会館,吹田市(招待講演)
    • 年月日
      2011-07-19
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] Study of interaction between plasma fluctuation and nucleation of nanoparticle in plasma CVD2011
    • 著者名/発表者名
      K.Kamataki, K.Koga, G.Uchida, N.Itagaki, M.Shiratani
    • 学会等名
      Plasma Conference 2011
    • 発表場所
      石川県立音楽堂,金沢市
    • 年月日
      2011-11-24
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [学会発表] Growth promotion characteristics of bread yeast by atmospheric pressure dielectric barrier discharge plasma irradiation2011
    • 著者名/発表者名
      S.Kitazaki, K.Koga, M.Shiratani, N.Hayashi
    • 学会等名
      Plasma Conference 2011 (PLASMA2011)
    • 発表場所
      石川県立音楽堂,金沢市
    • 年月日
      2011-11-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22656022

  • [学会発表] Growth promotion of bread yeast using atmospheric pressure dielectric barrier discharges2011
    • 著者名/発表者名
      S. Kitazaki, K. Koga, M. Shiratani, N. Hayashi
    • 学会等名
      AVS 58th International Symposium & Exhibition
    • 発表場所
      Nashville Convention Center,ナッシュビル(アメリカ)
    • 年月日
      2011-10-31
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22656022

  • [学会発表] Plasma nanofactories for constructing nanosystems in the third generation nanotechnology2011
    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani, K.Koga
    • 学会等名
      6th International Workshop on Microplasmas
    • 発表場所
      Paris Marriott Rive Gauche Hotel and Conference Center,パリ(フランス)
    • 年月日
      2011-04-06
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [学会発表] プラズマプロセスにおける揺らぎの制御2011
    • 著者名/発表者名
      白谷正治
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会第15回九州・沖縄・山口支部大会
    • 発表場所
      大分大学工学部,大分市(招待講演)
    • 年月日
      2011-12-17
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] Growth promotion characteristics of bread yeast by atmospheric pressure dielectric barrier discharge plasma irradiation2011
    • 著者名/発表者名
      S. Kitazaki, K. Koga, M. Shiratani, N. Hayashi
    • 学会等名
      Plasma Conference 2011(PLASMA2011)
    • 発表場所
      石川県立音楽堂,金沢市
    • 年月日
      2011-11-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22656022

  • [学会発表] Atmospheric pressure discharge device for biomedical application2011
    • 著者名/発表者名
      S. Kitazaki, K. Koga, G. Uchida, M. Shiratani, N. Hayashi
    • 学会等名
      The 3rd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials
    • 発表場所
      名古屋工業大学,名古屋市
    • 年月日
      2011-03-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22656022

  • [学会発表] Transport control of carbon nanoparticles in H_2 helicon disaharges by biasing wall potential2011
    • 著者名/発表者名
      古閑一憲, 西山勝雄士, 白谷正治
    • 学会等名
      次世代核融合装置に向けたダスト問題に関する研究会
    • 発表場所
      核融合科学研究所,土岐市
    • 年月日
      2011-03-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [学会発表] Plasma CVD of nanoparticle composite films and their applications2011
    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani, K.Koga, G.Uchida
    • 学会等名
      The 8th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2011)
    • 発表場所
      大連市,大連(招待講演)
    • 年月日
      2011-09-20
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] Control of nanostructure of plasma CVD films using nano-particles2011
    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani
    • 学会等名
      The 20th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC20)
    • 発表場所
      Loews Hotel,フィラデルフィア(アメリカ)
    • 年月日
      2011-07-28
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [学会発表] プラズマ照射による植物の成長促進2011
    • 著者名/発表者名
      北崎訓,古閑一憲,白谷正治,林信哉
    • 学会等名
      第38回西日本放電懇談会
    • 発表場所
      虹の松原ホテル,唐津市
    • 年月日
      2011-08-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22656022

  • [学会発表] Frontier science of interactions between plasmas and nano-interfaces2011
    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani, G.Uchida, H.Seo, K.Kamataki, N.Itagaki, K.Koga
    • 学会等名
      (ICPAT2011)4th International Conference on Advanced Plasma Technologies
    • 発表場所
      Strunjan(ストルニアン),スロベニア(招待講演)
    • 年月日
      2011-09-12
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] プラズマとナノ界面の相互作用制御の新展開2011
    • 著者名/発表者名
      白谷正治
    • 学会等名
      プラズマエレクトロニクス分科会20周年記念特別シンポジウム
    • 発表場所
      名古屋大学野依記念学術交流会館,名古屋市(招待講演)
    • 年月日
      2011-10-22
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] 大気圧DBD照射による酵母の分裂促進2011
    • 著者名/発表者名
      北崎訓,古閑一憲,白谷正治,林信哉,白谷正治
    • 学会等名
      第27回九州・山口プラズマ研究会
    • 発表場所
      かんぽの宿柳川,柳川市
    • 年月日
      2011-11-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22656022

