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川合 健太郎  KAWAI Kentaro

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 90514464
その他のID
外部サイト
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2023年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 招へい研究員
2016年度 – 2021年度: 大阪大学, 工学研究科, 助教
2011年度 – 2016年度: 大阪大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教
2013年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 助教
審査区分/研究分野
研究代表者
小区分30010:結晶工学関連 / 小区分28050:ナノマイクロシステム関連 / ナノマイクロシステム / 知能機械学・機械システム
研究代表者以外
生産工学・加工学 / 小区分28050:ナノマイクロシステム関連 / ナノマイクロシステム
キーワード
研究代表者
マイクロ・ナノデバイス / ナノポア / ナノポアセンシング / イオンビーム加工 / 常圧CVD / センサデバイス / 二硫化モリブデン / 自己組織化 / ナノ加工 / グラフェン … もっと見る / ニューマチック / microvalve / hydraulic / pneumatic / robotics / MEMS / マイクロバルブ / 方向制御 / 空気圧アクチュエータ / 流体回路 / ロボティクス … もっと見る
研究代表者以外
SERS / ナノプロセス / DNA / ナノポアセンシング / 半導体表面 / 光エッチング / フッ素化剤 / グラフェン / ナノポアシーケンシング / 流体デバイス / MEMS / ナノマイクロ加工 / 三次元形状 / 修正加工 / 創成加工 / フォトエッチング / エッチング / N-フルオロピリジニウム塩 / 形状創成 / 3次元形状 / シリコン / 光転写 / N-フルオロピリジニウム塩 隠す
  • 研究課題

    (8件)
  • 研究成果

    (99件)
  • 共同研究者

    (8人)
  •  シリコンオンサファイア表面を用いた二硫化タングステン二次元結晶膜高配向大面積成長研究代表者

    • 研究代表者
      川合 健太郎
    • 研究期間 (年度)
      2023 – 2025
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 審査区分
      小区分30010:結晶工学関連
    • 研究機関
      大阪大学
  •  二硫化モリブデンによる二次元単結晶半導体極薄膜ナノポアセンシング研究代表者

    • 研究代表者
      川合 健太郎
    • 研究期間 (年度)
      2019 – 2021
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 審査区分
      小区分28050:ナノマイクロシステム関連
    • 研究機関
      大阪大学
  •  マイクロナノ融合プロセスによる光電気複合型ナノポアセンサデバイスの基盤技術構築

    • 研究代表者
      田畑 修
    • 研究期間 (年度)
      2019 – 2021
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分28050:ナノマイクロシステム関連
    • 研究機関
      京都先端科学大学
  •  ナノ分子メカニクスを用いたバイオハイブリッドグラフェンナノポアセンシング研究代表者

    • 研究代表者
      川合 健太郎
    • 研究期間 (年度)
      2017 – 2018
    • 研究種目
      若手研究(B)
    • 研究分野
      ナノマイクロシステム
    • 研究機関
      大阪大学
  •  MEMSとDNA融合プロセスによる光電気複合型ナノポアセンサデバイスの基盤構築

    • 研究代表者
      田畑 修
    • 研究期間 (年度)
      2016 – 2018
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      ナノマイクロシステム
    • 研究機関
      京都大学
  •  求電子型フッ素化剤光反応による機能デバイス半導体表面の三次元形状創成加工

    • 研究代表者
      森田 瑞穂
    • 研究期間 (年度)
      2014 – 2016
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  マイクロ流体回路を用いた空気圧アクチュエータ制御による自律ロボット駆動系の開発研究代表者

    • 研究代表者
      川合 健太郎
    • 研究期間 (年度)
      2012 – 2013
    • 研究種目
      若手研究(B)
    • 研究分野
      知能機械学・機械システム
    • 研究機関
      大阪大学
  •  フッ素化剤-シリコン界面反応によるシリコン表面の精密位置合わせ光転写形状創成加工

    • 研究代表者
      打越 純一
    • 研究期間 (年度)
      2011 – 2013
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      大阪大学

すべて 2021 2020 2019 2018 2017 2016 2015 2014 2013 2012 2011 その他

すべて 雑誌論文 学会発表 産業財産権

  • [雑誌論文] Surface‐enhanced Raman spectroscopy with gold nanoparticle dimers created by sacrificial DNA origami technique2020

    • 著者名/発表者名
      Yamashita Naoki、Park Seongsu、Kawai Kentaro、Hirai Yoshikazu、Tsuchiya Toshiyuki、Tabata Osamu
    • 雑誌名

      Micro & Nano Letters

      巻: 15 号: 6 ページ: 384-389

    • DOI

      10.1049/mnl.2019.0416

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02571
  • [雑誌論文] AFMリソグラフィで作製したナノ領域へのDNAオリガミの特異的固定2019

    • 著者名/発表者名
      山下直輝, 朴 晟洙, 馬 志鵬, 川合 健太郎, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)

      巻: 139 号: 5 ページ: 95-102

    • DOI

      10.1541/ieejsmas.139.95

    • NAID

      130007641238

    • ISSN
      1341-8939, 1347-5525
    • 年月日
      2019-05-01
    • 言語
      日本語
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03841
  • [雑誌論文] リンカーによる三角形DNAオリガミ二量体形成における支配要因の解明2018

