米谷玲皇 Kometani Reo

研究者番号	90466780
その他のID
所属 (現在)	2025年度: 東京大学, 大学院新領域創成科学研究科, 准教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2017年度 – 2024年度: 東京大学, 大学院新領域創成科学研究科, 准教授 2011年度 – 2017年度: 東京大学, 工学(系)研究科(研究院), 講師 2016年度: 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 講師 2015年度: 東京大学, 新領域創成科学研究科, 特任研究員 2012年度: 東京大学, 工学系研究科, 講師 … もっと見る 2011年度 – 2012年度: 東京大学, 大学院・工学系研究科, 講師 2011年度: 東京大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 2008年度 – 2011年度: 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教隠す
審査区分/研究分野	研究代表者理工系 / 小区分29020:薄膜および表面界面物性関連 / 知能機械学・機械システム / 機械材料・材料力学 / 生産工学・加工学 / 薄膜・表面界面物性研究代表者以外生産工学・加工学 / ナノマイクロシステム / 設計工学・機械機能要素・トライボロジー
キーワード	研究代表者 NEMS / ナノメカニカル振動子 / センシング / ナノメカニクス / フォトニック結晶 / プラズモニクス / 光圧 / マイクロ・ナノデバイス / 光物性 / 機械材料・材料力学 … もっと見る / 波長計測 / 情報科学 / ナノメカニカル素子 / フォトニックナノ構造 / 光計測 / 微小共振器 / スペクトロメーター / 位相分解計測 / 動ひずみ / ナノ振動子 / 先端増強ラマン分光 / 顕微ラマン分光 / ひずみ計測 / 顕微ラマン分光法 / ひずみ / 機械特性 / ナノメカニカル構造体 / 機械要素 / メカニカル振動子 / グラフェン / ＤＬＣ振動 / シリコン振動子 / DLC振動子 / 光検出 / 光通信 / ナノ機械振動子 / 集束イオンビーム / 超薄膜 … もっと見る研究代表者以外ナノメカニクス / メカニカル振動子 / 自己組織化 / ナノ加工・ナノ計測 / 電子ビーム・イオンビーム / 機械共振特性 / ナノ計測 / センシングデバイス / ナノ振動子 / 三次元ナノ構造 / プラズモニック構造 / ナノマイクロ光デバイス / 表面増強ラマン散乱 / 呼気ガス分析 / アセトン / 非線形振動特性 / 極低濃度ガスセンシング / 連結ナノ機械振動子 / ノイズ信号処理 / ブロック共重合体ナノ構造 / グラフェン / 酸化スズ / ガス弁別機能 / ガスセンシング / ハイブリッド構造 / グラファイト / フラーレン / TEM / 透過電子顕微鏡 / MEMS / 超潤滑 / トライボロジー / ナノ・マイクロデバイス / ナノメカニカル振動子 / ナノ計測・ナノ加工 / NEMS / ナノマイクロ加工 / 薄膜形成 / FIB-CVD / 基板処理 / 光学多層膜 / プラズモン共鳴 / 自由膜 / 多層膜 / テンプレート / 集束イオンビーム化学気相成長法 / ブロック共重合体 / ナノ・マイクロ加工 / 高Q値 / 機械特性評価 / 微小共振器 / 機械共振特性評価 / センシング / ナノレゾネータ / ナノ加工・計測 / マイクロ・ナノデバイス / 電子ビーム・イオンビーム加工 / 機械振動共振特性 / ナノ加工隠す

超高感度光圧センシングNEMS技術創出と光-ナノ構造の相互作用の解明研究代表者
- 研究代表者
  
  米谷玲皇
- 研究期間 (年度)
  2022 – 2025
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分29020:薄膜および表面界面物性関連
- 研究機関
  東京大学
光圧計測知的ナノメカニカルシステムの創出研究代表者
- 研究代表者
  
  米谷玲皇
- 研究期間 (年度)
  2019 – 2020
- 研究種目
  
  新学術領域研究(研究領域提案型)
- 審査区分
  
  理工系
- 研究機関
  東京大学
分子識別光ナノメカニカル素子の創出研究代表者
- 研究代表者
  
  米谷玲皇
- 研究期間 (年度)
  2017 – 2020
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  知能機械学・機械システム
- 研究機関
  東京大学
光路最適化したメタサーフェスを用いた表面増強ラマンデバイスの創製
- 研究代表者
  
  前田悦男
- 研究期間 (年度)
  2015 – 2017
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  ナノマイクロシステム
- 研究機関
  東京大学
原子間力顕微鏡を応用した超高分解能動特性プロファイリング技術の創出研究代表者
- 研究代表者
  
  米谷玲皇
- 研究期間 (年度)
  2015 – 2016
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  機械材料・材料力学
- 研究機関
  東京大学
極軽量・原子層メカニカル構造の機能化研究代表者
- 研究代表者
  
  米谷玲皇
- 研究期間 (年度)
  2014 – 2015
- 研究種目
  
  新学術領域研究(研究領域提案型)
- 審査区分
  
  理工系
- 研究機関
  東京大学
波長計測ナノシステムの創出研究代表者
- 研究代表者
  
  米谷玲皇
- 研究期間 (年度)
  2014 – 2016
- 研究種目
  
  若手研究(A)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  東京大学
ハイブリッド構造創成技術による極低濃度ガス分子検出ナノメカニカルセンサの開発
- 研究代表者
  
  割澤伸一
- 研究期間 (年度)
  2013 – 2015
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  東京大学
超薄膜メカニカル光波検出素子に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  米谷玲皇
- 研究期間 (年度)
  2011 – 2013
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  薄膜・表面界面物性
- 研究機関
  東京大学
グラファイト-フラーレン超潤滑機構の極微観察によるメカニズムの解明
- 研究代表者
  
  石田忠
- 研究期間 (年度)
  2011 – 2012
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  設計工学・機械機能要素・トライボロジー
- 研究機関
  東京工業大学
   東京大学
ナノメカニカル構造の創製とデバイス応用に関する研究
- 研究代表者
  
  石原直
- 研究期間 (年度)
  2010 – 2012
- 研究種目
  
  基盤研究(S)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  東京大学
自己組織化現象を利用した三次元ナノ構造作製技術
- 研究代表者
  
  割澤伸一
- 研究期間 (年度)
  2009 – 2011
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  東京大学
ナノ構造の創製とその機能化に関する研究
- 研究代表者
  
  石原直
- 研究期間 (年度)
  2007 – 2010
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  東京大学

[図書] ナノ・マイクロスケール機械工学(石原直, 加藤千幸, 光石衛, 渡邊聡[編])2014
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇
- 出版者
  東京大学出版会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760025
[雑誌論文] Highly sensitive vibration measurement method of nanomechanical resonator using convolutional neural network2022
- 著者名/発表者名
  Kohei Tsumune, Shin'ichi Warisawa, Reo Kometani
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: -
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PUBLICLY-19H04671
[雑誌論文] Highly sensitive vibration measurement method of nanomechanical resonator using convolutional neural network2022
- 著者名/発表者名
  Kohei Tsumune, Shin'ichi Warisawa, Reo Kometani
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: -
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03198
[雑誌論文] 走査電子顕微鏡を利用したNEMSのオペランド動特性計測2021
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇, 割澤伸一
- 雑誌名
  
  計測と制御
  
  巻: 60 号: 3 ページ: 213-216
- DOI
  10.11499/sicejl.60.213
- NAID
  130007999988
- ISSN
  0453-4662, 1883-8170
- 年月日
  2021-03-10
- 言語
  日本語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PUBLICLY-19H04671, KAKENHI-PROJECT-17H03198
[雑誌論文] Miniaturization process of three-dimensional nanostructures fabricated by focused-ion-beam chemical vapor deposition2021
- 著者名/発表者名
  Reo Kometani, Moe Katsuda
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 60 号: 12 ページ: 1280021-4
- DOI
  10.35848/1347-4065/ac3525
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PUBLICLY-19H04671, KAKENHI-PROJECT-17H03198
[雑誌論文] Quantification method of stress depth-distribution by micro-Raman spectroscopy for thin film nanomechanical resonator2020
- 著者名/発表者名
  M. Saito, S. Warisawa and R. Kometani
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys.
  
  巻: 59 号: SI ページ: SIII02-SIII02
- DOI
  10.35848/1347-4065/ab79ed
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PUBLICLY-19H04671, KAKENHI-PROJECT-17H03198
[雑誌論文] Ultra-thin Carbon Nanomechanical Resonator Fabrication and Its Dynamic Property Characterization2019
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, M. Sekine and S. Warisawa
- 雑誌名
  
  Sensors and Materials
  
  巻: 31 号: 3 ページ: 673
- DOI
  10.18494/SAM.2019.2153
- ISSN
  0914-4935, 2435-0869
- 年月日
  2019-03-08
- 言語
  英語
- オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03198
[雑誌論文] Triple-walled gold surfaces with small-gaps for nonresonance surface enhanced Raman scattering of rhodamine 6G molecules2016
- 著者名/発表者名
  Tatsuya Baba, Yaerim Lee, Ai Ueno, Ryo Takigawa, Reo Kometani, Etsuo Maeda
- 雑誌名
  
  J. Vac. Sci. Technol. B
  
  巻: 34 号: 1 ページ: 011802-011802
- DOI
  10.1116/1.4938483
- 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13317, KAKENHI-PROJECT-15K13827, KAKENHI-PROJECT-26709005, KAKENHI-PROJECT-14J09886
[雑誌論文] グラフェンメカニカル構造の機能化2016
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇
- 雑誌名
  
  炭素
  
  巻: 275 号: 275 ページ: 191-198
- DOI
  10.7209/tanso.2016.191
- NAID
  130005250239
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709005
[雑誌論文] Mechanical characteristics of ultra-long horizontal nanocantilevers grown by real-time feedback control on focused-ion-beam chemical vapour deposition2015
- 著者名/発表者名
  D. Guo, S. Warisawa, S. Ishihara, R. Kometani
- 雑誌名
  
  Journal of Micromechanics and Microengineering
  
  巻: 25 号: 12 ページ: 125028-125028
- DOI
  10.1088/0960-1317/25/12/125028
- 査読あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PUBLICLY-26107513, KAKENHI-PROJECT-26709005
[雑誌論文] Growth of ultra-long horizontal free-space-nanowire by the real-time feedback control of the scanning speed on focused-ion-beam chemical vapor deposition2013
- 著者名/発表者名
  D. Guo, R. Kometani, S. Warisawa, S. Ishihara
- 雑誌名
  
  Journal of Vacuum Science & Technology B
  
  巻: 31 ページ: 61601-61601
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760025
[雑誌論文] Growth of ultra-long horizontal free-space-nanowire by the real-time feedback control of the scanning speed on focused-ion-beam chemical vapor deposition2013
- 著者名/発表者名
  Dengji Guo, Reo Kometani, Shin'ichi Warisawa, Sunao Ishihara
- 雑誌名
  
  Journal of Vacuum Science & Technology B
  
  巻: 31 号: 6 ページ: 61601-61601
- DOI
  10.1116/1.4824170
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-13J04726, KAKENHI-PROJECT-23760025
[雑誌論文] “Superconductivity in Tungsten-Carbide Nanowires Deposited from the Mixtures of W(CO)6 and C14H102013
- 著者名/発表者名
  Jun Dai, Koji Onomitsu, Reo Kometani, Yoshiharu Krockenberger, Hiroshi Yamaguchi, Sunao Ishihara, Shin’ichi Warisawa
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys.
  
  巻: 52 号: 7R ページ: 75001-75001
- DOI
  10.7567/jjap.52.075001
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760025
[雑誌論文] Nanomechanical tuning forks fabricated using focused-ion-beam chemical vapor deposition2012
- 著者名/発表者名
  Hiroki Ashiba
- 雑誌名
  
  Journal of Vacuum Science and Technology B
  
  巻: 30 号: 6
- DOI
  10.1116/1.4766315
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-12J08898, KAKENHI-PROJECT-22226004, KAKENHI-PROJECT-23760025
[雑誌論文] Three-Dimensional Nanostructure Fabrication by Controlling Downward Growth on Focused-Ion-Beam Chemical Vapor Deposition2012
- 著者名/発表者名
  D. Guo, R. Kometani, S. Warisawa, and S.Ishihara
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys
  
  巻: 51 号: 6R ページ: 65001-65001
- DOI
  10.1143/jjap.51.065001
- NAID
  40019317176
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004, KAKENHI-PROJECT-23760025
[雑誌論文] High Quality Factor Graphene Resonator Fabrication Using Resist Shrinkage-Induced Strain2012
- 著者名/発表者名
  Y. Oshidari, T. Hatakeyama, R. Kometani, S.Warisawa, S. Ishihara
- 雑誌名
  
  Appl. Phys. Express
  
  巻: 5 号: 11 ページ: 117201-117201
- DOI
  10.1143/apex.5.117201
- NAID
  10031126464
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004, KAKENHI-PROJECT-22656035, KAKENHI-PROJECT-23760025
[雑誌論文] A Nanomechanical Resonator from HSQ Fabricated by FIB/EB Dual Beam Lithography2012
- 著者名/発表者名
  S. Warisawa, K. Kuroda, S. Chen, R.Kometani, S. Ishihara
- 雑誌名
  