  • [学会発表] プラズマCVD中におけるナノ粒子成長に対するプラズマ揺らぎの効果2011
    • 著者名/発表者名
      鎌滝晋礼, 古閑一憲, 内田儀一郎, 板垣奈穂, 山下大輔, 松崎秀文, 白谷正治
    • 学会等名
      プラズマエレクトロニクス文科会20周年記念特別シンポジウム
    • 発表場所
      名古屋大学野依記念学術交流会館,名古屋市
    • 年月日
      2011-10-22
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [学会発表] Control of radial density profile of nano-particle produced in reactive plasma by amplitude modulation of rf discharge voltage2011
    • 著者名/発表者名
      K.Kamataki, K.Koga, G.Uchida, N.Itagaki, D.Yamashita, H.Matsuzaki, M.Shiratani
    • 学会等名
      第24回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM-24)
    • 発表場所
      大阪大学銀杏会館,吹田市
    • 年月日
      2011-07-19
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [学会発表] 大気圧バリア放電照射による酵母の増殖促進2011
    • 著者名/発表者名
      北崎訓,古閑一憲,白谷正治,林信哉
    • 学会等名
      平成23年度(第64回)電気関係学会九州支部連合大会
    • 発表場所
      佐賀大学本庄キャンパス,佐賀市
    • 年月日
      2011-09-27
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22656022

  • [学会発表] Growth promotion of plants using low pressure O2 RF discharges2011
    • 著者名/発表者名
      S. Kitazaki, K. Koga, G. Uchida, M. Shiratani, N. Hayashi
    • 学会等名
      The 12th International Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics
    • 発表場所
      九州大学,福岡市
    • 年月日
      2011-01-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22656022

  • [学会発表] Plasma CVD of nanoparticle composite films and their applications2011
    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani, K.Koga, G.Uchida
    • 学会等名
      The 8th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2011)
    • 発表場所
      大連市, 大連(中国)(プレナリー講演)
    • 年月日
      2011-09-20
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [学会発表] Growth enhancement of plants using atmospheric pressure dielectric barrier discharge irradiation2011
    • 著者名/発表者名
      S. Kitazaki, G. Uchida, K. Koga, M. Shiratani, N. Hayashi
    • 学会等名
      The 4th International Conference on Plasma-Nanotechnology & Science
    • 発表場所
      高山市民文化会館,高山市
    • 年月日
      2011-03-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22656022

  • [学会発表] Plasma Nanofactory2011
    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani, G.Uchida, K.Koga
    • 学会等名
      2011 International Workshop on Advanced Electrical Engineering and Related Topics
    • 発表場所
      Ruhr-University Bochum,ボーフム(ドイツ)
    • 年月日
      2011-07-11
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [学会発表] Two dimensional laser light scattering to deduce size and density of nanoparticles in plasmas2011
    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani, K.Kamataki, K.Koga, G.Uchida
    • 学会等名
      Laser Aided Plasma Diagnostic conference (LAPD15)
    • 発表場所
      ShineVille Resort,済州島(韓国)
    • 年月日
      2011-10-10
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [学会発表] Three growth modes of nanoparticles generated in reactive plasmas2011
    • 著者名/発表者名
      K.Koga, K.Kamataki, S.Nunomura, S.Iwashita, G.Uchida, H.Seo, N.Itagaki, M.Shiratanil, U.Czarnetzki
    • 学会等名
      DPG Spring Meeting of the Section AMOP (SAMOP)
    • 発表場所
      University of Stuttgart,シュトゥットガルト(ドイツ)
    • 年月日
      2011-03-15
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [学会発表] Fluctuation of charge on a nano-particle in plasmas and its concequences2011
    • 著者名/発表者名
      Masaharu Shiratani, Kazunori Koga
    • 学会等名
      2nd International Workshop on Plasma Nano-Interfaces and Plasma Characterization
    • 発表場所
      The hotel Raj, Slovenia
    • 年月日
      2011-03-03
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [学会発表] Frontier science of interactions between plasmas and nano‐interfaces2011
    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani, G.Uchida, H.Seo, K.Kamataki, N.Itagaki, K.Koga
    • 学会等名
      4th International Conference on Advanced Plasma Technologies
    • 発表場所
      Hotel Salinera Strunjan, Slovenia (Plenary)
    • 年月日
      2011-09-12
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] Growth Stimulation of Radish Sprouts Using Discharge Plasmas2010
    • 著者名/発表者名
      S. Kitazaki, D. Yamashita, H. Matsuzaki, G. Uchida, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      Proceedings of IEEE TENCON 2010
    • 発表場所
      福岡国際センター,福岡市
    • 年月日
      2010-11-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22656022

