町田克之 Machida Katsuyuki

研究者番号	90597676
その他のID
所属 (現在)	2025年度: 東京科学大学, 総合研究院, 特任教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2017年度 – 2021年度: 東京工業大学, 科学技術創成研究院, 特任教授 2017年度: 東京工業大学, 大学院総合理工学研究科, 連携教授 2013年度: 東京工業大学, 総合理工学研究科, 連携教授 2012年度 – 2013年度: 東京工業大学, 総合理工学研究科(研究院), 連携教授 2011年度: 東京工業大学, 総合理工学研究科, 連携教授
審査区分/研究分野	研究代表者電子デバイス・電子機器研究代表者以外電子デバイス・電子機器 / 小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連 / ナノマイクロシステム
キーワード	研究代表者異種機能集積化 / 人体検知 / 異種機能集積 / CMOS-MEMS / センサ回路 / 加速度センサ / MEMS / CMOS / 統合設計研究代表者以外 MEMS … もっと見る / 蛍光 / レジオネラ / 細菌 / レジオネラ属菌 / ストレス応答 / フォトゲート / 集積化MEMS / 細菌同定 / 細菌叢 / 細菌センサ / 反応化学 / Bio-MEMS / パルス金めっき / 電解金めっき / カンチレバー / ノイズ / 加速度センサ / 電解めっき / ナノ結晶 / 金めっき / 結晶 / 金合金 / 金 / ナノマイクロセンサ / 加速度 / ナノG / 行動学 / バイオ関連機器 / 生物化学 / バイオMEMS / 反応速度定数 / 葉酸 / PDMS / マイクロビーズ / マイクロ流路隠す

細菌ストレス応答の動的過程解明:エレクトロニクスに創発された新細菌同定法への展開
- 研究代表者
  
  石井仁
- 研究期間 (年度)
  2019 – 2021
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連
- 研究機関
  豊橋技術科学大学
エレクトロニクスに創発された細菌行動学の創生
- 研究代表者
  
  石井仁
- 研究期間 (年度)
  2015 – 2018
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  電子デバイス・電子機器
- 研究機関
  豊橋技術科学大学
結晶構造を制御した金合金めっきによるナノG検出法の開拓
- 研究代表者
  
  山根大輔
- 研究期間 (年度)
  2015 – 2017
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  ナノマイクロシステム
- 研究機関
  東京工業大学
異種機能素子統合設計技術と人体行動予知システム用チップの研究研究代表者
- 研究代表者
  
  町田克之
- 研究期間 (年度)
  2011 – 2013
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  電子デバイス・電子機器
- 研究機関
  東京工業大学
細菌迅速検知チップに関する基礎的研究
- 研究代表者
  
  石井仁
- 研究期間 (年度)
  2011 – 2013
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  電子デバイス・電子機器
- 研究機関
  豊橋技術科学大学

すべて 2022 2021 2020 2019 2018 2017 2016 2015 2014 2013 2012 2011

すべて雑誌論文学会発表図書産業財産権

[図書] Advances in Microelectronics: Reviews, Vol. 1, "Fabrication and Characterization of High Strength Electrodeposited Gold toward High-Sensitive MEMS Inertial Sensors"2018
- 著者名/発表者名
  Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Hao-Chun Tang, Masaharu Yoshiba, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
- 総ページ数
  534
- 出版者
  IFSA Publishing
- ISBN
  9788469786338
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[図書] 異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用2012
- 著者名/発表者名
  町田克之, 益一哉, 年吉洋, 監修
- 総ページ数
  279
- 出版者
  株式会社シーエムシー出版
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[図書] 異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用2012
- 著者名/発表者名
  町田克之
- 総ページ数
  279
- 出版者
  シーエムシー出版
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[雑誌論文] Detection system for Legionella bacteria using photogate-type optical sensor2022
- 著者名/発表者名
  Honda Yuto、Ichikawa Ryosuke、Choi Yong Joon、Murakami Kensuke、Takahashi Kazuhiro、Noda Toshihiko、Sawada Kazuaki、Ishii Hiromu、Machida Katsuyuki、Ito Hiroyuki、Miyahara Satoshi、Nikaido Yasuhiko、Saito Mitsumasa
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 61 号: SD ページ: SD1010-SD1010
- DOI
  10.35848/1347-4065/ac5a25
- 査読あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K22942, KAKENHI-PROJECT-19H02196, KAKENHI-PROJECT-20K14790
[雑誌論文] フォトゲート型光センサを用いたレジオネラ属菌のセンシング2020
- 著者名/発表者名
  S. Tanaka., Y. J. Choi, M. Ishida, K. Sawada, H. Ishii, K. Machida, Y. Nikaido, M. Saito, S. Yoshida
- 雑誌名
  
