打越純一 UCHIKOSHI Jyunichi

研究者番号	90273581
その他のID
外部サイト
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2013年度: 大阪大学, 工学(系)研究科(研究院), 招へい教員 2013年度: 大阪大学, 工学(系)研究科(研究院), 研究員 2013年度: 大阪大学, 工学研究科, 招聘教員 2011年度 – 2012年度: 大阪大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 2011年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助教 … もっと見る 2009年度 – 2010年度: 大阪大学, 工学研究科, 助教 2007年度 – 2008年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助教 2006年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 助手 2001年度 – 2003年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助手 1998年度 – 1999年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助手 1995年度 – 1997年度: 大阪大学, 工学部, 助手隠す
審査区分/研究分野	研究代表者生産工学・加工学 / 機械工作・生産工学研究代表者以外機械工作・生産工学 / 生産工学・加工学
キーワード	研究代表者シリコン / エッチング / 形状創成 / 光エッチング / N-フルオロピリジニウム塩 / フッ素化剤 / silicon / 近赤外光 / 干渉計 / 界面 … もっと見る / 塗布 / 半導体表面 / 3次元形状 / 光転写 / hydrophilic surface / hydrophobic surface / exposure / applying / fluorination agent / N-fluoropyridinium salt / photo-etching / 固相反応 / 親水性 / 疎水性 / 露光 / straightness / coherence / phase shifting / absolute / flatness / near-infrared / interferometer / 透過性参照面 / 透過参照面 / 近赤外半導体レーザー / フィゾー干渉計 / シリコンミラー / 形状測定 / 部分コヒーレント / 真直度 / コヒーレンス長 / 位相シフト / 絶対形状 / 平面度 / 近赤外 / 修正加工 / 創成加工 / フォトエッチング / Ｎ－フルオロピリジニウム塩 / 表面 / 半導体 / インクジェット … もっと見る研究代表者以外形状測定 / 分子動力学 / molecular dynamics / computer simulation / directional stability / straightness measurement / straight motion mechanism / laser beam datum / straight datum / 方向安定性 / 真直度 / 直進機構 / レーザービーム / 直線基準 / 切削温度 / 計算機シミュレーション / 形状誤差 / 5軸同時制御 / 法線ベクトル / 高精度ミラー / hardness enhancement / mechanical properties / nanostructure / superlattice film / coating film / 摩擦・摩耗特性 / トライボコーティング材料 / 計算機援用設計 / 計算機実験 / 機械的特性 / 超格子薄膜 / トライボコーティング材 / flatness measurement / tracking accuracy / beam locus straightness / 追尾性 / 平面度 / 追尾精度 / 直線性 / 光線基準 / cutting temperature / ultimate cutting speed / cutting speed / high speed machining / cutting / 高速切削 / 機械加工 / 速度限界 / 加工速度 / 超高速切削 / 切削 / profile measurement / レーザビーム / Cutting temperature / Molecular dynamics / Machining accuracy / Cutting mechanism / Computer simulation / Diamond turning / Micromachining / 切削抵抗 / 仕上面性状 / 加工精度 / 切削機構 / 超精密切削 / ５軸同時制御 / 走査型形状測定装置 / ナノ精度 / 非球面ミラー / ロータリーエンコーダー / アルゴリズム / 最小二乗法 / 角度検出光学系 / 高精度ゴニオメータ / ロータリーエンコーダ / スロープエラー / 形状計測 / 超精密加工 / 絶対形状測定 / 非球面光学素子隠す

フッ素化剤－シリコン界面反応によるシリコン表面の精密位置合わせ光転写形状創成加工研究代表者
- 研究代表者
  
  打越純一
- 研究期間 (年度)
  2011 – 2013
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  大阪大学
次世代高精度ミラー製作のための法線ベクトル追跡型高速ナノ精度形状測定法の開発
- 研究代表者
  
  遠藤勝義
- 研究期間 (年度)
  2010 – 2013
- 研究種目
  
  基盤研究(S)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  大阪大学
フッ素化剤-シリコン界面固相反応を用いたシリコン表面の光転写・形状創成一括加工研究代表者
- 研究代表者
  
  打越純一
- 研究期間 (年度)
  2008 – 2010
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  大阪大学
次世代高精度ミラー製作のための傾斜角積分型超精密形状計測法の開発
- 研究代表者
  
  遠藤勝義
- 研究期間 (年度)
  2007 – 2010
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  大阪大学
固体フッ素化剤―シリコン界面固相反応を用いたシリコン表面の形状創成加工の研究研究代表者
- 研究代表者
  
  打越純一
- 研究期間 (年度)
  2006 – 2007
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  大阪大学
近赤外光干渉法によるシリコン単結晶平面ミラーの絶対形状測定法の研究研究代表者
- 研究代表者
  
  打越純一
- 研究期間 (年度)
  2001 – 2003
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  大阪大学
極限環境下での高機能トライボコーティング材の微細構造解析と設計
- 研究代表者
  
  島田尚一
- 研究期間 (年度)
  1998 – 1999
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  大阪大学
ナノメートル精度を持つ光線基準の開発と大型部品の超高精度平面度測定への応用
- 研究代表者
  
