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滝川 浩史  Takikawa Hirofumi

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 90226952
その他のID
外部サイト
所属 (現在) 2025年度: 豊橋技術科学大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2022年度 – 2024年度: 豊橋技術科学大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授
2011年度 – 2019年度: 豊橋技術科学大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授
2010年度 – 2011年度: 豊橋技術科学大学, 大学院・工学研究科, 教授
2008年度 – 2010年度: 豊橋技術科学大学, 工学部, 教授
2005年度 – 2006年度: 豊橋技術科学大学, 工学部, 助教授 … もっと見る
2003年度 – 2004年度: 豊橋技術科学大学, 技術開発センター, 助教授
1996年度 – 2002年度: 豊橋技術科学大学, 工学部, 助教授
1996年度: 豊橋技術科学大学, 大学院工学研究科, 講師
1994年度: 釧路高等専門学校, 助教授
1993年度: 豊橋技術科学大学, 工学部, 助手 隠す
審査区分/研究分野
研究代表者
電力工学・電力変換・電気機器 / 電子・電気材料工学 / 小区分21010:電力工学関連 / ナノ材料・ナノバイオサイエンス / 電力工学・電気機器工学 / 電力工学・電気機器工学
研究代表者以外
電子・電気材料工学 / 電力工学・電気機器工学 / 中区分64:環境保全対策およびその関連分野 / 電子デバイス・電子機器 / エネルギー学 / 電力工学・電気機器工学
キーワード
研究代表者
フィルタードアーク蒸着 / ダイヤモンドライクカーボン膜 / ダイヤモンドライクカーボン / 均一成膜 / 真空アーク / カーボンナノホーン / カーボンナノチューブ / TiN膜 / 金属薄膜 / 精密加工 … もっと見る / 磁気輸送 / ドロップレット抑制 / 切削工具 / AlCrN膜 / 硬さ / ドロップレット / 陽極コイル / フィルタード真空アーク蒸着 / 高速成膜 / DLC膜 / 窒化物薄膜 / ハードコーティング / 高温金型保護膜 / 電子ビーム蒸発 / 耐熱性向上 / EB蒸着 / 耐熱性 / 機能性薄膜 / 薄膜コーティング / 電子ビーム蒸着 / パルスアーク / Apparatus development / Continuous operation / Mass production / Arc discharge / Carbon nanohorn particle / 収率向上 / 装置開発 / 連続運転 / 量産 / アーク放電法 / カーボンナノホーン粒子 / carbon nanohorn / field emission property / nanotube flake / nanotube formation morphology / substrate dependence / torch arc method / preparation in open-air / multi-walled carbon nanotube / プロセス条件依存性 / 電界電子放出特性 / ナノチューブフレーク / ナノチューブ形成様相 / 基材依存性 / トーチアーク法 / 大気中生成 / 多層カーボンナノチューブ / 摺動性 / 中間層 / フライホール / 相手材攻撃性 / 耐摩耗性 / フライホイール / 軸受け / 積層化 / トライボマテリアル / くし形微細加工 / 異物フリー技術 / 膜厚制御 / 前処理 / 高品質化 / MEMS / エッチング / パターニング / ナノテクノロジー / 微細加工 / ダイヤモンドライクカーボ ン膜 / 太陽光 / 太陽熱 / 加工技術 / 真空デバイス / 太陽エネルギー変換 / エミッタ / 密度・硬度 / 光学特性 / プラズマガン / 光学膜厚モニタ / 異種元素ドーピング手法 / ダイヤモンドライクカーボン薄膜 / 機能性アモルファスカーボン薄膜 / 真空アークプラズマ / 電気機器 / 反応性真空アーク蒸着 / ワイドバンドギャップ半導体 / カーボンナノコイル / 色素増感太陽電池 / 3次元ナノコーティング / ナノカーボン / 安定運転条件 / 放電特性 / ドロップレットフリー / 連続パルス電流 / 真空アーク蒸着法 / チューブ溶発量 / チューブ損耗量 / チューブ材料依存性 / 低電流から大電流領域 / 電界の強さ-電流特性 / プラスチック溶発アーク … もっと見る
研究代表者以外
真空アーク蒸着 / T-FAD / droplet-free / vacuum arc deposition / aluminum nitride film / 窒化アルミニウム / イオンエネルギー分析 / 結晶配向 / 機械的特性 / 光学的特性 / ドロップレットフリー / 窒化アルミニウム膜 / Cluster / クラスター / フラーレン / 発酵助剤 / 粒状活性炭 / 微生物群集構造解析 / 電圧印加 / 小規模廉価型メタン発酵システム / Large area coating / Plasma scanner / Multi-source gun / Filtered arc with magnetic transportation / Vacuum arc deposition / Dry process / Cu wiring / 大面積成膜 / プラズマスキャナー / マルチソースガン / 磁気輸送フィルタードアーク / ドライプロセス / Cu配線 / Spectroscopic measurement / Cooling effect / pulse modulation / Induction thermal plasma / Nano-material / ナノマテリマル / 分光測定 / 冷却作用 / パルス変調 / 誘導熱プラズマ / ナノマテリアル / film properties / magnetically filtered arc / superconductor shield / enhanced shielded method / 膜質 / 磁気フィルタ型 / 超伝導体シールド / 拡張シールド型 / ion energy distribution / mass analysis / crystalline orientation / mechanical properties / optical properties / 放電維持 / 蒸着装置 / 質量・イオンエネルギー分析 / 酸化チタン膜 / アーク蒸着装置 / 真空アーク / 質量分析 / Fullerene / Inverter / High Rate Processing / Induction Plasma / Plasma Processing / Wide Area Plasma / 均一プロセシング / 熱プラズマプロセシング / 高速プロセミング / インバータ電源 / 高速プロセシング / プラズマ・プロセシング / 大口径プラズマ / 低周波磁界 / フィールドテスト / 全天日射量 / フィールド試験 / 太陽電池 / 日射計 / 農業 / 民生 / 日射量計測 / 電極損耗 / トーチ構造 / マルチ化回路 / グライディングアーク / 大気圧プラズマ / 吸収スペクトル / 発光スペクトル / スペクトル計測 / プラズマパラメータ / プロセスパラメータ / アークの電気式点弧 / イオンエネルギー制御 / ドロップレット抑制 / ノズル付エンハンス型蒸発源 / 逆行運動および限界速度 / 黒鉛陰極 / 真空アーク蒸着法 / ダイヤモンドライクカーボン膜 / C_2分子 / 軸方向温度分布 / 放射スペクトル / 圧力・ギャップ長依存性 / フラーレン収率・生産速度 / 分光学的診断 / アーク放電法 / フラーレン生成 隠す
  • 研究課題

    (22件)
  • 研究成果

    (332件)
  • 共同研究者

    (26人)
  •  脱炭素資源循環を促すメタン発酵技術における微生物電気化学の夜明け

    • 研究代表者
      大門 裕之
    • 研究期間 (年度)
      2024 – 2027
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 審査区分
      中区分64:環境保全対策およびその関連分野
    • 研究機関
      豊橋技術科学大学
  •  板組コイル陽極を用いた金属窒化物膜形成用フィルタードアーク蒸着装置の開発研究代表者

    • 研究代表者
      滝川 浩史
    • 研究期間 (年度)
      2022 – 2024
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分21010:電力工学関連
    • 研究機関
      豊橋技術科学大学
  •  混合蒸気同軸導入フィルタードアーク蒸着装置の試作と高機能高密度カーボン膜の開発研究代表者

    • 研究代表者
      滝川 浩史
    • 研究期間 (年度)
      2017 – 2019
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電力工学・電力変換・電気機器
    • 研究機関
      豊橋技術科学大学
  •  スーパートライボ軸受けを持つ小型フライホイールバッテリの可能性探究研究代表者

    • 研究代表者
      滝川 浩史
    • 研究期間 (年度)
      2014 – 2016
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      電力工学・電力変換・電気機器
    • 研究機関
      豊橋技術科学大学
  •  フィルタードアーク蒸着装置の高機能化と高品質水素フリーDLC膜の形成・加工研究代表者

    • 研究代表者
      滝川 浩史
    • 研究期間 (年度)
      2012 – 2014
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      電力工学・電力変換・電気機器
    • 研究機関
      豊橋技術科学大学
  •  ナノチューブ電子エミッタ型太陽エネルギー変換システムの可能性探究研究代表者

    • 研究代表者
      滝川 浩史
    • 研究期間 (年度)
      2011 – 2013
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      電力工学・電力変換・電気機器
    • 研究機関
      豊橋技術科学大学
  •  活性陽極援用フィルタードアーク蒸着源の開発と機能性アモルファス炭素膜の創製研究代表者

    • 研究代表者
      滝川 浩史
    • 研究期間 (年度)
      2009 – 2011
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電力工学・電力変換・電気機器
    • 研究機関
      豊橋技術科学大学
  •  簡易全天日射計測のための波長選択式日射計の開発と各地フィールドテスト

    • 研究代表者
      榊原 建樹
    • 研究期間 (年度)
      2008 – 2010
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      エネルギー学
    • 研究機関
      岐阜工業高等専門学校
  •  大気圧メソプラズマ・グライディングアークのマルチ化

    • 研究代表者
      榊原 建樹
    • 研究期間 (年度)
      2005 – 2006
    • 研究種目
      萌芽研究
    • 研究分野
      電力工学・電気機器工学
    • 研究機関
      岐阜工業高等専門学校
      豊橋技術科学大学
  •  ナノカーボンの表面ナノコーティングと太陽電池への適用に対する基礎検討研究代表者

    • 研究代表者
      滝川 浩史
    • 研究期間 (年度)
      2003 – 2004
    • 研究種目
      萌芽研究
    • 研究分野
      電力工学・電気機器工学
    • 研究機関
      豊橋技術科学大学
  •  アーク放電を用いたカーボンナノホーン量産技術の開発研究研究代表者

    • 研究代表者
      滝川 浩史
    • 研究期間 (年度)
      2003 – 2005
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      ナノ材料・ナノバイオサイエンス
    • 研究機関
      豊橋技術科学大学
  •  クリーン金属アークプラズマを用いた高速ドライ配線技術の開発

    • 研究代表者
      榊原 建樹
    • 研究期間 (年度)
      2003 – 2005
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電子デバイス・電子機器
    • 研究機関
      豊橋技術科学大学
  •  冷陰極電子エミッタに適用するナノチューブ膜の高速合成と特性評価研究代表者

    • 研究代表者
      滝川 浩史
    • 研究期間 (年度)
      2001 – 2002
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      豊橋技術科学大学
  •  連続パスル真空アーク放電を利用したドロップレットフリー電子材料薄膜創製研究代表者

    • 研究代表者
      滝川 浩史
    • 研究期間 (年度)
      1999 – 2000
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      豊橋技術科学大学
  •  拡張シールド型真空アーク蒸着装置による絶縁性窒化アルミニウム膜の創製

    • 研究代表者
      榊原 建樹
    • 研究期間 (年度)
      1999 – 2001
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      豊橋技術科学大学
  •  パルス制御形低周波誘導熱プラズマを用いたラヂカル-ナノマテリアルの高速生成

    • 研究代表者
      作田 忠裕
    • 研究期間 (年度)
      1999 – 2001
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電力工学・電気機器工学
    • 研究機関
      金沢大学
  •  低周波誘導熱プラズマ炉の試作と巨大クラスター生成への応用

    • 研究代表者
      作田 忠裕
    • 研究期間 (年度)
      1996 – 1998
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      電力工学・電気機器工学
    • 研究機関
      金沢大学
  •  電力用デバイス絶縁放熱に適した窒化アルミニウム膜生成真空アーク蒸着装置の試作

    • 研究代表者
      榊原 建樹
    • 研究期間 (年度)
      1996 – 1998
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      豊橋技術科学大学
  •  アーク放電法における高効率フラーレン生成条件とプラズマパラメータ

    • 研究代表者
      榊原 建樹
    • 研究期間 (年度)
      1994
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      豊橋技術科学大学
  •  アーク放電法におけるフラーレン生成機構の分光学的研究

    • 研究代表者
      榊原 建樹
    • 研究期間 (年度)
      1993
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      豊橋技術科学大学
  •  真空アーク蒸着法によるアモルファスカーボン薄膜の効率的生成に関する研究

    • 研究代表者
      榊原 建樹
    • 研究期間 (年度)
      1993
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      豊橋技術科学大学
  •  大電流領域におけるプラスチック溶発アークの基礎特性研究代表者

    • 研究代表者
      滝川 浩史
    • 研究期間 (年度)
      1993
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      電力工学・電気機器工学
    • 研究機関
      豊橋技術科学大学

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すべて 雑誌論文 学会発表 図書 産業財産権

  • [図書] 最新 実用真空技術総覧 アークイオンプレーティング2019

    • 著者名/発表者名
      滝川浩史 他
    • 総ページ数
      1096
    • 出版者
      (株)エヌ・ティー・エス
    • ISBN
      9784860435592
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [図書] プラズマ・核融合学会誌2016

    • 著者名/発表者名
      滝川浩史
    • 総ページ数
      6
    • 出版者
      フィルタードアーク蒸着装置によりDLCを創る
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630112
  • [図書] 潤滑経済(水素フリーDLCテトラヘドラルアモルファスカーボンの開発)2014

    • 著者名/発表者名
      滝川浩史
    • 総ページ数
      80
    • 出版者
      潤滑通信社
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [図書] 光技術コンタクト(レンズ金型用離型膜へのDLCの応用)2014

    • 著者名/発表者名
      瀧真,安井治之,神谷雅男,滝川浩史
    • 総ページ数
      50
    • 出版者
      日本オプトメカトロニクス協会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630112
  • [図書] 潤滑経済(水素フリーDLCテトラヘドラルアモルファスカーボンの開発)2014

    • 著者名/発表者名
      滝川浩史
    • 総ページ数
      80
    • 出版者
      潤滑通信社
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630112
  • [図書] 光技術コンタクト(レンズ金型用離型膜へのDLCの応用)2014

    • 著者名/発表者名
      瀧真,安井治之,神谷雅男,滝川浩史
    • 総ページ数
      50
    • 出版者
      日本オプトメカトロニクス協会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [図書] 光学薄膜の最適設計・成膜技術と膜厚・膜質・光学特性の制御 第15 節 真空アーク蒸着法による光学薄膜の成膜技術と膜質・膜厚の制御2013

    • 著者名/発表者名
      滝川 浩史, 他
    • 出版者
      技術情報協会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [図書] DLCの応用技術-進化するダイヤモンドライクカーボンの産業応用と未来技術-(普及版)2013

    • 著者名/発表者名
      滝川浩史 ほか
    • 総ページ数
      306
    • 出版者
      シーエムシー出版
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [図書] 光学薄膜の最適設計・成膜技術と膜厚・膜質・光学特性の制御 第15節 真空アーク蒸着法による光学薄膜の成膜技術と膜質・膜厚の制御2013

    • 著者名/発表者名
      滝川浩史 ほか
    • 総ページ数
      890
    • 出版者
      技術情報協会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [図書] DLCの応用技術-進化するダイヤモンドライクカーボンの産業応用と未来技術-(普及版)2013

    • 著者名/発表者名
      滝川浩史 ほか
    • 総ページ数
      306
    • 出版者
      シーエムシー出版
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [図書] DLC の応用技術-進化するダイヤモンドライクカーボンの産業応用と未来技術-(普及版)2013

    • 著者名/発表者名
      滝川 浩史, 他
    • 出版者
      シーエムシー出版
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [図書] 光学薄膜の最適設計・成膜技術と膜厚・膜質・光学特性の制御 第15節 真空アーク蒸着法による光学薄膜の成膜技術と膜質・膜厚の制御2013

    • 著者名/発表者名
      滝川浩史 ほか
    • 総ページ数
      890
    • 出版者
      技術情報協会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [雑誌論文] Development of gas-injected pulsed plasma CVD method using Ar/C2H2 mixed gas for ultra-high-rate diamond-like carbon deposition2023

    • 著者名/発表者名
      Harigai Toru、Ohhra Hikaru、Bando Takahiro、Takikawa Hirofumi、Kunitsugu Shinsuke、Gonda Hidenobu
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 62 号: SL ページ: SL1013-SL1013

    • DOI

      10.35848/1347-4065/acd45f

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22741
  • [雑誌論文] DC vacuum arc deposition with open winding-path anode assembled with C-ring plates2023