  • [学会発表] Effects of Ar Addition on Breakdown Voltage in a Si(CH_3)_2(OCH_3)_2 RF Discharge2010
    • 著者名/発表者名
      G.Uchida, S.Nunomura, H.Miyata, S.Iwashita, D.Yamashita, H.Matsuzaki, K.Kamataki, N.Itagaki, K.Koga, M.Shiratani
    • 学会等名
      IEEE TENCON 2010
    • 発表場所
      福岡国際センター,福岡市
    • 年月日
      2010-11-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [学会発表] Carbon Dust Particles Generated Due to H2 Plasma-Carbon Wall Interaction2010
    • 著者名/発表者名
      宮田大嗣, 古閑一憲, 白谷正治, 他12名
    • 学会等名
      63rd Annual Gaseous Electronics Conference and 7th International Conference on Reactive Plasmas
    • 発表場所
      パリ,フランス
    • 年月日
      2010-10-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [学会発表] Flux Measurements of Dust Particles during Hydrogen Discharges in LHD2010
    • 著者名/発表者名
      岩下伸也, 古閑一憲, 白谷正治, 他7名
    • 学会等名
      The 19th International Conference on Plasma Surface Interactions in Controlled Fusion Devices
    • 発表場所
      サンディエゴ,アメリカ
    • 年月日
      2010-05-25
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [学会発表] Deposition of Nanoparticles Using Substrate Bias Voltage2010
    • 著者名/発表者名
      古閑一憲, 白谷正治, 他8名
    • 学会等名
      23rd International Microprocesses and Nanotechnogy Conference
    • 発表場所
      リーガロイヤルホテル小倉,小倉市
    • 年月日
      2010-11-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [学会発表] 酸素プラズマを用いたスプラウトの成長促進2010
    • 著者名/発表者名
      北崎訓, 岩尾拓朗, 古閑一憲, 白谷正治, 林信哉
    • 学会等名
      第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学, 長崎市
    • 年月日
      2010-09-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22656022

  • [学会発表] プラズマプロセス揺らぎの制御を目指して2010
    • 著者名/発表者名
      白谷正治
    • 学会等名
      春季第57回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東海大学
    • 年月日
      2010-03-17
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] 水素プラズマとグラファイトとの相互作用により発生したダストのフラックスの壁電位依存性2010
    • 著者名/発表者名
      西山雄司, 宮田大嗣, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 内田儀一郎, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部第14回支部大会
    • 発表場所
      九州大学,福岡市
    • 年月日
      2010-12-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [学会発表] Fluctuation Control for Plasma Nanotechnologies2010
    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani, K.Koga, G.Uchida, N.Itagaki, K.Kamataki
    • 学会等名
      International technical conference of IEEE Region 10
    • 発表場所
      Fukuoka International Congress Center, Fukuoka(日本) (Keynote Speech)
    • 年月日
      2010-11-22
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] 酸素プラズマを用いたスプラウトの成長促進2010
    • 著者名/発表者名
      北崎訓,岩尾拓朗,古閑一憲,白谷正治,林信哉
    • 学会等名
      第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学,長崎市
    • 年月日
      2010-09-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22656022

  • [学会発表] Redox Characteristics of Amino Acids Using Low Pressure Water Vapor RF Plasma2010
    • 著者名/発表者名
      Y. Akiyoshi, A. Nakahigashi, N. Hayashi, S. Kitazaki, T. Iwao, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      Proceedings of IEEE TENCON 2010
    • 発表場所
      福岡国際センター,福岡市
    • 年月日
      2010-11-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22656022

  • [学会発表] Growth Stimulation of Sprouts Using Plasma Irradiation2010
    • 著者名/発表者名
      S. Kitazaki, K. Koga, M. Shiratani, N. Hayashi
    • 学会等名
      The 4th International Student Workshop on Electrical Engineering
    • 発表場所
      福岡国際センター,福岡市
    • 年月日
      2010-11-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22656022

  • [学会発表] Research Roadmap for Plasma Processing for Next Three Decades2010
    • 著者名/発表者名
      Masaharu Shiratani
    • 学会等名
      2010 International Workshop on Environment and resources
    • 発表場所
      台湾、明志科技大学
    • 年月日
      2010-05-08
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] プラズマナノ界面の学理と産業応用2010
    • 著者名/発表者名
      白谷正治
    • 学会等名
      日本学術振興会プラズマ材料科学第153委員会第96回研究会
    • 発表場所
      京都市国際交流会館
    • 年月日
      2010-05-21
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] Control of Nano-Block Transport Using Amplitude Modulated Pulse RF Discharges2010
    • 著者名/発表者名
      岩下伸也, 古閑一憲, 白谷正治, 他2名
    • 学会等名
      20th European Conference on the Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases
    • 発表場所
      ノビサダ,セルビア
    • 年月日
      2010-07-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [学会発表] 新学術領域研究:プラズマとナノ界面の相互作用に関する研究2010
    • 著者名/発表者名
      白谷正治
    • 学会等名
      第26回九州・山口プラズマ研究会
    • 発表場所
      大分県日田市山陽館
    • 年月日
      2010-11-05
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] Scalable Atmospheric DBD Device for Biomedical Processing2010
    • 著者名/発表者名
      S. Kitazaki, T. Iwao, G. Uchida, K. Koga, M. Shiratani, N. Hayashi
    • 学会等名
      AVS 57th International Symposium & Exhibition
    • 発表場所
      アルバカーキー,アメリカ
    • 年月日
      2010-10-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22656022