  J. Photopolym. Sci. Technol
  
  巻: 25 ページ: 37-37
- NAID
  130004464942
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[雑誌論文] A Nanomechanical Resonator from HSQ Fabricated by FIB/EB Dual Beam Lithography2012
- 著者名/発表者名
  S. Warisawa, K. Kuroda, S. Chen, R. Kometani, S. Ishihara
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 25 号: 1 ページ: 37-42
- DOI
  10.2494/photopolymer.25.37
- NAID
  130004464942
- ISSN
  0914-9244, 1349-6336
- 言語
  英語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004, KAKENHI-PROJECT-22656035, KAKENHI-PROJECT-23760025
[雑誌論文] Nanoporous Structure Fabrication in Selective Areas by Block Copolymer Self-Assembly and Electron Beam Lithography2012
- 著者名/発表者名
  H. Suzuki, R. Kometani, S. Ishihara, S. Warisawa
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 25 号: 1 ページ: 33-36
- DOI
  10.2494/photopolymer.25.33
- NAID
  130004464941
- ISSN
  0914-9244, 1349-6336
- 言語
  英語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[雑誌論文] Gradually shifting surface plasmon resonance by controlling the diameter of a nano-hole structure by self-assembly2011
- 著者名/発表者名
  T.Takagi, K.Kurihara, K.Awazu, R.Kometani, S.Warisawa, S.Ishihara
- 雑誌名
  
  Journal of Vacuum Science and Technology B
  
  巻: 29 号: 6 ページ: 06FF03-06FF03
- DOI
  10.1116/1.3660387
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360059, KAKENHI-PROJECT-22226004
[雑誌論文] Gradually shifting surface plasmon resonance by controlling the diameter of a nano-hole structure by self-assembly2011
- 著者名/発表者名
  T. Takagi, R. Kometani, S. Ishihara, S. Warisawa
- 雑誌名
  
  J. Vac. Sci. Technolo. B
  
  巻: 29
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360059
[雑誌論文] Quality factor enhancement on nanomechanical resonators utilizing stiction phenomena2011
- 著者名/発表者名
  H. Ashiba, R. Kometani, S. Warisawa, and S.Ishihara
- 雑誌名
  
  J. Vac. Sci. Technol. B
  
  巻: 29 号: 6
- DOI
  10.1116/1.3660384
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[雑誌論文] Carbon nano- mechanical resonator fabrication from PMMA by FIB/electron-beam dual-beam lithography2011
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, T. Hatakeyama, K. Kuroda, S.Warisawa, and S. Ishihara
- 雑誌名
  
  J. Vac. Sci. Technol. B
  
  巻: 29 号: 6
- DOI
  10.1116/1.3662083
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004, KAKENHI-PROJECT-23760025
[雑誌論文] Selective graphene growth from DLC thin film patterned by focused-ion-beam chemical vapor deposition2011
- 著者名/発表者名
  T. Hatakeyama, R. Kometani, S. Warisawa, and S. Ishihara
- 雑誌名
  
  Journal of Vacuum Science and Technology B
  
  巻: 29 号: 6 ページ: 06FG04-06FG04
- DOI
  10.1116/1.3655581
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004, KAKENHI-PROJECT-22656035
[雑誌論文] Dynamic characteristics control of DLC nano-resonator fabricated by focused-ion-beam chemical vapor depo- sition2011
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, S. Nishi, S. Warisawa, and S.Ishihara
- 雑誌名
  
  J. Vac. Sci. Technol. B
  
  巻: 29 号: 6
- DOI
  10.1116/1.3662493
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004, KAKENHI-PROJECT-23760025
[雑誌論文] Electromechanical Displacement Detection With an On-chip High Electron Mobility Transistor Amplifier2011
- 著者名/発表者名
  Y. Oda, K. Onomitsu, R. Kometani, S.Warisawa, S. Ishihara, and H. Yamaguchi
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys
  
  巻: 50 号: 6S ページ: 06GJ01-06GJ01
- DOI
  10.1143/jjap.50.06gj01
- NAID
  210000070732
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[雑誌論文] High-sensitivity charge detection using antisymmetric vibration in coupled micromechanical oscillators2011
- 著者名/発表者名
  H.Okamoto, N.Kitajima, K.Onomitsu, R.Kometani, S.Warisawa, S.Ishihara, H.Yamaguchi
- 雑誌名
  
  Applied Physics Letters
  
  巻: 98
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[雑誌論文] High-sensitivity charge detection using antisymmetric vibration in coupled micromechanical oscillators2011
- 著者名/発表者名
  H. Okamoto, N. Kitajima, K. Onomitsu, R.Kometani, S. Warisawa, S. Ishihara and H.Yamaguchi
- 雑誌名
  
  Appl. Phys. Lett
  
  巻: 98 号: 1 ページ: 14103-14103
- DOI
  10.1063/1.3541959
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[雑誌論文] The 3D nanostructure growth evaluations by the real-time current monitoring on focused-ion-beam chemical vapor deposition2010
- 著者名/発表者名
  R.Kometani, S.Warisawa, S.Ishihara
- 雑誌名
  
  Microelectronic Engineering
  
  巻: 87 ページ: 1044-1048
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[雑誌論文] Evaluation of Resonance Characteristics Change of Silicon Resonators Due to Surface Treatment2010
- 著者名/発表者名
  H.Shimizu, J.-J.Delaunay, R.Kometani, S.Warisawa, S.Ishihara
- 雑誌名
  
  Jpn.J.Appl.Phys. 49
- NAID
  210000068736
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[雑誌論文] Piezoresistive effect in the three-dimensional diamondlike carbon nanostructure fabricated by focused-ion-beam chemical vapor deposition2010
- 著者名/発表者名
  R.Kometani, S.Warisawa, S.Ishihara
- 雑誌名
  
  J.Vac.Sci.Technol.B 28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[雑誌論文] Non-Core-Shell Nanostructure Deposition on Focused-Ion-Beam Chemical-Vapor-Deposition2010
- 著者名/発表者名
  R.Kometani, S.Warisawa, S.Ishihara
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 49
- NAID
  210000068637
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[雑誌論文] Dynamic Characteristics Design System for 3D Nanostructure Fabricated by FIB-CVD2010
- 著者名/発表者名
  S.Nishi, R.Kometani, S.Warisawa, S.Ishihara
- 雑誌名
  
  J.Adv.Mech.Des.Sys.Man. 4
  
  ページ: 948-948
- NAID
  130000335368
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[雑誌論文] Evaluation of Resonance Characteristics Change of Silicon Resonators Due to Surface Treatment2010
- 著者名/発表者名
  H.Shimizu, J.-J.Delaunay, R.Kometani, S.Warisawa, S.Ishihara
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 49
- NAID
  210000068736
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[雑誌論文] Nanostructure fabrication by self-assembly of block copolymers on three-dimensional diamond-like carbon structures2010
- 著者名/発表者名
  H.Mino, R.Kometani, S.Warisawa, S.Ishihara
- 雑誌名
  
  Journal of Vaccum Science and Technology B
  
  巻: 28(6)
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[雑誌論文] The 3D nanostructure growth evaluations by the real-time current monitoring on focusedion-beam chemical vapor deposition2010
- 著者名/発表者名
  R.Kometani, S.Warisawa, S.Ishihara
- 雑誌名
  
  Microelectronic Eng. 87
  
  ページ: 1044-1048
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[雑誌論文] Dynamic Characteristics Design System for 3D Nanostructure Fabricated by FIB-CVD2010
- 著者名/発表者名
  S.Nishi, R.Kometani, S.Warisawa, S.Ishihara
- 雑誌名
  
  Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing
  
  巻: 4(5) ページ: 958-954
- NAID
  130000335368
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[雑誌論文] Piezoresistive effect in the three-dimensional diamondlike carbon nanostructure fabricated by focused-ion-beam chemical vapor deposition2010
- 著者名/発表者名
  R.Kometani, S.Warisawa, S.Ishihara
- 雑誌名
  
  Journal of Vaccum Science and Technology B
  
  巻: 28(6)
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[雑誌論文] Nanostructure fabrication by self-assembly of block copolymers on three-dimensional diamond-like carbon structures2010
- 著者名/発表者名
  H. Mino, R. Kometani, S. Warisawa, S. Ishihara
- 雑誌名
  
  J. Vac. Sci. Technol. B
  
  巻: 20
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360059
[雑誌論文] Evaluations of the hopping growth characteristics on 3-D nanostructure fabrication using focused-ion-beam2009
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, S. Warisawa, S. Ishihara
- 雑誌名
  
  J.Vac.Sci.Technol. B27
  
  ページ: 2698-2701
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[雑誌論文] Graphite Shell Film Formation Induced by Eduction Phenomenon of Ga Implanted by Focused Ion Beam2009
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇, T.Ichihashi, 割澤伸一, 石原直
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics 48
- NAID
  210000066925
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[雑誌論文] Growth characteristics evaluations on the 3D nansotructure fabrication by the high accuracy control of focused-ion-beam2009
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇, T.Hoshino, 割澤伸一, 石原直
- 雑誌名
  
  Microelectronic Engineering 86
  
  ページ: 552-555
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[雑誌論文] Nanoelectromechanical device fabrications by 3-D nanotechnology using focused-ion beams2009
- 著者名/発表者名
  R.Kometani, S.Ishihara
- 雑誌名
  
  Sci.Technol.Adv.Mater. 10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[雑誌論文] Evaluations of the hopping growth characteristics on 3-D nanostructure fabrication using focused-ion-beam2009
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
- 雑誌名
  
  Journal of Vacuum Science and Technology B27
  
  ページ: 2698-2701
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[雑誌論文] Eduction Position Control of Incorporated Gallium in the Diamond-like Carbon Deposited by Focused-Ion-Beam Chemical Vapor Deposition2008
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, S. Ishihara, K. Kanda, Y. Haruyama, T. Kaito and S. Matsui
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics Vol. 47, No. 6
  
  ページ: 5032-5035
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[雑誌論文] Resistivity change of the diamondlike carbon, deposited by focusedion-beam Chemical vapor deposition, induced by the annealing treatmen2008
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, T. Ichihashi, K. Kanda, T. Suzuki, K, Niihara, S. Ishihara, T. Kaito and S. Matsui
- 雑誌名
  
  Journal of Vacuum Science and Technology B26, 6
  
  ページ: 2628-2631
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[雑誌論文] In-Situ Observation of the Three-Dimensional Nano-Structure Growth on Focused-Ion-Beam Chemical Vapor Deposition by Scanning Electron Microscope2008
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, S. Ishihara, T. Kaito and S. Matsui
- 雑誌名
  