    • 著者名/発表者名
      Bando Takahiro、Saiki Yoshinori、Kito Jumpei、Hashimoto Yuki、Harigai Toru、Takikawa Hirofumi、Gima Hiroki、Sugita Hiroaki
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 62 号: 3 ページ: 0309011-4

    • DOI

      10.35848/1347-4065/acbf90

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22741
  • [雑誌論文] DC vacuum arc deposition system with an anode generating magnetic field for preparation of TiN films2023

    • 著者名/発表者名
      Kito Jumpei、Saiki Yoshinori、Homma Kento、Watanabe Seiya、Bando Takahiro、Harigai Toru、Takikawa Hirofumi、Gima Hiroki、Sugita Hiroaki
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 62 号: SI ページ: SI1012-SI1012

    • DOI

      10.35848/1347-4065/acd068

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22741
  • [雑誌論文] Wear-resistive and electrically conductive nitrogen-containing DLC film consisting of ultra-thin multilayers prepared by using filtered arc deposition2019

    • 著者名/発表者名
      T. Harigai, K. Tamekuni, Y. Iijima, S. Degai, T. Tanimoto, Y. Suda, H. Takikawa, S. Kaneko, S. Kunitsugu, H. Habuchi, M. Kamiya, M. Taki, H. Gonda
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 58 号: SE ページ: SEED05-SEED05

    • DOI

      10.7567/1347-4065/ab1472

    • NAID

      210000156226

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [雑誌論文] Self-supporting tetrahedral amorphous carbon films consisting of multilayered structure prepared using filtered arc deposition2019

    • 著者名/発表者名
      T. Harigai, Y. Miyamoto, M. Yamano, T. Tanimoto, Y. Suda, H. Takikawa, T. Kawano, M. Nishiuchi, H. Sakaki, K. Kondo, S. Kaneko, S. Kunitsugu
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: Vol.675 ページ: 123-127

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2019.02.022

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [雑誌論文] Electrical resistivity and mechanical properties of nitrogen-containing diamondlike carbon/tungsten and nitrogen-containing diamondlike carbon/tungsten carbide multilayer films prepared under low substrate temperature2019

    • 著者名/発表者名
      Koki Tamekuni, Toru Harigai, Takafumi Toya, Hirofumi Takikawa, Tsuyoshi Tanimoto, Shigeki Takago, Haruyuki Yasui, Satoru Kaneko, Shinsuke Kunitsugu, Masao Kamiya, Makoto Taki, and Hidenobu Gonda
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science & Technology B

      巻: 38 号: 1

    • DOI

      10.1116/1.5129700

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [雑誌論文] Hydrogen-free fluorinated DLC films with high hardness prepared by using T-shape filtered arc deposition system2018

    • 著者名/発表者名
      T. Imai, T. Harigai, T. Tanimoto, R. Isono, Y. Iijima, Y. Suda, H. Takikawa, M. Kamiya, M. Taki, Y. Hasegawa, S. Kaneko, S. Kunitsugu, M. Ito
    • 雑誌名

      Vacuum

      巻: In Press ページ: 1-6

    • DOI

      10.1016/j.vacuum.2018.07.009

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [雑誌論文] Preparation of multi-layer film consisting of hydrogen-free DLC and nitrogen-containing DLC for conductive hard coating2018

    • 著者名/発表者名
      Iijima Yushi、Harigai Toru、Isono Ryo、Degai Satoshi、Tanimoto Tsuyoshi、Suda Yoshiyuki、Takikawa Hirofumi、Yasui Haruyuki、Kaneko Satoru、Kunitsugu Shinsuke、Kamiya Masao、Taki Makoto
    • 雑誌名

      AIP Conference Proceedings

      巻: 1929

    • DOI

      10.1063/1.5021937

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [雑誌論文] Fabrication of nitrogen-containing diamond-like carbon film by filtered arc deposition as conductive hard-coating film2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Iijima, T.u Harigai, R. Isono, T. Imai, Y. Suda, H. Takikawa, M. Kamiya, M. Taki, Y. Hasegawa, N. Tsuji, S. Kaneko, S. Kunitsugu, H. Habuchi, S. Kiyohara, M. Ito, S. Yick, A. Bendavid, P. Martin
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 57 号: 1S ページ: 01AE07-01AE07

    • DOI

      10.7567/jjap.57.01ae07

    • NAID

      210000148556

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [雑誌論文] Improvement of adhesion of hydrogen-free DLC film by employing an interlayer of tungsten carbide2018

    • 著者名/発表者名
      Isono Ryo、Tanimoto Tsuyoshi、Iijima Yushi、Kusumawan Sholihatta Aziz、Harigai Toru、Suda Yoshiyuki、Takikawa Hirofumi、Kamiya Masao、Kaneko Satoru、Kunitsugu Shinsuke、Taki Makoto
    • 雑誌名

      AIP Conference Proceedings

      巻: 1929 ページ: 020019-020019

    • DOI

      10.1063/1.5021932

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [雑誌論文] Fabrication of Tungsten Carbide Films by Filtered Pulse Arc Deposition with Cemented Tungsten Carbide Cathodes2017

    • 著者名/発表者名
      Isono Ryo、Tanimoto Tsuyoshi、Iijima Yushi、Harigai Toru、Suda Yoshiyuki、Takikawa Hirofumi、Kaneko Satoru
    • 雑誌名

      Materials Sciences and Applications

      巻: 08 号: 13 ページ: 966-978

    • DOI

      10.4236/msa.2017.813071

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [雑誌論文] Fabrication of Diamond-Like carbon emitter patterns by room-temperature curing nanoimprint lithography with PDMS molds using polysiloxane2016

    • 著者名/発表者名
      S. Kiyohara, S. Yoshida, I. Ishikawa, T. Harigai, H. Takikawa, M. Watanabe, Y. Sugiyama, Y. Omata, Y. Kurashima
    • 雑誌名

      MRS Advances

      巻: 2016 号: 16 ページ: 1075-1080

    • DOI

      10.1557/adv.2016.49

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630112
  • [雑誌論文] Dry machining of metal using an engraving cutter coated with a droplet-free ta-C film prepared via a T-shape filtered arc deposition2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Fujii, T. Imai, Y. Miyamoto, N. Ueda, M. Hosoo, T. Harigai, Y. Suda, H. Takikawa, H. Tanoue, M. Kamiya, M. Taki, Y. Hasegawa, N. Tsuji, S. Kanekoe
    • 雑誌名

      Surface & Coatings Technology

      巻: 307 ページ: 1029-1033

    • DOI

      10.1016/j.surfcoat.2016.07.037

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630112
  • [雑誌論文] Fabrication of Diamond-Like carbon microgears in room-temperature curing nanoimprint lithography using ladder-type hydrogen silsesquioxane2016

    • 著者名/発表者名
      S. Kiyohara, Y. Shimizu, I. Ishikawa, T. Harigai, H. Takikawa, M. Watanabe, Y. Sugiyama, Y. Omata, Y. Kurashima
    • 雑誌名

      MRS Advances

      巻: 2016 号: 16 ページ: 1-6

    • DOI

      10.1557/adv.2016.126

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630112
  • [雑誌論文] 水素フリーDLC テトラヘドラルアモルファスカーボンの開発2014

    • 著者名/発表者名
      滝川 浩史
    • 雑誌名

      潤滑経済

      巻: 586号 ページ: 6-9

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [雑誌論文] Expansion of lattice constants of aluminum nitride thin film prepared on sapphire substrate by ECR plasma sputtering method2014

    • 著者名/発表者名
      S Kaneko, H Torii, T Amazawa, T Ito, M Yasui, M Kurouchi, A Fukushima, T Tokumasu, S Lee, S Park, H Takikawa, M Yoshimoto
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 53 号: 11S ページ: 11RA11-11RA11

    • DOI

      10.7567/jjap.53.11ra11

    • NAID

      210000144625

    • 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [雑誌論文] Improved mechanical properties of bucky paper achieved via the addition of carbon nanocoils2014

    • 著者名/発表者名
      K. Maruyama, Y. Suda, H. Tanoue, H. Takikawa, H. Ue, K. Shimizu and Y. Umeda
    • 雑誌名

      AIP Conference Proceedings

      巻: Vol.1585 ページ: 89-96

    • DOI

      10.1063/1.4866624

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197, KAKENHI-PROJECT-24360108, KAKENHI-PROJECT-25630110
  • [雑誌論文] "Optimization of chemical vapor deposition for reducing the fiber diameter and number of graphene layers in multi-walled carbon nanocoils "2013

    • 著者名/発表者名
      S. L. Lim, Y. Suda, K. Takimoto, Y. Ishii, K. Maruyama, H. Tanoue, H. Takikawa, H. Ue, K. Shimizu,Y. Umeda
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 52 号: 11S ページ: 11NL04-11NL04

    • DOI

      10.7567/jjap.52.11nl04

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197, KAKENHI-PROJECT-24360108, KAKENHI-PROJECT-25630110
  • [雑誌論文] フィルタードアーク蒸着で形成したDLC膜の概要と応用 (特集 表面改質技術)2013

    • 著者名/発表者名
      滝川浩史
    • 雑誌名

      月刊トライボロジー

      巻: 27 ページ: 38-40

    • NAID

      40019560583

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [雑誌論文] 水素フリーDLCテトラヘドラルアモルファスカーボンの開発2013

    • 著者名/発表者名
      滝川浩史
    • 雑誌名

      潤滑経済

      巻: 586 ページ: 6-9

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [雑誌論文] ピュアカーボンプラズマビームを用いた超硬質DLC 膜の合成と応用2013

    • 著者名/発表者名
      田上 英人, 滝川 浩史, 須田 善行
    • 雑誌名

      化学工業

      巻: 63巻 ページ: 34-40

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [雑誌論文] Nanofabrication of DLC-dot Arrays by Room-temperature Curing Imprint-liftoff Method2013

    • 著者名/発表者名
      S. Kiyohara, S. Matta, I. Ishikawa, H. Tanoue, H. Takikawa, Y. Taguchi, Y. Sugiyama, Y. Omata, Y. Kurashima
    • 雑誌名

      Mater. Res. Soc. Symp. Proc.

      巻: Vol.1511

    • DOI

      10.1557/opl.2013.15

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560144, KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [雑誌論文] Fabrication of Micro-OLEDs by Room-temperature Curing Contact-imprint Using DLC Molds2013

    • 著者名/発表者名
      I. Ishikawa, K. Sakurai, S. Kiyohara, C. Ito, H. Tanoue, Y. Suda, H. Takikawa, Y. Taguchi, Y. Sugiyama, Y. Omata, Y. Kurashima
    • 雑誌名

      Mater. Res. Soc. Symp. Proc.

      巻: Vol.1511

    • DOI

      10.1557/opl.2012.1711

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560144, KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [雑誌論文] 水素フリーDLCテトラヘドラルアモルファスカーボンの開発2013

    • 著者名/発表者名
      滝川浩史
    • 雑誌名

      潤滑経済

      巻: 586 ページ: 6-9

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [雑誌論文] フィルタードアーク蒸着で形成したDLC膜の概要と応用 (特集 表面改質技術)2013

    • 著者名/発表者名
      滝川浩史
    • 雑誌名

      月刊トライボロジー

      巻: 27 ページ: 38-40

    • NAID

      40019560583

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [雑誌論文] Fabrication of DLC-based Micro-gear patterns by Room-temperature Curing Nanoimprint Lithography Using Glass-like Carbon Molds2013

    • 著者名/発表者名
      S. Kiyohara, T. Ikegaki,I. Ishikawa,H. Tanoue, H. Takikawa,Y. Taguchi,Y. Sugiyama,Y. Omata,Y. Kurashima
    • 雑誌名

      Mater. Res. Soc. Symp. Proc.

      巻: Vol.1511 ページ: 1-1

    • DOI

      10.1557/opl.2013.21

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560144, KAKENHI-PROJECT-23760258, KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [雑誌論文] フィルタードアーク蒸着で形成したDLC 膜の概要と応用(特集表面改質技術)2013

    • 著者名/発表者名
      滝川 浩史
    • 雑誌名

      月刊トライボロジー

      巻: 27巻 ページ: 38-40

    • NAID

      40019560583

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [雑誌論文] ピュアカーボンプラズマビームを用いた超硬質DLC膜の合成と応用2013

    • 著者名/発表者名
      田上英人,滝川浩史,須田善行
    • 雑誌名

      化学工業

      巻: 63 ページ: 34-40

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [雑誌論文] ピュアカーボンプラズマビームを用いた超硬質DLC膜の合成と応用2013

    • 著者名/発表者名
      田上英人,滝川浩史,須田善行
    • 雑誌名

      化学工業

      巻: 63 ページ: 34-40

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [雑誌論文] Effect of filament discharge on uprightness of carbon nanotwists tightly-adhered to substrate2011

    • 著者名/発表者名
      Y. Sugioka, M. Yokota, T. Pude, Y. Suda, H. Takikawa, H. Tanoue, H. Ue1, Y. Umeda, and K. Shimizu
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: Vol.50 号: 8S1 ページ: 08JF08-08JF08

    • DOI

      10.1143/jjap.50.08jf08

    • NAID

      210000139469

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [雑誌論文] Removal of diamond-like carbon film by oxygen-dominated plasma beam converted from filtered carbon-cathodic arc2011

    • 著者名/発表者名
      H. Tanoue, M. Kamiya, Y. Suda, S. Oke, H. Takikawa, Y. Hasegawa, M. Taki, N. Tsuji, T. Ishikawa, H. Yasui
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: Vol.50

    • NAID

      210000138270

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [雑誌論文] フィルタードアークプラズマビームの磁界制御によるドロップレットフリーDLC膜の形成2011

    • 著者名/発表者名
      奥田浩史, 滝川浩史, 他
    • 雑誌名

      プラズマ応用科学

      巻: 18-2 ページ: 159-164

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [雑誌論文] 中真空動作磁気引き出し型ガスプラズマ銃の開発と基礎特性2011

    • 著者名/発表者名
      柳田太一郎, 田上英人, 神谷雅男, 須田善行, 滝川浩史, 瀧真, 長谷川祐史, 石川剛史
    • 雑誌名

      電気学会論文誌A

      巻: Vol.131, No.2 ページ: 139-144

    • NAID

      10027803102

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [雑誌論文] Effect of Filament Discharge on Uprightness of Carbon Nanotwists Tightly-Adhered to Substrate2011

    • 著者名/発表者名
      Yuki Sugioka, Masashi Yokota, Tang Pude, Yoshiyuki Suda, Hirofumi Takikawa, Hideto Tanoue, Hitoshi Ue, Yoshito Umeda, and Kazuki Shimizu
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 50

    • NAID

      210000139469

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [雑誌論文] A new simple model of direct spectral irradiance with easily observable atmospheric parameters2010

    • 著者名/発表者名
      S.Oke, N.Fukushige, Y.Kemmoku, H.Takikawa, T.Sakakibara, K.Araki
    • 雑誌名

      IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering 2010 No.5

      ページ: 548-552

    • NAID

      10026582071

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560786
  • [雑誌論文] Effect of gas introduction position on substrate etching by means of Ar-dominated graphite-cathodic-arc plasma beam in at-FAD2010

    • 著者名/発表者名
      H. Tanoue, M. Kamiya, S. Oke, Y. Suda, H. Takikawa, Y. Hasegawa, M. Taki, N. Tsuji, T. Ishikawa, H. Yasui, S. Temmei, H. Takahashi
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: Vol.518, No.13 ページ: 3546-3550

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [雑誌論文] A new simple model of direct spectral irradiance with easily observable atmospheric parameters2010

    • 著者名/発表者名
      Shinichiro Oke, Naoyuki Fukushige, Yoshishige Kemmoku, Hirofumi Takikawa, Tateki Sakakibara, Kenji Araki
    • 雑誌名

      IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Eongineering

      巻: No.5 ページ: 548-552

    • NAID

      10026582071

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560786
  • [雑誌論文] エコエネルギーシステム設計・運用支援ツールEcoTOP(エコトップ)2010

    • 著者名/発表者名
      桶真一郎, 東山伸, 村田浩之, 滝川浩史
    • 雑誌名

      電気学会論文誌B

      巻: Vol.130, No.5 ページ: 536-537

    • NAID

      10026227021

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560786
  • [雑誌論文] フィルタードアークプラズマビームの磁界制御によるドロップレットフリーDLC膜の形成2010

    • 著者名/発表者名
      奥田浩史, 神谷雅男, 田上英人, 須田善行, 滝川浩史
    • 雑誌名

      プラズマ応用科学

      巻: Vol.18, No.2 ページ: 159-164

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [雑誌論文] エコエネルギーシステム設計・運用支援ツールEcoTOP(エコトップ)2010