  電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）
  
  巻: 140 号: 5 ページ: 103-108
- DOI
  10.1541/ieejsmas.140.103
- NAID
  130007839257
- ISSN
  1341-8939, 1347-5525
- 年月日
  2020-05-01
- 言語
  日本語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02196
[雑誌論文] Bacterial Identification by Using Photogate-Type Optical Sensor2019
- 著者名/発表者名
  Ishii Hiromu、Tanaka Sawako、Ishida Makoto、Sawada Kazuaki、Machida Katsuyuki、Nikaido Yasuhiko、Saito Mitsumasa、Yoshida Shinichi
- 雑誌名
  
  ECS Transactions
  
  巻: 92 号: 4 ページ: 155-162
- DOI
  10.1149/09204.0155ecst
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02196
[雑誌論文] Sample size effect on micro-mechanical properties of gold electroplated with dense carbon dioxide2018
- 著者名/発表者名
  Hao-Chun Tang, Ken Hashigata, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
- 雑誌名
  
  Elsevier Surface and Coatings Technology
  
  巻: 印刷中ページ: 1065-1070
- DOI
  10.1016/j.surfcoat.2018.02.041
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453, KAKENHI-PROJECT-26220907
[雑誌論文] 蛍光センサによる細菌識別に向けたレジオネラ属菌の発光特性の検討2018
- 著者名/発表者名
  田中佐和子，澤田和明，石井仁，町田克之，二階堂靖彦，齋藤光正
- 雑誌名
  
  電子情報通信学会技術研究報告
  
  巻: 118 (No. 175, ED2018-22) ページ: 5-8
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H03992
[雑誌論文] A 0.18-µm CMOS time-domain capacitive-sensor interface for sub-1mG MEMS accelerometers2018
- 著者名/発表者名
  Motohiro Takayasu, Shiro Dosho, Hiroyuki Ito, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Noboru Ishihara, Kazuya Masu
- 雑誌名
  
  IEICE Electronics Express
  
  巻: 15 号: 2 ページ: 20171227-20171227
- DOI
  10.1587/elex.15.20171227
- NAID
  130006320958
- ISSN
  1349-2543
- 言語
  英語
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[雑誌論文] Au-Cu Alloys Prepared by Pulse Electrodeposition toward Applications as Movable Micro-Components in Electronic Devices2018
- 著者名/発表者名
  Tang Haochun、Chen Chun-Yi、Chang Tso-Fu Mark、Nagoshi Takashi、Yamane Daisuke、Konishi Toshifumi、Machida Katsuyuki、Masu Kazuya、Sone Masato
- 雑誌名
  
  Journal of The Electrochemical Society
  
  巻: 165 号: 2 ページ: D58-D63
- DOI
  10.1149/2.0441802jes
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220907, KAKENHI-PROJECT-15K17453
[雑誌論文] Microgravity Generation Using Tilting Board for Resolution Evaluation of MEMS Accelerometer2018
- 著者名/発表者名
  Motohiro Takayasu, Ippei Tsuji, Hiroyuki Ito, Daisuke Yamane, Shiro Dosho, Toshifumi Konishi, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu
- 雑誌名
  
  Sensors and Materials
  
  巻: 印刷中
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[雑誌論文] Enhancement in Structure Stability of Gold Micro-Cantilever by Constraints at the Fixed-End for Applications as Movable Structures of MEMS2018
- 著者名/発表者名
  Minami Teranishi, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone
- 雑誌名
  