  Applied Physics Express Vol. 1
- NAID
  10025080476
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[産業財産権] 微小機械振動構造の作製方法2014
- 発明者名
  米谷玲皇，山口浩司
- 権利者名
  米谷玲皇，山口浩司
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2014-187324
- 出願年月日
  2014-09-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709005
[産業財産権] 光検出振動子、光波長計測装置、光波長計測方法、および光検出振動子の作製方法2013
- 発明者名
  米谷玲皇,石原直,割澤伸一,劉琿,守屋和樹,山口浩司,岡本創
- 権利者名
  東京大学,日本電信電話株式会社
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2013-171972
- 出願年月日
  2013-08-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760025
[産業財産権] 超伝導回路の作製方法2012
- 発明者名
  米谷玲皇,代俊,割澤伸一,石原直,小野満恒二,山口浩司
- 権利者名
  東京大学、日本電信電話株式会社
- 産業財産権番号
  2012-187329
- 出願年月日
  2012-08-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[産業財産権] 微小構造物の製造装置、及び製造方法2012
- 発明者名
  米谷玲皇, 郭登極,割澤伸一,石原直
- 権利者名
  東京大学
- 産業財産権番号
  2012-018557
- 出願年月日
  2012-10-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[産業財産権] 微小構造物の製造装置、及び製造方法2012
- 発明者名
  米谷玲皇、郭登極、割澤伸一、石原直
- 権利者名
  米谷玲皇、郭登極、割澤伸一、石原直
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2012-018557
- 出願年月日
  2012-10-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[産業財産権] 超伝導回路の作製方法2012
- 発明者名
  米谷玲皇、代俊、割澤伸一、石原直，小野満恒二，山口浩司
- 権利者名
  米谷玲皇、代俊、割澤伸一、石原直，小野満恒二，山口浩司
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2012-187329
- 出願年月日
  2012-08-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[産業財産権] 微小機械振動子の製造方法および微小機械振動子2011
- 発明者名
  芦葉裕樹、米谷玲皇、石原直、割澤伸一、山口浩司
- 権利者名
  芦葉裕樹、米谷玲皇、石原直、割澤伸一、山口浩司
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2011-111517
- 出願年月日
  2011-05-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[産業財産権] 微小機械振動子とその製造方法2011
- 発明者名
  西駿次郎、米谷玲皇、割澤伸一、石原直、山口浩司
- 権利者名
  西駿次郎、米谷玲皇、割澤伸一、石原直、山口浩司
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2011-111521
- 出願年月日
  2011-05-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[産業財産権] 微小機械振動子の製造方法および微小機械振動子2011
- 発明者名
  芦葉裕樹,米谷玲皇,石原直,割澤伸一,山口浩司
- 権利者名
  東京大学、日本電信電話株式会社
- 産業財産権番号
  2011-111517
- 出願年月日
  2011-05-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[産業財産権] 微小機械振動子とその製造方法2011
- 発明者名
  西駿次郎,米谷玲皇,割澤伸一,石原直,山口浩司
- 権利者名
  東京大学,日本電信電話株式会社
- 産業財産権番号
  2011-111521
- 出願年月日
  2011-05-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[産業財産権] 微小構造体の作製方法2010
- 発明者名
  米谷玲呈,石原直, 割澤伸一, 遊佐幸樹, 山口浩司, 永瀬雅夫, 岡本創
- 権利者名
  東京大学,日本電信電話(株)
- 出願年月日
  2010-05-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[産業財産権] 微小構造体の作製方法2010
- 発明者名
  米谷玲皇, 石原直, 割澤伸一, 遊佐幸樹, 山口浩司, 永瀬雅夫, 岡本創
- 権利者名
  東京大学,日本電信電話(株)
- 産業財産権番号
  2010-122423
- 出願年月日
  2010-05-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[産業財産権] 微小構造体の製造方法2010
- 発明者名
  米谷玲呈,石原直, 割澤伸一, 黒田耕平, 山口浩司, 永瀬雅夫, 岡本創
- 権利者名
  東京大学,日本電信電話(株)
- 出願年月日
  2010-06-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[産業財産権] 微小構造体の製造方法2010
- 発明者名
  米谷玲皇, 石原直, 割澤伸一, 黒田耕平, 山口浩司, 永瀬雅夫, 岡本創
- 権利者名
  東京大学,日本電信電話(株)
- 産業財産権番号
  2010-141690
- 出願年月日
  2010-06-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[学会発表] 畳み込みニューラルネットワークを利用した液中微小機械振動子の振動測定2023
- 著者名/発表者名
  別所和樹, 割澤伸一, 米谷玲皇
- 学会等名
  第84回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K23219
[学会発表] Evaluation of highly sensitive vibration states of nanomechanical resonators in liquid using a convolutional neural network2023
- 著者名/発表者名
  K. Bessho, S. Warisawa, R. Kometani
- 学会等名
  49th international conference on Micro and Nano Engineering
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K23219
[学会発表] 液体金属FIB ～3次元ナノ造形技術，デバイス研究への利用～2022
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇
- 学会等名
  応用物理学会ナノ荷電粒子ビーム産学連携委員会　2022年ナノ荷電粒子ビームに関する研究会事業
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K23219
[学会発表] 荷電粒子ビーム技術とナノメカニクス2021
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇
- 学会等名
  高分子学会印刷・情報・電子用材料研究会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03198
[学会発表] ナノメカニクスとNEMSセンシング2021
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇
- 学会等名
  科学技術交流財団新産業創出に向けたマイクロセンサデバイス研究会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03198
[学会発表] ナノメカニクスとNEMSセンシング2021
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇
- 学会等名
  科学技術交流財団新産業創出に向けたマイクロセンサデバイス研究会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PUBLICLY-19H04671
[学会発表] 荷電粒子ビーム技術とNEMSセンシング2021
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇
- 学会等名
  電気学会北陸支部学術講演会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03198
[学会発表] Optical force measurement by a nanomechanical resonator electrostatically coupled to a cantilever2021
- 著者名/発表者名
  Reo Kometani
- 学会等名
  The 2021 International Chemical Congress of Pacific Basin Societies
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03198
[学会発表] 荷電粒子ビーム技術とNEMSセンシング2021
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇
- 学会等名
  電気学会北陸支部学術講演会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PUBLICLY-19H04671
[学会発表] 荷電粒子ビーム技術とナノメカニクス2021
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇
- 学会等名
  高分子学会印刷・情報・電子用材料研究会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PUBLICLY-19H04671
[学会発表] 畳み込みニューラルネットワークを利用したナノメカニカル振動子の高感度振動計測2021
- 著者名/発表者名
  津旨航平, 割澤伸一, 米谷玲皇
- 学会等名
  第13回集積化 MEMS シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PUBLICLY-19H04671
[学会発表] 光圧計測知的ナノメカニカルシステムの創出2021
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇
- 学会等名
  新学術領域研究「光圧によるナノ物質操作と秩序の創生」, 第5回公開シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PUBLICLY-19H04671
[学会発表] 畳み込みニューラルネットワークを利用したナノメカニカル振動子の高感度振動計測2021
- 著者名/発表者名
  津旨航平, 割澤伸一, 米谷玲皇
- 学会等名
  第13回集積化 MEMS シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03198
[学会発表] Highly Sensitive Vibration Measurement Method of Nanomechanical Resonator Using Convolutional Neural Network2021
- 著者名/発表者名
  Kohei Tsumune, Shin’ichi Warisawa, Reo Kometani
- 学会等名
  34rd International Microprocesses and Nanotechnology Conference
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03198
[学会発表] Highly Sensitive Vibration Measurement Method of Nanomechanical Resonator Using Convolutional Neural Network2021
- 著者名/発表者名
  Kohei Tsumune, Shin’ichi Warisawa, Reo Kometani
- 学会等名
  34rd International Microprocesses and Nanotechnology Conference
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PUBLICLY-19H04671
[学会発表] Optical force measurement by a nanomechanical resonator electrostatically coupled to a cantilever2021
- 著者名/発表者名
  Reo Kometani
- 学会等名
  The 2021 International Chemical Congress of Pacific Basin Societies
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PUBLICLY-19H04671
[学会発表] Fabrication of an optomechanical resonator with a spiral bull's eye antenna for the measurement of light wavelength2021
- 著者名/発表者名
  Reo Kometani, Penekwong Khemnat, Shin’ichi Warisawa
- 学会等名
  34rd International Microprocesses and Nanotechnology Conference
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03198
[学会発表] 狭細な透過光スペクトルを有するブルズアイ構造実現のためのスパイラルブラッグリフレクタ2021
- 著者名/発表者名
  大岩達典, 割澤伸一, 米谷玲皇
- 学会等名
  第13回集積化 MEMS シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03198
[学会発表] Vibration Spectrum Measurement and Phase-Resolved Image Observation of Nanomechanical Resonators by Helium Ion Microscopy2020
- 著者名/発表者名
  Masaki Saito, Shinichi Ogawa, Yukinori Morita, Shin’ichi Warisawa, Reo Kometani
- 学会等名
  33rd International Microprocesses and Nanotechnology Conference
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PUBLICLY-19H04671
[学会発表] Evaluation method of vibration spectra of nanomechanical resonators using Helium Ion Microscope2020
- 著者名/発表者名
  Masaki Saito, Shinichi Ogawa, Yukinori Morita, Shin’ichi Warisawa, Reo Kometani
- 学会等名
  The 81st JSAP Autumn Meeting 2020
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03198
[学会発表] ナノメカニクスと光センシング2020
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇
- 学会等名
  分子研研究会「ナノ空間で光が織りなす分子操作・化学反応制御の新展開」
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PUBLICLY-19H04671
[学会発表] 超高感度光計測に向けたナノメカニカル振動子の微小振動検出法に関する研究2020
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇
- 学会等名
  「光圧によるナノ物質操作と秩序の創生」, 第4回公開シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PUBLICLY-19H04671
[学会発表] ナノメカニクスと光センシング2020
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇
- 学会等名
  分子研研究会「ナノ空間で光が織りなす分子操作・化学反応制御の新展開」
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03198
[学会発表] Vibration Spectrum Measurement and Phase-Resolved Image Observation of Nanomechanical Resonators by Helium Ion Microscopy2020
- 著者名/発表者名
  Masaki Saito, Shinichi Ogawa, Yukinori Morita, Shin’ichi Warisawa, Reo Kometani
- 学会等名
  33rd International Microprocesses and Nanotechnology Conference
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03198
[学会発表] Evaluation method of vibration spectra of nanomechanical resonators using Helium Ion Microscope2020
- 著者名/発表者名
  Masaki Saito, Shinichi Ogawa, Yukinori Morita, Shin’ichi Warisawa, Reo Kometani
- 学会等名
  The 81st JSAP Autumn Meeting 2020
- データソース
  KAKENHI-PUBLICLY-19H04671
[学会発表] An optomechanical resonator with a plasmonic half bull’s eye antenna and an aperture for wavelength detection2019
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, K. Tanaka, S. Warisawa
- 学会等名
  45th International Conference on Micro & Nano Engineering
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03198
[学会発表] Evaluation of etching characteristics on titanium-assisted chemical vapor etching of silicon dioxide2019
- 著者名/発表者名
  H. Nishida, S. Warisawa, R. Kometani
- 学会等名
  45th International Conference on Micro & Nano Engineering
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03198
[学会発表] 顕微ラマン分光法による薄膜メカニカル振動子の応力分布計測手法の構築2019
- 著者名/発表者名
  齊藤正樹、割澤伸一、米谷玲皇
- 学会等名
  2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PUBLICLY-19H04671
[学会発表] 酸化シリコンのチタン支援高速異方性化学エッチングの加工特性評価2019
- 著者名/発表者名
  西田裕信、割澤伸一、米谷玲皇
- 学会等名
  2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03198
[学会発表] uantification Method of Stress Depth-Distribution by Micro-Raman Spectroscopy for Thin Film Nanomechanical Resonator2019
- 著者名/発表者名
  M. Saito, S. Warisawa, R. Kometani
- 学会等名
  32nd International Microprocesses and Nanotechnology Conference
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PUBLICLY-19H04671
[学会発表] 顕微ラマン分光法による薄膜メカニカル振動子の応力分布計測手法の構築2019
- 著者名/発表者名
  齊藤正樹、割澤伸一、米谷玲皇
- 学会等名
  2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03198
[学会発表] 荷電粒子ビーム技術と光ナノセンシング2019
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇
- 学会等名
  OCU先端光科学シンポジウム
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PUBLICLY-19H04671
[学会発表] An optomechanical resonator with a plasmonic half bull’s eye antenna and an aperture for wavelength detection2019
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, K. Tanaka, S. Warisawa
- 学会等名
  45th International Conference on Micro & Nano Engineering
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PUBLICLY-19H04671
[学会発表] Quantification Method of Stress Depth-Distribution by Micro-Raman Spectroscopy for Thin Film Nanomechanical Resonator2019
- 著者名/発表者名
  M. Saito, S. Warisawa and R. Kometani
- 学会等名
  32nd International Microprocesses and Nanotechnology Conference
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03198
[学会発表] Wavelength Detection by optomechanical resonator with Spiral Bull’s Eye Antenna2018
- 著者名/発表者名
  K. Penekwong, S. Warisawa, T. Sugaya, S. Hashimoto, Y. Kawano and R. Kometani
- 学会等名
  31st International Microprocesses and Nanotechnology Conference
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03198
[学会発表] Fabrication of optomechanical nanoresonators elastically coupled in series by focused-ion-beam for wavelength measurement2018
- 著者名/発表者名
  K. Tanaka, S. Warisawa and R. Kometani
- 学会等名
  The 79th JSAP Autumn Meeting
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03198
[学会発表] 3次元ナノ構造造形技術とナノメカニクス研究2018
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇
- 学会等名
  2018年日本表面真空学会学術講演会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03198
[学会発表] 光波長計測のためのスパイラル型ブルズアイアンテナを有する光機械振動子の作製2018
- 著者名/発表者名
  ペンエークウォンケーマナット, 割澤伸一, 菅谷俊夫, 橋本将太, 河野行雄, 米谷玲皇
- 学会等名
  2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03198
[学会発表] 半円型ブルズアイ構造を有する直列連結型ナノメカニカル振動子によるQ値非依存波長計測2018
- 著者名/発表者名
  田中航大, 割澤伸一, 米谷玲皇
- 学会等名
  第9回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03198
[学会発表] FIB/EB複合リソグラフィーによるナノ光共振器の作製2018
- 著者名/発表者名
  吉原健太, 割澤伸一, 米谷玲皇
- 学会等名
  第9回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03198
[学会発表] Fabrication of nanomechanical resonaotors elastically couppled in series for sensitive thermal stress detection2018
- 著者名/発表者名
  T. Tanaka, E. Maeda, S. Warisawa and R. Kometani
- 学会等名
  62nd International Conference on Electron, Ion and Photon Beam Technology & Nanofabrication
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03198
[学会発表] Ultra‐thin film carbon mechanical resonator fabrication and its characterization2018
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, M. Sekine and S. Warisawa
- 学会等名
  44th International Conference on Micro and Nanoengineering
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03198
[学会発表] 荷電粒子ビーム技術とナノメカニクス研究2018
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇
- 学会等名
  精密工学会 2018年度春季大会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03198
[学会発表] スパイラル型ブルズアイアンテナを有する光機械振動子の作製と光波長検出特性評価2018
- 著者名/発表者名
  ペンエークウォンケーマナット, 割澤伸一, 菅谷俊夫, 橋本将太, 河野行雄, 米谷玲皇
- 学会等名
  第9回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03198
[学会発表] Development of Optomechanical Nanoresonators Elastically Coupled in Series for Q Factor Independent Wavelength Measurement2018
- 著者名/発表者名
  K. Tanaka, S. Warisawa and R. Kometani
- 学会等名
  31st International Microprocesses and Nanotechnology Conference
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03198
[学会発表] FIB/EB複合リソグラフィーによるNEB-22レジストからのカーボンナノメカニカル構造の作製2017
- 著者名/発表者名
  湯浅勇貴, 前田悦男, 米谷玲皇
- 学会等名
  第64回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  神奈川県　横浜市　パシフィコ横浜
- 年月日
  2017-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13827
[学会発表] Downsizing of the three-dimensional nanostructure fabricated by focused-ion-beam chemical vapor deposition2017
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, K. Nishikawa, E. Maeda
- 学会等名
  43rd International Conference on Micro and Nanoengineering (MNE2017)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03198
[学会発表] The Three-Dimensional Nano- and Microstructure Fabrications by Using Focused Ion Beam2017
- 著者名/発表者名
  R. Kometani
- 学会等名
  2017 Materials Research Society (MRS) Fall Meeting & Exhibit
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03198
[学会発表] Detection Characteristics of Strainof Ultra-thin Silicon Structure by Raman Spectroscopy2017
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, K. Okada, E. Maeda
- 学会等名
  30th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2017)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03198
[学会発表] The three-dimensional nanofabrication technology using foucusd-ion-beam2017
- 著者名/発表者名
  R. Kometani
- 学会等名
  Recent GFIS /advanced ion source microscopy technologies and its future prospects for R & D of materials and devices
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H03198
[学会発表] Fabrication of an optomechanical resonator with a two-interface surface plasmonic structure for the wavelength detection2016
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, M. Goto, E. Maeda
- 学会等名
  The 60th International Conference on Electron, Ion and Photon Beam Technology & Nanofabrication (EIPBN2016)
- 発表場所
  Wyndham Grand Hotel, Pittsburgh, US
- 年月日
  2016-06-03
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709005
[学会発表] SiO2膜のAl触媒化学蒸気エッチングとその特性評価2016
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇、村上剛浩、前田悦男
- 学会等名
  第77回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  新潟県新潟市朱鷺メッセ
- 年月日
  2016-09-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709005
[学会発表] Control of upward growth on the three-dimensional nanostructure fabrication by focused-ion-beam chemical vapor deposition2016
- 著者名/発表者名
  M. Sekine, E. Maeda, R. Kometani
- 学会等名
  42nd Micro and Nano Engineering 2016 (MNE2016)
- 発表場所
  Congress Center of Reed Messe Vienna, Vienna, Austria
- 年月日
  2016-09-21
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13827
[学会発表] 集束イオンビーム励起表面反応における上方成長精密制御2016
- 著者名/発表者名
  関根瑞恵, 前田悦男, 米谷玲皇
- 学会等名
  第77回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  新潟県新潟市朱鷺メッセ
- 年月日
  2016-09-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13827
[学会発表] In-Plane Optical Power Flow Control with Nano-Fabricated Plasmonic Structures for Micro Total Analysis Systems2016
