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豊田 宏  TOYOTA Hiroshi

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 90400126
所属 (現在) 2025年度: 広島工業大学, 工学部, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2008年度 – 2010年度: 弘前大学, 大学院・理工学研究科, 助教
審査区分/研究分野
研究代表者以外
電子・電気材料工学
キーワード
研究代表者以外
誘電体薄膜 / ゲート膜 / プラズマ成膜 / 作成評価技術 / 誘電体 / ECRプラズマ / 低温形成 / MIS / 作成・評価技術
  • 研究課題

    (1件)
  • 研究成果

    (12件)
  • 共同研究者

    (2人)
  •  ECRスパッタ法による酸窒化誘電体薄膜の低温形成と高品質化プロセスの研究

    • 研究代表者
      小野 俊郎
    • 研究期間 (年度)
      2008 – 2010
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      弘前大学

すべて 2010 2009 2008

すべて 雑誌論文 学会発表

  • [雑誌論文] Low-Temperature Formation of High-Quality GeO_2 Interlayerfor High-k Gate Dielectrics/Ge by Electron Cyclotron Resonance Plasma Techniques2010

    • 著者名/発表者名
      Y.Fukuda, Y.Yazaki, Y.Otani, T.Sato, H.Toyota, T.Ono
    • 雑誌名

      IEEE Trans.Electron Devices 57(1)

      ページ: 282-287

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560287
  • [雑誌論文] Low-Temperature Formation of High-Quality GeO_2 Interlayer for High-k Gate Dielectrics/Ge by Electron-Cyclotron-Resonance Plasma Techniques.2010

    • 著者名/発表者名
      Y.Fukuda, Y.Yazaki, Y.Otani, T.Sato, H.Toyota, T.Ono
    • 雑誌名

      IEEE Trans. Electron Devices 57(1)

      ページ: 282-287

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560287
  • [雑誌論文] Characterization of tantalum oxy-nitrides deposited by ECR sputtering2009

    • 著者名/発表者名
      K.Kato, H.Toyota, Y.Jin, T.Ono
    • 雑誌名

      Vacuum 83(3)

      ページ: 592-595

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560287
  • [学会発表] Effective passivation of Ge surface by high-quality GeO2 formed by Electron-Cyclotron-Resonance plasma oxidation for Ge-based electronic and photonic devices2010

    • 著者名/発表者名
      Y.Fukuda, Y.Otani, T.Sato, H.Toyota, T.Ono
    • 学会等名
      5th Int.Workshop on New Group IV Semiconductor Nanoelectronics
    • 発表場所
      東北大学
    • 年月日
      2010-01-29
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560287
  • [学会発表] ECRイオンアシスト加工におけるMIS界面制御の検討2010

    • 著者名/発表者名
      泉康平,豊田宏,福田幸夫,室田淳一,櫻庭政夫,小野俊郎
    • 学会等名
      2010精密工学会東北支部学術講演会
    • 発表場所
      岩手県工業技術センター
    • 年月日
      2010-11-27
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560287
  • [学会発表] Effective passivation of Ge surface by high quality GeO_2 formed by Electron Cyclotron Resonance plasma oxidation for Ge-based electronic and photonic devices2010

    • 著者名/発表者名
      Y.Fukuda, Y.Otani, T.Sato, H.Toyota, T.Ono
    • 学会等名
      5th Int.Workshop on New Group IV Semiconductor Nano-electronics
    • 発表場所
      Tohoku University, Sendai
    • 年月日
      2010-01-29
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560287
  • [学会発表] ECRプラズマ法によるAl_2O_3/GeO_2/Ge-MOSキャパシタの電気特性に及ぼすPDA処理雰囲気の影響2009

    • 著者名/発表者名
      福田幸夫,王谷洋平,佐藤哲也,有原浩之,豊田宏,小野俊郎
    • 学会等名
      第56回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      筑波大学
    • 年月日
      2009-03-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560287
  • [学会発表] An electrical chracterization of metal oxy-nitrides deposited by an ECR sputtering for MIS gates.2009

    • 著者名/発表者名
      H.Arihara, H.Toyota, J.Murota, M.Sakuraba, Y.Fukuda, T.Ono
    • 学会等名
      The 10th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes
    • 発表場所
      金沢国際ホテル
    • 年月日
      2009-07-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560287
  • [学会発表] An electrical characterization of metal oxy-nitrides deposited by an ECR sputtering for MIS gates2009

    • 著者名/発表者名
      H.Arihara, H.Toyota, J.Murota, M.Sakuraba, Y.Fukuda, T.Ono
    • 学会等名
      The 10th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes
    • 発表場所
      Kanazawa Intern'l Hotel, Kanazawa
    • 年月日
      2009-07-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560287
  • [学会発表] IPE法によるECRプラズマ酸化GeO2-Ge構造のバンドアライメントの検討2009

    • 著者名/発表者名
      福田幸夫、矢崎祐那、王谷洋平、佐藤哲也、豊田宏、小野俊郎
    • 学会等名
      第70回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      富山大学
    • 年月日
      2009-09-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560287
  • [学会発表] ECRスパッタ成膜誘電体を用いたMISキャパシタの電気特性安定化2009

    • 著者名/発表者名
      小野俊郎,豊田宏,有原浩之,福田幸夫,室田淳一,櫻庭政夫
    • 学会等名
      第70回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      富山大学
    • 年月日
      2009-09-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560287
  • [学会発表] ECRスパッタによる酸窒化高誘電体薄膜の形成と電気特性評価2008

    • 著者名/発表者名
      有原浩之,豊田宏,小野俊郎
    • 学会等名
      2008年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      東北大学
    • 年月日
      2008-09-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560287
  • 1.  小野 俊郎 (30374812)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 12件
  • 2.  福田 幸夫 (50367546)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 10件

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