  Microelectronics Engineering
  
  巻: 187-188 ページ: 105-109
- DOI
  10.1016/j.mee.2017.11.015
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453, KAKENHI-PROJECT-26220907
[雑誌論文] High-Strength Electroplated Au-Cu Alloys as Micro-components in MEMS Devices2017
- 著者名/発表者名
  Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
- 雑誌名
  
  J. Electrochemical Society
  
  巻: なし号: 4 ページ: 244-247
- DOI
  10.1149/2.141704jes
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220907, KAKENHI-PROJECT-15K17453
[雑誌論文] Detection of Bacterial Fluorescence by the Combination of MEMS Microfluidic Chip and Si Photodetector toward On-chip Biological Sensing2017
- 著者名/発表者名
  S. Onishi, C. Y. Joon, M. Ishida, K. Sawada, H. Ishii, K. Machida, K. Masu, Y. Nikaido, M. Saito, and S. Yoshida
- 雑誌名
  
  ECS Transactions
  
  巻: 80 ページ: 157-164
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H03992
[雑誌論文] Micro-bending testing of electrodeposited gold for applications as movable components in MEMS devices2017
- 著者名/発表者名
  Asano Keisuke、Tang Hao-Chun、Chen Chun-Yi、Nagoshi Takashi、Chang Tso-Fu Mark、Yamane Daisuke、Machida Katsuyuki、Masu Kazuya、Sone Masato
- 雑誌名
  
  Microelectronic Engineering
  
  巻: 180 ページ: 15-19
- DOI
  10.1016/j.mee.2017.05.044
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220907, KAKENHI-PROJECT-15K17453
[雑誌論文] Deformation behavior of electroplated gold composed of nano-columnar grains embedded in micro-columnar textures2017
- 著者名/発表者名
  Yoshiba Masaharu、Chen Chun-Yi、Chang Tso-Fu Mark、Nagoshi Takashi、Yamane Daisuke、Machida Katsuyuki、Masu Kazuya、Sone Masato
- 雑誌名
  
  Materials Letters
  
  巻: 202 ページ: 82-85
- DOI
  10.1016/j.matlet.2017.05.066
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220907, KAKENHI-PROJECT-15K17453
[雑誌論文] Tensile Tests of Micro-Specimens Made of Electroplated Gold2017
- 著者名/発表者名
  Sari Yanagida, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
- 雑誌名
  
  Microelectronics Engineering
  
  巻: 174 ページ: 6-10
- DOI
  10.1016/j.mee.2016.12.004
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220907, KAKENHI-PROJECT-15K17453
[雑誌論文] A 1-mG MEMS Sensor2016
- 著者名/発表者名
  Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
- 雑誌名
  
  ECS Transactions
  
  巻: 72 号: 3 ページ: 7-14
- DOI
  10.1149/07203.0007ecst
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[雑誌論文] Enhancement of Mechanical Strength in Au Films Electroplated with Supercritical Carbon Dioxide2016
- 著者名/発表者名
  Hao-chun Tang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
- 雑誌名
  
  Electrochemistry Communications
  
  巻: 72 ページ: 126-130
- DOI
  10.1016/j.elecom.2016.09.019
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220907, KAKENHI-PROJECT-15K17453
[雑誌論文] Brittle Fracture of Electrodeposited Gold Observed by Micro-Compression2016
- 著者名/発表者名
  Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
- 雑誌名
  
  MATERIALS TRANSACTIONS
  
  巻: 57 号: 8 ページ: 1257-1260
- DOI
  10.2320/matertrans.MG201612
- NAID
  130005165710
- ISSN
  1345-9678, 1347-5320
- 言語
  英語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[雑誌論文] Structure Stability of High Aspect Ratio Ti/Au Two-Layer Cantilevers for Applications in MEMS Accelerometers2016
- 著者名/発表者名
  Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone,
- 雑誌名
  