    • 著者名/発表者名
      稲垣達也, 朴晟洙, 山下直輝, 馬志鵬, 川合健太郎, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)

      巻: 138 号: 5 ページ: 171-177

    • DOI

      10.1541/ieejsmas.138.171

    • NAID

      130006729888

    • ISSN
      1341-8939, 1347-5525
    • 年月日
      2018-05-01
    • 言語
      日本語
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03841
  • [雑誌論文] Nanopore Fabrication of Two-Dimensional Materials on SiO2 Membranes Using He Ion Microscopy2018

    • 著者名/発表者名
      T. Hayashi, K. Arima, N. Yamashita, S. Park, Z. Ma, O. Tabata, K. Kawai
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Nanotechnology

      巻: 17 号: 4 ページ: 727-730

    • DOI

      10.1109/tnano.2018.2840721

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03841, KAKENHI-PROJECT-17K14099
  • [雑誌論文] Nanopore Fabrication of Two-Dimensional Materials on SiO2 Membranes Using He Ion Microscopy2018

    • 著者名/発表者名
      Takumi Hayashi, Kenta Arima, Naoki Yamashita, Seongsu Park, Zhipeng Ma, Osamu Tabata, Kentaro Kawai
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Nanotechnology

      巻: Accepted

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K14099
  • [雑誌論文] Photoetching method that provides improved silicon-on-insulator layer thickness uniformity in a defined area2017

    • 著者名/発表者名
      Yuki Miyata, Yasunori Nakamukai, Cassia Tiemi Azevedo, Miho Morita, Junichi Uchikoshi, Kentaro Kawai, Kenta Arima, Mizuho Morita
    • 雑誌名

      Microelectronic Engineering

      巻: 印刷中

    • 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26289017
  • [雑誌論文] Photoetching method that provides improved silicon-on-insulator layer thickness uniformity in a defined area2017

    • 著者名/発表者名
      Miyata Yuki、Nakamukai Yasunori、Azevedo Cassia Tiemi、Morita Miho、Uchikoshi Junichi、Kawai Kentaro、Arima Kenta、Morita Mizuho
    • 雑誌名

      Microelectronic Engineering

      巻: 180 ページ: 93-95

    • DOI

      10.1016/j.mee.2017.06.008

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K14099, KAKENHI-PROJECT-16H03841
  • [雑誌論文] Rhombic-Shaped Nanostructures and Mechanical Properties of 2D DNA Origami Constructed with Different Crossover/Nick Designs2017

    • 著者名/発表者名
      Ma Zhipeng、Huang Yunfei、Park Seongsu、Kawai Kentaro、Kim Do-Nyun、Hirai Yoshikazu、Tsuchiya Toshiyuki、Yamada Hirofumi、Tabata Osamu
    • 雑誌名

      Small

      巻: 14 号: 1 ページ: 1702028-1702028

    • DOI

      10.1002/smll.201702028

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H06122, KAKENHI-PROJECT-16H03841, KAKENHI-PROJECT-17K14099
  • [雑誌論文] Formation of Gold Nanoparticle Dimers on Silicon by Sacrificial DNA Origami Technique2017

    • 著者名/発表者名
      Naoki Yamashita, Zhipeng Ma, Seongsu Park, Kentaro Kawai, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata
    • 雑誌名

      Micro & Nano Letters

      巻: 12 号: 11 ページ: 854-859

    • DOI

      10.1049/mnl.2017.0426

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03841
  • [雑誌論文] Measuring the Influence of Crossover in the Radial Structural and Mechanical Properties of DNA Origami Nanotube2017

    • 著者名/発表者名
      Zhipeng Ma, Kentaro Kawai, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 56

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03841
  • [雑誌論文] Effect of metal particles on the Si etching rate with N-fluoropyridinium salts2016

    • 著者名/発表者名
      Masaki Otani, Kentaro Kawai, Kentaro Tsukamoto, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Junichi Uchikoshi, Kenta Arima, and Mizuho Morita
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 55 号: 10 ページ: 1080031-3

    • DOI

      10.7567/jjap.55.108003

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H03902, KAKENHI-PROJECT-26289017, KAKENHI-PROJECT-16K14133
  • [雑誌論文] Constructing higher order DNA origami arrays using DNA junctions of anti-parallel/parallel double crossovers2016

    • 著者名/発表者名
      Zhipeng Ma, Seongsu Park, Naoki Yamashita, Kentaro Kawai, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 55 号: 6S1 ページ: 06GL04-06GL04

    • DOI

      10.7567/jjap.55.06gl04

    • NAID

      210000146667

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03841
  • [雑誌論文] Absolute flatness measurements of silicon mirrors by a three-intersection method by near-infrared interferometry2013

    • 著者名/発表者名
      Junichi Uchikoshi, Yoshinori Hayashi, Noritaka Ajari, Kentaro Kawai, Kenta Arima and Mizuho Morita
    • 雑誌名