  島田尚一
- 研究期間 (年度)
  1997 – 1998
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  大阪大学
分子動力学による機械加工における加工速度の効果と限界の解明
- 研究代表者
  
  島田尚一
- 研究期間 (年度)
  1995 – 1996
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  大阪大学
光線基準を用いた超高精度直進機構の開発とその形状測定および表面加工への応用
- 研究代表者
  
  島田尚一, 井川直哉
- 研究期間 (年度)
  1994 – 1996
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  大阪大学
原子レベルの機械的表面創成機構の分子動力学による解明とその極限精度加工への応用
- 研究代表者
  
  井川直哉
- 研究期間 (年度)
  1993 – 1995
- 研究種目
  
  一般研究(A)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  大阪大学

すべて 2013 2012 2011 2010 2009 2008 2007 2006 その他

すべて雑誌論文学会発表産業財産権

[雑誌論文] Profile measurement of concave spherical mirror and a flat mirror using a high-speed nanoprofiler2013
- 著者名/発表者名
  Koji Usuki, Takao Kitayama, Hiroki Matsumura, Takuya Kojima, Junichi Uchikoshi, Yasuo Higashi and Katsuyoshi Endo
- 雑誌名
  
  Nanoscale Research Letters
  
  巻: vol.8 号: 1 ページ: 231-241
- DOI
  10.1186/1556-276x-8-231
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226005
[雑誌論文] Absolute flatness measurements of silicon mirrors by a three-intersection method by near-infrared interferometry2013
- 著者名/発表者名
  Junichi Uchikoshi, Yoshinori Hayashi, Noritaka Ajari, Kentaro Kawai, Kenta Arima and Mizuho Morita
- 雑誌名
  
  Nanoscale Research Letters
  
  巻: 8 号: 1 ページ: 2751-7
- DOI
  10.1186/1556-276x-8-275
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123, KAKENHI-PROJECT-24656101, KAKENHI-PROJECT-24686020
[雑誌論文] Characterization of Si etching with N-fluoropyridinium salt2012
- 著者名/発表者名
  Kentaro Tsukamoto, Junichi Uchikoshi, Masaki Otani, Toshinori Hirano, Yutaka Ie, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Kentaro Kawai, Kenta Arima, and Mizuho Morita
- 雑誌名
  
  Current Applied Physics
  
  巻: 12
- URL
  http://www.sciencedirect.com/science/journal/15671739/12/supp/S4
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[雑誌論文] Effects of a Laser Beam Profile to Measure an Aspheric Mirror on a High-Speed Nanoprofiler Using Normal Vector Tracing Method2012
- 著者名/発表者名
  H. Matsumura, D.Tanarua,T. Kitayama, K. Usuki, T.Kojima, J. Uchikoshi, Y. Higashi, and K. Endo
- 雑誌名
  
  Current Applied Physics
  
  巻: vol.12
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226005
[雑誌論文] Effects of a laser beam profile to measure an aspheric mirror on a high-speed nanoprofiler using normal vector tracing method2012
- 著者名/発表者名
  Hiroki Matsumura, Daisuke Tonaru, Takao Kitayama, Koji Usuki, Takuya, Kojima, Junichi Uchikoshi, Yasuo Higashi, Katsuyoshi Endo
- 雑誌名
  
  Current Applied Physics
  
  巻: vol.12 ページ: S47-S51
- DOI
  10.1016/j.cap.2012.04.022
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226005
[雑誌論文] Development of a High-Speed Nanoprofiler Using Normal Vector Tracing2012
- 著者名/発表者名
  Takao Kitayama, Daisuke Tonaru, Hiroki Matsumura,Junichi Uchikoshi, Yasuo Higashi and Katsuyoshi Endo
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials
  
  巻: Vol. 516 ページ: 606-611
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226005
[雑誌論文] Characterization of Si etching with N-fluoropyridinium salt2012
- 著者名/発表者名
  Kentaro Tsukamoto, Junichi Uchikoshi, Masaki Otani, Toshinori Hirano, Yutaka Ie, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Kentaro Kawai, Kenta Arima, Mizuho Morita
- 雑誌名
  
  Current Applied Physics
  
  巻: 12
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[雑誌論文] Photoetching of Silicon by N-Fluoro pyridinium Salt2010
- 著者名/発表者名
  Kentaro Tsukamoto, Junichi Uchikoshi, Shigeharu Goto, Tatsuya Kawase, Noritaka Ajari, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Kenta Arima, Mizuho Morita
- 雑誌名
  
  Electrochemical and Solid-State Letters 13
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560107
[雑誌論文] Photoetching of Silicon by N-Fluoropyridinium Salt2010
- 著者名/発表者名
  Kentaro Tsukamoto, Junichi Uchikoshi, Shigeharu Goto, Tatsuya Kawase, Noritaka Ajari, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Kenta Arima, Mizuho Morita
- 雑誌名
  
  Electrochemical and Solid-State Letters
  
  巻: 13
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560107
[雑誌論文] Absolute Line Profile Measurements of Silicon Plane Mirrors by Near-Infrared Inte rferometry2008
- 著者名/発表者名
  Junichi UCHIKOSHI, Amane TSUDA, Noritaka AJARI, Taichirou OKAMOTO, Kenta ARIMA, Mizuho MORITA
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics 47
  