  • [学会発表] プラズマプロセス揺らぎの制御を目指して2010
    • 著者名/発表者名
      白谷正治
    • 学会等名
      第57回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東海大学湘南キャンパス
    • 年月日
      2010-03-17
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] 活性酸素種を用いた植物の成長促進特性2010
    • 著者名/発表者名
      北崎訓,古閑一憲,白谷正治,林信哉
    • 学会等名
      平成22年度応用物理学会九州支部学術講演会
    • 発表場所
      九州大学,福岡市
    • 年月日
      2010-11-27
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22656022

  • [学会発表] プラズマの産業応用の進展と今後の展望2010
    • 著者名/発表者名
      白谷正治
    • 学会等名
      第8回核融合エネルギー連合講演会
    • 発表場所
      高山市民文化会館
    • 年月日
      2010-06-10
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] 反応性プラズマ中のナノ粒子成長に対する電力摂動の効果2010
    • 著者名/発表者名
      鎌滝晋礼、宮田大嗣、古閑一憲、内田儀一郎、板垣奈穂、山下大輔、松崎秀文、白谷正治
    • 学会等名
      第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎県長崎市
    • 年月日
      2010-09-15
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [学会発表] 放電電力摂動のイオン密度への影響2010
    • 著者名/発表者名
      宮田大嗣, 岩下伸也, 山田泰之, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第57回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東海大学湘南キャンパス
    • 年月日
      2010-03-18
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [学会発表] プラズマナノ界面の学理と産業応用2010
    • 著者名/発表者名
      白谷正治
    • 学会等名
      日本学術振興会 プラズマ材料科学第153委員会 第96回研究会
    • 発表場所
      弘済会館、東京
    • 年月日
      2010-05-21
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] Frontier science of interactions between plasmas and nano-interfaces2010
    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani, K.Koga
    • 学会等名
      The 3rd International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
    • 発表場所
      名城大学
    • 年月日
      2010-03-12
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] Frontier science of interactions between plasmas and nano-interfaces2010
    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, K.Koga
    • 学会等名
      The 3rd International Conference on Plasma Nanotechnology and Science
    • 発表場所
      Nagoya Institute of Technology, (日本)
    • 年月日
      2010-03-12
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] Stimulation of Plant Growth Using Discharges Plasmas2010
    • 著者名/発表者名
      S. Kitazaki, T. Iwao, K. Koga, M. Shiratani, N. Hayashi
    • 学会等名
      The 11th International Workshop on Advanced Plasma Processing and Diagnostics
    • 発表場所
      済州島,韓国
    • 年月日
      2010-07-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22656022

  • [学会発表] Carbon Dust Particles Generated Due to H_2 Plasma-Carbon Wall Interaction2010
    • 著者名/発表者名
      H.Miyata, K.Nishiyama, S.Iwashita, H.Matsuzaki, D.Yamashita, G.Uchida, N.Itagaki, K.Kamataki, K.Koga, M.Shiratani, N.Ashikawa, S.Masuzaki, K.Nishimura, A.Sagara, LHDexperimentalGroup
    • 学会等名
      63^<rd> Annual Gaseous Electronics Conference and 7th International Conference on Reactive Plasmas
    • 発表場所
      パリ,フランス
    • 年月日
      2010-10-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [学会発表] 大気圧DBDを用いた植物および酵母の成長促進2010
    • 著者名/発表者名
      北崎訓,古閑一憲,白谷正治,林信哉
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部第14回支部大会
    • 発表場所
      九州大学,福岡市
    • 年月日
      2010-12-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22656022

  • [学会発表] Effects of Ar Addition on Breakdown Voltage in a Si(CH3)2(OCH3)2 RF Discharge2010
    • 著者名/発表者名
      G.Uchida, K.Koga, M.Shiratani, 他7名
    • 学会等名
      IEEE TENCON 2010
    • 発表場所
      福岡国際センター,福岡市
    • 年月日
      2010-11-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [学会発表] Manipulation of Nano-objects Uusing Plasmas for a Plasma Nano-factory2010
    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani, K.Koga, G.Uchida, N.Itagaki, K.Kamataki
    • 学会等名
      The 11th Asia Pacific Physics Conference
    • 発表場所
      Shanghai, China
    • 年月日
      2010-11-14
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [学会発表] Deposition of Nanoparticles Using Substrate Bias Voltage2010
    • 著者名/発表者名
      K.Koga, H.Miyata, G.Uchida, K.Kamataki, N.Itagaki, M.Shiratani, A.Ashikawa, K.Nishimura, A.Sagara, LHDexperimentalGroup
    • 学会等名
      23^<rd> International Microprocesses and Nanotechnogy Conference
    • 発表場所
      リーガロイヤルホテル小倉,小倉市
    • 年月日
      2010-11-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [学会発表] 水素プラズマとグラファイトの相互作用で発生したダストの壁へのフラックスに対する壁電位の影響2010
    • 著者名/発表者名
      宮田大嗣, 古閑一憲, 白谷正治, 他11名
    • 学会等名
      第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学,長崎市
    • 年月日
      2010-09-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [学会発表] 水プラズマによるチオール化合物の酸化還元特性2010
    • 著者名/発表者名
      林信哉,中東朱里,北崎訓,古閑一憲,白谷正治
    • 学会等名
      平成22年度応用物理学会九州支部学術講演会
    • 発表場所
      九州大学,福岡市
    • 年月日
      2010-11-27
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22656022