      Nanoscale Research Letters

      巻: 8 号: 1 ページ: 2751-7

    • DOI

      10.1186/1556-276x-8-275

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560123, KAKENHI-PROJECT-24656101, KAKENHI-PROJECT-24686020
  • [雑誌論文] Characterization of Si etching with N-fluoropyridinium salt2012

    • 著者名/発表者名
      Kentaro Tsukamoto, Junichi Uchikoshi, Masaki Otani, Toshinori Hirano, Yutaka Ie, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Kentaro Kawai, Kenta Arima, and Mizuho Morita
    • 雑誌名

      Current Applied Physics

      巻: 12

    • URL

      http://www.sciencedirect.com/science/journal/15671739/12/supp/S4

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560123
  • [雑誌論文] Characterization of Si etching with N-fluoropyridinium salt2012

    • 著者名/発表者名
      Kentaro Tsukamoto, Junichi Uchikoshi, Masaki Otani, Toshinori Hirano, Yutaka Ie, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Kentaro Kawai, Kenta Arima, Mizuho Morita
    • 雑誌名

      Current Applied Physics

      巻: 12

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560123
  • [産業財産権] エッチング処理用組成物及びエッチング処理方法2016

    • 発明者名
      川合 健太郎、森田 瑞穂、足達 健二、永井 隆文
    • 権利者名
      ダイキン工業株式会社、国立大学法人大阪大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2016-03-04
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26289017
  • [産業財産権] エッチング処理用組成物及びエッチング処理方法2015

    • 発明者名
      足達 健二、永井 隆文、森田 瑞穂、川合 健太郎
    • 権利者名
      ダイキン工業株式会社、国立大学法人大阪大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2015-043031
    • 出願年月日
      2015-03-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26289017
  • [学会発表] DNA シーケンシングデバイスのためのマイクロ流路を用いたナノピラー/横型ナノポア集積化2021

    • 著者名/発表者名
      野田晃平, 辻友希, 杉田祥吾, 山村和也, 有馬健太, 川合健太郎
    • 学会等名
      2021年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02571
  • [学会発表] ヘリウムイオン顕微鏡でのナノポア形成における加工前処理条件の検討2021

    • 著者名/発表者名
      杉田祥吾,野田晃平,有馬健太,山村和也,川合健太郎
    • 学会等名
      精密工学会2021年度関西地方定期学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05233
  • [学会発表] DNA ナノポアセンシングのための MoS2自立膜形成プロセスの開発2021

    • 著者名/発表者名
      野田晃平,杉田祥吾,有馬健太,山村和也,川合健太郎
    • 学会等名
      精密工学会2021年度関西地方定期学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05233
  • [学会発表] Fabrication and observation of nanopore in two-dimensional materials using Helium ion microscope2021

    • 著者名/発表者名
      Kentaro Kawai
    • 学会等名
      34th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2021)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05233
  • [学会発表] DNAナノポアシーケンシングデバイスのための3次元形状へのMoS2自立膜のCVD成膜2021

    • 著者名/発表者名
      野田晃平,杉田祥吾,有馬健太,山村和也,川合健太郎
    • 学会等名
      2021年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05233
  • [学会発表] ヘリウムイオン顕微鏡でのナノポア形成における加工前処理条件の検討2021

    • 著者名/発表者名
      杉田祥吾,野田晃平,有馬健太,山村和也,川合健太郎
    • 学会等名
      精密工学会2021年度関西地方定期学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02571
  • [学会発表] Fabrication and observation of nanopore in two-dimensional materials using Helium ion microscope2021

    • 著者名/発表者名
      Kentaro Kawai
    • 学会等名
      34th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2021)
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02571
  • [学会発表] DNA シーケンシングデバイスのためのマイクロ流路を用いたナノピラー/横型ナノポア集積化プロセスの開発2021

    • 著者名/発表者名
      野田晃平,辻友希,杉田祥吾,山村和也,有馬健太,川合健太郎
    • 学会等名
      2021年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05233
  • [学会発表] Reproducible formation of graphene nanopore within 10 nm using helium ion microscope2020

    • 著者名/発表者名
      S. Sugita, T. Tsuji, K. Arima, K. Yamamura, K. Kawai
    • 学会等名
      18th International Conference on Precision Engineering (ICPE2020)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05233
  • [学会発表] Reproducible formation of graphene nanopore within 10 nm using helium ion microscope2020

    • 著者名/発表者名
      S. Sugita, T. Tsuji, K. Arima, K. Yamamura, K. Kawai
    • 学会等名
      8th International Conference on Precision Engineering (ICPE2020)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02571
  • [学会発表] Surface-Enhanced Raman Spectroscopy with Gold Nanoparticle Dimers Created by Sacrificial DNA Origami Technique2019

    • 著者名/発表者名
      Naoki Yamashita, Seongsu Park, Kentaro Kawai, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata
    • 学会等名
      The 14th International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02571
  • [学会発表] ガリウムを触媒とするエタノール雰囲気中でのグラフェン膜CVD2019

    • 著者名/発表者名
      辻 友希、有馬 健太、山村 和也、川合 健太郎
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K14099
  • [学会発表] Freestanding graphene CVD growth on insulating substrate using Ga catalyst2019