  Microelectronics Engineering
  
  巻: 153 ページ: 90-93
- DOI
  10.1016/j.mee.2016.02.054
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220907, KAKENHI-PROJECT-15K17453
[雑誌論文] Pulse Electroplating of Ultra-Fine Grained Au Films with High Compressive Strength2016
- 著者名/発表者名
  Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
- 雑誌名
  
  Electrochemistry Communications
  
  巻: 67 ページ: 51-54
- DOI
  10.1016/j.elecom.2016.03.017
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220907, KAKENHI-PROJECT-15K17453
[雑誌論文] Evaluation and Modeling of Adhesion Layer in Shock-Protection Structure for MEMS Accelerometer2016
- 著者名/発表者名
  Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Kazuya Masu and Katsuyuki Machida
- 雑誌名
  
  Microelectronics Reliability
  
  巻: 66 ページ: 78-84
- DOI
  10.1016/j.microrel.2016.09.018
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H02337, KAKENHI-PROJECT-15K17453
[雑誌論文] A Sub-1G MEMS Sensor2015
- 著者名/発表者名
  Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
- 雑誌名
  
  ECS Transactions
  
  巻: 66 号: 5 ページ: 131-138
- DOI
  10.1149/06605.0131ecst
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[雑誌論文] A 0.1G-to-20G Integrated MEMS Inertial Sensor2015
- 著者名/発表者名
  Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 54 号: 8 ページ: 1-4
- DOI
  10.7567/jjap.54.087202
- NAID
  210000145523
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[雑誌論文] Observation of Stress Responses of Bacteria Confined in a MEMS Microfluidic Chip2015
- 著者名/発表者名
  Y. Nishimura, M. Ishida, K. Sawada, H. Ishii, K. Machida, K. Masu, C. Wang, K. Iida, M. Saito, and S. Yoshida
- 雑誌名
  
  ECS Trans. (Invited Review)
  
  巻: 69 ページ: 259-267
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H03992
[雑誌論文] A dual-axis MEMS capacitive inertial sensor with high-density proof mass2015
- 著者名/発表者名
  Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
- 雑誌名
  
  Microsystem Technologies
  
  巻: 印刷中号: 3 ページ: 459-464
- DOI
  10.1007/s00542-015-2539-y
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25630138, KAKENHI-PROJECT-15K17453
[雑誌論文] An arrayed accelerometer device of a wide range of detection for integrated CMOS-MEMS technology2014
- 著者名/発表者名
  Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida, and Hiroshi Toshiyoshi
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: Vol. 53 号: 2 ページ: 27202-27202
- DOI
  10.7567/jjap.53.027202
- NAID
  210000143332
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[雑誌論文] A capacitive CMOS-MEMS sensor designed by multi-physics simulation for integrated CMOS-MEMS technology2014
- 著者名/発表者名
  Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida, and Hiroshi Toshiyoshi
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: vol. 53 号: 4S ページ: 04EE15-04EE15
- DOI
  10.7567/jjap.53.04ee15
- NAID
  210000143609
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[雑誌論文] Design of sub-1g microelectromechanical systems accelerometers2014
- 著者名/発表者名
  Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi and Kazuya Masu
- 雑誌名
  
  Applied Physics Letters
  
  巻: Vol. 104, Issue 7 号: 7 ページ: 74102-74102
- DOI
  10.1063/1.4865377
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[雑誌論文] A Single-platform Simulation and Design Technique for CMOS-MEMS Based on a Circuit Simulator with Hardware Description Language2013
- 著者名/発表者名
  Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Satoshi Maruyama, Makoto Mita, Kazuya Masu, and Hiroshi Toshiyoshi
- 雑誌名
  
  IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical Systems
  
  巻: vol. 22, no. 3 号: 3 ページ: 755-767
- DOI
  10.1109/jmems.2013.2243111
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[雑誌論文] Novel Sensor Structure and its Evaluation for Integrated Complementary Metal Oxide Semiconductor Microelectromechanical Systems Accelerometer2013
- 著者名/発表者名
  Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Gou Motohashi, Ken Kagaya, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics(special issue on MNC 2012)
  
  巻: vol. 52, no. 6 号: 6S ページ: 06GL04-06GL04
- DOI
  10.7567/jjap.52.06gl04
- NAID
  210000142406
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[雑誌論文] Bio-MEMS Chip for Bacteria Detection -A Challenge of Si Technology to Biomedical Field-2013
- 著者名/発表者名
  Hiromu Ishii, Kazuaki Sawada, Makoto Ishida, Katsuyuki Machida, Ken-Ichiro Iida, Mitsumasa Saito, Shin-ichi Yoshida
- 雑誌名
  
  ECS Trans.
  