- 著者名/発表者名
  M. Okuno, R. Kometani, and E. Maeda
- 学会等名
  THE 60TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON ELECTRON, ION, AND PHOTON BEAM TECHNOLOGY AND NANOFABRICATION
- 発表場所
  Pittsburgh, PA, USA
- 年月日
  2016-05-31
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13317
[学会発表] Aluminium-assisted anisotropic chemical vapor etching of silicon dioxide2016
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, T. Murakami, E. Maeda
- 学会等名
  42nd Micro and Nano Engineering 2016 (MNE2016)
- 発表場所
  Congress Center of Reed Messe Vienna, Vienna, Austria
- 年月日
  2016-09-22
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709005
[学会発表] Gold-assisted chemical etching of silicon dioxide technique and application for micro-pattering2015
- 著者名/発表者名
  T. Murakami, E. Maeda, R. Kometani
- 学会等名
  41th International Conference on Micro and Nano Engineering
- 発表場所
  World Forum, The Hauge, The Netherlands
- 年月日
  2015-09-22
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13827
[学会発表] A minimal optical Yagi-uda nanoantenna array for wavelength detection with optmechanical resonator2015
- 著者名/発表者名
  J. Oishi, M. Goto, H. Yamaguchi, E. Maeda, R. Kometani
- 学会等名
  41th International Conference on Micro and Nano Engineering
- 発表場所
  World Forum, The Hauge, The Netherlands
- 年月日
  2015-09-22
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709005
[学会発表] 金属触媒を用いたシリコン酸化膜の化学エッチングとその特性評価2015
- 著者名/発表者名
  村上剛浩，前田悦男，米谷玲皇
- 学会等名
  第7回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
- 発表場所
  新潟県新潟市朱鷺メッセ
- 年月日
  2015-10-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13827
[学会発表] 荷電粒子ビーム技術のナノメカニクス研究応用2015
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇
- 学会等名
  エレクトロニクス・表面技術フォーラム
- 発表場所
  神奈川県, 神奈川県産業技術センター
- 年月日
  2015-02-19
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709005
[学会発表] 集束イオンビーム立体ナノ構造形成技術とその高精度化2015
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇
- 学会等名
  第62回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  神奈川県, 東海大学
- 年月日
  2015-03-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709005
[学会発表] フッ素表面改質によるカーボンナノ機械振動子の高Q値化2015
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇,　宮腰拓実,　前田悦男
- 学会等名
  第75回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  愛知県名古屋市名古屋国際会議場
- 年月日
  2015-09-14
- データソース
  KAKENHI-PUBLICLY-26107513
[学会発表] Influence of Focused-Ion-Beam Process and Annealing Treatment on Resonance of Graphene Nanomechanical Resonator2015
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, K. Kosugi, K. Tsushima, S. Chiashi, S. Maruyama, E. Maeda
- 学会等名
  28th International Microprocesses and Nanotechnology Conference
- 発表場所
  富山県富山市富山国際会議場
- 年月日
  2015-11-12
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PUBLICLY-26107513
[学会発表] Photonic Absorber with Nano-Fins for Wavelength Detection with Mechanical Resonator in Near-infrared Region2015
- 著者名/発表者名
  E. Maeda and R. Kometani
- 学会等名
  28th International Microprocesses and Nanotechnology Conference
- 発表場所
  富山県富山市富山国際会議場
- 年月日
  2015-11-12
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709005
[学会発表] 光機械振動子を用いた波長測定のための金ナノフィン配列に関する研究2015
- 著者名/発表者名
  前田悦男，米谷玲皇
- 学会等名
  第7回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
- 発表場所
  新潟県新潟市朱鷺メッセ
- 年月日
  2015-10-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709005
[学会発表] フッ化表面改質によるカーボンナノメカニカル振動子の高Q値化2015
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇,　宮腰拓実,　前田悦男
- 学会等名
  第7回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
- 発表場所
  新潟県新潟市朱鷺メッセ
- 年月日
  2015-10-29
- データソース
  KAKENHI-PUBLICLY-26107513
[学会発表] Effect of fluorine surface modification on resonance of a carbon nanoresonator fabricated by FIB/EB dual-beam lithography2015
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, T. Miyakoshi, E. Maeda
- 学会等名
  41th International Conference on Micro and Nano Engineering
- 発表場所
  World Forum, The Hauge, The Netherlands
- 年月日
  2015-09-22
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709005
[学会発表] Coupled nanomechanical resonator with frequency tuning capability2014
- 著者名/発表者名
  Shin’ichi Warisawa, Hiroyuki Tsuno, Reo Kometani and Sunao Ishihara
- 学会等名
  The 15th International Conference on Precision Engineering
- 発表場所
  Kanazawa, Ishikawa, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25289011
[学会発表] High Q factor graphene mechanical resonator fabrication using the clamp-bending method2014
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, Y. Oshidari, S. Ishihara, and S. Warisawa
- 学会等名
  The 58th International Conference on Electron, Ion and Photon Beam Techonology & Nanofabrication
- 発表場所
  Omni Shoreham Hotel, Washington DC, US
- 年月日
  2014-05-19
- データソース
  KAKENHI-PUBLICLY-26107513
[学会発表] Q Factor Enhancement of Grapheme Mechanical Resonator by Fluorine Surface Modification2014
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, M. Sato, X. Chen, T. Ono, E. Maeda, S. Chiashi, S. Maruyama
- 学会等名
  The 40th Micro and Nano Engineering
- 発表場所
  The Swiss Tech Convention Center, Lausanne, Switzerland
- 年月日
  2014-09-26
- データソース
  KAKENHI-PUBLICLY-26107513
[学会発表] Homogeneous Ultra-Long Overhang Nanostructure Fabrication by Feedback Control of Blanking Time on Focused-Ion-Beam Chemical Vapor Deposition2014
- 著者名/発表者名
  R. Kometani and T. Aonuma
- 学会等名
  27th International Microprocesses and Nanotechnology Conference
- 発表場所
  福岡県, ヒルトン福岡シーホーク
- 年月日
  2014-11-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709005
[学会発表] 集束イオンビーム技術とナノメカニクス研究2014
- 著者名/発表者名
  米谷　玲皇
- 学会等名
  応用物理学会シングルナノパターニング研究グループ 2014年度第3回講演会
- 発表場所
  大阪府，大阪大学
- 年月日
  2014-07-15
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PUBLICLY-26107513
[学会発表] 走査電子顕微鏡を利用した微小機械振動子の動特性プロファイリング2014
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇,中野和洋,石原直,割澤伸一
- 学会等名
  2014年第34回応用物理学会春季田学術講演会
- 発表場所
  青山学院大学,神奈川県
- 年月日
  2014-03-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760025
[学会発表] 走査電子顕微鏡を利用した微小機械振動子の動特性プロファイリング2014
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇，中野和洋，石原直，割澤伸一
- 学会等名
  2014年度春季講演会応用物理学会
- 発表場所
  青山学院大学，神奈川
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25289011
[学会発表] 集束イオンビーム化学気相成長法を用いた長尺オーバーハングナノ構造形成における材料組成の均質化2014
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇，青沼正
- 学会等名
  75回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  北海道, 北海道大学
- 年月日
  2014-09-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709005
[学会発表] High Q factor graphene mechanical resonator fabrication using the clamp-bending method2014
- 著者名/発表者名
  Reo Kometani, Yuta Oshidari, Sunao Ishihara and Shin'ichi Warisawa
- 学会等名
  The 58th International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN2014)
- 発表場所
  Washington DC, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25289011
[学会発表] 顕微鏡技術を応用した微小機械振動子の動特性評価2014
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇,　中野和洋,　石原直,　割澤伸一
- 学会等名
  第6回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
- 発表場所
  島根県，くにびきメッセ
- 年月日
  2014-10-20
- データソース
  KAKENHI-PUBLICLY-26107513
[学会発表] Source gas distribution measurement in focused-ion-beam chemical vapor deposition using graphene sensing device2014
- 著者名/発表者名
  Shin'ichi Warisawa, Si Chen, Takahito Ono, Ichiro Yamada, Sunao Ishihara and Reo Kometani
- 学会等名
  The 58th International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN2014)
- 発表場所
  Washington DC, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25289011
[学会発表] 集束イオンビーム立体ナノ構造作製技術とナノメカニクス研究2014
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇
- 学会等名
  ＪＡＩＳＴグリーンデバイス研究センターシンポジウム
- 発表場所
  石川県, 北陸先端科学技術大学院大学
- 年月日
  2014-06-25
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709005
[学会発表] 走査電子顕微鏡を利用したナノメカニカル振動子の動特性評価2013
- 著者名/発表者名
  中野和洋，割澤伸一，石原直，米谷玲皇
- 学会等名
  2013年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  関西大学，大阪
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25289011
[学会発表] ナノメカニクスとその波長計測への応用2013
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇
- 学会等名
  2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  同志社大学,京都府
- 年月日
  2013-09-16
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760025
[学会発表] 光波長検出微小機械振動子の作製と特性評価2013
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇，劉　琿，割澤伸一，石原直
- 学会等名
  第60回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  神奈川工科大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760025
[学会発表] Characterizations of the carbon nanomechanical resonator fabricated from SU-8 by FIB/EB dual beam lithography2013
- 著者名/発表者名
  Yuto Miyata, Shin’ichi Warisawa, Sunao Ishihara, Reo Kometani
- 学会等名
  39th International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE2013)
- 発表場所
  London, UK
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25289011
[学会発表] Partial patterning of periodic nanostructures using block copolymer lithography2013
- 著者名/発表者名
  H. Suzuki, R. Kometani, S. Ishihara, S. Warisawa
- 学会等名
  SPIE Advanced Lithography 2013
- 発表場所
  San Jose, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] FIB/EB 複合リソグラフィーにより作製したカーボンナノ振動子の特性評価2013
- 著者名/発表者名
  宮田雄斗，割澤伸一，石原直，米谷玲皇
- 学会等名
  2013年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  関西大学，大阪
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25289011
[学会発表] Optomechanical resonator fabrication with the surface plasmon antenna for the wavelength detection2013
- 著者名/発表者名
  Reo Kometani, Hui Liu, Shin'ichi Warisawa, Sunao Ishihara
- 学会等名
  The 57th International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN2013)
- 発表場所
  Oral, Nashville, US
- 年月日
  2013-05-31
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760025
[学会発表] ynamic characteristics evaluation of nanomechanical resonators by the application of stroboscopic scanning electron microscope2013
- 著者名/発表者名
  Kazuhiro Nakano, Shinichi Warisawa, Sunao Ishihara, Reo Kometani
- 学会等名
  26th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2013)
- 発表場所
  Sapporo, Hokkaido, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25289011
[学会発表] 光波長検出微小機械振動子の作製と特性評価2013
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇,劉琿,割澤伸一,石原直
- 学会等名
  第60回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  神奈川工科大学,神奈川県
- 年月日
  2013-03-29
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760025
[学会発表] 荷電粒子ビーム技術とナノメカニクス研究2013
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇
- 学会等名
  公益社団法人新化学技術推進協会電子情報技術部会MEMS分科会講演会
- 発表場所
  新化学技術推進協,東京都
- 年月日
  2013-10-15
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760025
[学会発表] The growth height correction on the three-dimensional nanostructure fabrication using focused-ion-beam chemical vapor deposition2013
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, Y. Murao, S. Ishihara, S. Warisawa
- 学会等名
  26th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2013)
- 発表場所
  Oral, Royton Sapporo, Hokkaido, Japan
- 年月日
  2013-11-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760025
[学会発表] Light-coupled nanomechanical resonator fabrication and its characterization2013
- 著者名/発表者名
  Kazuki Moriya, Shin’ichi Warisawa, Sunao Ishihara, Reo Kometani
- 学会等名
  39th International Conference on Micro and Nano Engineering(MNE2013)
- 発表場所
  London, UK
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25289011
[学会発表] 光波長検出微小機械振動子の作製と特性評価2013
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇、劉琿、割澤伸一、石原直
- 学会等名
  第60回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  神奈川工科大学、厚木市
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] ナノ機械振動子を用いた高感度光波長検出に関する研究2013
- 著者名/発表者名
  劉琿、米谷玲皇、割澤伸一、石原直
- 学会等名
  2013年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学、東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] 光結合微小機械振動子の作製とその特性評価に関する研究2013
- 著者名/発表者名
  守屋　和樹，割澤伸一，石原直，米谷玲皇
- 学会等名
  2013年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  関西大学，大阪
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25289011
[学会発表] 集束イオンビーム実時間照射量制御によるオーバーハング微細構造の長尺作製2013
- 著者名/発表者名
  郭登極、米谷玲皇、割澤伸一、石原直
- 学会等名
  第60回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  神奈川工科大学、厚木市
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] FIB-CVDを用いた3 次元ナノ構造形成における構造形成高さの補正2013
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇,村尾裕規,石原直,割澤伸一
- 学会等名
  2013年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  関西大学,大阪府
- 年月日
  2013-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760025
[学会発表] Nanomechanical Tuning Forks Fabricated by Focused-Ion-Beam Chemical Vapor Deposition2012
- 著者名/発表者名
  H. Ashiba, R. Kometani, S. Warisawa and S. Ishihara
- 学会等名
  The 56th International Conference on Electron, Ion and Photon Beam Technology and Nanaofabrication (EIPBN2012)
- 発表場所
  Waikoloa, Hawaii, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] EB/FIB Dual-beam Lithography2012
- 著者名/発表者名
  R. Kometani
- 学会等名
  Next Generation Lithography Workshop 2012 (NGL2012)
- 発表場所
  蔵前会館、東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] Nanomechanical Tuning Forks Fabricated by Focused-Ion-Beam Chemical Vapor Deposition2012
- 著者名/発表者名
  H. Ashiba, R. Kometani, S. Warisawa and S.Ishihar
- 学会等名
  The 56th Int. Conf. on Electron, Ion and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN2012)
- 発表場所
  Hawaii
- 年月日
  2012-05-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] Evaluation of Resonance Detection Properties on Vibration Measurement of the Mechanical Resonator using Scanning Probe Microscope2012
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, S. Mifune, S. Warisawa and S. Ishihara
- 学会等名
  25th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2012)
- 発表場所
  Kobe, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760025
[学会発表] ブロック共重合体リソグラフィによる選択的金属ナノドットアレイの作製2012
- 著者名/発表者名
  鈴木裕之、米谷玲皇、石原直、割澤伸一
- 学会等名
  第73回秋季応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  愛媛大学・松山大学、松山市
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] 二次電子の角度依存性を利用した微小機械振動子の振動計測法2012
- 著者名/発表者名
  中野和洋、米谷玲皇、割澤伸一、石原直
- 学会等名
  第73回秋季応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  愛媛大学・松山大学、松山市
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] A Nanomechanical Resonator from HSQ Fabricated by FIB/EB Dual Beam Lithography2012
- 著者名/発表者名
  S. Warisawa, K. Kuroda, S. Chen, R. Kometani, S. Ishihara
- 学会等名
  29th International Conference of Photopolymer Science and Technology (ICPST-29)
- 発表場所
  Chiba Univ., Chiba, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] FIB-CVD による音叉型ナノメカニカル振動子作製とその振動特性評価2012
- 著者名/発表者名
  芦葉裕樹、米谷玲皇、割澤伸一、石原直
- 学会等名
  第59回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  早稲田大学、東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] 電子線リソグラフィを用いたジブロック共重合体ミクロ相分離膜の選択的パターニング2012
- 著者名/発表者名
  鈴木裕之，米谷玲皇，割澤伸一，石原直
- 学会等名
  精密工学会 2012年度春季学術講演会
- 発表場所
  首都大学東京、東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] The three-dimensional nanostructure fabrication from HSQ by FIB/EB dual-beam lithography2012
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, K. Kuroda, S. Warisawa and S. Ishihara
- 学会等名
  The 56th International Conference on Electron, Ion and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN2012)
- 発表場所
  Hawaii, USA(口頭)
- 年月日
  2012-05-31
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760025
[学会発表] Vibration Characteristics of DLC Nanomechanical Resonator under Parametric Excitation2012
- 著者名/発表者名
  K. Fuse, R. Kometani, S. Ishihara, S. Warisawa
- 学会等名
  38th International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE2012)
- 発表場所
  Toulose, France
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] FIB/EB 複合リソグラフィーによるカーボンナノ機械振動子の作製とその特性評価2012
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇，畠山大輝，黒田耕平，割澤伸一，石原　直
- 学会等名
  第59回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760025
[学会発表] Superconductivity of tungsten-containing carbon nanowires fabricated by focused-ion-beam chemical vapor deposition2012
- 著者名/発表者名
  代俊、小野満恒二、米谷玲皇、Yoshiharu Krockenberger，割澤伸一、山口浩司、石原直
- 学会等名
  第59回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  早稲田大学、東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] Direct Fabrication of WxCy SNS Josephson Junction by Using Focused- ion-beam Chemical Vapor Deposition2012
- 著者名/発表者名
  J. Dai, K. Onomitsu, R. Kometani, Y.Krockenberger, H. Yamaguchi, S. Ishihara and S. Warisawa
- 学会等名
  25th International Microprocesses and Nano- technology Conference (MNC2012)
- 発表場所
  Kobe, Japan
- 年月日
  2012-10-31
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] Quality factor improvement of grapheme resonator by SU-8 shrinkage-induced strain2012