    • 著者名/発表者名
      Tomoki Tsuji, Kenta Arima, Kazuya Yamamura, and Kentaro Kawai
    • 学会等名
      The 23rd International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02571
  • [学会発表] Rapid assembly of DNA origami in microfluidic temperature gradient2019

    • 著者名/発表者名
      K. Kawai, K. Hara, K. Arima, K. Yamamura, O. Tabata
    • 学会等名
      The 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems(Transducers 2019)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05233
  • [学会発表] DNA origami assembly in gradient temperature in microfluidic channel2019

    • 著者名/発表者名
      Kentaro Kawai, Hara Keita, Kenta Arima, Kazuya Yamamura, Osamu Tabata
    • 学会等名
      The 14th International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS2019)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K14099
  • [学会発表] DNA origami assembly in gradient tempareture microfluidic channel2019

    • 著者名/発表者名
      K. Kawai, K. Hara, K. Arima, K. Yamamura, O. Tabata
    • 学会等名
      The 14th International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS2019)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05233
  • [学会発表] Freestanding graphene CVD growth on insulating substrate using Ga catalyst2019

    • 著者名/発表者名
      T. Tsuji, K. Arima, K. Yamamura, K. Kawai
    • 学会等名
      The 23rd International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (μTAS2019)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05233
  • [学会発表] 犠牲DNAオリガミ技術によって形成した金ナノ粒子二量体を用いた表面増強ラマン分光法による分子検出2019

    • 著者名/発表者名
      山下直輝,朴晟洙,馬志鵬,川合健太郎,平井義和,土屋智由,田畑修
    • 学会等名
      第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02571
  • [学会発表] Rapid assembly of DNA origami in microfluidic temperature gradient2019

    • 著者名/発表者名
      Kentaro Kawai, Keita Hara, Kenta Arima, Kazuya Yamamura, Osamu Tabata
    • 学会等名
      The 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02571
  • [学会発表] DNA origami assembly in gradient tempareture microfluidic channel2019

    • 著者名/発表者名
      Kentaro Kawai, Keita Hara, Kenta Arima, Kazuya Yamamura, Osamu Tabata
    • 学会等名
      The 14th International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02571
  • [学会発表] Effect of Temperature Distribution in Microtube and Microfluidic Channel for DNA Origami Assembly2018

    • 著者名/発表者名
      K. Hara, T. Inagaki, N. Yamashita, K. Arima, K. Yamamura, O. Tabata, K. Kawai
    • 学会等名
      The 22nd International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS 2018)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K14099
  • [学会発表] Nanopore Fabrication and DNA sensing on Two-Dimensional Materials using Helium Ion Microscopy2018

    • 著者名/発表者名
      Kentaro Kawai, Takumi Hayashi, Kenta Arima, Kazuya Yamamura, Osamu Tabata
    • 学会等名
      The 13th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2018)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03841
  • [学会発表] 三次元DNAオリガミ構造作製におけるアニール条件及びDNA濃度比の影響2018

    • 著者名/発表者名
      中村亮太、原 啓太、有馬 健太、山村 和也、田畑 修、川合 健太郎
    • 学会等名
      第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03841
  • [学会発表] マイクロ流路を用いたDNA自己組織ナノ構造体の高速作製2018

    • 著者名/発表者名
      原 啓太、稲垣 達也、山下 直輝、有馬 健太、山村 和也、田畑 修、川合 健太郎
    • 学会等名
      第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03841
  • [学会発表] Nanopore Fabrication and DNA sensing on Two-Dimensional Materials using Helium Ion Microscopy2018

    • 著者名/発表者名
      Kentaro Kawai, Takumi Hayashi, Kenta Arima, Kazuya Yamamura, Osamu Tabata
    • 学会等名
      The 13th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2018)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K14099
  • [学会発表] Effect of Temperature Distribution in Microtube and Microfluidic Channel for DNA Origami Assembly2018

    • 著者名/発表者名
      K. Hara, T. Inagaki, N. Yamashita, K. Arima, K. Yamamura, O. Tabata, K. Kawai
    • 学会等名
      The 22nd International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS 2018)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03841
  • [学会発表] 三次元DNAオリガミ構造作製におけるアニール条件及びDNA濃度比の影響2018

    • 著者名/発表者名
      中村亮太、原 啓太、有馬 健太、山村 和也、田畑 修、川合 健太郎
    • 学会等名
      第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K14099
  • [学会発表] マイクロ流路を用いたDNA自己組織ナノ構造体の高速作製2018

    • 著者名/発表者名
      原 啓太、稲垣 達也、山下 直輝、有馬 健太、山村 和也、田畑 修、川合 健太郎
    • 学会等名
      第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K14099
  • [学会発表] リンカーによる三角形DNAオリガミ二量体形成における支配要因の解明2017

    • 著者名/発表者名
      稲垣達也, 朴晟洙, 山下直輝, 馬志鵬, 川合健太郎, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    • 学会等名
      平成29年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03841
  • [学会発表] ヘリウムイオン顕微鏡を用いたSiO2膜上の単分子膜へのナノポア形成2017

