筧芳治 KAKEHI Yoshiharu

研究者番号	90359406
その他のID
所属 (現在)	2025年度: 地方独立行政法人大阪産業技術研究所, 和泉センター, 研究室長 2025年度: 地方独立行政法人大阪府立産業技術総合研究所, その他部局等, 主幹研究員
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2017年度 – 2019年度: 地方独立行政法人大阪産業技術研究所, 和泉センター, 主任研究員 2018年度: 地方独立行政法人大阪産業技術研究所, 電子・機械システム研究部, 主任研究員
審査区分/研究分野	研究代表者無機材料・物性研究代表者以外電子・電気材料工学
キーワード	研究代表者歪抵抗薄膜 / 薄膜 / セラミックス / 電子・電気材料 / スパッタリング / ひずみ抵抗薄膜 / オイルレス / 高温圧力センサ / 酸炭化物薄膜研究代表者以外 TFT … もっと見る / 半導体物性 / 電子・電気材料 / 熱処理 / ZTO / フレキシブルデバイス / 酸化物アモルファス半導体 / レアメタルフリー / 薄膜トランジスタ / フレキシブル / 酸化物薄膜隠す

温度補正機能付き高感度高温オイルレス圧力センサの開発研究代表者
- 研究代表者
  
  筧芳治
- 研究期間 (年度)
  2017 – 2019
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  無機材料・物性
- 研究機関
  地方独立行政法人大阪産業技術研究所
高性能レアメタルフリーフレキシブル酸化物トランジスタおよび論理回路の開発
- 研究代表者
  
  佐藤和郎
- 研究期間 (年度)
  2016 – 2018
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  地方独立行政法人大阪産業技術研究所

すべて 2020 2019 2018 2017 2016

すべて雑誌論文学会発表

[雑誌論文] Investigation on the gate insulator thickness dependence of ZnO-SnO2 thin film transistors2019
- 著者名/発表者名
  Satoh Kazuo、Yamada Yoshiharu、Kanaoka Yusuke、Murakami Shuichi、Kakehi Yoshiharu、Sakurai Yoshiaki
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 58 号: 3 ページ: 038004-038004
- DOI
  10.7567/1347-4065/ab01f7
- NAID
  210000135452
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06288
[雑誌論文] Effect of postannealing on properties of ZnO-SnO2 thin film transistors2018
- 著者名/発表者名
  Satoh Kazuo、Murakami Shuichi、Kanaoka Yusuke、Yamada Yoshiharu、Kakehi Yoshiharu、Sakurai Yoshiaki
- 雑誌名
  
  Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
  
  巻: 36 号: 2
- DOI
  10.1116/1.5003283
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06288
[雑誌論文] Effect of post annealing on properties of ZnO-SnO2 thin film transistors2017
- 著者名/発表者名
  Kazuo Satoh, Shuichi Murakami, Yusuke Kanaoka, Yoshiharu Yamada, Yoshiharu Kakehi and Yoshiaki Sakurai
- 雑誌名
  
  Proceedings of the Fourteenth International Symposium on Sputtering and Plasma Processes
  