  ページ: 8978-8981
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560107
[雑誌論文] Characterization of Patterned Oxide Buried in Bonded Silicon-on-Insulator Wafers by Near-Infrared Scattering Topography and Microscopy2008
- 著者名/発表者名
  Xing Wu, Junichi Uchikoshi, Takaaki Hirokane, Ryuta Yamada, Akihiro Takeuchi, Kenta Arima, Mizuho Morita
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics 47(inpress)
- NAID
  10022549248
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18560104
[雑誌論文] Characterization of Patterned Oxide Buried in Bonded Silicon-on-Insulator Wafers by Near-Infrared Scattering Topography and Microscopy2008
- 著者名/発表者名
  Xing WU, Junichi UCHIKOSHI, Takaaki HIROKANE, Ryuta YAMADA, Akihiro TAKEUCHI, Kenta ARIMA, Mizuho MORITA
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics 47
  
  ページ: 3041-3045
- NAID
  10022549248
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560107
[雑誌論文] Absolute Line Profile Measurements of Silicon Plane Mirrors by Near-Infrared Interferometry2008
- 著者名/発表者名
  Junichi UCHIKOSHI
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 47 ページ: 8978-8981
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560107
[雑誌論文] Absolute line profile measurements of plane silicon mirrors with an anti-reflection film using near-infrared ray interferometry2006
- 著者名/発表者名
  N.Ajari, J.Uchikoshi, A.Tsuda, T.Okamoto, T.Hirokane, A.Funamoto, K.Arima, M.Morita
- 雑誌名
  
  PROGRAM and ABSTRACTS, Second International Symposium on Standard Materials and Metrology for Nanotechnology. Tokyo, 2006
  
  ページ: 25-26
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18560104
[雑誌論文] Absolute straightness measurements of plane silicon mirrors with wedge by near-infrared ray interferometry2006
- 著者名/発表者名
  Noritaka Ajari, Junichi Uchikoshi, Amane Tsuda, Akihiro Funamoto, Kenta Arima, Mizuho Morita
- 雑誌名
  
  Extended Abstracts of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology
  
  ページ: 127-128
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18560104
[雑誌論文] 近赤外干渉計によるシリコンミラーの絶対形状測定-ウェッジ付きシリコンミラーの絶対形状測定-2006
- 著者名/発表者名
  阿砂利典孝, 打越純一, 津田周, 廣兼孝亮, 有馬健太, 森田瑞穂
- 雑誌名
  
  精密工学会2006年度関西地方定期学術講演会講演論文集
  
  ページ: 57-58
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18560104
[雑誌論文] Characterization of Void in Bonded SOI Wafers by Controlling Coherence Length of Near-Infrared Microscope2006
- 著者名/発表者名
  Noritaka Ajari, Junichi Uchikoshi, Takaaki Hirokane, Kenta Arima, Mizuho Morita
- 雑誌名
  
  Extended Abstracts of the 2006 International Conference on Solid State Devices and Materials, Yokohama, 2006
  