    • 著者名/発表者名
      桶真一郎,東山伸,村田浩之,滝川浩史
    • 雑誌名

      電気学会論文誌B Vol.130, No.5

      ページ: 536-537

    • NAID

      10026227021

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560786
  • [雑誌論文] フィルタードアーク蒸着で形成したダイヤモンドライクカーボン膜の光学特性2009

    • 著者名/発表者名
      神谷雅男, 川口裕輔, 田上英人, 須田善行, 滝川浩史
    • 雑誌名

      プラズマ応用科学

      巻: Vol.17, No.2 ページ: 125-132

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [雑誌論文] Argon-dominated plasma beam generated by filtered vacuum arc and its substrate etching2009

    • 著者名/発表者名
      H. Tanoue, M. Kamiya, S. Oke, Y. Suda, H. Takikawa, Y. Hasegawa, M. Taki, M. Kumagai, M. Kano, T. Ishikawa, H. Yasui
    • 雑誌名

      Applied Surface Science

      巻: 255 ページ: 7780-7785

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [雑誌論文] 温室内日射計測のための太陽電池アレイ型簡易日射計の開発2009

    • 著者名/発表者名
      桶真一郎,杉山智美,須田善行,滝川浩史,川嶋和子
    • 雑誌名

      太陽エネルギー Vol.35, No.5

      ページ: 71-76

    • NAID

      10025363483

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560786
  • [雑誌論文] T-shape filtered arc deposition system with built-in electrostatic macro-particle trap for DLC film preparation2009

    • 著者名/発表者名
      M. Kamiya, T. Yanagita, H. Tanoue, S. Oke, Y. Suda, H. Takikawa, M. Taki, Y. Hasegawa, T. Ishikawa, H. Yasui
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: Vol.518, No.5 ページ: 1498-1502

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [雑誌論文] 二軸追尾低集光リニアアレイ太陽光発電システム2009

    • 著者名/発表者名
      桶真一郎, 市川直毅, 滝川浩史, 榊原建樹, 荒木建次
    • 雑誌名

      電気学会論文誌B Vol.129, No.9

      ページ: 1154-1155

    • NAID

      10025101017

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560786
  • [雑誌論文] 二軸追尾低集光リニアアレイ太陽光発電システム2009

    • 著者名/発表者名
      桶真一郎,市川直毅,滝川浩史,榊原建樹,荒木建次
    • 雑誌名

      電気学会論文誌B Vol.129, No.9

      ページ: 1154-1155

    • NAID

      10025101017

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560786
  • [雑誌論文] 温室内日射計測のための太陽電池アレイ型簡易日射計の開発2009

    • 著者名/発表者名
      桶真一郎, 杉山智美, 須田善行, 滝川浩史, 川嶋和子
    • 雑誌名

      太陽エネルギー Vol.135, No.5

      ページ: 71-76

    • NAID

      10025363483

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560786
  • [雑誌論文] 大気圧メゾプラズマの開発と表面処理への応用2006

    • 著者名/発表者名
      滝川 浩史
    • 雑誌名

      プラズマ応用と複合機能材料 Vol.15

      ページ: 61-64

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17656094
  • [雑誌論文] Influence of Duct Bias on T-Shape Filtered Arc Deposition Apparatus2005

    • 著者名/発表者名
      Y.Iwasaki, S.Minamisawa, H.Takikawa, T.Sakakibara, Y.Hasegawa
    • 雑誌名

      The 5^<th> International Symposium on Applied Plasma Science P II-3

      ページ: 193-198

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360189
  • [雑誌論文] Process Condition of Arc Soot as Raw Material for Mass Production of Carbon Nanoballoon2005

    • 著者名/発表者名
      H.Niwa, K.Higashi, H.Takikawa, G.C.Xu, T.Sakakibara, A.Kondo, K.Yoshikawa, S.Ito
    • 雑誌名

      Extended Abstracts (The 52^<th> Spring Meeting, 2005) ; The Japan Society of Applied Physics 30p-YF-14

      ページ: 1056-1056

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15310087
  • [雑誌論文] DLC成膜用T字状フィルタードアーク蒸着装置における成膜速度改善2005

    • 著者名/発表者名
      滝川 浩史
    • 雑誌名

      電気学会 基礎・材料・共通部門大会 (3)-3

      ページ: 28-28

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360189
  • [雑誌論文] Improvement of Deposition Rate of DLC Film in T-Shape Filtered Arc Depension2005

    • 著者名/発表者名
      Y.Iwasaki, S.Minamisawa, G.C.Xu, H.Takikawa, T.Sakakibara, Y.Hasegawa
    • 雑誌名

      Plasma Application and Hybrid Functionally Materials 14

      ページ: 71-74

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360189
  • [雑誌論文] Synthesis of Nanocarbon Particle by Arc Discharge Plasma and Pt-Ru Catalyst Dispersion2005

    • 著者名/発表者名
      K.Higashi, H,.Niwa, H.Takikawa, T.Sakakibara, S.Itoh, T.Yamaura, Gu.Xu
    • 雑誌名

      Applied Plasma Science Vol.13

      ページ: 99-104

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15310087
  • [雑誌論文] Development of Y-shape Filtered Arc Deposition Apparatus and Cu Film Deposition for Wiring2005

    • 著者名/発表者名
      H.Hikosaka, Y.Iwasaki, H.Takikawa, T.Sakakibara, Y.Hasegawa, N.Tsuji
    • 雑誌名

      The Papers of Technical Meeting on Electrical Discharges, IEE Japan ED-05-150

      ページ: 41-44

    • NAID

      10016961167

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360189
  • [雑誌論文] Improvement of Deposition Rate of Cu Film for Wiring in Filtered Arc Deposition2005

    • 著者名/発表者名
      Y.Iwasaki, H.Hikosaka, T.Takikawa, T.Sakakibara, Y.Hasegawa, N.Tsuji
    • 雑誌名

      Extended Abstracts (The 66^<th> Autumn Meeting, 2005) ; The Japan Society of Applied Physics 7p-A-12

      ページ: 699-699

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360189
  • [雑誌論文] Development of T/Crank-Hybrid Filtered Arc Deposition Apparatus for multiplayer films2005

    • 著者名/発表者名
      H.Hikosaka, Y.Iwasaki, H.Takikawa, T.Sakakibara, Y.Hasegawa, N.Tsuji
    • 雑誌名

      The Papers of Technical Meeting on Plasma Science and Technology, IEE Japan PST-05-84

      ページ: 55-59

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360189
  • [雑誌論文] Continious Preparation of Nanocarbon Using Arc Discharge2005

    • 著者名/発表者名
      H.Niwa, K.Higashi, K.Shinohara, H.Takikawa, T.Sakakibara, A.Kondo, K.Yoshikawa, S.Natsume, S.Ito, T.Yamaura
    • 雑誌名

      Extended Abstracts (The 66^<th> Autumun Meeting, 2005) ; The Japan Society of Applied Physics 9p-F-15

      ページ: 817-817

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15310087
  • [雑誌論文] Improvement of Deposition Rate in T-Shape Filtered Arc Deposition2005

    • 著者名/発表者名
      Y.Iwasaki, S.Minamisawa, H.Takikawa, G.C.Xu, T.Sakakibara, Y.Hasegawa
    • 雑誌名

      Proceedings on PSS-2005 SPP-22

      ページ: 173-174

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360189
  • [雑誌論文] Shape Change of Arc Soot by Thermal Treatment2005

    • 著者名/発表者名
      H.Niwa, G.C.Xu, T.Imaizumi, H.Takikawa, T.Sakakibara, K.Yoshikawa, A.Kondo, S.Itoh
    • 雑誌名

      Proceedings on PSS-2005/SPP-22 14

      ページ: 131-132

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15310087
  • [雑誌論文] Mass Production of Carbon Nanomaterials by Arc Discharge : Influences of Gas and Gas Pressure2005

    • 著者名/発表者名
      H.Niwa, K.Higashi, G.C.Xu, H.Takikawa, K.Yoshikawa, A.Kondo, S.Itoh, T.Sakakibara
    • 雑誌名

      Abstracts on The 28^<th> Fullerene-Nanotubes General Symposium 1P-42

      ページ: 90-90

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15310087
  • [雑誌論文] Fabrication of diamond-like carbon film on rubber by T-shape filtered arc deposition under the influence of various ambient gases2004

    • 著者名/発表者名
      H.Takikawa
    • 雑誌名

      Thin Slid Films 457

      ページ: 143-150

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15656074
  • [雑誌論文] Carbon Nanoballoon Produced by Thermal Treatment of Arc Soot2004

    • 著者名/発表者名
      G.C.Xu, H.Niwa, T.Imaizumi, H.Takikawa, T.Sakakibara, K.Yoshikawa, A.Kondo, S.Itoh
    • 雑誌名

      New Diamond and Frontier Carbon Technology 15-2

      ページ: 73-81

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15310087
  • [雑誌論文] Fabrication of diamond-like carbon film on rubber by T-shape filtered arc deposition under the influence of various ambient gases2004

    • 著者名/発表者名
      H.Takikawa
    • 雑誌名

      Thin Slid Films 457

      ページ: 143-150

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15360189
  • [産業財産権] DLC膜及びDLCコート金型2014

    • 発明者名
      滝川浩史, 田上英人, 神谷雅男, 加藤裕久, 瀧真, 長谷川祐史
    • 権利者名
      豊橋技術科学大学, 伊藤光学工業(株), (株)オンワード技研
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2014-02-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [産業財産権] DLC膜の製造方法2013

    • 発明者名
      滝川浩史,瀧真,長谷川祐史,神谷雅男,加藤裕久
    • 権利者名
      豊橋技術科学大学,伊藤光学工業(株),(株)オンワード技研
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2013-11-05
    • 取得年月日
      2014-12-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [産業財産権] DLC膜及びDLCコート金型2013

    • 発明者名
      滝川浩史,瀧真,長谷川祐史,神谷雅男,加藤裕久
    • 権利者名
      豊橋技術科学大学,伊藤光学工業(株),(株)オンワード技研
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2013-02-04
    • 取得年月日
      2015-03-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [産業財産権] 炭素電極保持構造体2013

    • 発明者名
      福田博人,辻信弘,長谷川祐史,瀧真,大村佳人,藤田裕希,滝川浩史
    • 権利者名
      トヨタ自動車、オンワード技研、豊橋技術科学大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2013-266282
    • 出願年月日
      2013-12-25
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [産業財産権] プラズマ処理装置2011

    • 発明者名
      滝川浩史,岩崎康浩,辻信弘,長谷川祐史
    • 権利者名
      豊橋技術科学大学、株式会社オンワード技研
    • 取得年月日
      2011-12-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [産業財産権] プラズマ表面処理方法及びプラズマ処理装置2011

    • 発明者名
      滝川浩史,辻信弘,長谷川祐史
    • 権利者名
      豊橋技術科学大学、株式会社オンワード技研
    • 取得年月日
      2011-12-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [産業財産権] DLC被覆工具2011

    • 発明者名
      滝川浩史,長谷川祐史,瀧真
    • 権利者名
      豊橋技術科学大学、株式会社オンワード技研
    • 取得年月日
      2011-07-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [産業財産権] DLC被覆工具2009

    • 発明者名
      滝川浩史、長谷川祐史、瀧真
    • 権利者名
      豊橋技術科学大学、株式会社オンワード技研
    • 出願年月日
      2009-06-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [産業財産権] プラズマ生成装置2009

    • 発明者名
      滝川浩史、椎名祐一
    • 権利者名
      滝川浩史,株式会社フェローテック
    • 取得年月日
      2009-09-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [産業財産権] プラズマ生成装置2009

    • 発明者名
      滝川浩史,椎名祐一
    • 権利者名
      滝川浩史,株式会社フェローテック
    • 取得年月日
      2009-06-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [産業財産権] プラズマ生成装置2009

    • 発明者名
      滝川浩史,椎名祐一
    • 権利者名
      滝川浩史,株式会社フェローテック
    • 取得年月日
      2009-09-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [産業財産権] プラズマ生成装置2009

    • 発明者名
      滝川浩史、椎名祐一
    • 権利者名
      滝川浩史,株式会社フェローテック
    • 取得年月日
      2009-06-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [産業財産権] DLC被覆工具2009

    • 発明者名
      滝川浩史、長谷川祐史、瀧真
    • 権利者名
      豊橋技術科学大学、株式会社オンワード技研
    • 取得年月日
      2009-12-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [産業財産権] DLC被覆工具2009

    • 発明者名
      滝川浩史,長谷川祐史,瀧真
    • 権利者名
      豊橋技術科学大学、株式会社オンワード技研
    • 取得年月日
      2009-12-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [産業財産権] DLC被覆工具2009

    • 発明者名
      滝川浩史, 長谷川祐史, 瀧真
    • 権利者名
      国立大学法人豊橋技術科学大学, 株式会社オンワード技研
    • 出願年月日
      2009-06-08
    • 取得年月日
      2011-07-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [産業財産権] 日射計測装置2008

    • 発明者名
      桶真一郎, 滝川浩史, 杉山智美
    • 権利者名
      豊橋技術科学大学
    • 産業財産権番号
      2008-323006
    • 出願年月日
      2008-12-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560786
  • [学会発表] 酸素プラズマを用いた DLC 膜の除膜法の検討2023

    • 著者名/発表者名
      三浦竹次朗, 谷本壮, 臼木貴羅, 税木善則, 針谷達, 坂東隆宏, 滝川 浩史
    • 学会等名
      令和5年度 電気・電子・情報関係学会 四国支部連合大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22741
  • [学会発表] High-Speed Deposition of Ta-C Film by DC Linear Filtered Arc Deposition Employing Coiled Anode2023

    • 著者名/発表者名
      S.Watanabe, J.Kito, T.Bando, T.Harigai, H.Takikawa, H.Sugita, T.Hattori, H.Gima
    • 学会等名
      DPS2023
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22741
  • [学会発表] UVナノインプリントシステムを用いた機能性DLCデバイスの開発と半導体人材育成2023

    • 著者名/発表者名
      清原 修二,石川 一平,坂東 隆宏,針谷 達,滝川 浩史,倉島 優一,廣芝伸哉
    • 学会等名
      SEMICON Japan 2023
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22741
  • [学会発表] 水素フリーDLC膜高速形成用黒鉛陰極真空アークの安定条件2023

    • 著者名/発表者名
      渡辺聖也, 鬼頭純平, 税木善則, 坂東隆宏, 針谷達, 滝川浩史, 杉田博昭, 服部貴大, 儀間弘樹
    • 学会等名
      令和5年度 電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22741
  • [学会発表] コイル陽極フィルタードアークを用いた水素フリーDLC膜の高速形成2023

    • 著者名/発表者名
      渡辺聖也, 鬼頭純平, 坂東隆宏, 針谷達, 滝川浩史, 杉田博昭, 服部貴大, 儀間弘樹
    • 学会等名
      2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22741
  • [学会発表] 超音波振動を利用した液滴室温マイクロコンタクトプリントによるDLC マイクロギヤの作製2023

    • 著者名/発表者名
      武川真絹, 清原修二, 石川一平, 坂東隆宏, 針谷達, 滝川浩史, 倉島優一
    • 学会等名
      2023年度関西地方定期学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22741
  • [学会発表] コイル状陽極を用いた直流真空アーク蒸着によるTiN膜の作製2023

    • 著者名/発表者名
      鬼頭純平, 税木善則, 本間健斗, 渡辺聖也, 坂東隆宏, 針谷達, 滝川浩史, 儀間弘樹, 杉田博昭
    • 学会等名
      第70回応用物理学会 春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22741
  • [学会発表] 室温ナノインプリントによるDLCマイクロ・ナノパターン形成と半導体人材育成2023

    • 著者名/発表者名
      清原修二, 石川一平, 坂東隆宏, 針谷達, 滝川浩史, 倉島優一
    • 学会等名
      2024年第71回応用物理学会春季学術講演会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22741
  • [学会発表] DLC超高速成膜のためのガスインジェクションパルスプラズマCVD法2023

    • 著者名/発表者名
      針谷達, 滝川浩史, 國次真輔
    • 学会等名
      令和6年電気学会全国大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22741
  • [学会発表] 紫外線硬化型液滴室温ナノインプリントによる L&S・マイクロギヤパターンの作製2023