  巻: －ページ: 221-223
- NAID
  130005175703
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06288
[学会発表] 2 層型ひずみ抵抗薄膜 (TiCxOy/SiCxOy) を用いた高温オイルレス圧力センサの開発2020
- 著者名/発表者名
  筧芳治，佐藤和郎，小栗泰造，近藤裕佑，山田義春
- 学会等名
  日本セラミックス協会2020年年会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06811
[学会発表] MgOバッファ膜を用いたTiCxOy高温ひずみ抵抗薄膜の特性改善2019
- 著者名/発表者名
  筧芳治，佐藤和郎，小栗泰造，山田義春，近藤裕佑
- 学会等名
  日本セラミックス協会2019年年会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06811
[学会発表] Characteristics of ZnO-SnO2 Thin Film Transistors on Flexible Substrates2019
- 著者名/発表者名
  Kazuo Satoh, Shuichi Murakami, Yusuke Kanaoka, Yoshiharu Yamada, Yoshiharu Kakehi, Yusuke Kondo and Yoshiaki Sakurai
- 学会等名
  11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials(ISPlasma2019)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06288
[学会発表] Development of high-temperature oilless pressure sensors using TiCxOy piezoresistive films2019
- 著者名/発表者名
  Yoshiharu Kakehi, Yoshiharu Yamada, Yusuke Kondo, Tomoatsu Ozaki, Taizo Oguri, Kazuo Satoh
- 学会等名
  The 13th Pacific Rim Conference of Ceramic Societies (PACRIM13)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06811
[学会発表] 2層型ひずみ抵抗薄膜を用いた直圧式高温圧力センサの開発2019
- 著者名/発表者名
  筧芳治，佐藤和郎，小栗泰造，山田義春，近藤裕佑
- 学会等名
  2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06811
[学会発表] スパッタリング法により作製したZnO-SnO2 を用いた薄膜トランジスタの熱処理効果2018
- 著者名/発表者名
  佐藤和郎，村上修一，金岡祐介，山田義春，筧芳治，近藤裕佑，櫻井芳昭
- 学会等名
  2018年日本表面真空学会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06288
[学会発表] 磁気中性線放電プラズマによるオイルレス圧力センサ用ストレインゲージ薄膜のドライエッチング2018
- 著者名/発表者名
  佐藤和郎，筧芳治，金岡祐介,　小栗泰造，近藤裕佑，山田義春
- 学会等名
  2018年第65回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06811
[学会発表] フレキシブル基板上に作製したZnO-SnO2薄膜トランジスタの特性2018
- 著者名/発表者名
  佐藤和郎，村上修一，金岡祐介，山田義春，筧芳治，近藤裕佑，櫻井芳昭
- 学会等名
  第79回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06288
[学会発表] Investigation on the Gate Insulator Thickness Dependence of ZnO-SnO2 Thin Film Transistors2018
- 著者名/発表者名
  Kazuo Satoh, Yoshiharu Yamada, Yusuke Kanaoka, Shuichi Murakami, Yoshiharu Kakehi and Yoshiaki Sakurai
- 学会等名
  10th Anniversary International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2018)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06288
[学会発表] Effect of oxygen addition on the electromechanical property of TiC thin films2018
- 著者名/発表者名
  Yoshiharu Kakehi, Yoshiharu Yamada, Yusuke Kondo, Taizo Oguri, Kazuo Satoh
- 学会等名
  ISPlasma2018/IC-PLANTS2018
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06811
[学会発表] TiC薄膜を用いたストレインゲージ特性に及ぼす酸素添加の効果2018
- 著者名/発表者名
  筧　芳治、佐藤　和郎、小栗　泰造、近藤　裕佑、山田　義春
- 学会等名
  日本セラミックス協会2018年年会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06811
[学会発表] MgO バッファ膜が高温オイルレス圧力センサ用ひずみ抵抗薄膜TiCxOy の特性に与える影響2018
- 著者名/発表者名
  筧芳治，佐藤和郎，小栗泰造，山田義春，近藤裕佑
- 学会等名
  2018年日本表面真空学会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06811
[学会発表] Effect of MgO Buffer Layers on Electromechanical Property of TiCxOy Thin Films for High-temperature Strain Gauges2018
- 著者名/発表者名
  Yoshiharu Kakehi, Yoshiharu Yamada, Yusuke Kondo, Taizo Oguri, Kazuo Satoh
- 学会等名
  14th International Conference on Atomically Controlled Surfaces, Interfaces and Nanostructures(ACSIN-14) & 26th International Colloquium on Scanning Probe Microscopy (ICSPM26)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06811
[学会発表] Effect of post annealing on properties of ZnO-SnO2 thin film transistors2017
- 著者名/発表者名
  Kazuo Satoh, Shuichi Murakami, Yusuke Kanaoka, Yoshiharu Yamada, Yoshiharu Kakehi and Yoshiaki Sakurai
- 学会等名
  The Fourteenth International Symposium on Sputtering and Plasma Processes (ISSP2017)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06288
[学会発表] 熱処理がZnO-SnO2を用いた薄膜トランジスタ特性に与える影響（III）2017
- 著者名/発表者名
  佐藤和郎，村上修一，金岡祐介，山田義春，筧芳治，近藤裕佑，櫻井芳昭
- 学会等名
  第78回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06288
[学会発表] Low temperature fabrication of ZnO-SnO2 thin film transistors2017
- 著者名/発表者名
  Kazuo Satoh, Shuichi Murakami, Yusuke Kanaoka, Yoshiharu Yamada, Yusuke Kondo, Yoshiharu Kakehi, Yoshiaki Sakurai and Satoru Kaneko
- 学会等名
  5th Nano Today Conference
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06288
[学会発表] 熱処理がZnO-SnO2を用いた薄膜トランジスタ特性に与える影響（II）2017
- 著者名/発表者名
  佐藤和郎，村上修一，金岡祐介，中山健吾，山田義春，筧芳治，櫻井芳昭
- 学会等名
  第64回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  横浜市
- 年月日
  2017-03-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06288
[学会発表] 熱処理がZnO-SnO2を用いた薄膜トランジスタ特性に与える影響2016
- 著者名/発表者名
  佐藤　和郎，村上　修一，金岡　祐介，山田　義春，筧　芳治，櫻井　芳昭
- 学会等名
  第77回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  新潟市
- 年月日
  2016-09-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K06288