    • 著者名/発表者名
      林 拓海、川合 健太郎、有馬 健太、森田 瑞穂
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川県横浜市
    • 年月日
      2017-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03841
  • [学会発表] Rapid Folding of DNA Nanostructures in Microfluidic Channel2017

    • 著者名/発表者名
      K. Hara, K. Arima, O. Tabata, K. Kawai
    • 学会等名
      The 21st International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03841
  • [学会発表] Nanopore Fabrication to Two Dimensional Crystals by Adjusting Dose and focus of Helium Ion Microscope2017

    • 著者名/発表者名
      Kentaro Kawai,Takumi Hayashi, Kenta Arima, Osamu Tabata
    • 学会等名
      応用物理学会秋季大会シンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03841
  • [学会発表] Nanopore Fabrication to Two Dimensional Crystals by Adjusting Dose and focus of Helium Ion Microscope2017

    • 著者名/発表者名
      Kentaro Kawai,Takumi Hayashi, Kenta Arima, Osamu Tabata
    • 学会等名
      応用物理学会秋季大会シンポジウムRecent GFIS /advanced ion source microscopy technologies and its future prospects for R & D of materials and devices
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K14099
  • [学会発表] ヘリウムイオン顕微鏡を用いたSiO2 膜上の単分子膜へのナノポア形成2017

    • 著者名/発表者名
      林拓海、有馬健太、川合健太郎
    • 学会等名
      2017年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03841
  • [学会発表] Nanopore Fabrication of Two-Dimensional Materials on SiO2 Membranes Using He Ion Microscopy2017

    • 著者名/発表者名
      akumi Hayashi, Kenta Arima, Naoki Yamashita, Seongsu Park, Zhipeng Ma, Osamu Tabata, Kentaro Kawai
    • 学会等名
      12th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03841
  • [学会発表] NANOPORE SENSING DEVICE INTEGRATING NANOPILLAR ARRAY FOR DNA TRANSLOCATION CONTROL2017

    • 著者名/発表者名
      Takahiro Tanaka, Syogo Kanetani, Kenta Arima, Kentaro Kawai
    • 学会等名
      The 21st International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS 2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K14099
  • [学会発表] NANOPORE SENSING DEVICE INTEGRATING NANOPILLAR ARRAY FOR DNA TRANSLOCATION CONTROL2017

    • 著者名/発表者名
      Takahiro Tanaka, Syogo Kanetani, Kenta Arima, Kentaro Kawai
    • 学会等名
      The 21st International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03841
  • [学会発表] ナノピラー/ 横型ナノポア集積化DNAセンシングデバイスの開発2017

    • 著者名/発表者名
      田中貴大、金谷省吾、有馬健太、川合健太郎
    • 学会等名
      2017年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03841
  • [学会発表] Nanopore Fabrication of Two-Dimensional Materials on SiO2 Membranes Using He Ion Microscopy2017

    • 著者名/発表者名
      Takumi Hayashi, Kenta Arima, Naoki Yamashita, Seongsu Park, Zhipeng Ma, Osamu Tabata, Kentaro Kawai
    • 学会等名
      12th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems. (IEEE-NEMS 2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K14099
  • [学会発表] Formation of Gold Nanoparticle Dimers on Silicon by Sacrificial DNA Origami Technique2017

    • 著者名/発表者名
      Naoki Yamashita, Zhipeng Ma, Seongsu park, Kentaro Kawai, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata
    • 学会等名
      The 12th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03841
  • [学会発表] 犠牲DNAオリガミ技術とナノギャップを有する金ナノ粒子二量体作製への応用2017

    • 著者名/発表者名
      山下直輝, 朴晟洙, 馬志鵬, 川合健太郎, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    • 学会等名
      第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03841
  • [学会発表] Nanopore Fabrication on Graphene and SiO2 Membrane Using Helium Ion Microscope for DNA Sensing Device2017

    • 著者名/発表者名
      Kentaro Kawai,Takumi Hayashi, Kenta Arima, Osamu Tabata
    • 学会等名
      Workshop on Microsystems Technologies and Applications for IOT - A MicRO Alliance
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K14099
  • [学会発表] RAPID FOLDING OF DNA NANOSTRUCTURES IN MICROFLUIDIC CHANNEL2017

    • 著者名/発表者名
      Keita Hara, Kenta Arima, Osamu Tabata, Kentaro Kawai
    • 学会等名
      The 21st International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS 2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K14099
  • [学会発表] Different Crossover/Nick Designs of 2D DNA Origami2017

    • 著者名/発表者名
      馬志鵬, 山下直輝, 朴晟洙, 川合健太郎, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    • 学会等名
      第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03841
  • [学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いた光エッチングによるSi表面ランダムダブルテクスチャ形成2016

    • 著者名/発表者名
      熊田 竜也、川合 健太郎、永井 隆文、足達 健二、有馬 健太、森田 瑞穂
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      東京工業大学 大岡山キャンパス(東京都目黒区)
    • 年月日
      2016-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26289017
  • [学会発表] Nanopore Formation in Electrolyte Solution to SiO2 Membrane Using Pulse-Voltage Injection2016