  ページ: 486-487
- NAID
  10022545814
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18560104
[産業財産権] NORMAL VECTOR TRACING ULTRA-PRECISION SHAPE MEASUREMENT METHOD2013
- 発明者名
  遠藤勝義、打越純一、東保男
- 権利者名
  大阪大学
- 産業財産権種類
  特許
- 出願年月日
  2013-02-17
- 外国
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226005
[産業財産権] エッチング方法2012
- 発明者名
  森田瑞穂、打越純一、塚本健太郎、大谷真輝、永井隆文、足達健二
- 権利者名
  国立大学法人大阪大学、ダイキン工業
- 産業財産権番号
  2012-044861
- 出願年月日
  2012
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[産業財産権] エッチング方法2012
- 発明者名
  森田瑞穂、打越純一、塚本健太郎、大谷真輝、永井孝文、足達健二
- 権利者名
  国立大学法人大阪大学、ダイキン工業
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2012-044861
- 出願年月日
  2012-02-29
- 外国
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[産業財産権] 法線ベクトル追跡型超精密形状測定法2011
- 発明者名
  遠藤勝義, 打越純一
- 権利者名
  国立大学法人大阪大学
- 産業財産権種類
  特許
- 出願年月日
  2011-06-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226005
[産業財産権] エッチング方法2011
- 発明者名
  森田瑞穂、打越純一、塚本健太郎、永井孝文、足達健二
- 権利者名
  国立大学法人大阪大学、ダイキン工業
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2011-264131
- 出願年月日
  2011-12-01
- 外国
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[産業財産権] エッチング方法2011
- 発明者名
  森田瑞穂、打越純一、塚本健太郎、永井隆文、足達健二
- 権利者名
  国立大学法人大阪大学、ダイキン工業
- 産業財産権番号
  2011-264131
- 出願年月日
  2011
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[産業財産権] 法線ベクトル追跡型超精密形状測定方法2010
- 発明者名
  遠藤勝義、打越純一、東保男
- 権利者名
  大阪大学、大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構
- 産業財産権番号
  2010-182197
- 出願年月日
  2010-08-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206019
[産業財産権] 少なくとも片面が粗面化された太陽電池用基板2009
- 発明者名
  森田瑞穂、打越純一、足達健二、永井隆文
- 権利者名
  大阪大学、ダイキン工業
- 産業財産権番号
  2009-273464
- 出願年月日
  2009-12-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560107
[産業財産権] 特許権2009
- 発明者名
  森田瑞穂、打越純一、足達健二、永井隆文
- 権利者名
  大阪大学
- 産業財産権番号
  2008-085942
- 出願年月日
  2009-03-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560107
[産業財産権] エッチング方法2008
- 発明者名
  森田瑞穂、打越純一、足達健二、永井隆文
- 権利者名
  大阪大学、ダイキン工業株式会社
- 産業財産権番号
  2008-085942
- 出願年月日
  2008-03-28
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- 外国
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18560104
[学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いた光エッチングによるシリコンのランダム逆ピラミッドの形成2013
- 著者名/発表者名
  足達健二、永井隆文、平野利典、大谷真輝、川合健太郎、打越純一、森田瑞穂
- 学会等名
  第36回フッ素化学討論会
- 発表場所
  つくば国際会議場(つくば市)
- 年月日
  2013-10-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いた光エッチングによるシリコンのランダム逆ピラミッドの形成2013
- 著者名/発表者名
  平野利典、打越純一、大谷真輝、永井隆文、足達健二、川合健太郎、有馬健太、森田瑞穂
- 学会等名
  第60回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  厚木市
- 年月日
  2013-03-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[学会発表] Development of Silicon Photo-Etching with N-Fluoropyridinium Salts2012
- 著者名/発表者名
  Junichi Uchikoshi, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Kentaro Kawai, Kenta Arima and Mizuho Morita
- 学会等名
  Fifth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka, Japan
- 年月日
  2012-10-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[学会発表] Formation of Three-Dimensional Shape in Silicon Surface by Photo-Etching with N-Fluoropyridinium Salts2012
- 著者名/発表者名
  Masaki Otani, Junichi Uchikoshi, Toshinori Hirano, Kentaro Tsukamoto, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Kentaro Kawai, Kenta Arima and Mizuho Morita
- 学会等名
  Fifth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka, Japan
- 年月日
  2012-10-23
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いた光エッチングによるSi表面テクスチャの形成2012
- 著者名/発表者名
  大谷真輝、打越純一、塚本健太郎、平野利典、永井隆文、足達健二、川合健太郎、有馬健太、森田瑞穂
- 学会等名
  2012年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  八王子市
- 年月日
  2012-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[学会発表] 法線ベクトル追跡型高速ナノ形状測定法の開発-自律較正法を用いた光路の絶対長決定-2012
- 著者名/発表者名
  北山貴雄, 戸成大輔, 松村拓己, 薄木宏治, 小嶋拓也, 打越純一, 遠藤勝義, 東保男
- 学会等名
  2012年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  首都大学東京(Japan)
- 年月日
  2012-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226005
[学会発表] Absolute Flatness Measurements of Silicon Mirrors by A Three-Intersections Method Using Near-Infrared Interferometry2012
- 著者名/発表者名
  Junichi Uchikoshi, Yoshinori Hayashi, Noritaka Ajari, Katsumi Oda, Taro Arai, Kentaro Kawai, Kenta Arima and Mizuho Morita
- 学会等名
  Fifth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka, Japan
- 年月日
  2012-10-23
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[学会発表] Optical property of random inverted-pyramid textures on Si surface by etching with Nfluoropyridinium salts2012
- 著者名/発表者名
  Masaki Otani, Junichi Uchikoshi, Kentaro Tsukamoto, Toshinori Hirano, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Kentaro Kawai, Kenta Arima, and Mizuho Morita
- 学会等名
  PACIFIC RIM MEETING ON ELECTROCHEMICAL AND SOLID-STATE SCIENCE
- 発表場所
  Honolulu, Hawaii, U.S.A.
- 年月日
  2012-10-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[学会発表] Photo-etching of Silicon by N-Fluoropyridinium Salts2012
- 著者名/発表者名
  Kenji Adachi, Takabumi Nagai, Junichi Uchikoshi, Kentaro Tsukamoto, Masaki Otani, and Mizuho Morita
- 学会等名
  20th INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON FLUORINE CHEMISTRY 2012
- 発表場所
  Kyoto, Japan
- 年月日
  2012-07-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いたエッチングによるSiのランダム逆ピラミッドの形成2012
- 著者名/発表者名
  平野利典、打越純一、大谷真輝、塚本健太郎、永井隆文、足達健二、川合健太郎、有馬健太、森田瑞穂
- 学会等名
  2012年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  北九州市
- 年月日
  2012-09-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[学会発表] Formation of Si Random Inverted-Pyramids by Etching with N-Fluoropyridinium Salts2012