  • [学会発表] Rapid Transport of Nano-Particles as a Key Technology for Fabrication of Quantum-dot Solar Cells2010
    • 著者名/発表者名
      K.Nishiyama, K.Koga, M.Shiratani, 他3名
    • 学会等名
      Third International Workshop on Thin Film Silicon Solar Cells
    • 発表場所
      ANAホテル長崎,長崎市
    • 年月日
      2010-10-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [学会発表] In-Situ Collection of Dust Particles Produced Due to Interaction between Helicon Discharge Plasmas and Graphite on Substrates with Bias Voltage2010
    • 著者名/発表者名
      白谷正治, 古閑一憲, 他12名
    • 学会等名
      11th Workshop on Fine Particle Plasmas
    • 発表場所
      核融合科学研究所,土岐市
    • 年月日
      2010-11-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [学会発表] Control of surface roughness of nano-particle composite low-k film deposited in CVD plasma2010
    • 著者名/発表者名
      宮田大嗣, 古閑一憲, 白谷正治, 他3名
    • 学会等名
      2nd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials
    • 発表場所
      名城大学
    • 年月日
      2010-03-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [学会発表] Manipulation of Nano-Objects Using Plasmas for a Plasma Nano-Factory2010
    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani, K.Koga, 他3名
    • 学会等名
      The 11th Asia Pacific Physics Conference
    • 発表場所
      上海,中国
    • 年月日
      2010-11-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [学会発表] Fluctuation Control for Plasma Nanotechnologies2010
    • 著者名/発表者名
      Masaharu Shiratani
    • 学会等名
      IEEE TENCON 2010
    • 発表場所
      福岡国際会議場
    • 年月日
      2010-11-22
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] Plasma Applications in the near Future2010
    • 著者名/発表者名
      Masaharu Shiratani
    • 学会等名
      2010 International Workshop on Plasma Applications
    • 発表場所
      九州大学伊都キャンパス
    • 年月日
      2010-06-04
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] Nanoblock manipulation in CVD plasmas2009
    • 著者名/発表者名
      宮田大嗣, 古閑一憲, 白谷正治, 他3名
    • 学会等名
      62nd Gaseous Electronics Conference
    • 発表場所
      Saratoga Springs, NY, USA
    • 年月日
      2009-10-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [学会発表] Porosity Control of Nano-particle Composite Porous Low Dielectric Films using Pulse RF Discharges with Amplitude Modulation2009
    • 著者名/発表者名
      Shinya Iwashita, Hiroshi Miyata, Kazunori Koga, Hidefumi Matsuzaki, Masaharu Shiratani, Morito Akiyama
    • 学会等名
      2009 International Symposium on Dry Process
    • 発表場所
      Busan, Korea
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [学会発表] 無重力~加重力下アーク放電による炭素クラスター合成の差異2009
    • 著者名/発表者名
      三重野哲、譚国棟、薄葉州、古閑一憲、白谷正治
    • 学会等名
      第56回応用物理学関係連合講演会シンポジウム
    • 発表場所
      つくば市
    • 年月日
      2009-04-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19540518

  • [学会発表] Deposition of porous low-k films having nano-grained structures using amplitude modulated pulse rf discharges2009
    • 著者名/発表者名
      Shinya Iwashita, Hiroshi Miyata, Hidefumi Matsuzaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Morito Akiyama
    • 学会等名
      Seventh Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering(AEPSE)2009
    • 発表場所
      Busan, Korea
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [学会発表] Towards plasma nano-factories2009
    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani, K.Koga
    • 学会等名
      2nd International Conference on Advanced Plasma Technologies (iCAPT-II) with 1st International Plasma Nanoscience Symposium (iPlasmaNano-I)
    • 発表場所
      Piran, Slovenia
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [学会発表] Plasma treatment of CIGS to reduce toxicity2009
    • 著者名/発表者名
      K. Koga, S. Iwshita, H. Miyata, M. Shiratani, M. Hirata, Y. Kiyohara, A. Tanaka
    • 学会等名
      AEPSE
    • 発表場所
      Korea
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19390164

  • [学会発表] 容量結合型高周波放電プラズマ中のナノブロック輸送の観察2009
    • 著者名/発表者名
      宮田大嗣, 山田泰之, 岩下伸也,, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      応用物理学会九州支部学術講演会
    • 発表場所
      熊本大学黒髪南地区キャンパス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [学会発表] Health effects of indium compounds: Outcomes of animal and epidemiological studies, and prevention of indium lung.2009
    • 著者名/発表者名
      A. Tanaka、M. Hirata, Y. Kiyohara, M. Nakano, K. Omae, M. Shiratani, K. Koga
    • 学会等名
      6th International Symposium on Transparent Oxide Thin Films for Electronics and Optics.
    • 発表場所
      Tokyo
    • 年月日
      2009-04-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19390164