    • 著者名/発表者名
      武川 真絹,清原 修二,石川 一平,坂東隆宏,針谷 達,滝川 浩史,倉島 優一,廣芝伸哉
    • 学会等名
      SEMICON Japan 2023
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22741
  • [学会発表] ECR酸素イオンビームによる超精密切削用多結晶ダイヤモンド工具の再生2023

    • 著者名/発表者名
      阿武将汰, 清原修二, 石川一平, 坂東隆宏,針谷達,滝川浩史, 倉島優一
    • 学会等名
      2023年度関西地方定期学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22741
  • [学会発表] 超音波振動液滴室温ナノコンタクトプリントによるDLCマイクロギヤの作製2023

    • 著者名/発表者名
      武川 真絹,清原 修二,石川 一平,坂東隆宏,針谷 達,滝川 浩史,倉島 優一,廣芝伸哉
    • 学会等名
      SEMICON Japan 2023
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22741
  • [学会発表] 真空アーク蒸着を用いた水素フリーDLC膜形成におけるコイル陽極の巻き数依存性2023

    • 著者名/発表者名
      渡辺聖也, 鬼頭純平, 佐野絃貴, 大根田みらの, 坂東隆宏, 滝川浩史, 杉田博昭, 服部貴大, 儀間弘樹
    • 学会等名
      2024年第71回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22741
  • [学会発表] コイル状陽極を用いた直流真空アーク蒸着によるAlCrN膜の作製2023

    • 著者名/発表者名
      鬼頭純平, 坂東隆宏, 針谷達, 滝川浩史, 杉田博昭, 服部貴大, 儀間弘樹
    • 学会等名
      2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22741
  • [学会発表] AlCrN 膜形成におけるステアド真空アークの陰極点運動と膜質への影響2023

    • 著者名/発表者名
      鬼頭純平, 渡辺聖也, 大根田みらの, 坂東隆宏, 針谷達, 滝川浩史, 杉田博昭, 服部貴大, 儀間弘樹
    • 学会等名
      令和5年度 電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22741
  • [学会発表] ドロップレットフィルタ兼用陽極を用いた直流フィルタードアーク蒸着によるTiN膜形成2022

    • 著者名/発表者名
      鬼頭純平, 橋本侑樹, 税木善則, 坂東隆宏, 針谷達, 滝川浩史, 儀間弘樹
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22741
  • [学会発表] Development of DC Vacuum Arc Deposition System with Adode Generating Magnetic Field and Preparation of TiN Film2022

    • 著者名/発表者名
      J.Kito, K.Homma, Y.Saiki, S.Watanabe, T.Bando, T.Haigai, H.Takikawa, H.Sugita, H.Gima
    • 学会等名
      43rd International Symposium on Dry Process (DPS2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22741
  • [学会発表] TiN膜成膜用フィルタードアーク蒸着における陰極点の磁気駆動2022

    • 著者名/発表者名
      鬼頭純平, 橋本侑樹, 税木義則, 坂東隆宏, 針谷達, 滝川浩史, 儀間弘樹
    • 学会等名
      令和4年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22741
  • [学会発表] TiN Film Formation by Linear and Novel Winding Filtered-Arc Deposition2022

    • 著者名/発表者名
      Yoshinori Saiki, Jumpei Kito, Yuki Hashimoto, Takahiro Bando, Toru Harigai, Hirofumi Takikawa, Hiroki Gima, Hiroaki Sugita
    • 学会等名
      75th Annual Gaseous Electronics Conference
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22741
  • [学会発表] Fabrication of diamond-like Carbon films using filtered pulse arc deposition with Si-Contained graphite target2019

    • 著者名/発表者名
      T. Toya, T. Harigai, Y. Sugie, T. Tanimoto, H. Takikawa, M. Kamiya, S. Kunitsugu, S. Kaneko, M. Taki
    • 学会等名
      ISSP2019
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] 超音波液滴室温ナノインプリントによるDLCドットアレイの作製2019

    • 著者名/発表者名
      伊藤大洋,清原修二,石川一平,針谷達,谷本壮,滝川浩史,倉島優一
    • 学会等名
      平成30年度電気学会関西支部高専卒業研究発表会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] CFRP加工用切削工具へのDLCコーティング2019

    • 著者名/発表者名
      針谷 達,出貝 敏,谷本 壮,須田 善行,滝川 浩史,権田 英修,神谷 雅男,瀧 真
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] フィルタードアーク蒸着法で作製した水素フリーおよび水素化DLC膜の特性と分類2019

    • 著者名/発表者名
      針谷達,今井貴大,戸谷陽文,滝川浩史,金子智,國次真輔,新部正人,神田一浩,神谷雅男,瀧真
    • 学会等名
      第33回ダイヤモンドシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] Application of Diamond-Like Carbon Film Prepared by Filtered Arc Deposition2019

    • 著者名/発表者名
      H. Takikawa
    • 学会等名
      ISAPS 19
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] Recent Topics of Diamond-Like Carbon Films prepared by Filtered Arc Deposition2019

    • 著者名/発表者名
      H. Takikawa
    • 学会等名
      IUMRS-ICA 2019
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] Recent topics of preparation and application of diamond-Like Carbon Film2019

    • 著者名/発表者名
      H. Takikawa, T. Harigai, T. Tanimoto
    • 学会等名
      IAPS Meeting 2019
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] EB 蒸着源を備えたフィルタードパルスアーク蒸着装置によるSi-DLC 膜の形成2019

    • 著者名/発表者名
      杉江侑哉,針谷達,戸谷陽文,滝川浩史,神谷雅男
    • 学会等名
      令和元年度 電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] フィルタードパルスアーク蒸着法を用いたシリコン含有DLC膜の形成2019

    • 著者名/発表者名
      杉江 侑哉, 戸谷 陽文, 谷本 壮, 針谷 達, 須田 善行, 滝川 浩史, 神谷 雅男, 國次 真輔, 金子 智, 瀧 真
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] Fabrication of Tungsten Carbide Films by Unbalanced Magnetron Sputtering2019

    • 著者名/発表者名
      K. Tamekuni, T. Harigai, S. Degai, T. Tanimoto, Y. Suda, H. Takikawa, S. Takago, H. Yasui, S. Kaneko, S. Kunitsugu, M. Kamiya, M. Taki
    • 学会等名
      ISPlasma2019
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] Removal of Various Diamond-Like Carbon Films by Oxygen Plasma Treatment2019

    • 著者名/発表者名
      T. Tanimoto, Y. Kondo, K. Tamekuni, T. Harigai, Y. Suda, H. Takikawa, H. Gonda, Y. Hadano, M. Kamiya
    • 学会等名
      ISPlasma2019
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] Preparation of Si-Contained DLC by Co-Deposition of Filtered-Pulse-Arc and Electron-Beam Depositions2019

    • 著者名/発表者名
      Y.Sugie, T.Harigai, T.Toya, H.Takikawa, M.kamiya
    • 学会等名
      DPS2019
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] 周期的N-DLC/WC積層構造を持つ導電性耐摩耗膜の作製2019

    • 著者名/発表者名
      爲國 公貴, 針谷 達, 出貝 敏, 谷本 壮, 須田 善行, 滝川 浩史, 鷹合 滋樹, 安井 治之, 金子 智, 國次 真輔, 神谷 雅男, 瀧 真
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] Application of Diamond-Like carbon film prepared by filtered arc deposition2019

    • 著者名/発表者名
      H. Takikawa, T. Harigai, S. Degai, T. Tanimot, H. Gonda, M. Kamiya, M. Taki, S. Kanek, S. Kunitsugu
    • 学会等名
      Conference Book of ISAPS '19
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] Periodic multilayer film consisted of N-DLC and WC layers prepared by using filtered arc deposition and UBMS2019

    • 著者名/発表者名
      K. Tamekuni, T. Harigai, T. Tanimoto, H. Takikawa, S. Takago, H. Yasui, S. Kaneko, S. Kunitsugu, M. Kamiya, M. Taki
    • 学会等名
      ISSP2019
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] 層厚の異なるN-DLC/WC 積層膜の耐摩耗性2019

    • 著者名/発表者名
      爲國公貴,針谷達,戸谷陽文,滝川浩史,鷹合滋樹,安井治之,金子智,國次真輔,神谷雅男,瀧真
    • 学会等名
      令和元年度 電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] 真空アーク蒸着におけるパーティクルフリーコーティング技術と応用展開2019

    • 著者名/発表者名
      H. Takikawa
    • 学会等名
      精密工学会第403回講習会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] UV-PDMSモールドを用いた液滴室温リバーサルマイクロ コンタクトプリントによるDしCドットアレイの作製2018

    • 著者名/発表者名
      筒井舜平,清原修二,石川一平, 針谷達,谷本壮,滝川浩史,倉島優一
    • 学会等名
      平成29年度高専研究発表会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] UV-PDMSモールド液滴室温リバーサルマイクロコンタクトプリントによるDLCドットアレイの作製2018

    • 著者名/発表者名
      伊藤大洋,清原修二,福田京平,石川一平,針谷達,谷本壮,滝川浩史,倉島優一
    • 学会等名
      日本高専学会第24回年会講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] 2種類の成膜方法で作製したタングステンカーバイド薄膜の比較2018

    • 著者名/発表者名
      谷本壮,磯野凌,杉江侑哉,針谷達,須田善行,滝川浩史,神谷雅男,金子智,國次真輔,瀧真
    • 学会等名
      第12回核融合エネルギー連合講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] Ni めっき材のプレス加工に適したDLC 保護膜の探究2018

    • 著者名/発表者名
      依田文徳,針谷達,出貝敏,爲國公貴,谷本壮,須田善行,滝川浩史,朝倉義博,鷹合滋樹,安井治之,新部正人,神田一浩,神谷雅男,瀧 真
    • 学会等名
      表面技術協会 第138回講演大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] めっき金属材の曲げプレス加工傷抑制のためのDLC保護膜2018

    • 著者名/発表者名
      針谷達,依田文徳,出貝敏,爲國公貴,谷本壮,須田善行,滝川浩史,朝倉義博,鷹合滋樹,安井治之,神谷雅男,瀧真
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] グラファイト状窒化炭素薄膜の電気伝導特性の観測2018

    • 著者名/発表者名
      青山宏明、安田和史、羽渕仁恵、飯田民夫、滝川浩史
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] Influence of Substrate Bias of DLC Film prepared by Pulse Arc Jet Plasma2018

    • 著者名/発表者名
      T. Tanimoto, I. Fujita, Y. Kondo, T. Harigai, Y. Suda, H. Takikawa, H. Gonda, Y. Hadano, M. Kamiya
    • 学会等名
      ISPlasma2018
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] New methods for direct growth of graphene on insulator ~ paper, pencil, carbon dioxide ~2018

    • 著者名/発表者名
      S. Kaneko, S. Yasuhara, T. Endo, R. Sudo, T. Tokumasu, K. Satoh, M. Kurouchi, M. Yasui, T. Rachi, S. Tanaka, C. Kato, A. Matsuda, M. Yoshimoto,H. Takikawa
    • 学会等名
      IUMRS-ICEM2018
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] フィルタードアーク蒸着法で形成したDLC膜のレーザー損傷観察2018

    • 著者名/発表者名
      出貝敏,針谷達,爲國公貴,谷本壮,須田善行,滝川浩史,権田英修,神谷雅男,瀧真
    • 学会等名
      平成30年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] 低電力電源を用いた酸素プラズマによるDLC膜の除膜2018

    • 著者名/発表者名
      谷本壮,近藤勇樹,爲國公貴,針谷達,須田善行,滝川浩史,権田英修,羽田野泰弘,神谷雅男
    • 学会等名
      第35回プラズマ・核融合学会 年会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] DLC膜の分類,特性,加工具保護膜への応用2018

    • 著者名/発表者名
      滝川 浩史
    • 学会等名
      第64回生産加工研究会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] Tungsten Carbide Film Suitable for Adhesion Improvement of Hydrogen-Free DLC Film_nanimoto2018

    • 著者名/発表者名
      T. Tanimoto, R. Isono, Y. Sugie, T. Harigai, Y. Suda, H. Takikawa, M. Kamiya, S. Kaneko, S. Kunitsugu, M. Taki
    • 学会等名
      IUMRS-ICEM2018
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] T-FADを用いて形成したDLC保護膜による曲げプレス加工時のショックラインの抑制2018

    • 著者名/発表者名
      依田文徳,針谷達,出貝敏,爲國公貴,谷本壮,須田善行,滝川浩史,朝倉義博,鷹合滋樹,安井治之,神谷雅男,瀧真
    • 学会等名
      平成30年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] Effect of Substrate Bias for Removal of DLC Film by using Oxygen Plasma2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Kondo, I. Fujita, T. Tanimoto, F. Yoda, S. Degai, T. Harigai, Y. Suda, H. Takikawa, H. Gonda, Y. Hadano, M. Kamiya
    • 学会等名
      ISPlasma2018
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] ナノテクノロジー教育のためのポータブル室温ナノインプリントシステムの開発2018

    • 著者名/発表者名
      Nakul Thanatith,清原修二,伊東成留,石川一平,滝川浩史,倉島優一
    • 学会等名
      日本高専学会第24回年会講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] 酸素プラズマによるDLC膜の除膜と母材への影響2018

    • 著者名/発表者名
      近藤勇樹,谷本壮,針谷達,爲國公貴,須田善行,滝川浩史,権田英修,羽田野泰弘,神谷雅男
    • 学会等名
      平成30年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] Preparation of Conductive Hard Film Consisting of Ultra-Thin N-DLC Multilayers2018

    • 著者名/発表者名
      T. Harigai, Y. Iijima, K. Tamekuni, T. Toya, S. Degai, T. Tanimoto, Y. Suda, H. Takikawa, S. Takago, H. Yasui, S. Kaneko, S. Kunitsugu, H. Habuchi, M. Kamiya, M. Taki, and H. Gonda
    • 学会等名
      2018 International Symposium on Dry Process
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] 紫外,緑,および近赤外レーザーを用いた水素フリーおよび水素含有DLC膜のラマン分光分析2018

    • 著者名/発表者名
      出貝敏,針谷達,谷本壮,須田善行,滝川浩史,権田英修,神谷雅男,瀧真
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] 低周波および直流放電プラズマを用いたDLC 膜の成膜と除膜2018

    • 著者名/発表者名
      谷本 壮,藤田 至,近藤 勇樹,針谷 達,須田 善行,滝川 浩史,権田 英修,羽田野 泰弘,神谷 雅男
    • 学会等名
      平成30年電気学会全国大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] 導電性ハードコーティングに向けた周期的N-DLC/金属積層膜の作製2018

    • 著者名/発表者名
      爲國公貴,針谷達,出貝敏,谷本壮,須田善行,滝川浩史,安井治之,金子智,國次真輔,神谷雅男,瀧真
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] Self-supporting ta-C film consisting of laminated layers prepared using T-shape filtered arc deposition2018

    • 著者名/発表者名
      T. Harigai, M. Yamano, Y. Kondo, F. Yoda, S. Degai, T. Tanimoto, Y. Suda, H. Takikawa, M. Nishiuchi, H. Sakaki, K. Kondo, S. Kaneko, S. Kunitsugu
    • 学会等名
      IUMRS-ICEM2018
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] 加熱処理によるダイヤモンドライクカーボン膜の構造変化2018

    • 著者名/発表者名
      杉江侑哉,谷本壮,爲國公貴,針谷達,須田善行,滝川浩史,角口公章,國次真輔,神谷雅男,瀧真
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] 窒素含有DLC層とW層とから成る周期的積層膜の機械的・電気的特性2018

    • 著者名/発表者名
      爲國公貴,針谷 達,出貝 敏,谷本 壮,須田善行,滝川浩史, 鷹合滋樹,安井治之,金子智,國次真輔,神谷雅男,瀧真
    • 学会等名
      平成30年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] 紫外,可視,および近赤外レーザー照射に対するDLC膜の損傷観察2018

    • 著者名/発表者名
      出貝敏,針谷達,爲國公貴,谷本壮,須田善行,滝川浩史,権田英修,神谷雅男,瀧真
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] 真空雰囲気下でのグラファイト状窒化炭素薄膜の電気伝導2018

    • 著者名/発表者名
      安田和史,青山宏明,羽渕仁恵,滝川浩史
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] 二つの電源で発生させたプラズマを用いたDLC膜の除膜2018

    • 著者名/発表者名
      近藤勇樹,谷本壮,針谷達,依田文徳,出貝敏,須田善行,滝川浩史,権田英修,羽田野泰弘,神谷雅男
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] フィルタードアーク蒸着法を用いて作製したDLC膜の加熱テスト2018