- 著者名/発表者名
  Toshinori Hirano, Junichi Uchikoshi, Masaki Otani, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Kentaro Kawai, Kenta Arima and Mizuho Morita
- 学会等名
  Fifth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka, Japan
- 年月日
  2012-10-23
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いた光エッチングによるシリコン表面の3次元形状の作製2011
- 著者名/発表者名
  大谷真輝、打越純一、塚本健太郎、永井隆文、足達健二、川合健太郎、有馬健太、森田瑞穂
- 学会等名
  2011年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京都
- 年月日
  2011-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560107
[学会発表] Metal Particulates on Si Etching with N-Fluoropyridinium Salts2011
- 著者名/発表者名
  Masaki Otani, Junichi Uchikoshi, Kentaro Tsukamoto, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Kentaro Kawai, Kenta Arima, and Mizuho Morita
- 学会等名
  Extended Abstracts of Fourth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka, Japan
- 年月日
  2011-10-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[学会発表] 法線ベクトル追跡型高速ナノ形状測定法の開発-小曲率半径R=10mm球面ミラー形状測定の可能性-2011
- 著者名/発表者名
  松村拓己, 戸成大祐, 北山貴雄, 薄木宏治, 小嶋拓也, 打越純一, 東保男, 遠藤勝義
- 学会等名
  精密工学会2011年度関西地方定期学術講演会
- 発表場所
  兵庫県立大学(Japan)
- 年月日
  2011-06-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226005
[学会発表] Design of Optical Head for New High-Speed Nanoprofiler2011
- 著者名/発表者名
  H. Matsumura, D. Tonaru,T. Kitayama, K. Usuki, T.Kojima, J. Uchikoshi, Y. Higashi, and K. Endo
- 学会等名
  Fourth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka, Japan
- 年月日
  2011-10-31
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226005
[学会発表] Cu assisted etching with N-fluoropyridinium salts2011
- 著者名/発表者名
  Kentaro Tsukamoto, Junichi Uchikoshi, Masaki Otani,Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Kentaro Kawai, Kenta Arima, and Mizuho Morita
- 学会等名
  Extended Abstracts of Fourth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka, Japan
- 年月日
  2011-10-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[学会発表] 法線ベクトル検出型超精密形状測定法による球面ミラーの形状測定2011
- 著者名/発表者名
  戸成大祐、松村拓己、北山貴雄、打越純一、東保男、遠藤勝義
- 学会等名
  2011年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東洋大学、東京都
- 年月日
  2011-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226005
[学会発表] Metal Particulates on Si Etching with N-fluoropyridinium Salts2011
- 著者名/発表者名
  Masaki Otani, Junichi Uchikoshi, Kentaro Tsukamoto, Takabumi Nagai, Kenji Adachi,Kentaro Kawai, Kenta Arima and Mizuho Morita
- 学会等名
  Extended Abstracts of Fourth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[学会発表] 法線ベクトル追跡型高速ナノ精度形状測定法の開発-誤差解析と測定装置の校正-2011
- 著者名/発表者名
  戸成大祐, 松村拓己, 北山貴雄, 打越純一, 東保男, 遠藤勝義
- 学会等名
  2011年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  金沢大学(Japan)
- 年月日
  2011-09-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226005
[学会発表] Nano-radian resolution gradient integrated surface profiler2011
- 著者名/発表者名
  Y. Higashi, Zhang Xiao-Wei,J. Uchikoshi, T. Kume, K.Enami, and K. Endo
- 学会等名
  SPIE 0ptifab2011
- 発表場所
  Rochester, NY, USA
- 年月日
  2011-05-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226005
[学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いた光エッチングによるシリコン表面の精密位置合わせ3次元形状創成2011
- 著者名/発表者名
  大谷真輝、打越純一、塚本健太郎、永井隆文、足達健二、川合健太郎、有馬健太、森田瑞穂
- 学会等名
  2011年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  金沢市
- 年月日
  2011-09-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[学会発表] Development of a High-Speed Nanoprofiler Using NormalVector Tracing2011
- 著者名/発表者名
  T.Kitayama, D.Tonaru, H.Matsumura, J.Uchikoshi, Y.Higashi, and K.Endo
- 学会等名
  4th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology
- 発表場所
  Hong Kong, China
- 年月日
  2011-11-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226005
[学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いた光エッチングによるシリコン表面の3次元形状の作製2011
- 著者名/発表者名
  大谷真輝、打越純一、塚本健太郎、永井隆文、足達健二、川合健太郎、有馬健太、森田瑞穂
- 学会等名
  2011年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東洋大学(東京都)(講演会は中止)
- 年月日
  2011-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560107
[学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いた光エッチングによるシリコン表面の精密位置合わせ３次元形状創成2011
- 著者名/発表者名
  大谷真輝、打越純一、塚本健太郎、永井隆文、足達健二、川合健太郎、有馬健太、森田瑞穂
- 学会等名
  2011年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  金沢市
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[学会発表] 次世代非球面レンズ製作のための傾斜角積分型ナノ精度形状測定装置の開発-測定原理と測定方法-2010
- 著者名/発表者名
  東保夫、遠藤勝義、打越純一、久米達哉、江並和宏
- 学会等名
  2010年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  名古屋大学、名古屋市
- 年月日
  2010-09-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226005
[学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いたシリコンの光エッチング機構の考察2010
- 著者名/発表者名
  塚本健太郎、打越純一、後藤栄晴、大谷真輝、永井隆文、足達健二、有馬健太、森田瑞穂
- 学会等名
  第71回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  長崎市
- 年月日
  2010-09-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560107
[学会発表] Development of a new high-speed nano-profiler using normal vector tracing method for next-generation ultraprecision mirrors2010
- 著者名/発表者名
  K.Endo, J.Uchikoshi, Y.Higashi
- 学会等名
  Third International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka、Japan
- 年月日
  2010-09-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226005
[学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いたシリコンの光エッチング2010
- 著者名/発表者名
  足達健二、永井隆文、打越純一、塚本健太郎、大谷真輝、森田瑞穂
- 学会等名
  第34回フッ素化学討論会
- 発表場所
  札幌サンプラザ(札幌市)
- 年月日
  2010-10-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560107
[学会発表] Consideration of photo-etching mechanism of Si with N-fluoropyridinium salt2010
