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柳 永勲  Ryuu Yuushun

ORCIDORCID連携する *注記
… 別表記

柳 永勳  LIU Lyong xun

柳 永くん  リュウ エイクン

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研究者番号 90312610
所属 (現在) 2025年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 上級主任研究員
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2015年度 – 2016年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, ナノエレクトロニクス研究部門, 上級主任研究員
2014年度: 独立行政法人産業技術総合研究所, ナノエレクトロニクス研究部門, 主任研究員
1999年度 – 2000年度: 東北大学, 大学院・工学研究科, 助手
審査区分/研究分野
研究代表者以外
応用物理学一般 / 広領域 / 電子デバイス・電子機器
キーワード
研究代表者以外
PZT / マイクロマシニング / Scanning Probe Microscopy / Near-field microscopy / High-Density Data-Storage / Ultra-sensitive sensor / Micromachinihg / 高感度センシング / ナノマシニング / 微小振動子 … もっと見る / 走査型プローブ顕微鏡 / 近接場光学顕微鏡 / 高感度センサー / 走査型プローブ / 高密度記録 / Fiber optic pressure sensor / Piezoelectric ceramic / 1-3 Composite / Ultrasonic endoscope / Integrated circuit / Shape memory alloy actuator / Active catheter / 光ファイバ圧力センサ / 圧電セラミック / 1-3コンポジット / 超音波内視鏡 / 集積回路 / 形状記憶合金アクチュエータ / 能動カテーテル / Molding / Pump / Valve / Flow sensor / Biochemical analysis / Micromachining / Micromachine / Micro fluid control / 射出成形 / ポンプ / バルブ / フローセンサ / 生化学分析 / マイクロマシン / 微小流体制御 / 半導体超微細化 / 先端機能デバイス / FinFET / テラヘルツ波 隠す
  • 研究課題

    (4件)
  • 研究成果

    (12件)
  • 共同研究者

    (13人)
  •  テラヘルツ対応CMOS-FinFETを用いた低コストセキュリティ技術の確立

    • 研究代表者
      松川 貴
    • 研究期間 (年度)
      2014 – 2016
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電子デバイス・電子機器
    • 研究機関
      国立研究開発法人産業技術総合研究所
  •  マイクロ・ナノマシニング技術を用いた高密度記録デバイス

    • 研究代表者
      小野 崇人
    • 研究期間 (年度)
      2000 – 2001
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      応用物理学一般
    • 研究機関
      東北大学
  •  微小流体制御システムに関する共同研究

    • 研究代表者
      江刺 正喜
    • 研究期間 (年度)
      1998 – 2000
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      応用物理学一般
    • 研究機関
      東北大学
  •  多機能能動カテーテル

    • 研究代表者
      江刺 正喜
    • 研究期間 (年度)
      1998 – 2000
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      広領域
    • 研究機関
      東北大学

すべて 2017 2016 2015 2014

すべて 雑誌論文 学会発表

  • [雑誌論文] Impact of residual defects caused by extension ion implantation in FinFETs on parasitic resistance and its fluctuation2017

    • 著者名/発表者名
      T. Matsukawa, Y. Liu, T. Mori, Y. Morita, S. Otsuka, S. O’uchi, H. Fuketa, S. Migita, and M. Masahara
    • 雑誌名

      Solid-State Electronics

      巻: 132 ページ: 103-108

    • DOI

      10.1016/j.sse.2017.03.014

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26289113
  • [雑誌論文] 先端CMOSトランジスタにおけるフリッカノイズ対策2015

    • 著者名/発表者名
      松川 貴、柳 永勛、福田 浩一、大内 真一、昌原 明植
    • 雑誌名

      月刊EMC

      巻: 印刷中

    • 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26289113
  • [雑誌論文] Impact of granular work function variation in a gate electrodeon low-frequency noise for fin field-effect transistors2015

    • 著者名/発表者名
      T. Matsukawa, K. Fukuda, Y.X. Liu, J. Tsukada, H. Yamauchi, K. Endo, Y. Ishikawa, S. O’uchi, S. Migita, Y. Morita, W. Mizubayashi, H. Ota, and M. Masahara
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 8 号: 4 ページ: 044201-044201

    • DOI

      10.7567/apex.8.044201

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26289113
  • [雑誌論文] 先端CMOSトランジスタにおけるフリッカノイズ対策2015

    • 著者名/発表者名
      松川 貴、柳 永勛、福田浩一、大内真一、昌原明植
    • 雑誌名

      月刊EMC

      巻: 28巻11号 ページ: 208-213

    • 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26289113
  • [雑誌論文] 非晶質金属ゲート電極FinFETによるばらつき・低周波ノイズ抑制とアナログ・デジタル回路のスケーリング限界の改善2015