    • 著者名/発表者名
      Kentaro Kawai, Yuichi Shibuno, Takumi Hayashi, Zhipeng Ma, Naoki Yamashita, Seongsu Park, Kosuke Tanabe, Kenta Arima, Mizuho Morita, Osamu Tabata
    • 学会等名
      The 11th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2016)
    • 発表場所
      Miyagi, Japan
    • 年月日
      2016-04-17
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03841
  • [学会発表] Radial Mechanical Property of a Crossover Density-Varied DNA Nanotube2016

    • 著者名/発表者名
      Zhipeng Ma, Seongsu Park, Naoki Yamashita, Kentaro Kawai, Do-Nyun Kim, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, and Osamu Tabata
    • 学会等名
      The 29th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2016)
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • 年月日
      2016-11-08
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03841
  • [学会発表] Control of nanopore formation to insulator membrane in electrolyte solution2016

    • 著者名/発表者名
      Kentaro Kawai, Takumi Hayashi, Yuichi Shibuno, Zhipeing Ma, Naoki Yamashita, Seongsu Park, Kenta Arima, Mizuho Morita, Osamu Tabata
    • 学会等名
      The 20th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (microTAS2016)
    • 発表場所
      Dublin, Ireland
    • 年月日
      2016-10-09
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03841
  • [学会発表] 絶縁薄膜への電圧印可による液中ナノポア形成2016

    • 著者名/発表者名
      川合健太郎,有馬健太,森田瑞穂,渋野雄一,朴 晟洙,山下直輝,馬 志鵬,田畑 修
    • 学会等名
      平成28年電気学会E部門総合研究会 E部門合同研究会
    • 発表場所
      石川県金沢市
    • 年月日
      2016-06-29
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03841
  • [学会発表] Nanopore Formation to thin SiO2 membrane in electrolyte Solution using dielectric breakdown2016

    • 著者名/発表者名
      Kentaro Kawai, Takumi Hayashi, Yuichi Shibuno, Zhipeing Ma, Naoki Yamashita, Seongsu Park, Kenta Arima, Mizuho Morita, Osamu Tabata
    • 学会等名
      Eurosensors 2016
    • 発表場所
      Budapest, Hungary
    • 年月日
      2016-09-04
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03841
  • [学会発表] Mechanical Stability for the Connections of DNA Origami Using Anti-Parallel/Parallel Double Crossovers2016

    • 著者名/発表者名
      Zhipeng Ma, Seongsu Park, Naoki Yamashita, Kentaro Kawai, Do-Nyun Kim, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata
    • 学会等名
      The 11th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2016)
    • 発表場所
      Miyagi, Japan
    • 年月日
      2016-04-17
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H03841
  • [学会発表] マイクロ流体回路を用いた空圧人工筋高出力ロボットの作製2014

    • 著者名/発表者名
      川合健太郎, 有馬健太, 森田瑞穂
    • 学会等名
      2014年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760207
  • [学会発表] Development of Silicon Photo-Etching with N-Fluoropyridinium Salts2014

    • 著者名/発表者名
      Kenji Adachi, Takabumi Nagai, Junichi Uchikoshi, Masaki Otani, Toshinori Hirano, Kentaro Kawai, Mizuho Morita
    • 学会等名
      INTERNATIONAL CONFERENCE ON FLUORINE CHEMISTRY
    • 発表場所
      Pacifico Yokohama(Kanagawa・Yokohama)
    • 年月日
      2014-05-29
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26289017
  • [学会発表] Texturing Low Reflecting Surface of Random Double Inverted Pyramids Using N-fluoropyridinium Salt2014

    • 著者名/発表者名
      Tatsuya Kumada, Kentaro Kawai, Toshinori Hirano, Masaki Otani, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Kenta Arima, and Mizuho Morita
    • 学会等名
      40th IEEE PHOTOVOLTAIC SPECIALISTS CONFERENCE
    • 発表場所
      Denver(USA)
    • 年月日
      2014-06-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26289017
  • [学会発表] Mask-less formation of anti-reflecting inverted-pyramids to single-crystal Si solar cell by N-fluoropyridinium salts2014

    • 著者名/発表者名
      Kentaro Kawai, Tatsuya Kumada, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Kenta Arima and Mizuho Morita
    • 学会等名
      EMN Summer Meeting
    • 発表場所
      Cancun(Mexico)
    • 年月日
      2014-06-10
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26289017
  • [学会発表] Nomally-closed valve integration for pneumatic actuators2013

    • 著者名/発表者名
      Kentaro Kawai, Junichi Uchikoshi, Kenta Arima, and Mizuho Morita
    • 学会等名
      The 17th Int. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2013)
    • 発表場所
      Barcelona, Spain
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760207
  • [学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いた光エッチングによるシリコンのランダム逆ピラミッドの形成2013

    • 著者名/発表者名
      足達健二、永井隆文、平野利典、大谷真輝、川合健太郎、打越純一、森田瑞穂
    • 学会等名
      第36回フッ素化学討論会
    • 発表場所
      つくば国際会議場(つくば市)
    • 年月日
      2013-10-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560123
  • [学会発表] ロボット駆動のためのマイクロバルブ集積化制御回路の開発2013