- 著者名/発表者名
  Kentaro Tsukamoto, Junichi Uchikoshi, Masaki Otani, Shigeharu Goto, Yutaka Ie, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Kenta Arima, Mizuho Morita
- 学会等名
  Extended Abstracts of Third International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  大阪大学中之島センター(大阪市)
- 年月日
  2010-11-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560107
[学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いたシリコンの光エッチング2010
- 著者名/発表者名
  足達健二、永井隆文、打越純一、塚本健太郎、大谷真輝、森田瑞穂
- 学会等名
  第34回フッ素化学討論会
- 発表場所
  札幌市
- 年月日
  2010-10-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560107
[学会発表] Consideration of photo-etching mechanism of Si with N-fluoropyridinium salt2010
- 著者名/発表者名
  Kentaro Tsukamoto, Junichi Uchikoshi, Masaki Otani, Shigeharu Goto, Yutaka Ie, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Kenta Arima, Mizuho Morita
- 学会等名
  Extended Abstracts of Third International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka, Japan
- 年月日
  2010-11-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560107
[学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いたシリコンの光エッチング機構の考察2010
- 著者名/発表者名
  塚本健太郎、打越純一、後藤栄晴、大谷真輝、永井隆文、足達健二、有馬健太、森田瑞穂
- 学会等名
  第71回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  長崎大学(長崎市)
- 年月日
  2010-09-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560107
[学会発表] Formation of Three-Dimensional Shape in Silicon by Photo-etching with N-Fluoropyridinium Salts2009
- 著者名/発表者名
  K.Tsukamoto, J.Uchikoshi, S.Goto1, T.Nagai, K.Adachi, K.Arima, M.Morita
- 学会等名
  Extended Abstracts of Second International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka, Japan
- 年月日
  2009-11-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560107
[学会発表] Development of surface gradient integrated profiler-Precise coordinate determination of normal vector measured points by self-calibration method and new data analysis2009
- 著者名/発表者名
  T.Ueno, S.Tachibanada, Y.Higashi, J.Uchikoshi, K.Endo
- 学会等名
  3rd International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology
- 発表場所
  福岡県北九州市
- 年月日
  2009-11-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206019
[学会発表] Development of surface gradient integrated profiler-Precise coordinate determination of normal vector measured points by self-calibration method and new data analysis-2009
- 著者名/発表者名
  T.Ueno, S.Tachibanada, Y.Higashi, J.Uchikoshi, K.Endo
- 学会等名
  3rd International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology
- 発表場所
  Kitakyusyu, Japan
- 年月日
  2009-11-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206019
[学会発表] 超精密非球面形状計測法に関する研究-法線ベクトル測定値からの形状導出アルゴリズムの開発-2009
- 著者名/発表者名
  上野智裕, 橘田繁樹, 打越純一, 遠藤勝義, 東保男
- 学会等名
  精密工学会2009年度関西地方定期学術講演会
- 発表場所
  豊中市
- 年月日
  2009-05-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206019
[学会発表] 超精密非球面形状計測法に関する研究-小型試料の高精度,高速計測装置の開発-2009
- 著者名/発表者名
  上野智裕, 橘田繁樹, 打越純一, 遠藤勝義, 東保男
- 学会等名
  2009年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  神戸市
- 年月日
  2009-09-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206019
[学会発表] High-precision profile measurement of a small radius lens by surface gradient integrated profiler2009
- 著者名/発表者名
  Y.Higashi, T.Kume, K.Enami, K.Endo, J.Uchikoshi, K.Nomura, T.Miyawaki, S.Tachibanada, T.Ueno
- 学会等名
  SPIE Optics+Photonics 2009
- 発表場所
  San Diego, California USA
- 年月日
  2009-08-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206019
[学会発表] 超精密非球面形状計測法に関する研究-小型試料の高精度,高速計測装置の開発-2009
- 著者名/発表者名
  上野智裕, 橘田繁樹, 打越純一, 遠藤勝義, 東保男
- 学会等名
  2009年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  兵庫県神戸市
- 年月日
  2009-09-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206019
[学会発表] High-precision prof ile measurement of a small radius lens by surface gradient integrated profiler2009
- 著者名/発表者名
  Y. Higashi, T. Kume, K. Enami, K. Endo, J. Uchikoshi, K. Nomura, T. Miyawaki, S. Tac hibanada, T. Ueno
- 学会等名
  SPIE Optics+Photonics 2009
- 発表場所
  SanDiego, USA
- 年月日
  2009-08-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206019
[学会発表] High-precision profile measurement of a small radius lens by surface gradient integrated profiler2009
- 著者名/発表者名
  Y.Higashi, T.Kume, K.Enami, K.Endo, J.Uchikoshi, K.Nomura, T.Miyawaki, S.Tachibanada, T.Ueno
- 学会等名
  SPIE Optics+Photonics 2009
- 発表場所
  San Diego, USA
- 年月日
  2009-08-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206019
[学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いたシリコンの3次元形状の作製2009
- 著者名/発表者名
  塚本健太郎、後藤重晴、永井隆文、足達健二、打越純一、森田瑞穂
- 学会等名
  2009年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  神戸市、日本
- 年月日
  2009-09-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560107
[学会発表] Formation of Three-Dimensional Shape in Silicon by Photo-etching withN-Fluoropyridinium Salts2009
- 著者名/発表者名
  K.Tsukamoto, J.Uchikoshi, S.Goto, T.Nagai, K.Adachi, K.Arima, M.Morita
- 学会等名
  Extended Abstracts of Second International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
- 発表場所
  Osaka, Japan
- 年月日
  2009-11-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560107
[学会発表] Photo-etching of Silicon by N-Fluoropyridinium Salt2009
- 著者名/発表者名
  Shigeharu Goto, Kentaro Tsukamoto, Tatsuya Kawase, Noritaka Ajari, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Junichi Uchikoshi, Mizuho Morita
- 学会等名
  Abstracts of 216th Meeting of The Electrochemical Society
- 発表場所
  Vienna, Austria
- 年月日
  2009-10-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560107