- 著者名/発表者名
  Oshidari, T. Hatakeyama, R. Kometani, W. Warisawa and S. Ishihara
- 学会等名
  The 56th International Conference on Electron, Ion and Photon Beam Technology and Nanaofabrication (EIPBN2012)
- 発表場所
  Waikoloa, Hawaii, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] FIB/EB 複合リソグラフィーによるHSQ からの３次元ナノ構造作製2012
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇，黒田耕平，割澤伸一，石原直
- 学会等名
  第73回秋季応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  愛媛大学・松山大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760025
[学会発表] FIB/EB 複合リソグラフィーによるHSQ からの３次元ナノ構造作製2012
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇、黒田耕平、割澤伸一、石原直
- 学会等名
  第73回秋季応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  愛媛大学・松山大学、松山市
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] Nanoporous Structure Fabrication in Selective Areas by Block Copolymer Self-Assembly and Electron Beam Lithography2012
- 著者名/発表者名
  H. Suzuki, R. Kometani, S. Ishihara, S. Warisawa
- 学会等名
  29th International Conference of Photopolymer Science and Technology (ICPST-29)
- 発表場所
  Chiba Univ., Chiba, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] Superconductivity of tungsten-containing carbon nanowires fabricated focused-ion-beam chemical vapor deposition2012
- 著者名/発表者名
  J. Dai, R. Kometani, S. Warisawa, S. Ishihara, K. Onomitsu, Y. Krockenberger and H. Yamaguchi
- 学会等名
  The 56th International Conference on Electron, Ion and Photon Beam Technology and Nanaofabrication (EIPBN2012)
- 発表場所
  Waikoloa, Hawaii, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] SU-8の熱収縮を用いた歪印加によるグラフェン振動子の高Q値化2012
- 著者名/発表者名
  忍足優太、畠山大輝、米谷玲皇、割澤伸一、石原直
- 学会等名
  第59回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  早稲田大学、東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] The three-dimentional nanostructure fabrication from HSQ by FIB/EB dual-beam lithography2012
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, K. Kuroda, S. Warisawa and S. Ishihara
- 学会等名
  The 56th EIPBN Conference
- 発表場所
  Waikoloa, Hawaii
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760025
[学会発表] 電子線リソグラフィを用いたジブロック共重合体ミクロ相分離膜の選択的パターニング2012
- 著者名/発表者名
  鈴木裕之, 米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
- 学会等名
  精密工学会2012年度春季大会
- 発表場所
  東京,日本
- 年月日
  2012-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360059
[学会発表] Evaluation of Resonance Detection Properties on Vibration Measurement of the Mechanical Resonator using Scanning Probe Microscope2012
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, S. Mifune, S. Warisawa and S. Ishihara
- 学会等名
  25th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2012)
- 発表場所
  Kobe, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] Superconductivity of tungsten- containing carbon nanowires fabricated focused-ion-beam chemical vapor deposition2012
- 著者名/発表者名
  Jun Dai, R. Kometani, S. Warisawa, S.Ishihara, K. Onomitsu, Y. Krockenberger, H. Yamaguchi
- 学会等名
  The 56th Int. Conf. on Electron, Ion and Photon Beam Technol. and Nanofabrication (EIPBN2012)
- 発表場所
  Hawaii
- 年月日
  2012-05-31
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] Superconducting tungsten nanowire growth by focused-ionbeam chemical vapor deposition2012
- 著者名/発表者名
  代俊、小野満恒二、米谷玲皇、Y. Krockenberger、割澤伸一、山口浩司、石原直
- 学会等名
  2012年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  九州工業大学、北九州市
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] Evaluation of Resonance Detection Properties on Vibration Measurement of the Mechanical Resonator using Scanning Probe Microscope2012
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, S. Mifune, S. Warisawa and S. Ishihara
- 学会等名
  25th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2012)
- 発表場所
  Oriental Hotel, Kobe, Japan
- 年月日
  2012-11-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760025
[学会発表] FIB/EB 複合リソグラフィーによるカーボンナノ機械振動子の作製とその特性評価2012
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇,畠山大輝,黒田耕平, 割澤伸一,石原直
- 学会等名
  2012年第59回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  早稲田大学,東京都
- 年月日
  2012-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760025
[学会発表] Height and Edge Shape Correction on the Nanostructure Fabrication by Focused-ionbeam Chemical Vapor Deposition2012
- 著者名/発表者名
  Y. Murao, R. Kometani, S. Warisawa and S. Ishihara
- 学会等名
  25th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2012)
- 発表場所
  Kobe, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] FIB-CVDの下方成長を利用した三次元ナノ構造の作製2012
- 著者名/発表者名
  郭登極、米谷玲皇、割澤伸一、石原直
- 学会等名
  第59回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  早稲田大学、東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] FIB-CVD の実時間走査速度制御による空中水平ナノワイヤの長尺形成2012
- 著者名/発表者名
  郭登極、米谷玲皇、割澤伸一、石原直
- 学会等名
  第73回秋季応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  愛媛大学・松山大学、松山市
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] Height and Edge Shape Correction on the Nanostructure Fabrication by Focused- ion-beam Chemical Vapor Deposition2012
- 著者名/発表者名
  Y. Murao, R. Kometani, S. Warisawa and S.Ishihara
- 学会等名
  25th Int. Microprocesses and Nanotechnology Conf. (MNC2012)
- 発表場所
  Kobe, Japan
- 年月日
  2012-10-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] Strained-nanomechanical resonator fabrication from HSQ by FIB/EB dual-beam lithography and annealing treatment2012
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, K. Kuroda, S. Warisawa and S. Ishihara
- 学会等名
  38th International Micro & Nano Engineering Conference (MNE 2012)
- 発表場所
  Toulouse, France(ポスター)
- 年月日
  2012-09-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760025
[学会発表] Ultra-long horizontal free-space-nanowire growth by the real-time feedback control of the scanning speed on focused-ion-beam chemical vapor deposition2012
- 著者名/発表者名
  D. Guo, R. Kometani, S. Warisawa, S. Ishihara
- 学会等名
  38th International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE2012)
- 発表場所
  Toulose, France
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] 自己組織化ジブロック共重合体薄膜をポジ型/ネガ型混合レジストとして用いた電子線リソグラフィ2012
- 著者名/発表者名
  鈴木裕之, 米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
- 学会等名
  第59回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  東京,日本
- 年月日
  2012-03-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360059
[学会発表] Partial Control of Nanoporous Structures Using Block Copolymer Self-Assembly and Electron Beam Lithography2012
- 著者名/発表者名
  H. Suzuki, R. Kometani, S. Warisawa, S. Ishihara
- 学会等名
  4th International Symposium on Global Center for Excellence for Mechanical Systems Innovation (GMSI)
- 発表場所
  The Univ. of Tokyo, Tokyo, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] FIB/EB 複合リソグラフィーによるHSQ からの3 次元ナノ構造作製2012
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇,黒田耕平,割澤伸一,石原直
- 学会等名
  第73回秋季応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  愛媛大学・松山大学,愛媛県
- 年月日
  2012-09-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760025
[学会発表] Direct Fabrication of WxCy SNS Josephson Junction by Using Focused-ion-beam Chemical Vapor Deposition2012
- 著者名/発表者名
  J. Dai, K. Onomitsu, R. Kometani, Y. Krockenberger, H. Yamaguchi, S. Ishihara and S. Warisawa
- 学会等名
  25th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2012)
- 発表場所
  Kobe, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] 集束イオンビーム化学気相成長法による空中水平長尺ナノ構造形成2012
- 著者名/発表者名
  郭登極、米谷玲皇、割澤伸一、石原直
- 学会等名
  第４回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
- 発表場所
  北九州国際会議場、北九州市
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] Strained-nanomechanical resonator fabrication from HSQ by FIB/EB dual-beam lithography and annealing treatment2012
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, K. Kuroda, S. Warisawa and S. Ishihara
- 学会等名
  38th International Micro & Nano Engineering Conference (MNE 2012)
- 発表場所
  Toulouse-France
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760025
[学会発表] SU-8 の熱収縮を利用した高Q 値グラフェン振動子の作製2012
- 著者名/発表者名
  忍足優太、畠山大輝、米谷玲皇、割澤伸一、石原直
- 学会等名
  2012年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  九州工業大学、北九州市
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] Ultra-long horizontal free-space- nanowire growth by the real-time feedback control of the scanning speed on focused- ion-beam chemical vapor deposition2012
- 著者名/発表者名
  D. Guo, R. Kometani, S. Warisawa, S.Ishihara
- 学会等名
  38th Int. Conf. on Micro and Nano Engineering (MNE2012)
- 発表場所
  Toulose, France
- 年月日
  2012-09-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] Vibration measurement technique of micro and nano mechanical resonators using tilt dependence of electron beam-induced secondary electron emission2012
- 著者名/発表者名
  K. Nakano, R. Kometani, S. Warisawa, S. Ishihara
- 学会等名
  38th International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE2012)
- 発表場所
  Toulose, France
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] The three-dimentional nanostructure fabrication from HSQ by FIB/EB dual-beam lithography2012
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, K. Kuroda, S. Warisawa and S. Ishihara
- 学会等名
  The 56th International Conference on Electron, Ion and Photon Beam Technology and Nanaofabrication (EIPBN2012)
- 発表場所
  Waikoloa, Hawaii, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] The three-dimensional nanostructure fabrication from HSQ by FIB/EB dual-beam lithography2012
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, K. Kuroda, S. Warisawa and S.Ishihar
- 学会等名
  The 56th Int. Conf. on Electron, Ion and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN2012)
- 発表場所
  Hawaii
- 年月日
  2012-05-31
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] Quality factor improvement of grapheme resonator by SU-8 shrinkage-induced strain2012
- 著者名/発表者名
  Oshidari, T. Hatakeyama, R. Kometani, S.Warisawa and S. Ishihara
- 学会等名
  The 56th Int. Conf. on Electron, Ion and Photon Beam Technol. and Nanofabrication (EIPBN2012)
- 発表場所
  Hawaii
- 年月日
  2012-06-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] Electron Beam Lithography by Using Self-Assembled Block Copolymer Thin Films as Positive/Negative Tone Combined Resist2012
- 著者名/発表者名
  H. Suzuki, R. Kometani, S. Ishihara and S. Warisawa
- 学会等名
  The 56th International Conference on Electron, Ion and Photon Beam Technology and Nanaofabrication (EIPBN2012)
- 発表場所
  Waikoloa, Hawaii, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] Electron Beam Lithography on Block Copolymer Self-Assembled Thin Films2012
- 著者名/発表者名
  H. Suzuki, R. Kometani, S. Warisawa, S. Ishihara
- 学会等名
  Next Generation Lithography Workshop 2012 (NGL2012)
- 発表場所
  蔵前会館、東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] Strained-nanomechanical resonator fabrication from HSQ by FIB/EB dual-beam lithography and annealing treatment2012
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, K. Kuroda, S. Warisawa and S.Ishihara
- 学会等名
  38th Int. Conf. on Micro and Nano Engineering (MNE2012)
- 発表場所
  Toulose, France
- 年月日
  2012-09-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] Strained-nanomechanical resonator fabrication from HSQ by FIB/EB dual-beam lithography and annealing treatment2012
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, K. Kuroda, S. Warisawa and S. Ishihara
- 学会等名
  38th International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE2012)
- 発表場所
  Toulose, France
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] Vibration measurement technique of micro and nano mechanical resonators using tilt dependence of electron beam-induced secondary electron emission2012
- 著者名/発表者名
  K. Nakano, R. Kometani, S. Warisawa, S.Ishihara
- 学会等名
  38th Int. Conf. on Micro and Nano Engineering (MNE2012)
- 発表場所
  Toulose, France
- 年月日
  2012-09-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] EB/FIB Dual-beam Lithography2012
- 著者名/発表者名
  R. Kometani
- 学会等名
  Next Generation Lithography Workshop 2012 (NGL2012)
- 発表場所
  東京工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760025
[学会発表] FIB/EB 複合リソグラフィーによるカーボンナノ機械振動子の作製とその特性評価2012
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇、畠山大輝、黒田耕平、割澤伸一、石原直
- 学会等名
  第59回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  早稲田大学、東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] Selectively patterned metal nanodots fabrication by combining block copolymer self-assembly and electron beam lithography2012
- 著者名/発表者名
  H. Suzuki, R. Kometani, S. Ishihara, S. Warisawa
- 学会等名
  SPIE Optics + Photonics 2012
- 発表場所
  San Diego, California, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] Vibration Characteristics of DLC Nanomechanical Resonator under Parametric Excitation2012
- 著者名/発表者名
  K. Fuse, R. Kometani, S. Ishihara, S.Warisawa
- 学会等名
  38th Int. Conf. on Micro and Nano Engineering (MNE2012)
- 発表場所
  Toulose, France
- 年月日
  2012-09-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] Evaluation of Resonance Detection Properties on Vibration Measurement of the Mechanical Resonator using Scanning Probe Microscope2012
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, S. Mifune, S. Warisawa and S.Ishihara
- 学会等名
  25th Int. Microprocesses and Nanotechnology Conf. (MNC2012)
- 発表場所
  Kobe, Japan
- 年月日
  2012-11-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] パラメトリック励振下におけるDLC ナノメカニカル振動子の振動特性2012
- 著者名/発表者名
  布施健太、米谷玲皇、石原直、割澤伸一
- 学会等名
  第73回秋季応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  愛媛大学・松山大学、松山市
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] Evaluations of the Downward Growth Characteristics on the 3-DNanostructure Fabrication using Focused-Ion-Beam Chemical Vapor Deposition2012
- 著者名/発表者名
  D.J. Guo, R. Kometani, S. Warisawa, and S. Ishihara
- 学会等名
  4th International Symposium on Global Center for Excellence for Mechanical Systems Innovation (GMSI)
- 発表場所
  The Univ. of Tokyo, Tokyo, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] FIB/EB Dual-beam Lithography2012
- 著者名/発表者名
  R. Kometani
- 学会等名
  Next Generation Lithogtaphy Workshop 2012 (NGL2012)
- 発表場所
  東京工業大学,東京都
- 年月日
  2012-07-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760025
[学会発表] リング型ナノメカニカル振動子の作製法とその振動特性評価2012
- 著者名/発表者名
  芦葉裕樹、米谷玲皇、割澤伸一、石原直
- 学会等名
  第73回秋季応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  愛媛大学・松山大学、松山市
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] 真空・大気下における音叉型ナノメカニカル振動子の振動特性2012
- 著者名/発表者名
  芦葉裕樹、米谷玲皇、割澤伸一、石原直
- 学会等名
  第４回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
- 発表場所
  北九州国際会議場、北九州市
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] 自己組織化膜によるプラズモン共鳴波長連続変素子の開発2011
- 著者名/発表者名
  高木崇光, 栗原一真, 粟津浩一, 米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
- 学会等名
  2011年秋季第72回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  山形,日本
- 年月日
  2011-08-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360059
[学会発表] FIB-CVDによる三次元微細構造作製の高精度化に関する研究2011
- 著者名/発表者名
  村尾裕規, 米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
- 学会等名
  精密工学会2011年度春季大会学術講演会
- 発表場所
  埼玉大学,埼玉
- 年月日
  2011-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] FIB-CVD法により堆積させたDLCによるグラフェンの選択成長2011
- 著者名/発表者名
  畠山大輝, 米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
- 学会等名
  2011年春季第58回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  神奈川工科大学,神奈川
- 年月日
  2011-03-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] FIB/EB複合リソグラフィによる歪印加振動子作製技術2011
- 著者名/発表者名
  黒田耕平, 米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
- 学会等名
  精密工学会2011年度春季大会学術講演会
- 発表場所
  埼玉大学,埼玉
- 年月日
  2011-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] A gradually shifted surface plasmon resonance with a controlled diameter of a nano-hole structure by self-assembly technique2011
- 著者名/発表者名
  T. Takagi, K. Kurihara, K. Awazu, R. Kometani, S. Warisawa, S. Ishihara
- 学会等名
  The 55th International Conference on Electron, Ion and Photon Beam Technology and Nanofabrication(EIPBN2011)
- 発表場所
  Las Vegas, Nevada, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360059
[学会発表] Q Factor Improvement of DLC Nanoresonator using a Fluorine Surface Coating2011
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, S. Warisawa, S. Ishihara
- 学会等名
  The 6th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21 2011)
- 発表場所
  Omiya Sonic City, Saitama, Japan(口頭)
- 年月日
  2011-11-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760025
[学会発表] Carbon Nanomechanical Resonator Fabrication from PMMA by FIB/EB Dual-Beam Lithography2011