    • 著者名/発表者名
      川合 健太郎, 打越 純一, 有馬 健太, 森田 瑞穂
    • 学会等名
      精密工学会 2013年度春季大会
    • 発表場所
      東京工業大学)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760207
  • [学会発表] Nomally-closed valve integration for pneumatic actuators2013

    • 著者名/発表者名
      K. Kawai, J. Uchikoshi, K. Arima, and M. Morita
    • 学会等名
      Proc. The 17th Int. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2013)
    • 発表場所
      Barcelona, Spain
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760207
  • [学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いた光エッチングによるシリコンのランダム逆ピラミッドの形成2013

    • 著者名/発表者名
      平野利典、打越純一、大谷真輝、永井隆文、足達健二、川合健太郎、有馬健太、森田瑞穂
    • 学会等名
      第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      厚木市
    • 年月日
      2013-03-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560123
  • [学会発表] Efficient and Scalable Liquid Handling in Micro/Nano-fluidic System for biomedical applications2013

    • 著者名/発表者名
      K. Kawai, J. Uchikoshi, K. Arima, and M. Morita
    • 学会等名
      Collaborative Conf. on 3D & Materials Research (CC3DMR 2013)
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760207
  • [学会発表] Nomally-closed valve integration for pneumatic actuators2013

    • 著者名/発表者名
      Kentaro Kawai, Junichi Uchikoshi, Kenta Arima, and Mizuho Morita
    • 学会等名
      The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers 2013
    • 発表場所
      Barcelona. Spain
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760207
  • [学会発表] Efficient and Scalable Liquid Handling in Micro/Nano-fluidic System2013

    • 著者名/発表者名
      Kentaro Kawai, Junichi Uchikoshi, Kenta Arima, and Mizuho Morita
    • 学会等名
      The Collaborative Conference on Materials Research (CCMR) 2013
    • 発表場所
      Jeju, South Korea
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760207
  • [学会発表] Efficient and Scalable Liquid Handling in Micro/Nano-fluidic System for biomedical applications2013

    • 著者名/発表者名
      K. Kawai, J. Uchikoshi, K. Arima, and M. Morita
    • 学会等名
      Abstracts of Collaborative Conf. on 3D & Materials Research (CC3DMR 2013)
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760207
  • [学会発表] ロボット駆動のためのマイクロバルブ集積化制御回路の開発2013

    • 著者名/発表者名
      川合健太郎, 打越純一, 有馬健太, 森田瑞穂
    • 学会等名
      2013年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760207
  • [学会発表] Development of Silicon Photo-Etching with N-Fluoropyridinium Salts2012

    • 著者名/発表者名
      Junichi Uchikoshi, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Kentaro Kawai, Kenta Arima and Mizuho Morita
    • 学会等名
      Fifth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
    • 発表場所
      Osaka, Japan
    • 年月日
      2012-10-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560123
  • [学会発表] Formation of Three-Dimensional Shape in Silicon Surface by Photo-Etching with N-Fluoropyridinium Salts2012

    • 著者名/発表者名
      Masaki Otani, Junichi Uchikoshi, Toshinori Hirano, Kentaro Tsukamoto, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Kentaro Kawai, Kenta Arima and Mizuho Morita
    • 学会等名
      Fifth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
    • 発表場所
      Osaka, Japan
    • 年月日
      2012-10-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560123
  • [学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いた光エッチングによるSi表面テクスチャの形成2012

    • 著者名/発表者名
      大谷真輝、打越純一、塚本健太郎、平野利典、永井隆文、足達健二、川合健太郎、有馬健太、森田瑞穂
    • 学会等名
      2012年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      八王子市
    • 年月日
      2012-03-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560123
  • [学会発表] Absolute Flatness Measurements of Silicon Mirrors by A Three-Intersections Method Using Near-Infrared Interferometry2012

    • 著者名/発表者名
      Junichi Uchikoshi, Yoshinori Hayashi, Noritaka Ajari, Katsumi Oda, Taro Arai, Kentaro Kawai, Kenta Arima and Mizuho Morita
    • 学会等名
      Fifth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
    • 発表場所
      Osaka, Japan
    • 年月日
      2012-10-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560123
  • [学会発表] Optical property of random inverted-pyramid textures on Si surface by etching with Nfluoropyridinium salts2012

    • 著者名/発表者名
      Masaki Otani, Junichi Uchikoshi, Kentaro Tsukamoto, Toshinori Hirano, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Kentaro Kawai, Kenta Arima, and Mizuho Morita
    • 学会等名
      PACIFIC RIM MEETING ON ELECTROCHEMICAL AND SOLID-STATE SCIENCE
    • 発表場所
      Honolulu, Hawaii, U.S.A.
    • 年月日
      2012-10-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560123
  • [学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いたエッチングによるSiのランダム逆ピラミッドの形成2012