1. 佐藤和郎 (30315163)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 21件
2. 小栗泰造 (80359413)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 6件
3. 櫻井芳昭 (50359387)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 12件
4. 金岡祐介 (60443537)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 12件
5. 村上修一 (70359420)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 12件

筧 芳治 KAKEHI Yoshiharu

研究課題

研究成果

共同研究者

温度補正機能付き高感度高温オイルレス圧力センサの開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

高性能レアメタルフリーフレキシブル酸化物トランジスタおよび論理回路の開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] Investigation on the gate insulator thickness dependence of ZnO-SnO2 thin film transistors2019

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

データソース

[雑誌論文] Effect of postannealing on properties of ZnO-SnO2 thin film transistors2018

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Effect of post annealing on properties of ZnO-SnO2 thin film transistors2017

著者名/発表者名

雑誌名

NAID

データソース

[学会発表] 2 層型ひずみ抵抗薄膜 (TiCxOy/SiCxOy) を用いた高温オイルレス圧力センサの開発2020

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] MgOバッファ膜を用いたTiCxOy高温ひずみ抵抗薄膜の特性改善2019

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] Characteristics of ZnO-SnO2 Thin Film Transistors on Flexible Substrates2019

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] Development of high-temperature oilless pressure sensors using TiCxOy piezoresistive films2019

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] 2層型ひずみ抵抗薄膜を用いた直圧式高温圧力センサの開発2019

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] スパッタリング法により作製したZnO-SnO2 を用いた薄膜トランジスタの熱処理効果2018

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] 磁気中性線放電プラズマによるオイルレス圧力センサ用ストレインゲージ薄膜のドライエッチング2018

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] フレキシブル基板上に作製したZnO-SnO2薄膜トランジスタの特性2018

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] Investigation on the Gate Insulator Thickness Dependence of ZnO-SnO2 Thin Film Transistors2018

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] Effect of oxygen addition on the electromechanical property of TiC thin films2018

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] TiC薄膜を用いたストレインゲージ特性に及ぼす酸素添加の効果2018

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] MgO バッファ膜が高温オイルレス圧力センサ用ひずみ抵抗薄膜TiCxOy の特性に与える影響2018

著者名/発表者名

学会等名

データソース

筧芳治 KAKEHI Yoshiharu