    • 著者名/発表者名
      杉江侑哉,谷本壮,爲國公貴,針谷達,須田善行,滝川浩史,國次真輔,神谷雅男,瀧真
    • 学会等名
      平成30年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] Niめっき部品の曲げプレス加工用金型に適したDLC保護膜の形成2018

    • 著者名/発表者名
      依田文徳,針谷達,出貝敏,谷本壮,須田善行,滝川浩史,朝倉義博,安井治之,神谷雅男,瀧真
    • 学会等名
      表面技術協会 第137回講演大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] Improvement of Adhesion of Hydrogen-Free DLC Film by Employing Interlayer of Tungsten Carbide2017

    • 著者名/発表者名
      R. Isono, T. Tanimoto, Y. Iijima, S. Aziz, T. Harigai, Y. Suda, H. Takikawa, M. Kamiya, S. Kaneko, S. Kunitsugu, M. Taki
    • 学会等名
      The Irago Conference 2017
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] フィルタードパルスアーク蒸着法を用いたタングステンカーバイド膜の作製と分析2017

    • 著者名/発表者名
      磯野凌, 針谷達, 飯島佑史, 出貝敏, 須田善行, 滝川浩史
    • 学会等名
      第135回表面技術協会講演大会
    • 発表場所
      東洋大学 川越キャンパス
    • 年月日
      2017-03-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630112
  • [学会発表] DLC膜の特性,作り方,応用例2017

    • 著者名/発表者名
      滝川 浩史
    • 学会等名
      第11回マイクロナノ加工研究会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] DLC膜の分類と フィルタードアークで作る高品位DLC膜2017

    • 著者名/発表者名
      滝川 浩史
    • 学会等名
      第 50 回ドライコーティング研究会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] ダイヤモンドライクカーボン膜, その作り方と光学特性他諸特性2017

    • 著者名/発表者名
      滝川 浩史
    • 学会等名
      2017年度第2回光学薄膜研究会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] ダイヤコート工具へのT-FADを用いたDLC均一成膜とその表面観察2017

    • 著者名/発表者名
      出貝敏,飯島佑史,針谷達,谷本壮,須田善行,滝川浩史,権田英修,神谷雅男,瀧真
    • 学会等名
      平成29年度電気・電子・情報関係学会 東海支部連合大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] パルスアークジェットを用いて成膜したDLC膜の基板バイアス依存性2017

    • 著者名/発表者名
      藤田至,近藤勇樹,谷本壮,針谷達,須田善行,滝川浩史,権田英修,羽田野泰弘,神谷雅男
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] 導電性ハードコーティングに向けたDLCおよび窒化DLC膜の積層2017

    • 著者名/発表者名
      飯島佑史, 今井貴大, 磯野凌, 針谷達, 須田善行, 滝川浩史, 神谷雅男, 金子智, 國次真輔
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季
    • 発表場所
      パシフィコ横浜
    • 年月日
      2017-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630112
  • [学会発表] 酸素プラズマを用いたDLC膜の除膜におけるバイアス電圧の影響2017

    • 著者名/発表者名
      近藤勇樹,藤田至,谷本壮,針谷達,出貝敏,須田善行,滝川浩史,権田英修,羽田野泰弘,神谷雅男
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] 液滴室温リバーサマルマイクロコンタクトプリントによるDLCドットアレイの作製2017

    • 著者名/発表者名
      吉田圭汰,清原修二,石川一平,筒井舜平,針谷達,谷本壮,滝川浩史
    • 学会等名
      精密工学会2017年度関西地方定期学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] 水素フリーおよび水素化DLC膜の形成と膜質分析2017

    • 著者名/発表者名
      針谷達, 今井貴大, 飯島佑史, 須田善行, 滝川浩史, 神谷雅男, 金子智, 國次真輔, 新部正人, 神田一浩
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季
    • 発表場所
      パシフィコ横浜
    • 年月日
      2017-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630112
  • [学会発表] パルスアーク蒸着法におけるタングステンカーバイド薄膜の膜厚制御2017

    • 著者名/発表者名
      磯野凌, 谷本壮,飯島佑史,針谷達,須田善行,滝川浩史,神谷雅男,金子智,瀧真
    • 学会等名
      平成29年度電気・電子・情報関係学会 東海支部連合大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] Fabrication of Nitrogen-Containing DLC Film by Fliltered Arc Deposition2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Iijima, T. Imai, R. Isono, T. Harigai, Y. Suda, H. Takikawa, M. Kamiya, M. Taki, Y. Hasegawa, N. Tsuji, S. Kaneko, S. Kunitsugu, H. Habuchi, S. Kiyohara, M. Ito, S. Yick, A. Bendavid. P. Martin
    • 学会等名
      ISPlasma2017
    • 発表場所
      中部大学
    • 年月日
      2017-03-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630112
  • [学会発表] ダイヤコーティング工具への各種DLC膜のオーバーコート2017

    • 著者名/発表者名
      出貝敏,飯島佑史,針谷達,谷本壮,須田善行,滝川浩史,権田英修,神谷雅男,瀧真
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] Dependence of self-heating on DLC film properties in filtered arc deposition system2017

    • 著者名/発表者名
      T. Harigai, Y. Fujii, S. Degai, T.Imai, Y. Suda, H. Takikawa, H. Tanoue, M. Kamiya, S. Kaneko, Y. Haruyuki, S. Kunitsugu, M. Kawaguchi, K. Miura
    • 学会等名
      ISSP2017
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] XPS spectral changes of DLC thin films obtained by argon ion sputtering2017

    • 著者名/発表者名
      K. Yamada, T. Imai, Y. Iijima, T. Harigai, Y. Suda, H.Takikawa
    • 学会等名
      ALC'17
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] Characterization of tungsten carbide films prepared by filtered pulse arc deposition.2017

    • 著者名/発表者名
      R. Isono, T. Harigai, T. Tanimoto, Y. Iijima, Y. Suda, H. Takikawa
    • 学会等名
      ISSP2017
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] 水素フリーDLCと窒素含有DLCとの交互積層膜の作製と耐摩擦摩耗性2017

    • 著者名/発表者名
      飯島佑史,磯野凌,出貝敏,針谷達,谷本壮,須田善行,滝川浩史,安井治之,金子智,國次真輔,神谷雅男,瀧真
    • 学会等名
      平成29年度電気・電子・情報関係学会 東海支部連合大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] Hydrogen-free fluorinated DLC films prepared by filtered arc deposition system2017

    • 著者名/発表者名
      T. Tanimoto, T. Imai, T. Harigai, R. Isono, Y. Iijima, Y. Suda, H. Takikawa, M. kamiya, M. Taki, Y. Hasegawa, N. Tusji, S. Kaneko, S. Kunitsugu, M. Ito
    • 学会等名
      ISAPS 2017
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] Classification of Hydrogen-Free and Hydrogenated DLC Films Prepared by Filtered Arc Deposition2017

    • 著者名/発表者名
      T. Harigai, T. Imai, Y. Suda, H. Takikawa, M. Kamiya, S. Kaneko, S. Kunitsugu, N. Niibe, K. Kanda
    • 学会等名
      IUMRS-ICAM 2017
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] Preparation of multilayer film consisted of hydrogen-free DLC and nitrogen-containing DLC for conductive hard coating2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Iijima, T. Harigai, R. Isono, S. Degai, T. Tanimoto, Y. Suda, H. Takikawa, H. Yasui, S. Kaneko, S. Kunitsugu, M. Kamiya, M. Taki
    • 学会等名
      The Irago Conference 2017
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] 空気プラズマおよび酸素プラズマを用いたDLC膜の除膜2017

    • 著者名/発表者名
      近藤 勇樹,藤田 至,谷本 壮,針谷 達,出貝 敏,須田 善行,滝川 浩 史,権田 英修,羽田野 泰弘,神谷 雅男
    • 学会等名
      平成29年度電気・電子・情報関係学会 東海支部連合大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] Analysis of DLC thin films obtained by XPS spectrum separation2017

    • 著者名/発表者名
      K. Yamada, A. Takeda, T. Imai, Y. Iijima, T. Harigai, Y. Suda, H. Takikawa
    • 学会等名
      ISSP2017
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] タングステンカーバイド中間層を用いた水素フリーDLC膜の密着性改善2017

    • 著者名/発表者名
      磯野凌, 谷本壮, 飯島佑史, 針谷達, 須田善行, 滝川浩史, 神谷雅男, 金子智, 瀧真
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] パルスアークジェットにおけるプラズマ様相の基板バイアス依存性2017

    • 著者名/発表者名
      藤田 至,近藤 勇樹,谷本 壮,針谷 達,須田善行,滝川 浩史,権田 英修,羽田野 泰弘,神谷 雅男
    • 学会等名
      平成29年度電気・電子・情報関係学会 東海支部連合大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] DLCの特徴,つくり方,応用2017

    • 著者名/発表者名
      滝川 浩史
    • 学会等名
      第52回熱処理研究会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] 積層DLC/N-DLC膜の電気抵抗率および摩擦係数2017

    • 著者名/発表者名
      飯島佑史, 磯野 凌, 出貝 敏, 針谷達, 谷本壮, 須田善行, 滝川浩史, 安井治之, 金子智, 國次真輔, 神谷雅男, 瀧真
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H03217
  • [学会発表] ta-C/ダイヤモンド膜のカロテスト摩耗試験2016

    • 著者名/発表者名
      今井貴大,藤井裕真,山野将史,針谷達,須田善行,滝川浩史,、神谷雅男.、瀧真,長谷川 祐史,辻信広
    • 学会等名
      第63回応用物理学会
    • 発表場所
      東京工業大学、大岡山キャンパス
    • 年月日
      2016-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630112
  • [学会発表] 炭素/ 水素比の異なる雰囲気ガスを導入したT-FAD によるta-C:H およびa-C:H の形成2016

    • 著者名/発表者名
      今井貴大,飯島佑史,針谷達,須田善行,滝川浩史,神谷雅男,瀧真,長谷川祐史,辻信広,金子智,吉田健太郎,國次真輔,川口雅弘,清原修二,四戸汐里,寒河江祐介,伊藤未希雄,山田健二
    • 学会等名
      表面技術協会(第134回講演大会)
    • 発表場所
      東北大学、川内北キャンパス
    • 年月日
      2016-09-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630112
  • [学会発表] フィルタードパルスアーク蒸着装置の放電特性とDLC 膜の形成2016

    • 著者名/発表者名
      磯野凌,針谷達,今井貴大,山野将史,須田善行,滝川浩史,羽渕仁恵
    • 学会等名
      平成28年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
    • 発表場所
      豊田工業高等専門学校
    • 年月日
      2016-09-12
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630112
  • [学会発表] T-FAD を用いたDLC:H 膜のPVD-CVD ハイブリッド成膜2016

    • 著者名/発表者名
      今井貴大,飯島佑史,針谷達,須田善行,滝川浩史,神谷雅男,瀧真,長谷川祐史,辻信広,金子智,吉田健太郎,國次真輔,川口雅弘,清原修二,四戸汐里,寒河江祐介,伊藤未希雄,山田健
    • 学会等名
      平成28年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
    • 発表場所
      豊田工業高等専門学校
    • 年月日
      2016-09-12
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630112
  • [学会発表] T字状磁気フィルタ型真空アーク蒸着装置および高品位DLC膜の開発2016

    • 著者名/発表者名
      滝川浩史
    • 学会等名
      トライボロジー会議2016 春 東京
    • 発表場所
      国立オリンピック記念青少年総合センター
    • 年月日
      2016-05-23
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630112
  • [学会発表] PVD-CVD ハイブリッドプロセスによる窒素含有DLC 膜の形成2016

    • 著者名/発表者名
      飯島佑史, 今井貴大, 磯野凌, 針谷達, 須田善行, 滝川浩史, 神谷雅男, 瀧真, 長谷川祐史, 辻信広, 金子智, 國次真輔, サムイック, アヴィベンデイビッド, フィルマーティン,羽渕仁恵
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季
    • 発表場所
      朱鷺メッセ
    • 年月日
      2016-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630112
  • [学会発表] T-FAD を用いた窒素含有DLC 膜の作製2016

    • 著者名/発表者名
      飯島佑史,今井貴大,磯野凌,針谷達,須田善行,滝川浩史,神谷雅男,瀧真,長谷川祐史,辻信広,金子智,國次真輔,川口雅弘,羽渕仁恵,清原修二,伊藤未希雄,サムイック,アヴィベンデイビッド,フィルマーチン
    • 学会等名
      平成28年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
    • 発表場所
      豊田工業高等専門学校
    • 年月日
      2016-09-12
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630112
  • [学会発表] フィルタードパルスアーク蒸着法を用いたDLC 膜の作製と分析2016

    • 著者名/発表者名
      磯野凌, 針谷達, 飯島佑史, 今井貴大, 山野将史, 須田善行, 滝川浩史, 羽渕仁恵
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季
    • 発表場所
      朱鷺メッセ
    • 年月日
      2016-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630112
  • [学会発表] フィルタードアーク蒸着法を用いた他元素添加による機能化DLC膜の形成2016

    • 著者名/発表者名
      針谷達,今井貴大,飯島佑史,磯野凌,藤井裕真,須田善行,滝川浩史,神谷雅男,瀧真,長谷川祐史,辻信広
    • 学会等名
      第69回応用物理学会
    • 発表場所
      東京工業大学、大岡山キャンパス
    • 年月日
      2016-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630112
  • [学会発表] 成膜温度制御によるフィルタードアーク蒸着DLC の膜質変化2015

    • 著者名/発表者名
      藤井裕真,今井貴大,宮本優,針谷達,須田善行,滝川浩史,田上英人(北九州高専),神谷雅男(伊藤光学),瀧真,長谷川祐史,辻信広(オンワード技研),金子智(神奈川産技セ),安井治之(石川工試),國次真輔(岡山工技セ),川口雅弘(東京都産技研),三浦健一(大阪府産技研)
    • 学会等名
      平成27年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
    • 発表場所
      愛知県、名古屋工業大学
    • 年月日
      2015-09-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630112
  • [学会発表] 凹形状ドットPDMSモールド室温硬化ナノインプリントによるDLCエミッタパターンの形状2015

    • 著者名/発表者名
      吉田健吾,清原修二,石川一平,針谷達,滝川浩史,渡邊雅彦,杉山嘉也,小俣有紀子,倉島優一
    • 学会等名
      精密工学会2015年度関西地方定期学術講演会
    • 発表場所
      京都工芸繊維大学 松ヶ崎キャンパス
    • 年月日
      2015-06-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630112
  • [学会発表] フィルタードアーク蒸着によって形成したフッ素含有ダイヤモンドライクカーボン膜2015

    • 著者名/発表者名
      今井貴大,藤井裕真,山野将史,針谷達,須田善行,滝川浩史,神谷雅男,瀧真,長谷川祐史,辻信広
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      愛知県、名古屋国際会議場
    • 年月日
      2015-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630112
  • [学会発表] Fabrication of Diamond-Like carbon emitter patterns by Room-Temperature curing nanoimprint lithography with PDMS molds using polysiloxane2015

    • 著者名/発表者名
      S. Kiyohara, S. Yoshida, I. Ishikawa, T. Harigai, H. Takikawa, M. Watanabe, Y. Sugiyama, Y. Omata, Y. Kurashima
    • 学会等名
      2015 MRS Fall Meeting & Exhibit
    • 発表場所
      Boston, MA, USA
    • 年月日
      2015-11-29
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630112
  • [学会発表] フィルタードアーク蒸着法によるフッ素含有ダイヤモンドライクカーボン膜の形成2015

    • 著者名/発表者名
      今井貴大,藤井裕真,針谷達,須田善行,滝川浩史,神谷雅男,瀧真,長谷川祐史,辻信広
    • 学会等名
      表面技術協会(第132回講演大会)
    • 発表場所
      長野県、信州大学
    • 年月日
      2015-09-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630112
  • [学会発表] Super DLC coating on cutter for metal nameplates by T-shaped filtered arc deposition2015

    • 著者名/発表者名
      Y. Fujii, T. Imai, Y. Miyamoto, N. Ueda, M. Hosoo, T. Harigai, Y. Suda, H. Takikawa, H. Tanoue, M. Kamiya, M. Taki, Y. Hasegawa, N. Tsuji
    • 学会等名
      10th Anniversary Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2015)
    • 発表場所
      Korea,Jeju
    • 年月日
      2015-09-22
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630112
  • [学会発表] フィルタードアーク蒸着DLC膜の100℃近傍の成膜温度依存性2015