  • [学会発表] 振幅変調パルス放電を用いたナノ粒子含有多孔質低誘電率膜の作製2009
    • 著者名/発表者名
      岩下伸也, 宮田大嗣, 松崎秀文, 古閑一憲, 白谷正治, 秋山守人
    • 学会等名
      第25回 九州・山口プラズマ研究会
    • 発表場所
      崇城大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [学会発表] 2次元フォトンカウンティングレーザー散乱法を用いたCVDプラズマ中のナノ粒子輸送の観察2009
    • 著者名/発表者名
      宮田大嗣, 山田泰之, 岩下伸也,, 宮原弘臣, 松崎秀文, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第12回支部大会
    • 発表場所
      山口大学常盤台キャンパス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [学会発表] プラズマCVDによるSiOCHナノ粒子構造の多孔質低誘電率膜2009
    • 著者名/発表者名
      宮田大嗣, 古閑一憲, 白谷正治, 他4名
    • 学会等名
      19th Academic Symposium of MRS-Japan 2009
    • 発表場所
      横浜情報文化センター
    • 年月日
      2009-12-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [学会発表] Amplitude modulated pulse RF discharges for synthesizing nano-particle composite porous low-k films Memorial Symposium for the Retirement of Professor Tachibana2009
    • 著者名/発表者名
      岩下伸也, 古閑一憲, 白谷正治, 他3名
    • 学会等名
      Toward the Next Generation of Plasma Science and Technology
    • 発表場所
      京都大学
    • 年月日
      2009-05-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [学会発表] ナノ粒子含有多孔質低誘電率膜物性の粒子サイズ依存性2009
    • 著者名/発表者名
      岩下伸也, 古閑一憲, 白谷正治, 他3名
    • 学会等名
      第70回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      富山大学
    • 年月日
      2009-09-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [学会発表] プラズマ中ナノ結晶シリコン成長過程の診断2009
    • 著者名/発表者名
      白谷正治, 古閑一憲
    • 学会等名
      2009年秋季第70回応用物理学会学術講演会シンポジウム
    • 発表場所
      富山大学
    • 年月日
      2009-09-09
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [学会発表] 無重力〜加重力下アーク放電による炭素クラスター合成の差異2009
    • 著者名/発表者名
      三重野哲, 譚国棟, 薄葉州, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第56回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      つくば市
    • 年月日
      2009-04-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19540518

  • [学会発表] Plasma treatment of indium compounds to reduce their adverse health effects2009
    • 著者名/発表者名
      K. Koga, S. Iwshita, H. Miyata, M. Shiratani, M. Hirata, Y. Kiyohara, A. Tanaka
    • 学会等名
      Material Research Society
    • 発表場所
      Boston
    • 年月日
      2009-12-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19390164

  • [学会発表] インジウム系太陽電池CIGSのラットを用いた経気道性曝露による亜慢性影響評価2009
    • 著者名/発表者名
      田中昭代, 平田美由紀、清原裕、古閑一憲、白谷正治
    • 学会等名
      第82回日本産業衛生学会
    • 発表場所
      福岡市
    • 年月日
      2009-05-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19390164

  • [学会発表] Nanoblock manipulation in CVD plasmas2009
    • 著者名/発表者名
      Hiroshi Miyata, Shinya Iwashita, Yasuyuki Yamada, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani
    • 学会等名
      62nd Gaseous Electronics Conference
    • 発表場所
      Saratoga Springs, NY, USA
    • 年月日
      2009-10-22
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [学会発表] Amplitude modulated pulse RF discharges for synthesizing nano-particle composite porous low-k films2009
    • 著者名/発表者名
      Shinya Iwashita, Hiroshi Miyata, Hidefumi Matsuzaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Morito Akiyama
    • 学会等名
      Memorial Symposium for the Retirement of Professor Tachibana "Toward the Next Generation of Plasma Science and Technology"
    • 発表場所
      京都大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [学会発表] Amplitude modulated pulse RF discharges for producing and driving nano-blocks2009
    • 著者名/発表者名
      岩下伸也, 古閑一憲, 白谷正治, 他2名
    • 学会等名
      American Vacuum Society 56th International Symposium
    • 発表場所
      San Jose, USA
    • 年月日
      2009-11-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [学会発表] 振幅変調パルス放電を用いたナノ粒子含有多孔質絶縁膜の作製と物性評価2009
    • 著者名/発表者名
      宮田大嗣, 岩下伸也, 松崎秀文, 古閑一憲, 白谷正治, 秋山守人
    • 学会等名
      九州表面・真空研究会2009
    • 発表場所
      九州工業大学戸畑キャンパス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [学会発表] Porosity Control of Nano-particle Composite Porous Low Dielectric Films using Pulse RF Discharges with Amplitude Modulation 20092009
    • 著者名/発表者名
      岩下伸也, 古閑一憲, 白谷正治, 他3名
    • 学会等名
      International Symposium on Dry Process
    • 発表場所
      Busan, Korea
    • 年月日
      2009-09-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [学会発表] Deposition of porous low-k films having nano-grained structures using amplitude modulated pulse rf discharges2009
    • 著者名/発表者名
      岩下伸也, 古閑一憲, 白谷正治, 他3名
    • 学会等名
      Seventh Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE) 2009
    • 発表場所
      Busan, Korea
    • 年月日
      2009-09-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [学会発表] Plasma manipulation of nano-blocks and its application to ULK film deposition2009
    • 著者名/発表者名
      M.Shiratani, K.Koga, 他3名
    • 学会等名
      1st International Symposium on Advance Plasma Science and its Applications (ISPlasma 2009)
    • 発表場所
      愛知県
    • 年月日
      2009-03-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [学会発表] プラズマーバイオ融合科学:プラズマプロセスの観点から2009
    • 著者名/発表者名
      白谷正治, 古閑一憲
    • 学会等名
      第26回プラズマ・核融合学会年会
    • 発表場所
      京都市国際交流会館
    • 年月日
      2009-12-02
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [学会発表] 無対流ガス空間中クラスターの凝集過程測定(ミー散乱)2009
    • 著者名/発表者名
      三重野哲、譚国棟、薄葉州、古閑一憲、白谷正治
    • 学会等名
      日本物理学会第64回年次大会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2009-03-27
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19540518