    • 著者名/発表者名
      平野利典、打越純一、大谷真輝、塚本健太郎、永井隆文、足達健二、川合健太郎、有馬健太、森田瑞穂
    • 学会等名
      2012年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      北九州市
    • 年月日
      2012-09-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560123
  • [学会発表] Formation of Si Random Inverted-Pyramids by Etching with N-Fluoropyridinium Salts2012

    • 著者名/発表者名
      Toshinori Hirano, Junichi Uchikoshi, Masaki Otani, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Kentaro Kawai, Kenta Arima and Mizuho Morita
    • 学会等名
      Fifth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
    • 発表場所
      Osaka, Japan
    • 年月日
      2012-10-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560123
  • [学会発表] Metal Particulates on Si Etching with N-Fluoropyridinium Salts2011

    • 著者名/発表者名
      Masaki Otani, Junichi Uchikoshi, Kentaro Tsukamoto, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Kentaro Kawai, Kenta Arima, and Mizuho Morita
    • 学会等名
      Extended Abstracts of Fourth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
    • 発表場所
      Osaka, Japan
    • 年月日
      2011-10-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560123
  • [学会発表] Cu assisted etching with N-fluoropyridinium salts2011

    • 著者名/発表者名
      Kentaro Tsukamoto, Junichi Uchikoshi, Masaki Otani,Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Kentaro Kawai, Kenta Arima, and Mizuho Morita
    • 学会等名
      Extended Abstracts of Fourth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
    • 発表場所
      Osaka, Japan
    • 年月日
      2011-10-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560123
  • [学会発表] Metal Particulates on Si Etching with N-fluoropyridinium Salts2011

    • 著者名/発表者名
      Masaki Otani, Junichi Uchikoshi, Kentaro Tsukamoto, Takabumi Nagai, Kenji Adachi,Kentaro Kawai, Kenta Arima and Mizuho Morita
    • 学会等名
      Extended Abstracts of Fourth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
    • 発表場所
      Osaka, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560123
  • [学会発表] Cu assisted etching of Si with N-fluoropyridinium salt2011

    • 著者名/発表者名
      Kentaro Tsukamoto, Junichi Uchikosh, Masaki Otani, Takabumi Nagai, Kenji Adachi,Kentaro Kawai, Kenta Arima and Mizuho Morita
    • 学会等名
      Extended Abstracts of Fourth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology
    • 発表場所
      Osaka, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560123
  • [学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いた光エッチングによるシリコン表面の精密位置合わせ3次元形状創成2011

    • 著者名/発表者名
      大谷真輝、打越純一、塚本健太郎、永井隆文、足達健二、川合健太郎、有馬健太、森田瑞穂
    • 学会等名
      2011年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      金沢市
    • 年月日
      2011-09-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560123
  • [学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いた光エッチングによるシリコン表面の精密位置合わせ3次元形状創成2011

    • 著者名/発表者名
      大谷真輝、打越純一、塚本健太郎、永井隆文、足達健二、川合健太郎、有馬健太、森田瑞穂
    • 学会等名
      2011年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      金沢市
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560123
  • [学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いた光エッチングによるシリコンのランダム逆ピラミッドの形成

    • 著者名/発表者名
      足達健二、永井隆文、平野利典、大谷真輝、川合健太郎、打越純一、森田瑞穂
    • 学会等名
      第36回フッ素化学討論会
    • 発表場所
      つくば国際会議場(茨城県)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560123
  • [学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いたエッチングによるSiのランダム逆ピラミッドの形成

    • 著者名/発表者名
      平野利典,打越純一,大谷真輝,塚本健太郎,永井隆文,足達健二,川合健太郎,有馬健太,森田瑞穂
    • 学会等名
      2012年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      北九州市
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560123
  • [学会発表] Optical property of random inverted-pyramid textures on Si surface by etching with N-fluoropyridinium salts

    • 著者名/発表者名
      Masaki Otani, Junichi Uchikoshi, Kentaro Tsukamoto, Toshinori Hirano, Takabumi Nagai, Kenji Adachi, Kentaro Kawai, Kenta Arima, and Mizuho Morita
    • 学会等名
      PACIFIC RIM MEETING ON ELECTROCHEMICAL AND SOLID-STATE SCIENCE
    • 発表場所
      Honolulu, Hawaii, U.S.A.
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560123
  • [学会発表] N-フルオロピリジニウム塩を用いた光エッチングによるシリコンのランダム逆ピラミッドの形成

    • 著者名/発表者名
      平野利典,打越純一,大谷真輝,永井隆文,足達健二,川合健太郎,有馬健太,森田瑞穂
    • 学会等名
      第60 回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      厚木市
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560123
  • 1.  森田 瑞穂 (50157905)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 27件
  • 2.  田畑 修 (20288624)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 26件
  • 3.  菅野 公二 (20372568)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  打越 純一 (90273581)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 21件
  • 5.  足達 健二 (60521739)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 4件
  • 6.  山下 直輝 (50847746)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 3件
  • 7.  有馬 健太
    共同の研究課題数: 0件
    共同の研究成果数: 1件
  • 8.  山田 啓文
    共同の研究課題数: 0件
    共同の研究成果数: 1件

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