    • 著者名/発表者名
      藤井裕真,今井貴大,宮本優,針谷達,須田善行,滝川浩史,田上英人,神谷雅男,瀧真,長谷川祐史,辻信広,金子智,安井治之,國次真輔,川口雅弘,三浦健一
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      愛知県、名古屋国際会議場
    • 年月日
      2015-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630112
  • [学会発表] フィルタードアーク蒸着法を用いたF-DLC 膜の形成2015

    • 著者名/発表者名
      今井貴大,藤井裕真,山野将史,針谷達,須田善行,滝川浩史,神谷雅男(伊藤光学工業),瀧真,長谷川祐史,辻信広(オンワード技研)
    • 学会等名
      平成27年度電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
    • 発表場所
      愛知県、名古屋工業大学
    • 年月日
      2015-09-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630112
  • [学会発表] Fabrication of Diamond-Like carbon microgears in Room-Temperature curing nanoimprint lithography using ladder-type hydrogen silsesquioxane2015

    • 著者名/発表者名
      S. Kiyohara, Y. Shimizu, I. Ishikawa, T. Harigai, H. Takikawa, M. Watanabe, Y. Sugiyama, Y. Omata, Y. Kurashima
    • 学会等名
      2015 MRS Fall Meeting & Exhibit
    • 発表場所
      Boston, MA, USA
    • 年月日
      2015-11-29
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630112
  • [学会発表] ポリジメチルシロキサンを転写材料として用いた室温インプリントによるDLCピットパターンの形成2015

    • 著者名/発表者名
      清水友人,清原修二,石川一平,針谷達,滝川浩史,渡邊雅彦,杉山嘉也,小俣有紀子,倉島優一
    • 学会等名
      精密工学会2015年度関西地方定期学術講演会
    • 発表場所
      京都工芸繊維大学 松ヶ崎キャンパス
    • 年月日
      2015-06-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630112
  • [学会発表] Fabricasion of diamond-like carbon-based micro/nano device using room-temperature nanoimprint by industry-university collabotrtive reseach2015

    • 著者名/発表者名
      S. Kiyohara, I. Ishikawa, Y. Shimizu, S. Yoshida, T. Harigai, H. Takikawa, M Watanabe, Y. Sugiyama, Y. Omata Y. Kurashima
    • 学会等名
      The 9th International Symposium on Advances in Technology Education
    • 発表場所
      Nagaoka, Japan
    • 年月日
      2015-09-16
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630112
  • [学会発表] はしご型 HSQ を用いた室温硬化ナノインプリトソグラフィ によるDLCマイクロギヤの開発2014

    • 著者名/発表者名
      婦木 陽介 , 清原 修二 , 石川 一平,滝川浩史,渡邊 雅彦 , 杉山 嘉也 , 小俣有紀子,倉島優一
    • 学会等名
      2014年度精密工学会関西地方学術講演会
    • 発表場所
      近畿大学(大阪府・東大阪市)
    • 年月日
      2014-07-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630112
  • [学会発表] Synthesis of high purity carbon nanocoils on the sheet-like carbon deposits and reduction of byproducts using Fe fine particles2014

    • 著者名/発表者名
      清水慶明,丸山皓司,飯田哲生,須田善行,田上英人,滝川浩史,植 仁志,清水一樹,梅田良人
    • 学会等名
      第46回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • 発表場所
      東京都、東京大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [学会発表] Synthesis of high purity carbon nanocoils on the sheet-like carbon deposits and reduction of byproducts using Fe fine particles2014

    • 著者名/発表者名
      清水 慶明, 丸山 皓司, 飯田 哲生, 須田 善行, 田上 英人, 滝川 浩史, 植 仁志, 清水 一樹, 梅田 良人
    • 学会等名
      第46回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • 発表場所
      東京大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [学会発表] PDMS モールド 室温硬化ナノインプリト リソグラフィ による DLC ドットアレイ の作製2014

    • 著者名/発表者名
      吉田 捷吾 , 清原 修二 , 石川 一平,滝川浩史,渡邊 雅彦 , 杉山 嘉也 , 小俣有紀子,倉島優一
    • 学会等名
      2014年度精密工学会関西地方学術講演会
    • 発表場所
      近畿大学(大阪府・東大阪市)
    • 年月日
      2014-07-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630112
  • [学会発表] PDMS モールド 室温硬化ナノインプリト リソグラフィ による DLC ドットアレイ の作製2014

    • 著者名/発表者名
      吉田 捷吾 , 清原 修二 , 石川 一平,滝川浩史,渡邊 雅彦 , 杉山 嘉也 , 小俣有紀子,倉島優一
    • 学会等名
      2014年度精密工学会関西地方学術講演会
    • 発表場所
      大阪府、近畿大学
    • 年月日
      2014-07-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [学会発表] 鉄微粉末を使用したカーボンナノコイルの高純度合成および不純物の低減2014

    • 著者名/発表者名
      清水慶明,丸山皓司,飯田哲生,須田善行,田上英人,滝川浩史,植 仁志,清水一樹,梅田良人
    • 学会等名
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川県、青山学院大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [学会発表] はしご型 HSQ を用いた室温硬化ナノインプリトソグラフィ によるDLCマイクロギヤの開発2014

    • 著者名/発表者名
      婦木 陽介 , 清原 修二 , 石川 一平,滝川浩史,渡邊 雅彦 , 杉山 嘉也 , 小俣有紀子,倉島優一
    • 学会等名
      2014年度精密工学会関西地方学術講演会
    • 発表場所
      大阪府、近畿大学
    • 年月日
      2014-07-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [学会発表] 鉄微粉末を使用したカーボンナノコイルの高純度合成および不純物の低減2014

    • 著者名/発表者名
      清水 慶明, 丸山 皓司, 飯田 哲生, 須田 善行, 田上 英人, 滝川 浩史, 植 仁志, 清水 一樹, 梅田 良人
    • 学会等名
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [学会発表] 水素含有DLC(ta-C:Hおよびa-C:H)膜のTDS分析2013

    • 著者名/発表者名
      田上英人,角口公章,須田善行,滝川浩史,神谷雅男,瀧真,長谷川祐史,辻信広,サーレ アブスアイリキ
    • 学会等名
      第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [学会発表] カーボンナノコイルの高収率化に向けた合成条件の改善2013

    • 著者名/発表者名
      丸山 皓司, 須田 善行, 田上 英人, 滝川 浩史, 植 仁志, 清水 一樹, 梅田 良人
    • 学会等名
      第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      同志社大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [学会発表] カーボンナノコイル単体の電気抵抗測定2013

    • 著者名/発表者名
      國本 隆司, 米村 泰一郎, 須田 善行, 田上 英人, 滝川 浩史, 植 仁志, 清水 一樹, 梅田 良人
    • 学会等名
      第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      同志社大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [学会発表] Variation of lattice constants in MgO film prepared in oxidizing atmosphere2013

    • 著者名/発表者名
      S. Kaneko, H. Torii, T. Ito, M. Yasui, A. Fukushima, T. Tokumasu, S. Park, T. Endo H. Takikawa, M. Yoshimoto
    • 学会等名
      23rd annual meeting MRS-J, International Symposium
    • 発表場所
      Yokohama, Japan
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [学会発表] 室温硬化ナノインプリント法による有機ELの微細加工に関する研究2013

    • 著者名/発表者名
      櫻井圭輔,松本拓也,石川一平,清原修二,田上英人,須田善行,滝川浩史,田口佳男,杉山嘉也,小俣有紀子,倉島優一
    • 学会等名
      精密工学会 2013年度関西地方定期学術講演会
    • 発表場所
      大阪府,大阪工業大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [学会発表] マイクロ波プラズマCVDによる窒化炭素合成における水素フローの影響2013

    • 著者名/発表者名
      髙橋侑佑,羽渕仁恵,滝川浩史
    • 学会等名
      2014年第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      京都府、同志社大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [学会発表] DLCモールドを用いた室温硬化ナノインプリントリソグラフィによる超微細有機ELの作製2013

    • 著者名/発表者名
      櫻井圭輔,石川一平,清原修二,田口佳男,杉山嘉也,小俣有紀子,田上英人,須田善行,滝川浩史,倉島優一
    • 学会等名
      ナノ学会第11回大会
    • 発表場所
      東京都、東京工業大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [学会発表] カーボンナノコイルの高収率化に向けた合成条件の改善2013

    • 著者名/発表者名
      丸山 皓司, 須田 善行, 田上 英人, 滝川 浩史, 植 仁志, 清水 一樹, 梅田 良人
    • 学会等名
      第45回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • 発表場所
      大阪大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [学会発表] Preparation of measurement inductance device for single carbon nanocoil2013

    • 著者名/発表者名
      K. Kunimoto, F. Futagawa, Y. Suda, H. Tanoue, H. Takikawa, H. Ue, K. Shimizu, Y. Umeda
    • 学会等名
      The Irago Conference 2013
    • 発表場所
      Irago, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [学会発表] Measurement of electric resistance of a single carbon nanocoil2013

    • 著者名/発表者名
      國本 隆司, 米村 泰一郎, 須田 善行, 田上 英人, 滝川 浩史, 植 仁志, 清 水 一樹, 梅 田 良人
    • 学会等名
      第44回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • 発表場所
      東京大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [学会発表] Improvement of chemical vapor deposition for the purity of multi-walled carbon nanocoils2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Suda, S. L. Lim, K. Maruyama, H. Tanoue, H. Takikawa, H. Ue, K. Shimizu
    • 学会等名
      ISPlasma2013
    • 発表場所
      名古屋大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [学会発表] はしご型HSQを用いた室温硬化ナノインプリント法による超微細有機ELの開発2013

    • 著者名/発表者名
      松本拓也,石川一平,清原修二,櫻井圭輔,田上英人,須田善行,滝川浩史,渡邊雅彦,杉山嘉也,小俣有紀子,倉島優一
    • 学会等名
      日本高専学会第19回年会講演会
    • 発表場所
      高知県,高知工業高等専門学校
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [学会発表] カーボンナノコイル添加によるバッキーペーパーの機械的特性の向上2013

    • 著者名/発表者名
      丸山 皓司, 須田 善行, 滝川 浩史, 田上 英人, 植 仁志, 清水 一樹, 梅田良人
    • 学会等名
      第44回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • 発表場所
      東京大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [学会発表] Torsion fracture of carbon nanocoils2013

    • 著者名/発表者名
      T. Yonemura, Y. Suda, H. Tanoue, H. Takikawa, H. Ue, K. Shimizu, Y. Umeda
    • 学会等名
      2013 JSAP-MRS Joint symposia
    • 発表場所
      Doshisya Univ
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [学会発表] Preparation of Measurement Inductance Device for Single Carbon Nanocoil2013

    • 著者名/発表者名
      R. Kunimoto, M. Futagawa, Y. Suda, H. Tanoue, H. Takikawa, H. Ue, K. Shimizu and Y. Umeda
    • 学会等名
      The Irago Conference 2013
    • 発表場所
      Irago Sea-Park & Spa Hotel, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [学会発表] Improvement of chemical vapor deposition for the purity of multi-walled carbon nanocoils2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Suda, S. L. Lim, K. Maruyama, H. Tanoue, H. Takikawa, H. Ue, K. Shimizu
    • 学会等名
      IS Plasma 2013
    • 発表場所
      Nagoya Univ
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [学会発表] Improved mechanical property of bucky paper by adding carbon nanocoils2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Suda, K. Maruyama, H. Tanoue, H. Takikawa, H. Ue, K. Shimizu, Y. umeda
    • 学会等名
      The Irago Conference 2013
    • 発表場所
      Irago, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [学会発表] カーボンナノコイル単体の電気抵抗測定2013

    • 著者名/発表者名
      國本 隆司, 米村 泰一郎, 須田 善行, 田上 英人, 滝川 浩史, 植 仁志, 清水 一樹, 梅田 良人
    • 学会等名
      平成25年度電気学会基礎・材料・共通部門大会
    • 発表場所
      横浜国立大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [学会発表] Electrical resistance measurement of single carbon nanocoil2013

    • 著者名/発表者名
      國本 隆司, 米村 泰一郎, 須田 善行, 田上 英人, 滝川 浩史, 植 仁志, 清 水 一樹, 梅 田 良人
    • 学会等名
      第45回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • 発表場所
      大阪大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [学会発表] Electrical resistance measurement of single carbon nanocoil2013

    • 著者名/発表者名
      國本隆司, 米村泰一郎, 須田善行, 田上英人, 滝川浩史, 植 仁志, 清水一樹, 梅田良人
    • 学会等名
      第45回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • 発表場所
      大阪府、大阪大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [学会発表] Super DLC Film Formation with Filtered Vacuum Arc Deposition2013

    • 著者名/発表者名
      H. Takikawa
    • 学会等名
      The 9th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2013)
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [学会発表] Spring Constant Measurement of Carbon Nanocoils2013

    • 著者名/発表者名
      米村泰一郎, 須田善行, 田上英人, 滝川浩史, 植 仁志, 清水一樹, 梅田良人
    • 学会等名
      第45回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • 発表場所
      大阪府、大阪大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [学会発表] 反射率のその場計測によるスーパーDLC膜の膜厚制御2013

    • 著者名/発表者名
      細尾倫成,田上英人,須田善行,滝川浩史,神谷雅男,瀧真,長谷川祐史,辻信広,サーレ アブスアイリキ
    • 学会等名
      第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      京都府、同志社大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [学会発表] カーボンナノコイルのばね定数測定2013

    • 著者名/発表者名
      米村 泰一郎, 須田 善行, 田上 英人, 滝川 浩史, 植 仁志, 清水 一樹, 梅田 良人
    • 学会等名
      第45回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • 発表場所
      大阪大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [学会発表] カーボンナノコイル単体の電気抵抗測定2013

    • 著者名/発表者名
      國本隆司,米村泰一郎,須田善行,田上英人,滝川浩史, 植 仁志, 清水一樹, 梅田良人
    • 学会等名
      第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      京都府、同志社大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [学会発表] カーボンナノコイル単体の電気抵抗測定結果2013

    • 著者名/発表者名
      國本隆司,須田善行,田上英人,滝川浩史, 植 仁志, 清水一樹, 梅田良人
    • 学会等名
      平成25年電気学会基礎・材料共通部門大会
    • 発表場所
      神奈川県、横浜国立大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [学会発表] Properties of epitaxial AlN thin film deposited onsapphire substrate by ECR plasma2013

    • 著者名/発表者名
      S. Kaneko, T. Ito, M. Yasui, M. Kurouchi, T. Nagano, H. Torii, T. Amazawa, L. Seughwan, S. Park, A. Fukushima, T. Tikumasu, H. Takikawa
    • 学会等名
      6th International Conference on Advanced Infocomm Technology (ICAIT)
    • 発表場所
      Hsinchu, Taiwan
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [学会発表] Torsion Fracture of Carbon Nanocoils2013

    • 著者名/発表者名
      T. Yonemura, Y. Suda, H. Tanoue, H. Takikawa, H. Ue, K. Shimizu and Y. Umeda
    • 学会等名
      2013 JSAP-MRS Joint Symposia
    • 発表場所
      Doshisha Univ., Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [学会発表] Improvement of synthesis conditions for high yield of carbon nanocoils2013

    • 著者名/発表者名
      丸山皓司, 須田善行, 田上英人, 滝川浩史, 植 仁志, 清水一樹, 梅田良人
    • 学会等名
      第45回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • 発表場所
      大阪府、大阪大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [学会発表] Increasing Carbon Nanocoil Purity by Optimizing Fe/Sn Molar Ratio2013

    • 著者名/発表者名
      K. Maruyama, Y. Suda, H. Tanoue, H. Takikawa, H. Ue, K. Shimizu and Y. Umeda
    • 学会等名
      The Irago Conference 2013
    • 発表場所
      Irago Sea-Park & Spa Hotel, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [学会発表] サーレ アブスアイリキ, 反射率のその場計測によるスーパーDLC 膜の膜厚制御2013

    • 著者名/発表者名
      細尾 倫成, 田上 英人, 須田 善行, 滝川 浩史, 神谷 雅男, 瀧 真, 長谷川 祐史, 辻 信広
    • 学会等名
      第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      同志社大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [学会発表] Super DLC film formation with filtered vacuum arc deposition2013

    • 著者名/発表者名
      H. Takikawa
    • 学会等名
      The 9th Asian- European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2013)
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [学会発表] 反射率のその場計測によるスーパーDLC膜の膜厚制御2013