[学会発表] Surface Shape Measurements of Silicon Photo-etched with N-fluoropyridinium salts by Near-infrared Transmission Interferometry2009
- 著者名/発表者名
  Junichi Uchikoshi, Noritaka Ajari, Kentaro Tsukamoto, Shigeharu Goto, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Kenta Arima, Mizuho Morita
- 学会等名
  Extended Abstracts of International Workshop on X-ray Mirror Design, Fabrication, and Metrology
- 発表場所
  Suita, Osaka, Japan
- 年月日
  2009-09-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560107
[学会発表] 超精密非球面形状計測法に関する研究 -法線ベクトル測定値からの形状導出アルゴリズムの開発-2009
- 著者名/発表者名
  上野智裕, 橘田繁樹, 打越純一, 遠藤勝義, 東保男
- 学会等名
  精密工学会2009年度関西地方定期学術講演会
- 発表場所
  大阪府豊中市
- 年月日
  2009-05-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206019
[学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いたシリコンの光エッチング2009
- 著者名/発表者名
  後藤栄晴、塚本健太郎、川瀬達也、阿砂利典孝、永井隆文、足達健二、打越純一、森田瑞穂
- 学会等名
  応用物理学会2009年度春季関係連合講演会
- 発表場所
  つくば市
- 年月日
  2009-04-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560107
[学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いたシリコンの3次元形状の作製2009
- 著者名/発表者名
  塚本健太郎、後藤重晴、永井隆文、足達健二、打越純一、森田瑞穂
- 学会等名
  2009年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  神戸市
- 年月日
  2009-09-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560107
[学会発表] Development of asurface gradient integrated profiler : precise coordinate determination of normal vector measured points by self-calibration method and new data analysis fromnormal vector to surface profile2008
- 著者名/発表者名
  Y.Higashi, T.Ueno, K.Endo, J.Uchikoshi, T.Kume, K.Enami
- 学会等名
  SPIE Optics+Photonics 2008
- 発表場所
  San Diego, USA
- 年月日
  2008-08-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206019
[学会発表] 傾斜角積分法による超精密形状測定装置の研究-自立校正法による法線ベクトル測定点の座標位置の高精度化-2008
- 著者名/発表者名
  東保男、遠藤勝義、打越純一、他
- 学会等名
  2008年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  神奈川県川崎市
- 年月日
  2008-03-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206019
[学会発表] 傾斜角積分法による超精密形状測定装置の研究-自立校正法による法線ベクトル測定点の座標位置の高精度化-2008
- 著者名/発表者名
  東保男、遠藤勝義、打越純一, 他
- 学会等名
  2008年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  川崎市
- 年月日
  2008-03-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206019
[学会発表] 傾斜角積分法による超精密形状測定法-焦点距離150mmの軸外し放物面での測定点座標の決定-2007
- 著者名/発表者名
  東保男、遠藤勝義、打越純一、他
- 学会等名
  2007年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  北海道旭川市
- 年月日
  2007-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206019
[学会発表] Surface Gradient Integrated Profiler for X-ray and EUV Optics2007
- 著者名/発表者名
  Y.Higashi, K.Endo, T.Kume, J.Uchikoshi, K.Ueno, Y.Mori
- 学会等名
  SPIE Annual Meeting
- 発表場所
  San Diego, USA
- 年月日
  2007-08-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206019
[学会発表] Characterization of Patterned Oxide Buried in Bonded Silicon-on-Insulat or Wafers by Near-Infrared Scattering Topography and Microscopy2007
- 著者名/発表者名
  Xing Wu, Junichi Uchikoshi, Takaaki Hirokane, Ryuta Yamada, Kenta Arima, Mizuho Morita
- 学会等名
  The 2007 International Conference on Solid State Devices and Materials
- 発表場所
  Tsukuba International Congress Center, Ibaraki, Japan
- 年月日
  2007-09-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18560104
[学会発表] 近赤外光トポグラフィと赤外顕微鏡による貼り合わせSOIウエハのパターン付埋め込み酸化膜の評価2007
- 著者名/発表者名
  打越純一呉幸、廣兼孝亮、山田隆太、有馬健太、森田瑞穂
- 学会等名
  精密工学会2007年度関西地方定期学術講演会
- 発表場所
  大阪府大東市、大阪産業大学
- 年月日
  2007-08-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18560104
[学会発表] 近赤外光トポグラフィと赤外顕微鏡による貼り合わせSOIウエハのパターン付埋め込み酸化膜の評価2007
- 著者名/発表者名
  打越純一, 他
- 学会等名
  精密工学会2007年度関西地方定期学術講演会講演論文集
- 発表場所
  大阪府大東市、大阪産業大学
- 年月日
  2007-08-10
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18560104
[学会発表] Near-Infrared Scattering Topography and Microscopy Combination Method for Bonded Silicon-on-Insulator Wafers with Patterned Buried Oxide2007
- 著者名/発表者名
  Junichi Uchikoshi, et al.
- 学会等名
  Extended Abstracts of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology 2007
- 発表場所
  Osaka University, Osaka, Japan
- 年月日
  2007-10-15
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18560104
[学会発表] 傾斜角積分法による超精密形状測定法-焦点距離150mmの軸外し放物面での測定点座標の決定-2007
- 著者名/発表者名
  東保男、遠藤勝義、打越純一, 他
- 学会等名
  2007年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  旭川市
- 年月日
  2007-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206019
[学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いた光エッチングによるシリコンのランダム逆ピラミッドの形成
- 著者名/発表者名
  足達健二、永井隆文、平野利典、大谷真輝、川合健太郎、打越純一、森田瑞穂
- 学会等名
  第36回フッ素化学討論会
- 発表場所
  つくば国際会議場（茨城県）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いたエッチングによるSiのランダム逆ピラミッドの形成
- 著者名/発表者名
  平野利典，打越純一，大谷真輝，塚本健太郎，永井隆文，足達健二，川合健太郎，有馬健太，森田瑞穂
- 学会等名
  2012年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  北九州市
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[学会発表] Optical property of random inverted-pyramid textures on Si surface by etching with N-fluoropyridinium salts
- 著者名/発表者名
  Masaki Otani, Junichi Uchikoshi, Kentaro Tsukamoto, Toshinori Hirano, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Kentaro Kawai, Kenta Arima, and Mizuho Morita
- 学会等名
  PACIFIC RIM MEETING ON ELECTROCHEMICAL AND SOLID-STATE SCIENCE
- 発表場所
  Honolulu, Hawaii, U.S.A.
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123
[学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いた光エッチングによるシリコンのランダム逆ピラミッドの形成
- 著者名/発表者名
  平野利典，打越純一，大谷真輝，永井隆文，足達健二，川合健太郎，有馬健太，森田瑞穂
- 学会等名
  第60 回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  厚木市
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560123