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, T. Hatakeyama, S. Warisawa, and S. Ishihara
- 学会等名
  The 55th International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN2011)
- 発表場所
  Las Vegas, Nevada, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] Stressed Nanomechanical Resonator Fabrication Utilizing Stiction Phenomena2011
- 著者名/発表者名
  H. Ashiba, R. Kometani, S. Warisawa, and S. Ishihara
- 学会等名
  IEEE International Conference on　Mechatronics and Automation (ICMA2011)
- 発表場所
  Beijing, China
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] スティクションを利用したナノ振動子の高Q値化2011
- 著者名/発表者名
  葉裕樹, 米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
- 学会等名
  2011年春季第58回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  神奈川工科大学,神奈川
- 年月日
  2011-03-26
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] スティクションを利用した引張応力印加ナノ振動子の作製法2011
- 著者名/発表者名
  芦葉裕樹, 米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
- 学会等名
  精密工学会2011年度春季大会学術講演会
- 発表場所
  埼玉大学,埼玉
- 年月日
  2011-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] FIB/EB デュアルビームリソグラフィーによるカーボンナノ機械振動子の作製2011
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇,畠山大輝,黒田耕平, 割澤伸一,石原直
- 学会等名
  2011年第3回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
- 発表場所
  タワーホール船橋,東京都
- 年月日
  2011-09-26
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760025
[学会発表] Selective Graphene Growth from DLC Thin Film Patterned by Focused-ion-beam Chemical Vapor Deposition2011
- 著者名/発表者名
  T. Hatakeyama, R. Kometani, S. Warisawa, and S. Ishihara
- 学会等名
  The 55th International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN2011)
- 発表場所
  Las Vegas, Nevada, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] Patterning and Carbonization of Block Copolymer Self-assembled Structures by Focused-ion-beam2011
- 著者名/発表者名
  S. Warisawa, R. Mitsuhashi, R. Kometani and S. Ishihara
- 学会等名
  24th International Microprocesses and Nanotechnology Conference(MNC2011)
- 発表場所
  ANA Hotel Kyoto, Kyoto, Japa
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360059
[学会発表] The 3-D Nanostructure Fabrication by controlling Downward Growth on Focused-ion-beam Chemical Vapor Deposition2011
- 著者名/発表者名
  D.J. Guo, R. Kometani, S. Warisawa and S. Ishihara
- 学会等名
  24th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2011)
- 発表場所
  ANA Hotel Kyoto, Kyoto, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] Fabrication of Self-Assembled Cylindrical Structures within Free-Standing Block Copolymer Ultrathin Membranes2011
- 著者名/発表者名
  S. Warisawa, H. Mino, R. Kometani and S. Ishihara
- 学会等名
  2011 MRS Fall Meeting & Exhibit, Hynes Convention Center
- 発表場所
  Boston, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360059
[学会発表] Carbon Nanomechanical Resonator Fabrication from PMMA by FIB/EB Dual-Beam Lithography2011
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, T. Hatakeyama, K. Kuroda, S. Warisawa, S. Ishihara
- 学会等名
  The 55th International Conference on Electron, Ion and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN2011)
- 発表場所
  Las Vegas, Nevada, USA(口頭)
- 年月日
  2011-06-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760025
[学会発表] Quality Factor Enhancement on Nano Mechanical Resonators Utilizing Stiction Phenomena2011
- 著者名/発表者名
  H. Ashiba, R. Kometani, S. Warisawa and S. Ishihara
- 学会等名
  The 55th International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN2011)
- 発表場所
  Las Vegas, Nevada, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] In-situ TEM Observation and Force Measurement of Stick-slip Motion between DLC frictional surface2011
- 著者名/発表者名
  S. Nabeya, T. Sato, T. Ishida, R. Kometani and H. Fujita
- 学会等名
  6th International Symposium on Surface Science
- 発表場所
  Tokyo, Japan
- 年月日
  2011-12-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760126
[学会発表] A wide-range frequency tunable nanomechanical resonator with parametric resonance characteristics2011
- 著者名/発表者名
  S. Warisawa, S. Nishi, R. Kometani, S. Ishihar
- 学会等名
  37th International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE2011)
- 発表場所
  Berlin, Germany
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] Selective Patterning of Self-Assembled Block Copolymer Thin Films by Electron Beam Lithography2011
- 著者名/発表者名
  H. Suzuki, R. Kometani, S. Warisawa and S. Ishihara
- 学会等名
  2011 MRS Fall Meeting & Exhibit, Hynes Convention Center
- 発表場所
  Boston, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360059
[学会発表] Fabrication of Self-Assembled Cylindrical Structures within Free-Standing Block Copolymer Ultrathin Membranes2011
- 著者名/発表者名
  Shinichi Warisawa, Hiroyuki Mino, Reo Kometani, Sunao Ishihara
- 学会等名
  2011 MRS Fall Meeting & Exhibit
- 発表場所
  Boston, MA, USA
- 年月日
  2011-11-29
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360059
[学会発表] Q Factor Improvement of DLC Nanoresonator using a Fluorine Surface Coating2011
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, S. Warisawa, and S. Ishihara
- 学会等名
  The 6th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21 2011)
- 発表場所
  Omiya Sonic City, Saitama, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] Patterning and Carbonization of Block Copolymer Self-assembled Structures by Focused-ion-beam2011
- 著者名/発表者名
  S.Warisawa, R.Mitsuhashi, R.Kometani, S.Ishihara
- 学会等名
  24th International Micaroprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2011)
- 発表場所
  Kyoto, Japan
- 年月日
  2011-10-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360059
[学会発表] Strained Carbon Nanomechanical Resonator Fabrication from SU-8 by FIB/EB Dual-beam Lithography and Annealing Treatment2011
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, K. Kuroda, S. Warisawa and S. Ishihara
- 学会等名
  24th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2011)
- 発表場所
  京都
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760025
[学会発表] Relationship between Q factor and the surface condition of the DLC nanoresonator fabricated by focused-ion-beam chemical vapor deposition2011
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, H. Shimizu, S. Warisawa, and S. Ishihara
- 学会等名
  37th International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE2011)
- 発表場所
  Berlin, Germany
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] Strained Carbon Nanomechanical Resonator Fabrication from SU-8 by FIB/EB Dual-beam Lithography and Annealing Treatment2011
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, K. Kuroda, S. Warisawa and S. Ishihara
- 学会等名
  24th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2011)
- 発表場所
  ANA Hotel Kyoto, Kyoto, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] FIB/EBデュアルビームリソグラフィーによるカーボンナノ機械振動子の作製2011
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇, 畠山大輝, 黒田耕平, 割澤伸一，石原　直
- 学会等名
  第３回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
- 発表場所
  東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760025
[学会発表] A gradually shifted surface plasmon resonance with a controlled diameter of a nano-hole structure by self-assembly technique2011
- 著者名/発表者名
  T. Takagi, R. Kometani, S. Warisawa and S. Ishihara
- 学会等名
  The 55th International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN2011)
- 発表場所
  Las Vegas, Nevada, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] Dynamic Characteristics Control of DLC Nano-Resonator Fabricated by Focused-Ion-Beam Chemical Vapor Deposition2011
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, S. Nishi, S. Warisawa and S. Ishihara
- 学会等名
  The 55th International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN2011)
- 発表場所
  Las Vegas, Nevada, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] A gradually shifted surface plasmon resonance with a controlled diameter of a nano-hole structure by self-assembly technique2011
- 著者名/発表者名
  T.Takagi, K.Kurihara, K.Awazu, R.Kometani, S.Warisawa, S.Ishihara
- 学会等名
  The 55th International Conference on Electron, Ion and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN2011)
- 発表場所
  Las Vegas, Nevada, USA
- 年月日
  2011-06-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360059
[学会発表] Relationship between Q factor and the surface condition of the DLC nanoresonator fabricated by focused-ion-beam chemical vapor deposition2011
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, H. Shimizu, S. Warisawa, S. Ishihara
- 学会等名
  37th International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE2011)
- 発表場所
  Berlin, Germany(ポスター)
- 年月日
  2011-09-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760025
[学会発表] Carbon Nanomechanical Resonator Fabrication from PMMA by FIB/EB Dual-Beam Lithography2011
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, T. Hatakeyama, K. Kuroda, S. Warisawa, S. Ishihara
- 学会等名
  The 55th International Conference on Electron, Ion and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN2011)
- 発表場所
  Las Vegas, Nevada, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760025
[学会発表] Strained Carbon Nanomechanical Resonator Fabrication from SU-8 by FIB/EB Dual-beam Lithography and Annealing Treatment2011
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, K. Kuroda, S. Warisawa and S. Ishihara
- 学会等名
  24th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2011)
- 発表場所
  ANA Hotel Kyoto, Kyoto, Japan(口頭)
- 年月日
  2011-10-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760025
[学会発表] FIB-CVD形成DLCナノ振動子のフッ素表面コーティングの効果2011
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
- 学会等名
  精密工学会2011年度春季大会学術講演会
- 発表場所
  埼玉大学,埼玉
- 年月日
  2011-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] FIB/EB 複合リソグラフィーによるHSQ3次元ナノ構造作製2011
- 著者名/発表者名
  黒田耕平、米谷玲皇、割澤伸一、石原直
- 学会等名
  第72回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  山形大学、山形
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] Q Factor Improvement of DLC Nanoresonator using a Fluorine Surface Coating2011
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, S. Warisawa, S. Ishihara
- 学会等名
  The 6th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21 2011)
- 発表場所
  埼玉
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760025
[学会発表] Dynamic Characteristics Control of DLC Nano-Resonator Fabricated by Focused-Ion-Beam Chemical Vapor Deposition2011
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, S. Nishi, S. Warisawa, S. Ishihara
- 学会等名
  The 55th International Conference on Electron, Ion and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN2011)
- 発表場所
  Las Vegas, Nevada, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760025
[学会発表] 照射ドーズ量制御によるFIB-CVD三次元微細構造形成の高精度化に関する研究2011
- 著者名/発表者名
  村尾裕規、米谷玲皇、割澤伸一、石原直
- 学会等名
  2011年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  金沢大学、金沢
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] FIB-CVDの下方成長を利用した三次元ナノ構造の作製2011
- 著者名/発表者名
  郭登極、米谷玲皇、割澤伸一、石原直
- 学会等名
  第３回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
- 発表場所
  船堀、東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] FIB/EBデュアルビームリソグラフィーによるカーボンナノ機械振動子の作製2011
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇、畠山大輝、黒田耕平、割澤伸一、石原直
- 学会等名
  第３回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
- 発表場所
  船堀、東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] フッ素表面コーティングによるFIB-CVD形成DLC振動子の高Q値化2011
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
- 学会等名
  2011年春季第58回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  神奈川工科大学,神奈川
- 年月日
  2011-03-26
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] Effect of Annealing on Ultra-thin Silicon Nanomechanical Resonators Fabricated by Focused-Ion-Beam Implantation2011
- 著者名/発表者名
  H. Liu, R. Kometani, S. Warisawa, and S. Ishihara
- 学会等名
  37th International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE2011)
- 発表場所
  Berlin, Germany
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] Selective Patterning of Self-Assembled Block Copolymer Thin Films by Electron Beam Lithography2011
- 著者名/発表者名
  H. Suzuki, R. Kometani, S. Warisawa and S. Ishihara
- 学会等名
  2011 MRS Fall Meeting & Exhibit
- 発表場所
  Boston, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] Relationship between Q factor and the surface condition of the DLC nanoresonator fabricated by focused-ion-beam chemical vapor deposition2011
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, H. Shimizu, S. Warisawa, S. Ishihara
- 学会等名
  37th International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE2011)
- 発表場所
  Berlin, Germany
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760025
[学会発表] Selective Patterning of Self-Assembled Block Copolymer Thin Films by Electron Beam Lithography2011
- 著者名/発表者名
  H.Suzuki, R.Kometani, S.Warisawa, S.Ishihara
- 学会等名
  2011 MRS Fall Meeting & Exhibit
- 発表場所
  Boston, MA, USA
- 年月日
  2011-11-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360059
[学会発表] Fabrication of Nanowire SQUID by means of FIB-CVD2011
- 著者名/発表者名
  J. Dai, R. Kometani, S. Warisawa, and S. Ishihara
- 学会等名
  5th TU-SNU-UT Joint Symposium
- 発表場所
  Beijing, China
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] Dynamic Characteristics Control of DLC Nano-Resonator Fabricated by Focused-Ion-Beam Chemical Vapor Deposition2011
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, S. Nishi, S. Warisawa, S. Ishihara
- 学会等名
  The 55th International Conference on Electron, Ion and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN2011)
- 発表場所
  Las Vegas, Nevada, USA(ポスター)
- 年月日
  2011-06-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760025
[学会発表] Fabrication of Self-Assembled Cylindrical Structures within Free-Standing Block Copolymer Ultrathin Membranes2011
- 著者名/発表者名
  S. Warisawa, H. Mino, R. Kometani and S. Ishihara
- 学会等名
  2011 MRS Fall Meeting & Exhibit
- 発表場所
  Boston, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] Sensitive charge detection using perfectly-tuned coupled nanomechanical oscillators2010
- 著者名/発表者名
  H.Okamoto, N.Kitajima, K.Onomitsu, R.Kometani, S.Warisawa, S.Ishihara H.Yamaguchi
- 学会等名
  7th International Workshop on Nanomechanical Cantilever Sensors(NMC2010)
- 発表場所
  Bannif,Canada
- 年月日
  2010-05-26
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] Nanostructure Fabrication by Self-assembly of Block Copolymer on 3-D DLC Structure2010
- 著者名/発表者名
  H. Mino, R. Kometani, S. Warisawa, S. Ishihara
- 学会等名
  The 54th International Conference on Electron, Ion and Photon Beam Technology and Nanofabrication(EIPBN2010)
- 発表場所
  Anchorage, Alaska, USA
- 年月日
  2010-07-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21360059
[学会発表] Layer-by-layer Stacking Method for 3-D Nano Structure Fabrication Using Block Copolymer Self Assembly2010
- 著者名/発表者名
  S.Warisawa, R.Kanameda, R.Kometani, S.Ishihara
- 学会等名
  2010 MRS Fall Meeting
- 発表場所
  Boston,USA
- 年月日
  2010-12-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] 3次元DLC構造へのブロック共重合体の自己組織化2010
- 著者名/発表者名
  三野宏之, 米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
- 学会等名
  次世代リソグラフィワークショップ(NGL2010)
- 発表場所
  蔵前会館,東京
- 年月日
  2010-07-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] 集束イオンビーム化学気相成長法により堆積したダイアモンドライクカーボンのピエゾ抵抗効果特性評価2010
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇, 遊佐幸樹, 割澤伸一, 石原直
- 学会等名
  2010年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  埼玉大学,埼玉
- 年月日
  2010-03-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[学会発表] 集束イオンビーム化学気相成長法を利用したピエゾ抵抗特性を有する3次元DLCナノ構造体の作製法2010
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇, 遊佐幸樹, 割澤伸一, 石原直
- 学会等名
  ナノ学会第8回大会
- 発表場所
  自然科学研究機構,岡崎
- 年月日
  2010-05-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] 表面プラズモンセンサーへ向けた連続変化自己組織化膜の作製法2010
- 著者名/発表者名
  高木崇光, 栗原一真, 粟津浩一, 米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
- 学会等名
  第71回応用物理学術講演会
- 発表場所
  長崎大学,長崎
- 年月日
  2010-09-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] Effect of a Fluorine Surface Coating on Vibration Characteristics of Diamond-like Carbon Mechanical Resonator Fabricated by FIB-CVD2010
- 著者名/発表者名
  R.Kometani, S.Warisawa, S.Ishihara
- 学会等名
  The 23rd International Microprocesses and Nanotechnology Conference(MNC2010)
- 発表場所
  Fukuoka,Japan
- 年月日
  2010-11-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] A Novel Fabrication Process for the Tensile Strained Resonators2010
- 著者名/発表者名
  K.Kuroda, R.Kometani, S.Warisawa, S.Ishihara
- 学会等名
  The 23rd International Microprocesses and Nanotechnology Conference(MNC2010)
- 発表場所
  Fukuoka,Japan
- 年月日