    • 著者名/発表者名
      細尾倫成,田上英人,須田善行,滝川浩史,神谷雅男,瀧真,長谷川祐史,辻信広,サーレ アブスアイリキ
    • 学会等名
      2014年第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      京都府、同志社大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [学会発表] Improved Mechanical Property of Bucky Paper by Adding Carbon Nanocoils2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Suda, K. Maruyama, H. Tanoue, H. Takikawa, H. Ue, K. Shimizu and Y. Umeda
    • 学会等名
      The Irago Conference 2013
    • 発表場所
      Irago Sea-Park & Spa Hotel, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [学会発表] 細孔底面への水素フリーDLC膜の成膜速度の向上2013

    • 著者名/発表者名
      森田悠介,田上英人,須田善行,滝川浩史,神谷雅男,瀧真,長谷川祐史,辻信広,サーレ アブスアイリキ
    • 学会等名
      第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [学会発表] 室温硬化インプリント‐リフトオフ法によるDLCドットアレイの作製2013

    • 著者名/発表者名
      松田将平,清原修二,石川一平,田口佳男,杉山嘉也,小俣有紀子,田上英人,滝川浩史,倉島優一
    • 学会等名
      ナノ学会第11回大会
    • 発表場所
      東京都、東京工業大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [学会発表] カーボンナノコイルの高収率化に向けた合成条件の改善2013

    • 著者名/発表者名
      丸山皓司,須田善行,田上英人,滝川浩史, 植 仁志, 清水一樹, 梅田良人
    • 学会等名
      第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      京都府、同志社大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [学会発表] Siウエハ上への水素フリーDLC膜の均一形成と微細パターン加工2013

    • 著者名/発表者名
      細尾倫成,田上英人,須田善行,滝川浩史,川島貴弘,柴田隆行,神谷雅男,瀧真,長谷川祐史,サーレ アブスアイリキ,辻信弘
    • 学会等名
      第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [学会発表] はしご型HSQを用いたPDMSモールド室温硬化ナノインプリント法によるDLCナノドットアレイのパターン形成2013

    • 著者名/発表者名
      松田将平,清原修二,石川一平,田口佳男,杉山嘉也,小俣有紀子,田上英人,滝川浩史,倉島優一
    • 学会等名
      精密工学会 2013年度関西地方定期学術講演会
    • 発表場所
      大阪府,大阪工業大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [学会発表] Super DLC Film Formation with Filtered Vacuum Arc Deposition (Invited)2013

    • 著者名/発表者名
      H. Takikawa
    • 学会等名
      "The 9th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2013) "
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [学会発表] Increasing carbon nanocoil purity by optimizing Fe/Sn molar ratio2013

    • 著者名/発表者名
      K. Maruyama, Y. Suda, H. Tanoue, H. Takikawa, H. Ue, K. Shimizu, Y. Umeda
    • 学会等名
      The Irago Conference 2013
    • 発表場所
      Irago, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [学会発表] Effects of dielectric barrier discharge treatment conditions on carbon nanofibers -their stand-up and enhancement of field emission property2012

    • 著者名/発表者名
      Y. Suda, Y. Sugioka, R. Kunimoto, H. Tanoue, H. Takikawa, H. Ue, K. Shimizu, Y. Umeda
    • 学会等名
      International Conference on Electronic materials (IUMRS-ICEM2012)
    • 発表場所
      Pacifico Yokohama
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [学会発表] Effects of Dielectric Barrier Discharge Treatment COnditions on Carbon Nanofibers -Their Stand-up and Enhancement of Field Emission Property-2012

    • 著者名/発表者名
      Y. Suda, Y. Sugioka, R. Kunimoto, H. Tanoue, H. Takikawa, H. Ue, K. Shimizu and Y. Umeda
    • 学会等名
      IUMRS-ICEM 2012 (Internariona Union of Materials Research Societhies - International Conference on Electronic Materials 2012)
    • 発表場所
      パシフィコ横浜
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [学会発表] フィルタードアーク蒸着法における細孔底面への水素フリーDLC膜の形成2012

    • 著者名/発表者名
      森田悠介,細尾倫成,柏木大幸,田上英人,須田善行,滝川浩史
    • 学会等名
      平成24年度電気関係学会東海支部大会
    • 発表場所
      豊橋技術科学大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [学会発表] マイクロ波プラズマCVD による窒化炭素合成における基板依存性2012

    • 著者名/発表者名
      高橋侑佑,羽渕仁恵, 鵜木武人, 細野幸太, 滝川 浩史
    • 学会等名
      第73回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      愛媛大学・松山大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [学会発表] 室温硬化ナノインプリントによるポリジメチルシロキサン酸化マスクパターンの形成2012

    • 著者名/発表者名
      池垣斗夢,清原修二,石川一平,滝川 浩史,田口佳男,杉山嘉也,小俣有紀子,倉島優一
    • 学会等名
      2012年度精密工学会 関西地方定期学術講演会
    • 発表場所
      立命館大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [学会発表] SEM 内におけるカーボンナノコイルの電気的特性の測定2012

    • 著者名/発表者名
      國本 隆司, 米村 泰一郎, 須田 善行, 田上 英人, 滝川 浩史, 植 仁志, 清水 一樹, 梅田 良人
    • 学会等名
      第43回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • 発表場所
      東北大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [学会発表] カーボンナノコイルの分散に対する界面活性剤の比較2012

    • 著者名/発表者名
      丸山 皓司, 須田 善行, 田上 英人, 滝川 浩史, 植 仁志, 清水 一樹, 梅田 良人
    • 学会等名
      平成24年度電気関係学会東海支部大会
    • 発表場所
      豊橋技術科学大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [学会発表] 室温硬化ナノインプリント-リフトオフ法にようるアルミニウムマスクパターンの形成2012

    • 著者名/発表者名
      池垣斗夢,清原修二,石川一平,田口佳男,杉山嘉也,小俣有紀子,滝川 浩史,倉島優一
    • 学会等名
      ナノ学会第10回大会
    • 発表場所
      大阪大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [学会発表] 黒鉛化処理がカーボンナノコイルの引張変形に及ぼす影響2012

    • 著者名/発表者名
      國本 隆司, 須田 善行, 滝川 浩史, 田上 英人, 植 仁志, 清水 一樹, 梅田 良人
    • 学会等名
      日本ばね学会秋季定例講演会
    • 発表場所
      京都タワーホテル
    • 年月日
      2012-11-02
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [学会発表] SEM内におけるカーボンナノコイルの電気的特性の測定2012

    • 著者名/発表者名
      國本 隆司, 米村 泰一郎,須田 善行,田上 英人,滝川 浩史,植 仁志,清水 一樹,梅田 良人
    • 学会等名
      第43回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • 発表場所
      東北大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [学会発表] Patterning of Tetrahedral Amorphous-Carbon Film by Electron Beam Lithography and Pick Up from Si-Wafer in Focused Ion Beam System2012

    • 著者名/発表者名
      田上英人, 滝川浩史, 他
    • 学会等名
      4th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials 2012
    • 発表場所
      中部大学
    • 年月日
      2012-03-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [学会発表] 水素フリー高密度DLC膜のパターニング,単離およびハンドリング2012

    • 著者名/発表者名
      田上英人, 滝川浩史, 他
    • 学会等名
      第59回春季応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      早稲田大学
    • 年月日
      2012-03-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [学会発表] 室温硬化ナノインプリントによる医療マイクロマシン用ダイヤモンドギアの作製2012

    • 著者名/発表者名
      伊藤茅,清原修二,石川一平,滝川 浩史,田口佳男,杉山嘉也,小俣有紀子,倉島優一
    • 学会等名
      ナノ学会第10回大会
    • 発表場所
      大阪大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [学会発表] カーボンナノコイルの引張前後における電気抵抗の測定用試料の作製2012

    • 著者名/発表者名
      國本 隆司, 米村 泰一郎, 須田 善行, 田上 英人, 滝川 浩史, 植 仁志, 清水 一樹, 梅田 良人
    • 学会等名
      第73回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      愛媛大学・松山大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [学会発表] 分散時間に対するカーボンナノコイルの長さ依存性2012

    • 著者名/発表者名
      丸山 皓司, 須田 善行, 滝川 浩史, 田上 英人, 植 仁志, 清水 一樹, 梅田 良人
    • 学会等名
      第43回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • 発表場所
      東北大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [学会発表] 進化するスーパーDLCコーティング技術2012

    • 著者名/発表者名
      滝川浩史
    • 学会等名
      平成23年度ものづくり交流フォーラム
    • 発表場所
      名古屋市工業研究所
    • 年月日
      2012-02-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [学会発表] T字状フィルタードアーク蒸着装置を用いた半球面状基材への水素フリーDLC膜均一成膜2012

    • 著者名/発表者名
      田上英人, 滝川浩史, 他
    • 学会等名
      2012年第125回表面技術協会講演大会
    • 発表場所
      東京都市大学
    • 年月日
      2012-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [学会発表] カーボンアークプラズマビームを用いた4インチSiウェハへのDLC膜の均一成膜2012

    • 著者名/発表者名
      細尾倫成,奥田浩史,田上英人,須田善行,滝川浩史,神谷雅男,長谷川祐史,瀧真,辻信広,石川剛史
    • 学会等名
      平成24年度電気関係学会東海支部大会
    • 発表場所
      豊橋技術科学大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [学会発表] 室温硬化ナノインプリントによる医療MEMS用DLCマイクロギアの開発2012

    • 著者名/発表者名
      伊藤茅,石川一平,清原修二,滝川 浩史,田口佳男,杉山嘉也,小俣有紀子,倉島優一
    • 学会等名
      2012年度精密工学会 関西地方定期学術講演会
    • 発表場所
      立命館大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [学会発表] 水素含有および水素フリーDLC膜の加熱に伴う構造変化2012

    • 著者名/発表者名
      角口公章, 滝川浩史, 他
    • 学会等名
      第59回春季応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      早稲田大学
    • 年月日
      2012-03-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [学会発表] 水素含有DLC膜の昇温脱離質量分析における昇温速度の影響2012

    • 著者名/発表者名
      角口公章,田上英人,須田善行,滝川浩史,神谷雅男,瀧真,長谷川祐史,辻信広,石川剛史
    • 学会等名
      平成24年度電気関係学会東海支部大会
    • 発表場所
      豊橋技術科学大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [学会発表] ダイヤモンドライクカーボン膜を作る・使う・評価する-成膜技術・応用領域・評価法2011

    • 著者名/発表者名
      滝川浩史
    • 学会等名
      KAST教育講座
    • 発表場所
      神奈川科学技術アカデミー
    • 年月日
      2011-07-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [学会発表] フィルタードアーク蒸着とスーパーハードDLC膜2011

    • 著者名/発表者名
      滝川浩史
    • 学会等名
      スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP部会)第122回定例研究会テーマ:「ハードマテリアルに関する最近の動向」
    • 発表場所
      機械振興会館
    • 年月日
      2011-03-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [学会発表] カーボンナノツイスト膜のフィラメント放電起毛に及ぼすPt オーバーコートの影響2011

    • 著者名/発表者名
      杉岡 由基, 須田 善行, 田上 英人, 滝川 浩史, 植 仁志, 清水 一樹, 梅田 良人
    • 学会等名
      第72回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      山形大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [学会発表] Pattering of Tetrahedral Amorphous Carbon Film by Electron Beam Lithography2011

    • 著者名/発表者名
      柏木大幸, 滝川浩史, 他
    • 学会等名
      The Asia-Pacific Interdisciplinary Research Conference 2011
    • 発表場所
      豊橋技術科学大学
    • 年月日
      2011-11-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [学会発表] 水素フリーダイヤモンドライクカーボン膜の半導体性評価2011

    • 著者名/発表者名
      田上英人,柏木大幸,奥田浩史,角口公章,須田善行,滝川浩史,神谷雅男,瀧真,長谷川祐史,辻信広,石川剛史
    • 学会等名
      平成23年度電気関係学会東海支部連合大会
    • 発表場所
      三重大学,三重県
    • 年月日
      2011-09-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [学会発表] 水素フリーダイヤモンドライクカーボン膜の半導体性評価2011

    • 著者名/発表者名
      田上英人, 滝川浩史, 他
    • 学会等名
      平成23年度電気関係学会東海支部連合大会
    • 発表場所
      三重大学
    • 年月日
      2011-09-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [学会発表] DLCの成膜方法と膜構造2011

    • 著者名/発表者名
      滝川浩史
    • 学会等名
      日本機械学会イベント総括!DLC膜を創る・測る・活かす
    • 発表場所
      名古屋大学VBL
    • 年月日
      2011-01-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [学会発表] ダイヤモンドライクカーボン膜を作る・使う・評価する-成膜技術・応用領域・評価法2011

    • 著者名/発表者名
      滝川浩史
    • 学会等名
      KAST教育講座
    • 発表場所
      かながわサイエンスパーク,神奈川県
    • 年月日
      2011-07-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [学会発表] Uniform Coating of High-Quality Tetrahedral Amorphous Carbon (ta-C) film on Si Wafer by Carbon Plasma Beam2011

    • 著者名/発表者名
      奥田浩史, 滝川浩史, 他
    • 学会等名
      The Asia-Pacific Interdisciplinary Research Conference 2011
    • 発表場所
      豊橋技術科学大学
    • 年月日
      2011-11-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [学会発表] 水素含有ダイヤモンドライクカーボン膜の昇温脱離質量分析と熱処理による特性変化2011

    • 著者名/発表者名
      角口公章, 滝川浩史, 他
    • 学会等名
      平成23年度電気関係学会東海支部連合大会
    • 発表場所
      三重大学
    • 年月日
      2011-09-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [学会発表] フィルタードアークプラズマビームを用いた半球面状金型へのta-C均一成膜2011

    • 著者名/発表者名
      奥田浩史, 滝川浩史, 他
    • 学会等名
      平成23年度電気関係学会東海支部連合大会
    • 発表場所
      三重大学
    • 年月日
      2011-09-27
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [学会発表] DLC膜の成膜技術、分類および応用展開2011

    • 著者名/発表者名
      滝川浩史
    • 学会等名
      技術者・研究者向け研修セミナー
    • 発表場所
      カメリアプラザ
    • 年月日
      2011-02-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [学会発表] フィルタードアーク蒸着で形成したDLC膜の酸素イオンエッチング2011

    • 著者名/発表者名
      柏木大幸, 滝川浩史, 他
    • 学会等名
      平成23年度電気関係学会東海支部連合大会
    • 発表場所
      三重大学
    • 年月日
      2011-09-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [学会発表] DLCの成膜方法と膜構造(II)2011

    • 著者名/発表者名
      滝川浩史
    • 学会等名
      日本機械学会講習会総括!DLCを創る・測る・活かす
    • 発表場所
      名古屋大学
    • 年月日
      2011-11-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [学会発表] カーボンナノツイスト膜のフィラメント放電起毛に及ぼすPtオーバーコートの影響2011

    • 著者名/発表者名
      杉岡由基,須田善行,田上英人,滝川浩史,植 仁志,清水一樹,梅田良人
    • 学会等名
      第72回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      山形県,山形大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656197
  • [学会発表] Super Hard Diamond-like Carbon Films -A State-of-the-Art-2011

    • 著者名/発表者名
      H.Takikawa
    • 学会等名
      Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2011)
    • 発表場所
      名古屋工業大学
    • 年月日
      2011-03-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [学会発表] Development of simple pyranometer using PV-cell array2010

    • 著者名/発表者名
      S.Satomi, A.Farizul, H.Tanoue, Y.Suda, H.Takikawa, S.Oke, K.Kawashima
    • 学会等名
      17th Asian Symposium on Ecotechnology(p.92)
    • 発表場所
      Unazuki, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560786
  • [学会発表] (招待)未来を拓くダイヤモンドライクカーボン膜2010

    • 著者名/発表者名
      滝川浩史
    • 学会等名
      名工大-産総研 調査研究関連研究会
    • 発表場所
      産総研 中部センター
    • 年月日
      2010-01-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [学会発表] スーパーハードDLC膜の作り方と応用2010

    • 著者名/発表者名
      滝川浩史
    • 学会等名
      ニューダイヤモンドフォーラム
    • 発表場所
      日本大学駿河台校舎
    • 年月日
      2010-10-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [学会発表] 真空アークの計測とシミュレーション2010

    • 著者名/発表者名
      滝川浩史
    • 学会等名
      2010年度放電学会シンポジウム
    • 発表場所
      日本大学駿河台校舎
    • 年月日
      2010-11-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [学会発表] Development of simple pyranometer using PV-cell array2010