    • 著者名/発表者名
      松川 貴、福田浩一、柳 永勛、塚田順一、山内洋美、石川由紀、遠藤和彦、大内真一、右田真司、水林 亘、森田行則、太田裕之、昌原明植
    • 雑誌名

      シリコンテクノロジー

      巻: 177 ページ: 42-45

    • 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26289113
  • [雑誌論文] Scaling breakthrough for analog/digital circuits by suppressing variability and low-frequency noise for FinFETs by amorphous metal gate technology2014

    • 著者名/発表者名
      T. Matsukawa, K. Fukuda, Y.X. Liu, J. Tsukada, H. Yamauchi, Y. Ishikawa, K. Endo, S. O’uchi, S. Migita, W. Mizubayashi, Y. Morita, H. O ta, and M. Masahara
    • 雑誌名

      Technical Digest of 2014 IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM)

      巻: - ページ: 299-312

    • DOI

      10.1109/iedm.2014.7047035

    • NAID

      110010010022

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26289113
  • [学会発表] FinFET寄生抵抗ばらつきの解析:エクステンションドーピング条件の影響2016

    • 著者名/発表者名
      松川 貴,森 貴洋,森田行則,大塚慎太郎, 柳 永勛,大内真一,更田裕司,右田真司,昌原明植
    • 学会等名
      2016年応用物理学会秋期学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟県新潟市)
    • 年月日
      2016-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26289113
  • [学会発表] FinFETにおける特性ばらつきと低周波ノイズの抑制技術2015

    • 著者名/発表者名
      松川 貴、福田浩一、柳 永勛、塚田順一、山内洋美、石川由紀、遠藤和彦、大内真一、右田真司、水林 亘、森田行則、太田裕之、昌原明植
    • 学会等名
      応用物理学会春期学術講演会
    • 発表場所
      東海大学湘南キャンパス (神奈川県)
    • 年月日
      2015-03-11
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26289113
  • [学会発表] 非晶質金属ゲート電極FinFETによるばらつき・低周波ノイズ抑制とアナログ・デジタル回路のスケーリング限界の改善2015

    • 著者名/発表者名
      松川 貴、福田浩一、柳 永勛、塚田順一、山内洋美、石川由紀、遠藤和彦、大内真一、右田真司、水林 亘、森田行則、太田裕之、昌原明植
    • 学会等名
      電子情報通信学会 シリコン材料・デバイス研究会 (SDM)
    • 発表場所
      機械振興会館 (東京都)
    • 年月日
      2015-01-27
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26289113
  • [学会発表] CMOS FinFETによる低コストテラヘルツ波発生器の検討2014

    • 著者名/発表者名
      松川 貴、柳原昌志、柳 永勛、大野守史、田所宏文、昌原明植
    • 学会等名
      応用物理学会秋期学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学(北海道)
    • 年月日
      2014-09-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26289113
  • [学会発表] Scaling breakthrough for analog/digital circuits by suppressing variability and low-frequency noise for FinFETs by amorphous metal gate technology2014

    • 著者名/発表者名
      T. Matsukawa, K. Fukuda, Y.X. Liu, J. Tsukada, H. Yamauchi, Y. Ishikawa, K. Endo, S. O’uchi, S. Migita, W. Mizubayashi, Y. Morita, H. Ota, and M. Masahara
    • 学会等名
      2014 IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM)
    • 発表場所
      Hilton San Francisco Union Square (San Francisco, USA)
    • 年月日
      2014-12-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26289113
  • [学会発表] 金属ゲートの仕事関数ばらつきによるFinFETのDIBLばらつきの解析2014

    • 著者名/発表者名
      松川 貴、福田浩一、柳 永勛、遠藤和彦、塚田順一、山内洋美、石川由紀、大内真一、右田真司、水林 亘、森田行則、太田裕之、昌原明植
    • 学会等名
      応用物理学会秋期学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学(北海道)
    • 年月日
      2014-09-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26289113
  • 1.  江刺 正喜 (20108468)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  田中 秀治 (00312611)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  芳賀 洋一 (00282096)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  小野 崇人 (90282095)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  南 和幸 (00229759)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  松川 貴 (70287986)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 12件
  • 7.  仁田 新一 (90101138)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  高橋 明 (40301048)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 9.  昌原 明植 (50357993)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 12件
  • 10.  伏見 正寛
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 11.  阿部 宗光
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 12.  WANDT Michae
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 13.  MENZ Wolfgan
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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