  2010-11-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] 集束イオンビーム励起表面反応による超薄膜DLC機械振動子の作製とその特性2010
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
- 学会等名
  精密工学会2010年度秋季大会学術講演会
- 発表場所
  名古屋大学,名古屋
- 年月日
  2010-09-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] Vibration Characteristics of Monolayer Graphene Resonator2010
- 著者名/発表者名
  T.Hatakeyama, R.Kometani, M.Nagase, S.Warisawa, S.Ishihara
- 学会等名
  The 54^<th> Intn'l Conf.on Electron, Ion and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN2010).
- 発表場所
  Anchorage, Alaska
- 年月日
  2010-06-03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[学会発表] Ultra thin diamond-like carbon film mechanical resonator fabrication by a combined process of FIB-CVD and wet-etching2010
- 著者名/発表者名
  R.Kometani, S.Warisawa, S.Ishihara
- 学会等名
  The 36th International Conference on Micro and Nano Engineering(MNE2010)
- 発表場所
  Genova,Italy
- 年月日
  2010-09-21
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] Nanostructure Fabrication by Self-assembly of Block Copolymer on 3-D DLC Structure2010
- 著者名/発表者名
  H.Mino, R.Kometani, S.Warisawa, S.Ishihara
- 学会等名
  The 54th International Conference on Electron, Ion, Photon Beams and Nanotechnology
- 発表場所
  Anchorage,USA
- 年月日
  2010-06-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] 集束イオンビーム化学気相成長法における非コアシェルナノ構造の堆積法2010
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
- 学会等名
  2010年春季第57回応用物理関係連合講演会
- 発表場所
  東海大学,神奈川
- 年月日
  2010-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[学会発表] Vibration Characteristics of Monolayer Graphene Resonator2010
- 著者名/発表者名
  T.Hatakeyama, R.Kometani, M.Nagase, S.Warisawa, S.Ishihara
- 学会等名
  The 54th International Conference on Electron, Ion, Photon Beams and Nanotechnology
- 発表場所
  Anchorage,USA
- 年月日
  2010-06-03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] The piezoresistive effect in the 3-D diamond-like carbon nanostructure fabricated by focused-ion-beam chemical vapor deposition2010
- 著者名/発表者名
  R.Kometani, K.Yusa, S.Warisawa, S.Ishihara
- 学会等名
  The 54th International Conference on Electron, Ion, Photon Beams and Nanotechnology
- 発表場所
  Anchorage,USA
- 年月日
  2010-06-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] 集束イオンビーム化学気相成長法により作製した3次元DLCナノ構造の機能化2010
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇, 遊佐幸樹, 割澤伸一, 石原直
- 学会等名
  2010年春季第57回応用物理関係連合講演会
- 発表場所
  東海大学,神奈川
- 年月日
  2010-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[学会発表] Nano Patterning on Surfaces of 3-D Micro Structures by Means of Block Copolymer Self Assembly2010
- 著者名/発表者名
  S.Warisawa, H.Mino, R.Kometani, S.Ishihara
- 学会等名
  2010 MRS Fall Meeting
- 発表場所
  Boston,USA
- 年月日
  2010-12-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] AFM振動励起法による単層グラフェンの振動特性評価2010
- 著者名/発表者名
  畠山大輝, 米谷玲皇, 永瀬雅夫, 割澤伸一, 石原直
- 学会等名
  2010年春季第57回応用物理関係連合講演会
- 発表場所
  東海大学,神奈川
- 年月日
  2010-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[学会発表] 集束イオンビーム化学気相成長法による超薄膜DLC機械振動子の作製2010
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
- 学会等名
  第71回応用物理学術講演会
- 発表場所
  長崎大学,長崎
- 年月日
  2010-09-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] 集束イオンビーム化学気相成長法における非コアシェルナノ構造の堆積法2010
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
- 学会等名
  2010年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  埼玉大学,埼玉
- 年月日
  2010-03-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[学会発表] A new displacement detection system using a HEMT amplifier2010
- 著者名/発表者名
  Y.Oda, K.Onomitsu, R.Kometani, S.Warisawa, S.Ishihara, H.Yamaguchi
- 学会等名
  The 23rd International Microprocesses and Nanotechnology Conference(MNC2010)
- 発表場所
  Fukuoka,Japan
- 年月日
  2010-11-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] 架橋グラフェンの振動特性評価2010
- 著者名/発表者名
  畠山大輝, 米谷玲皇, 永瀬雅夫, 割澤伸一, 石原直
- 学会等名
  ナノ学会第8回大会
- 発表場所
  自然科学研究機構,岡崎
- 年月日
  2010-05-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] Frequency Tunable Coupled Nanomechanical Resonators and their Sensing Applications2010
- 著者名/発表者名
  H.Okamoto, N.Kitajima, K.Onomitsu, R.Kometani, S.Warisawa, S.Ishihara, H.Yamaguchi
- 学会等名
  International Conference on Quantum Nanostructures and Spin-related Phenomena(QNSP)
- 発表場所
  Tokyo,Japan
- 年月日
  2010-03-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226004
[学会発表] The piezoresistive effect in the 3-D diamond-like carbon nanostructure fabricated by focused-ion-beam chemical vapor deposition2010
- 著者名/発表者名
  R.Kometani, K.Yusa, S.Warisawa, S.Ishihara
- 学会等名
  The 54^<th> Intn'l Conf. on Electron, Ion and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN2010)
- 発表場所
  Anchorage, Alaska
- 年月日
  2010-06-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[学会発表] Dynamic characterization method of GaAs membrane resonator by direct excitation using scanning probe microscopy2009
- 著者名/発表者名
  K.Tamaru, K.Nonaka, M.Nagnse, H.Yamaguchi, 米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
- 学会等名
  The 35th International Conference on Micro & Nano Engineering (MNE2009)
- 発表場所
  Ghent, Belgium
- 年月日
  2009-09-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[学会発表] Improvement of Vibration Characteristics of Silicon Resonators by Means of Surface Treatment2009
- 著者名/発表者名
  H.Shimizu, J.-J.Delaunay, 米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
- 学会等名
  The 5th International Conference on Leading Edge manufacturing in 21st Century (LEM21)
- 発表場所
  Osaka University Convention Center, Osaka, Japan
- 年月日
  2009-12-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[学会発表] 走査プローブによるGaAsメンブレンマイクロレゾネ一夕の動的特性評価2009
- 著者名/発表者名
  田丸耕二郎, 野中啓一郎, 永瀬雅夫, 山口浩司, 割澤伸一, 米谷玲皇, 石原直
- 学会等名
  2009年春季第56回応用物理関係連合講演会
- 発表場所
  筑波大学,茨城
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[学会発表] The 3-D nanostructure growth evaluations by the real-time current monitoring on focused-ionbeam chemical vapor deposition2009
- 著者名/発表者名
  R.Kometani, S.Warisawa, S.Ishihara
- 学会等名
  The 35th International Conference on Micro & Nano Engineering (MNE2009)
- 発表場所
  Ghent, BelgiumS
- 年月日
  2009-09-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[学会発表] 表面改質によるシリコンレゾネータのQ値変化の評価2009
- 著者名/発表者名
  清水宏樹, Jean-Jacques Delaunay, 米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
- 学会等名
  2009年度秋季第70回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  富山大学,富山
- 年月日
  2009-09-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[学会発表] Homogeneous Material Deposition on Focused-Ion-Beam Chemical Vapor Deposition2009
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
- 学会等名
  International Symposium on the Physics of Excitation-assisted Nano-processes (ISPEN2009)
- 発表場所
  Diwa Roynet Hotel Wakayama, Wakayama, Japan
- 年月日
  2009-11-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[学会発表] FIB-CVDナノ機械デバイス動特性評価のための解析モデル構築法2009
- 著者名/発表者名
  西駿次郎, 米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
- 学会等名
  ナノ学会第7回大会
- 発表場所
  東京大学,東京
- 年月日
  2009-05-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[学会発表] Evaluations of The Hopping Growth Characteristics On 3-D Nanostructure Fabrication Using Focused-Ion-Beam2009
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
- 学会等名
  The 53rd International Conference on Electron, Ion and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN2009)
- 発表場所
  Marco Island, Florida, USA
- 年月日
  2009-05-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[学会発表] 集束イオンビーム3次元ナノ構造形成における成長モード評価2009
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
- 学会等名
  2009年春季第56回応用物理関係連合講演会
- 発表場所
  筑波大学,茨城
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[学会発表] その場プローブ電流計測による集束イオンビーム3次元ナノ構造成長特性評価2009
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
- 学会等名
  2009年度秋季第70回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  富山大学,富山
- 年月日
  2009-09-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[学会発表] 集束イオンビーム化学気相成長法により堆積したDLCからのGa誘起グラファイト薄膜形成2009
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
- 学会等名
  ナノ学会第7回大会
- 発表場所
  東京大学,東京
- 年月日
  2009-05-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[学会発表] Nanomanufacturing Tool Fabrications by Focused-Ion-Beam Chemical Vapor Deposition2009
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
- 学会等名
  The 5th International Conference on Leading Edge manufacturing in 21st Century (LEM21)
- 発表場所
  Osaka University Convention Center, Osaka, Japan
- 年月日
  2009-12-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[学会発表] Evaluation of Resonance Characteristics Change of Silicon Resonators due to Surface Treatment2009
- 著者名/発表者名
  H.Shimizu, J.-J.Delaunay, 米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
- 学会等名
  22nd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2009)
- 発表場所
  Sheraton Sapporo Hotel, Sapporo, Japan
- 年月日
  2009-11-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[学会発表] Dynamic Characteristics Design System for 3D Nanostructure Fabricated by FIB-CVD2009
- 著者名/発表者名
  西駿次郎, 米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
- 学会等名
  The 5th International Conference on Leading Edge manufacturing in 21st Century (LEM21)
- 発表場所
  Osaka University Convention Center, Osaka, Japan
- 年月日
  2009-12-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[学会発表] FIB-CVDによる振動特性可変レゾネータの作製2009
- 著者名/発表者名
  西駿次郎, 米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
- 学会等名
  2009年度秋季第70回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  富山大学,富山
- 年月日
  2009-09-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[学会発表] The 3-D nanostructure growth evaluations by the real-time current monitoring on focused-ionbeam chemical vapor deposition2009
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
- 学会等名
  The 35th International Conference on Micro & Nano Engineering (MNE2009)
- 発表場所
  Ghent, Belgium
- 年月日
  2009-09-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[学会発表] Evaluation of Resonance Characteristics Change of Silicon Resonators due to Surface Treatment2009
- 著者名/発表者名
  H.Shimizu, J.-J.Delaunay, R.Kometani, S.Warisawa, S.Ishihara
- 学会等名
  22nd Intn'l Microprocesses and Nanotechnology Conf. (MNC2009)
- 発表場所
  Sapporo
- 年月日
  2009-11-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[学会発表] 表面状態に起因するシリコンレゾネータの振動特性2009
- 著者名/発表者名
  清水宏樹, Jean-Jacques Delaunay, 米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
- 学会等名
  ナノ学会第7回大会
- 発表場所
  東京大学,東京
- 年月日
  2009-05-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[学会発表] Dynamic Characteristics Analysis Method on a Nanomechanical Device Fabrication Using FIB-CVD2009
- 著者名/発表者名
  西駿次郎, 米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
- 学会等名
  第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
- 発表場所
  東京大学,東京
- 年月日
  2009-10-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[学会発表] Evaluations of The Hopping Growth Characteristics on 3-D Nanostructure Fabrication Using Focused-Ion-Beam2009
- 著者名/発表者名
  R.Kometani, S.Warisawa, S.Ishihara
- 学会等名
  The 53rd Intn'l Conf. on Electron, Ion and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN2009)
- 発表場所
  Marco Island, Florida, USA
- 年月日
  2009-05-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[学会発表] The Three-Dimensional Nanostructure Growth Characteristics Evaluations for a Development of Computer Pattern Generator on Focused-Ion-Beam Chemical Vapor Deposition2009
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
- 学会等名
  第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
- 発表場所
  東京大学,東京
- 年月日
  2009-10-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[学会発表] Vibration Characteristics-Tunable Resonator Fabrication by Focused-Ion-Beam Chemical Vapor Deposition2009
- 著者名/発表者名
  西駿次郎, 米谷玲皇, 割澤伸一, S.Inhihara
- 学会等名
  22nd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2009)
- 発表場所
  Sheraton Sapporo Hotel, Sapporo, Japan
- 年月日
  2009-11-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[学会発表] Piezoresistance Effect of Diamond-Like Carbon Deposited by FIB2009
- 著者名/発表者名
  遊佐幸樹, 米谷玲皇, 石原直, 割澤伸一
- 学会等名
  19th Academic Symposium of MRS-Japan 2009
- 発表場所
  Yokohama, Japan
- 年月日
  2009-12-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[学会発表] Vibration Characteristics-Tunable Resonator Fabrication by Focused-Ion -Beam Chemical Vapor Deposition2009
- 著者名/発表者名
  S.Nishi, R.Kometani, S.Warisawa, S.Ishihara
- 学会等名
  the 22nd Intn'l Microprocesses and Nano- technology Conf. (MNC2009)
- 発表場所
  Sapporo
- 年月日
  2009-11-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[学会発表] Non Core-Shell Nanostructure Deposition on Focused-Ion-Beam Chemical Vapor Deposition2009
- 著者名/発表者名
  R.Kometani, S.Warisawa, S.Ishihara
- 学会等名
  22nd International Microprocesses and Nanotechnology Conf.(MNC2009)
- 発表場所
  Sapporo
- 年月日
  2009-11-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[学会発表] Non Core-Shell Nanostructure Deposition on Focused-Ion-Beam Chemical Vapor Deposition2009
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇, 割澤伸一, 石原直
- 学会等名
  22nd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2009)
- 発表場所
  Sheraton Sapporo Hotel, Sapporo, Japan
- 年月日
  2009-11-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[学会発表] The Three-Dimensional Nano-Electromechanical Tool Fabrications by FIB-CVD for the Nono-Factory Creation2008
- 著者名/発表者名
  R. Kometani and S. Ishihara
- 学会等名
  The Fouth International Nanotechnoligy Conference on Communication and Cooperation(INC4)
- 発表場所
  Tokyo, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[学会発表] Nano electro-mechanical device fabrication by 3-D nanotechnoligy using focused-ion-beam2008
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, S. Warisawa, S. Ishihara
- 学会等名
  International Symposium on Novel Nano-Electro-Mechanical 3D Structures: Fabrication and Properties(NT2008)
- 発表場所
  Ishikawa, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[学会発表] Resistivity change of the diamondlike carbon, deposited by focusedion-beam chemical vapor deposition, induced by the annealing treatment2008
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, T. Ichihashi, K. Kanda, T. Suzuk, K. Niihara, S. Ishihara, T. Kaito, S. Matsui
- 学会等名
  The 52nd International Conference on Electron, Ion and Photon Beam technoligy and Nanoabrication(EIPBN2008)
- 発表場所
  Portland, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[学会発表] 集束イオンビーム注入Gaの析出現象により引起されるグラファイト薄膜の形成2008
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇, 市橋鋭也, 割澤伸一, 石原直
- 学会等名
  2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  中部大学, 愛知
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[学会発表] Graphite Shell Film Fromation induced by Eduction Phenomenon of Ga Implanted by Focused-ion-beam2008
- 著者名/発表者名
  R. Kometani, T. Ichihashi, S. Warisawa and S. Ishihara
- 学会等名
  20th International Mocroprocesses and Nanotechnology Conference(MNC2008)
- 発表場所
  Fukuoka, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206016
[学会発表] 走査電子顕微鏡を利用した微小機械振動子の動特性プロファイリング
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇，中野和洋，石原直，割澤伸一
- 学会等名
  2014年第34回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  青山学院大学，神奈川県
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760025
[学会発表] The growth height correction on the three-dimensional nanostructure fabrication using focused-ion-beam chemical vapor deposition
- 著者名/発表者名
  Reo Kometani, Yuuki Murao, Sunao Ishihara, Shin’ichi Warisawa
- 学会等名
  26th International Microprocesses and Nanotechnology Conference
- 発表場所
  ロイトン札幌，北海道
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760025
[学会発表] 荷電粒子ビーム技術とナノメカニクス研究
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇
- 学会等名
  公益社団法人新化学技術推進協会電子情報技術部会 MEMS分科会講演会
- 発表場所
  新化学技術推進協会，東京都
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760025
[学会発表] FIB-CVD を用いた3次元ナノ構造形成における構造形成高さの補正
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇，村尾裕規，石原直，割澤伸一
- 学会等名
  2013年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  関西大学，大阪府
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760025
[学会発表] Optomechanical resonator fabrication with the surface plasmon antenna for the wavelength detection
- 著者名/発表者名
  Reo Kometani, Hui Liu, Shin'ichi Warisawa, Sunao Ishihara
- 学会等名
  The 57th International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication
- 発表場所
  Gaylord Opryland Resort and Convention Center, Nashville, Tennesee, US
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760025
[学会発表] ナノメカニクスとその波長計測への応用
- 著者名/発表者名
  米谷玲皇
- 学会等名
  2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  同志社大学，京都府
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760025