    • 著者名/発表者名
      S.Sugiyama, M.A.Farizul, S.Oke, Y.Suda, H.Takikawa, K.Kawashima
    • 学会等名
      17th Asian Symposium on Ecotechnology
    • 発表場所
      Unazuki
    • 年月日
      2010-11-12
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560786
  • [学会発表] フィルタードアークプラズマビームを用いた水素フリーDLC膜の生成2010

    • 著者名/発表者名
      奥田浩史,田上英人,神谷雅男,柳田太一郎,内藤翔太,須田善行,滝川浩史,長谷川祐史,瀧真,辻信広,石川剛史,安井治之
    • 学会等名
      平成22年電気学会放電・静止器・開閉保護合同研究会
    • 発表場所
      東京都市大学,東京都
    • 年月日
      2010-06-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [学会発表] 太陽電池アレイ型簡易日射計の温度特性計測2010

    • 著者名/発表者名
      杉山智美, MOHD ARIF FARIZUL, 田上英人, 須田善行, 滝川浩史, 川嶋和子, 桶真一郎
    • 学会等名
      平成22年度日本太陽エネルギー学会・日本風力エネルギー協会合同研究発表会
    • 発表場所
      日本大学
    • 年月日
      2010-11-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560786
  • [学会発表] DLC膜の基礎科学/プラズマビームでつくるDLC超硬質膜とその特徴・応用可能性2010

    • 著者名/発表者名
      滝川浩史
    • 学会等名
      KAST教育講座
    • 発表場所
      かながわサイエンスパーク
    • 年月日
      2010-09-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [学会発表] 太陽電池アレイ型簡易日射計の温度補正2010

    • 著者名/発表者名
      杉山智美,Mohd Arif Farizul,須田善行,滝川浩史,桶真一郎,川嶋和子
    • 学会等名
      平成22年電気関係学会東海支部連合大会講演論文集(O4-1)
    • 発表場所
      中部大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560786
  • [学会発表] 真空アークによる薄膜合成新展開2010

    • 著者名/発表者名
      滝川浩史
    • 学会等名
      第7回プラズマ新領域研究会
    • 発表場所
      金沢大学自然科学研究棟本館
    • 年月日
      2010-11-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [学会発表] 太陽電池アレイ型簡易日射計の温度特性の計測2010

    • 著者名/発表者名
      杉山智美,Mohd Arif Farizul,田上英人,須田善行,滝川浩史,桶真一郎,川嶋和子
    • 学会等名
      太陽/風力エネルギー講演論文集2010(pp.585-588)
    • 発表場所
      日本大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560786
  • [学会発表] (招待)T字状フィルタードアーク蒸着装置と高品質スーパーハードDLC膜の開発2010

    • 著者名/発表者名
      滝川浩史
    • 学会等名
      第12回『トライボコーティングの現状と将来』シンポジウム
    • 発表場所
      理化学研究所 和光研究所鈴木梅太郎記念ホール
    • 年月日
      2010-02-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [学会発表] フィルタードアークプラズマビームの回転スキャンおよび偏向制御2010

    • 著者名/発表者名
      奥田浩史,柏木大幸,田上英人,神谷雅男,柳田太一郎,須田善行,滝川浩史,長谷川祐史,瀧真,辻信広,石川剛史,安井治之,金子智
    • 学会等名
      平成22年電気関係学会東海支部連合大会,I5-2
    • 発表場所
      中部大学,愛知県
    • 年月日
      2010-08-31
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [学会発表] 高品質DLC膜形成に向けた真空アークプラズマビームの制御2010

    • 著者名/発表者名
      滝川浩史
    • 学会等名
      平成22年電気学会基礎・材料・共通部門大会
    • 発表場所
      琉球大学
    • 年月日
      2010-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [学会発表] 薄膜高機能化を実現するフィルタードアーク蒸着システム2010

    • 著者名/発表者名
      滝川浩史
    • 学会等名
      第24回プラズマが拓くものづくり研究会(PLAM)
    • 発表場所
      サイエンス交流プラザ
    • 年月日
      2010-09-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [学会発表] 太陽電池アレイ型簡易日射計の温度補正2010

    • 著者名/発表者名
      杉山智美, Mohd Arif Farizul, 須田善行, 滝川浩史, 桶真一郎, 川嶋和子
    • 学会等名
      平成22年電気関係学会東海支部連合大会
    • 発表場所
      中部大学
    • 年月日
      2010-08-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560786
  • [学会発表] Advanced Vacuum Arc Technology for Thin Film Preparation2009

    • 著者名/発表者名
      滝川浩史
    • 学会等名
      22nd SYMPOSIUM ON PLASMA SCIENCE FOR MATERIALS
    • 発表場所
      The University of Tokyo
    • 年月日
      2009-06-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [学会発表] Super Hard DLC CoatingTechnology2009

    • 著者名/発表者名
      滝川浩史
    • 学会等名
      World Tribology Congress2009
    • 発表場所
      国立京都国際会館,京都府
    • 年月日
      2009-09-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [学会発表] Effect ofgas introduction position on substrateetching using Ar plasma-beam inμT-FAD2009

    • 著者名/発表者名
      H. Tanoue, M. Kamiya, S. Oke, Y. Suda, H. Takikawa, Y. Hasegawa, M. Taki, N. Tsuji, T. Ishikawa, H. Yasui
    • 学会等名
      SPSM-22
    • 発表場所
      東京大学,東京都
    • 年月日
      2009-06-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [学会発表] (招待)Super Hard DLC Coating Technology2009

    • 著者名/発表者名
      滝川浩史
    • 学会等名
      World Tribology Congress 2009 (WTC IV 2009)
    • 発表場所
      Kyoto International Conference Center, Japan
    • 年月日
      2009-09-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [学会発表] 太陽電池アレイ型簡易日射計の開発とフィールド試験2009

    • 著者名/発表者名
      杉山智美, Mohd Arif Farizul Bin Yahya, 桶真一郎, 須田善行, 滝川浩史, 川嶋和子
    • 学会等名
      太陽エネルギー学会/風力エネルギー協会合同研究発表会
    • 発表場所
      長崎ブリックホール
    • 年月日
      2009-11-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560786
  • [学会発表] 太陽電池アレイ型簡易日射計の開発とフィールド試験2009

    • 著者名/発表者名
      杉山智美,Mohd Arif Farizul,桶真一郎,須田善行,滝川浩史
    • 学会等名
      太陽/風力エネルギー講演論文集(pp.235-238)
    • 発表場所
      長崎ブリックホール
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560786
  • [学会発表] (招待)フィルタードアーク蒸着とスーパーハードDLC成膜技術2009

    • 著者名/発表者名
      滝川浩史
    • 学会等名
      第50回CVD研究会
    • 発表場所
      名古屋大学環境総合館
    • 年月日
      2009-12-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [学会発表] (招待)フィルタードアーク蒸着システムの機能アップ2009

    • 著者名/発表者名
      滝川浩史
    • 学会等名
      イオン・プラズマフォーラム 第21回三次元イオンプロセス研究会/第9回クリーントライボ研究会
    • 発表場所
      京都テルサ
    • 年月日
      2009-11-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [学会発表] (招待)フィルタードアーク蒸着システムの開発と機能性薄膜合成2009

    • 著者名/発表者名
      滝川浩史
    • 学会等名
      (社)表面技術協会 表面改質・硬化部会/材料機能ドライプロセス部会 合同例会
    • 発表場所
      東京都立産業技術研究センター
    • 年月日
      2009-07-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21360131
  • [学会発表] 温室内日射の計測のための太陽電池を用いた新型日射計の開発2008

    • 著者名/発表者名
      杉山智美,桶真一郎,須田善行,滝川浩史
    • 学会等名
      平成20年度電気学会東海支部若手セミナー「環境と調和した電力・エネルギー技術」
    • 発表場所
      豊橋技術科学大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560786
  • [学会発表] 自立機能性膜作製に向けた塩化ナトリウム薄膜犠牲層の形成

    • 著者名/発表者名
      宮本 優,藤井裕真,須田善行,滝川浩史,田上英人,西内満美子,榊 泰直,近藤公伯
    • 学会等名
      表面技術協会第130回講演大会
    • 発表場所
      京都府、京都大学
    • 年月日
      2014-09-22 – 2014-09-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [学会発表] チタンバッファーを用いたシリコン基板上に成長したダイアモンドライクカーボン

    • 著者名/発表者名
      金子智,松永崇,池永薫,伊藤健,安井学,堀内崇弘,安原重雄,三尋木勝洋,熊谷正夫,滝川浩史,下平英二,小林昌純,須藤理枝子,松田晃史,吉本護
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道、北海道大学
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [学会発表] 塩化ナトリウム犠牲層薄膜を用いた自立金薄膜の作製

    • 著者名/発表者名
      宮本優,藤井裕真,須田善行,滝川浩史,田上英人,西内満美子,榊泰直,近藤公伯
    • 学会等名
      電気・電子・情報関係学会東海支部連合会
    • 発表場所
      愛知県、中京大学
    • 年月日
      2014-09-08 – 2014-09-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [学会発表] Vacuum depositon of sodium chloride for using as a sacrifice layer

    • 著者名/発表者名
      Y. Miyamoto, Y. FUjii, Y. Suda, H. Takikawa, H. Tanoue, M. Nishiuchi, K. Kondo
    • 学会等名
      IS Plasma 2015
    • 発表場所
      Nagoya, Japan
    • 年月日
      2015-03-27 – 2015-03-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [学会発表] フィルタードアーク蒸着スーパーDLC膜付カッターを用いた種々の金属のドライ切削

    • 著者名/発表者名
      藤井裕真,宮本優,須田善行,滝川浩史,田上英人,神谷雅男,瀧真,長谷川祐史,辻信広
    • 学会等名
      電気・電子・情報関係学会東海支部連合会
    • 発表場所
      愛知県、中京大学
    • 年月日
      2014-09-08 – 2014-09-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [学会発表] 浸漬離膜すくい上げ法による多孔基板上への自立Au 薄膜の作製

    • 著者名/発表者名
      宮本優,山野将史,藤井裕真,須田善行,滝川浩史,田上英人,西内満美子,榊泰直,近藤公伯
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川県、東海大学
    • 年月日
      2015-03-11 – 2015-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [学会発表] フィルタードアーク蒸着スーパーDLC膜付カッターを用いた種々の金属のドライ切削

    • 著者名/発表者名
      藤井裕真,宮本優,須田善行,滝川浩史,田上英人,神谷雅男,瀧真,長谷川祐史,辻信広
    • 学会等名
      電気・電子・情報関係学会東海支部連合会
    • 発表場所
      中京大学(愛知県・名古屋市)
    • 年月日
      2014-09-08 – 2014-09-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630112
  • [学会発表] フィルタードアーク蒸着においてDC バイアスで成膜したDLC 膜の諸特性

    • 著者名/発表者名
      藤井裕真,今井貴大,宮本優,須田善行,滝川浩史,田上英人,神谷雅男,瀧真,長谷川祐史,辻信広,金子智,安井治之,國次真輔,川口雅弘,三浦 健一
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川県、東海大学
    • 年月日
      2015-03-11 – 2015-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [学会発表] 水素フリー超硬質DLC薄膜に接する混合有機溶媒の構造*FM-AFMと中性子反射率による解析

    • 著者名/発表者名
      水光俊介,藤井裕真,滝川浩史,平山朋子,大西洋
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東海大学(神奈川県・平塚市)
    • 年月日
      2015-03-11 – 2015-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630112
  • [学会発表] フィルタードアーク蒸着法で形成したDLC 膜の諸特性

    • 著者名/発表者名
      藤井裕真,今井貴大,宮本優,須田善行,滝川浩史,田上英人,神谷雅男,瀧真,長谷川祐史,辻信広,金子智,安井治之,國次真輔,川口雅弘,三浦 健一
    • 学会等名
      表面技術協会第131回講演大会
    • 発表場所
      関東学院大学(神奈川県・横浜市)
    • 年月日
      2015-03-04 – 2015-03-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630112
  • [学会発表] スーパーDLCコーティングカッターを用いた金属銘板のドライ加工切削

    • 著者名/発表者名
      藤井裕真,宮本 優,須田善行,滝川浩史,田上英人,神谷雅男,瀧 真,長谷川祐史,辻信広
    • 学会等名
      表面技術協会第130回講演大会
    • 発表場所
      京都府、京都大学
    • 年月日
      2014-09-22 – 2014-09-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [学会発表] スーパーDLCコーティングカッターを用いた金属銘板のドライ加工切削

    • 著者名/発表者名
      藤井裕真,宮本 優,須田善行,滝川浩史,田上英人,神谷雅男,瀧 真,長谷川祐史,辻信広
    • 学会等名
      表面技術協会第130回講演大会
    • 発表場所
      京都大学(京都府・京都市)
    • 年月日
      2014-09-22 – 2014-09-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630112
  • [学会発表] Dry engraving of metales nameplates using cutter with super DLC coat

    • 著者名/発表者名
      Y. Fujii, Y. Miyamoto, Y. Suda, H. Takikawa, H. Tanoue, M. Kamiya, M, Taki, Y. Hasegawa, N. Tsuji
    • 学会等名
      IS Plasma 2015
    • 発表場所
      Nagoya Univ. (Aichi, Nagoya)
    • 年月日
      2015-03-27 – 2015-03-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630112
  • [学会発表] 水素フリー超硬質DLC薄膜に接する混合有機溶媒の構造*FM-AFMと中性子反射率による解析

    • 著者名/発表者名
      水光俊介,藤井裕真,滝川浩史,平山朋子,大西洋
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川県、東海大学
    • 年月日
      2015-03-11 – 2015-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [学会発表] チタンバッファーを用いたシリコン基板上に成長したダイアモンドライクカーボン

    • 著者名/発表者名
      金子智,松永崇,池永薫,伊藤健,安井学,堀内崇弘,安原重雄,三尋木勝洋,熊谷正夫,滝川浩史,下平英二,小林昌純,須藤理枝子,松田晃史,吉本護
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学(北海道・札幌市)
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630112
  • [学会発表] フィルタードアーク蒸着法で形成したDLC 膜の諸特性

    • 著者名/発表者名
      藤井裕真,今井貴大,宮本優,須田善行,滝川浩史,田上英人,神谷雅男,瀧真,長谷川祐史,辻信広,金子智,安井治之,國次真輔,川口雅弘,三浦 健一
    • 学会等名
      表面技術協会第131回講演大会
    • 発表場所
      神奈川県、関東学院大学
    • 年月日
      2015-03-04 – 2015-03-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [学会発表] Dry engraving of metales nameplates using cutter with super DLC coat

    • 著者名/発表者名
      Y. Fujii, Y. Miyamoto, Y. Suda, H. Takikawa, H. Tanoue, M. Kamiya, M, Taki, Y. Hasegawa, N. Tsuji
    • 学会等名
      IS Plasma 2015
    • 発表場所
      Nagoya, Japan
    • 年月日
      2015-03-27 – 2015-03-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • [学会発表] グラファイト状窒化炭素薄膜の合成とその評価

    • 著者名/発表者名
      藤田詩織,羽渕仁恵,髙木俊作,滝川浩史
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道、北海道大学
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246048
  • 1.  榊原 建樹 (10023243)
    共同の研究課題数: 10件
    共同の研究成果数: 16件
  • 2.  須田 善行 (70301942)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 54件
  • 3.  清原 修二 (40299326)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 33件
  • 4.  金子 智 (40426359)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 49件
  • 5.  桶 真一郎 (20362329)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 22件
  • 6.  田上 英人 (50580578)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 30件
  • 7.  作田 忠裕 (80135318)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  田中 康規 (90303263)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 9.  宮本 昌弘
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 10.  所 哲郎 (10155525)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 11.  中川 重康 (60155679)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 12.  見目 喜重 (60273330)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 2件
  • 13.  山田 健二 (50249778)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 14.  羽渕 仁恵 (90270264)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 3件
  • 15.  柴田 隆行 (10235575)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 1件
  • 16.  川島 貴弘 (50378270)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 1件
  • 17.  針谷 達 (20757108)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 26件
  • 18.  長尾 雅行 (30115612)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 19.  松尾 廣伸 (70293610)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 20.  若原 昭浩 (00230912)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 21.  大門 裕之 (60335106)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 22.  小山 光彦 (50794038)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 23.  鈴木 泰雄
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 24.  石井 孝也
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 25.  丸中 正雄
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 26.  石川 一平
    共同の研究課題数: 0件
    共同の研究成果数: 3件

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