  巻: Vol. 58, No.9 ページ: 125-133
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560394
[産業財産権] 微細素子とその製造方法2017
- 発明者名
  小西敏文, 佐布晃昭, 町田克之, 山根大輔, 益　一哉
- 権利者名
  小西敏文, 佐布晃昭, 町田克之, 山根大輔, 益　一哉
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2017-055732
- 出願年月日
  2017-03-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[産業財産権] 微細素子およびその製造方法2017
- 発明者名
  小西,佐布,町田,曽根,Chang,Chen,山根,益
- 権利者名
  小西,佐布,町田,曽根,Chang,Chen,山根,益
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2017-055730
- 出願年月日
  2017-03-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[産業財産権] "微細素子およびその製造方法2015
- 発明者名
  小西敏文，佐布晃昭，町田克之，益　一哉，伊藤浩之，山根大輔
- 権利者名
  小西敏文，佐布晃昭，町田克之，益　一哉，伊藤浩之，山根大輔
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2015-256285
- 出願年月日
  2015-12-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[産業財産権] 半導体素子の構造解析装置および解析プログラム2015
- 発明者名
  小西敏文，佐布晃昭，町田克之，益　一哉，山根大輔
- 権利者名
  小西敏文，佐布晃昭，町田克之，益　一哉，山根大輔
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2015-186382
- 出願年月日
  2015-09-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[産業財産権] 設計支援装置2012
- 発明者名
  小西敏文, 松島隆明, 町田克之, 年吉洋
- 権利者名
  NTT-AT,国立大学法人東京大学
- 産業財産権種類
  特許
- 出願年月日
  2012-07-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[産業財産権] 微細素子およびその製造方法2012
- 発明者名
  小西敏文, 松島隆明, 町田克之, 矢野正樹, 工藤和久, 益一哉, 石原昇
- 権利者名
  NTT-AT,国立大学法人東京工業大学
- 産業財産権種類
  特許
- 出願年月日
  2012-02-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] Detection system of bacteria, Legionella by photogate type optical sensor2021
- 著者名/発表者名
  Y. Honda, Y. Choi, K. Murakami, T. Noda, K. Takahashi, K. Sawada, H. Ishii, K. Machida, H. Ito, Y. Nikaido, M. Saito
- 学会等名
  34th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2021)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02196
[学会発表] レジオネラ菌の識別に向けたフォトゲート型蛍光センサによる計測システムの検討2021
- 著者名/発表者名
  本田優斗，田中佐和子，崔容俊，村上健介, 野田俊彦，高橋一浩，澤田和明，石井仁，町田克之，伊藤浩之, 二階堂靖彦，齋藤光正
- 学会等名
  第68回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02196
[学会発表] フォトゲート型蛍光センサによるレジオネラ属菌検知システムの検討2021
- 著者名/発表者名
  本田優斗，崔容俊，村上健介，野田俊彦，高橋一浩，澤田和明，石井仁，町田克之，伊藤浩之，二階堂靖彦，齋藤光正
- 学会等名
  第13回集積化MEMSシンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02196
[学会発表] レジオネラ属菌の識別に向けたフォトゲート型蛍光センサによる計測手法の検討 ---- Legionella erythra の蛍光計測への応用----2020
- 著者名/発表者名
  本田優斗，田中佐和子，崔容俊，野田俊彦，高橋一浩，澤田和明，石井仁，町田克之，伊藤浩之, 二階堂靖彦，齋藤光正，吉田眞一
- 学会等名
  集積化MEMSシンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02196
[学会発表] フォトゲート型蛍光センサによるレジオネラ属菌の識別方法の検討2020
- 著者名/発表者名
  本田優斗，田中佐和子，崔容俊，澤田和明，野田俊彦，高橋一浩，石井仁，町田克之，二階堂靖彦，齋藤光正，吉田眞一
- 学会等名
  電気学会E部門総合研究会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02196