1. 割澤伸一 (20262321)

共同の研究課題数: 4件

共同の研究成果数: 177件
2. 石原直 (00422329)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 169件
3. ドロネージャン・ジャック (80376516)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 7件
4. 山口浩司 (60374071)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 14件
5. 前田悦男 (60644599)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 5件
6. 石田忠 (80517607)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 1件
7. 板村賢明 (90433854)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
8. 山田一郎 (70345081)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 1件

米谷 玲皇 Kometani Reo

研究課題

研究成果

共同研究者

超高感度光圧センシングNEMS技術創出と光-ナノ構造の相互作用の解明研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

光圧計測知的ナノメカニカルシステムの創出研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

分子識別光ナノメカニカル素子の創出研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

光路最適化したメタサーフェスを用いた表面増強ラマンデバイスの創製

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

原子間力顕微鏡を応用した超高分解能動特性プロファイリング技術の創出研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

極軽量・原子層メカニカル構造の機能化研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

波長計測ナノシステムの創出研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

ハイブリッド構造創成技術による極低濃度ガス分子検出ナノメカニカルセンサの開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

超薄膜メカニカル光波検出素子に関する研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

グラファイト-フラーレン超潤滑機構の極微観察によるメカニズムの解明

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

ナノメカニカル構造の創製とデバイス応用に関する研究

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

自己組織化現象を利用した三次元ナノ構造作製技術

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

ナノ構造の創製とその機能化に関する研究

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

米谷玲皇 Kometani Reo