  • [学会発表] 振幅変調高周波放電を用いたポーラス低誘電率膜の作製と物性評価2008
    • 著者名/発表者名
      岩下伸也, 宮田大嗣, 松崎秀文, 古閑一憲, 白谷正治, 森貞佳紀, 松木信雄, 池田慎悟
    • 学会等名
      平成20年度応用物理学会九州支部と薄膜・表面物理分科会共催による研究会(兼)第13回九州薄膜表面研究会「新奇な薄膜・表面現象とその応用の最前線」
    • 発表場所
      福岡県
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [学会発表] Adverse health effects of CIGS particles after intratracheal instillations into the lung of rats2008
    • 著者名/発表者名
      Tanaka A, Hirata M, Kiyohara Y, Shiratani M, Koga K
    • 学会等名
      17th International Photovoltaic Science and Engineering Conference
    • 発表場所
      Fukuoka, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19390164

  • [学会発表] Nano-particle manipulation using pulse RF discharges with amplitude modulation2008
    • 著者名/発表者名
      岩下伸也, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      61st Annual Gaseous Electronics Conference
    • 発表場所
      米国
    • 年月日
      2008-10-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [学会発表] In-situ measurement of production process of carbon clusters under gravity-free condition by the Mie-scattering method2008
    • 著者名/発表者名
      T. Mieno, G. Tan, S. Usuba, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      Int. Conf. Plasma Phys. 2008
    • 発表場所
      福岡
    • 年月日
      2008-09-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19540518

  • [学会発表] Formation and transport of nano-particles using pulse RF discharges with amplitude modulation2008
    • 著者名/発表者名
      S.Iwashita, H.Miyata, H.Matsuzaki, K.Koga, M.Shiratani
    • 学会等名
      ICPP2008 Satellite Meeting on Plasma Physics and Advanced Applications in Aso
    • 発表場所
      熊本県
    • 年月日
      2008-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [学会発表] Rapid deposition of porous ultra low-k films using pulse RF discharges with amplitude modulation2008
    • 著者名/発表者名
      Shinya Iwashita, Hiroshi Miyata, Hidefumi Matsuzaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani
    • 学会等名
      Interfinish 2008
    • 発表場所
      韓国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [学会発表] 2次元フォトンカウンティングレーザー散乱法を用いたCVDプラズマ中のナノ粒子輸送の観察2008
    • 著者名/発表者名
      宮田大嗣, 宮原弘臣, 岩下伸也, 松崎秀文, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 第12回九州・沖縄・山口支部大会
    • 発表場所
      福岡県
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [学会発表] 振幅変調パルスRF 放電を用いたナノ粒子輸送の観察2008
    • 著者名/発表者名
      岩下伸也, 宮田大嗣, 松崎秀文, 古閑一憲, 白谷正治, 森貞佳紀, 松木信雄, 池田慎悟
    • 学会等名
      2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      愛知県
    • 年月日
      2008-09-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360040

  • [学会発表] In-situ measurement of production process of carbon clusters under gravity-free condition by the Mie-scattering method2008
    • 著者名/発表者名
      T. Mieno, G. Tan. S. Usuba, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      Int. Conf. Plasma Phys. 2008
    • 発表場所
      Fukuoka
    • 年月日
      2008-09-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19540518

  • [学会発表] Adverse health effects of CIGS particles after intratracheal instillations into the lung of rats2007
    • 著者名/発表者名
      Tanaka A, Hirata M, KiyoharaY, Shiratani M, Koga K
    • 学会等名
      17^<th> International Photovoltaic Science and Engineering Conference
    • 発表場所
      Fukuoka, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19390164