1. 島田尚一 (20029317)

共同の研究課題数: 7件

共同の研究成果数: 0件
2. 森田瑞穂 (50157905)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 48件
3. 井川直哉 (60028983)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
4. 遠藤勝義 (90152008)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 28件
5. 久米達哉 (40353362)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 5件
6. 江並和宏 (00370073)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 4件
7. 小村明夫

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
8. 東保男 (70208742)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 15件
9. 川合健太郎 (90514464)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 21件
10. 稲村豊四郎 (60107539)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
11. 有馬健太 (10324807)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 7件

打越 純一 UCHIKOSHI Jyunichi

研究課題

研究成果

共同研究者

フッ素化剤－シリコン界面反応によるシリコン表面の精密位置合わせ光転写形状創成加工研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

次世代高精度ミラー製作のための法線ベクトル追跡型高速ナノ精度形状測定法の開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

フッ素化剤-シリコン界面固相反応を用いたシリコン表面の光転写・形状創成一括加工研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

次世代高精度ミラー製作のための傾斜角積分型超精密形状計測法の開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

固体フッ素化剤―シリコン界面固相反応を用いたシリコン表面の形状創成加工の研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

近赤外光干渉法によるシリコン単結晶平面ミラーの絶対形状測定法の研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

極限環境下での高機能トライボコーティング材の微細構造解析と設計

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

ナノメートル精度を持つ光線基準の開発と大型部品の超高精度平面度測定への応用

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

分子動力学による機械加工における加工速度の効果と限界の解明

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

光線基準を用いた超高精度直進機構の開発とその形状測定および表面加工への応用

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

原子レベルの機械的表面創成機構の分子動力学による解明とその極限精度加工への応用

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] Profile measurement of concave spherical mirror and a flat mirror using a high-speed nanoprofiler2013

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Absolute flatness measurements of silicon mirrors by a three-intersection method by near-infrared interferometry2013

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

打越純一 UCHIKOSHI Jyunichi