  • [学会発表] Rapid transport of nano-particles having a fractional elemental charge on average in capacitivelly coupled rf discharges by amplitude modulating discharge voltage(Invited talk)2007
    • 著者名/発表者名
      Masaharu Shiratani, Kazunori Koga, Shinya Iwashita and Syota Nunomura
    • 学会等名
      Faraday Discussion 137: The spectroscopy and dynamics of microparticles
    • 発表場所
      University of Bristol, UK
    • 年月日
      2007-07-02
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18656027

  • [学会発表] Transport of nano-particles in amplitude modulated RF discharges2007
    • 著者名/発表者名
      Shinya Iwashita, Kazunori Koga and Masaharu Shiratani
    • 学会等名
      18th International Symposium on Plasma Chemistry
    • 発表場所
      京都大学
    • 年月日
      2007-08-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18656027

  • [学会発表] Rapid transport of nano-particles in amplitude modulated rf discharges for depositing ultra low-k porous films2007
    • 著者名/発表者名
      Shinya Iwashita, Michihito Morita, Kazunori Koga, Shota Nunomura, Masaharu Shiratani
    • 学会等名
      IVC-17/ICSS-13/ICN+T2007
    • 発表場所
      Stockholm International Fairs, Stockholm, Sweden
    • 年月日
      2007-07-02
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18656027

  • [学会発表] Control of transport of nano-particles using pulsed rf discharges with amplitude modulation and its application to porous low-k film deposition2007
    • 著者名/発表者名
      Shinya Iwashita, Kazunori Koga Shota Nunomura, Masaharu Shiratani, Yoshinori Morisada, Nobuo Matsuki, Shingo Ikeda
    • 学会等名
      20th Symposium on Plasma Science for Materials
    • 発表場所
      名古屋大学
    • 年月日
      2007-06-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18656027

  • [学会発表] パルス高周波放電オフ後のナノ粒子輸送2007
    • 著者名/発表者名
      岩下 伸也, 守田 道仁, 古閑 一憲, 布村 正太, 白谷 正治, 森貞 佳紀, 松木 信雄, 池田 慎悟
    • 学会等名
      第68回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      北海道工業大学
    • 年月日
      2007-09-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18656027

  • [学会発表] Transport of nanoparticles produced in reactive plasmas using a positively-biased collector
    • 著者名/発表者名
      Y. Morita, K. Koga, G. Uchida, K. Kamataki, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, and M. Shiratani
    • 学会等名
      The 12th Asia Pacific Physics Conference (APPC12)
    • 発表場所
      Makuhari, Chiba, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [学会発表] グラファイト外包磁気ナノ微粒子噴上げ効果を利用したAr/NH3　RFプラズマによる表面修飾の高効率化とプラズマ表面相互作用の分光計測
    • 著者名/発表者名
      張晗,, 楊恩波, 古閑一憲, 白谷正治, 永津雅章
    • 学会等名
      2014年 第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大学
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [学会発表] Combinatorial plasma CVD of Si nanoparticle composite films for band gap control
    • 著者名/発表者名
      Y. Kanemitsu, G. Uchida, D. Ichida, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
    • 学会等名
      The 12th Asia Pacific Physics Conference (APPC12)
    • 発表場所
      Makuhari, Chiba, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [学会発表] Bispectrum analysis of nanoparticle growth in reactive dusty plasmas
    • 著者名/発表者名
      Y. Morita, T. Ito, S. Iwashita, D. Yamashita, G. Uchida, H. Seo, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
    • 学会等名
      18th Korea - Japan Workshop on Advanced Plasma Processes and Diagnostics
    • 発表場所
      NISHIJIN PLAZA, Fukuoka, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [学会発表] ハイスピードカメラを用いたナノ粒子成長プロセスの観測
    • 著者名/発表者名
      伊東鉄平, 森田康彦, 鎌滝晋礼, 内田儀一郎, 徐鉉雄, 山下大輔, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第7回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール
    • 発表場所
      国立中央青少年交流の家, 静岡
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [学会発表] Formation of self-organized nanostructures using high pressure CH4+Ar plasmas
    • 著者名/発表者名
      K. Koga, S. Iwashita, G. Uchida, D. Yamashita, N. Itagaki, H. Seo, M. Shiratani and U. Czarnetzki
    • 学会等名
      The 9th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering　(AEPSE2013)
    • 発表場所
      Ramada Plaza Jeju Hotel, Korea
    • データソース
      KAKENHI-PLANNED-21110005

  • [学会発表] Characteristics of a-Si:H Cells Fabricated by Amplitude Modulated VHF Discharges
    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani
    • 学会等名
      6th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterial/7th International Conference on Plasma Nanotechnology and Science
    • 発表場所
      Meijo University, Nagoya, Japan
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-ORGANIZER-21110001

  • [学会発表] Effects of plasma incident angle of dust production due to interactions between hydrogen plasmas and carbon wall
    • 著者名/発表者名
      M. Tateishi, K. Koga, G. Uchida, K. Kamataki, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, N. Ashikawa, S. Masuzaki, K. Nishimura, A. Sagara, the LHD Experimental Group d, S. Bornholdte, H. Kersten
    • 学会等名
      The 12th Asia Pacific Physics Conference (APPC12)
    • 発表場所
      Makuhari, Chiba, Japan
    • データソース
      K