[学会発表] Bacterial identification by using photogate-type optical sensor2019
- 著者名/発表者名
  H. Ishii, S. Tanaka, M. Ishida, K. Sawada, K. Machida, Y. Nikaido, M. Saito, S. Yoshida
- 学会等名
  136th The Electrochemical Society Meeting, Atlanta, USA.
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02196
[学会発表] フォトゲート型蛍光センサによるレジオネラ属菌の菌種識別2019
- 著者名/発表者名
  田中佐和子, 崔容俊, 石田誠, 澤田和明, 石井仁, 町田克之, 二階堂靖彦, 齋藤光正, 吉田眞一
- 学会等名
  第11回集積化MEMSシンポジウム, 応用物理学会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02196
[学会発表] Identification of Legionella Species by Photogate-Type Optical Sensor2019
- 著者名/発表者名
  S. Tanaka, Y. J. Choi, T. Noda, M. Ishida, K. Sawada, H. Ishii, K.Machida, Y. Nikaido, M. Saito S. Yoshida
- 学会等名
  IEEE Sensors, Montreal Canada
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02196
[学会発表] レジオネラ属菌の蛍光強度の励起光強度依存性2019
- 著者名/発表者名
  田中佐和子, 崔容俊, 石田誠, 澤田和明, 石井仁, 町田克之, 二階堂靖彦, 齋藤光正, 吉田眞一
- 学会等名
  2019年第66回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H03992
[学会発表] Bacterial identification by using photogate-type optical sensor2019
- 著者名/発表者名
  Hiromu Ishii, Sawako Tanaka, Makoto Ishida, Kazuaki Sawada, Katsuyuki Machida, Yasuhiko Nikaido, Mitsumasa Saito, Shin-ichi Yoshida
- 学会等名
  236th The Electrochemical Society Meeting
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H03992
[学会発表] レジオネラ属菌の蛍光強度の励起光強度依存性 II2019
- 著者名/発表者名
  田中佐和子, 崔容俊, 石田誠, 澤田和明, 石井仁, 町田克之, 二階堂靖彦, 齋藤光正, 吉田眞一
- 学会等名
  2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02196
[学会発表] フォトゲート型光センサを用いたレジオネラ属菌のセンシング2019
- 著者名/発表者名
  田中佐和子, 崔容俊, 石田誠, 澤田和明, 石井仁, 町田克之, 二階堂靖彦, 齋藤光正, 吉田眞一
- 学会等名
  バイオ・マイクロシステム研究会, 令和元年度E部門総合研究会，電気学会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02196
[学会発表] 電解めっき法によるMEMS用金銅合金の作製及び機械的特性評価2018
- 著者名/発表者名
  唐浩峻, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 山根大輔, 小西敏文, 町田克之, 益一哉, 曽根正人
- 学会等名
  第64回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] 電解めっき法によるTi/Au微小カンチレバーのヤング率評価2018
- 著者名/発表者名
  中島英亮, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, 山根大輔, 小西敏文, 町田克之, 年吉洋, 益一哉, 曽根正人
- 学会等名
  第64回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Chemical Kinetic Analysis for Temporal Variation of Fluorescence from Legionella2018
- 著者名/発表者名
  S. Tanaka, S. Onishi, M. Ishida, K. Sawada, H. Ishii, K. Machida, Y. Nikaido, M. Saito, and S. Yoshida
- 学会等名
  2nd Taiwan-Japan Joint Symp., Nano-engineering and Micro-system Technology Taiwan
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H03992
[学会発表] 電析制御による微小金カンチレバーの曲げ特性の改善2018
- 著者名/発表者名
  浅野啓介, 唐浩峻, Chun-Yi Chen, 名越貴志, Tso-Fu Mark Chang, 山根大輔, 小西敏文, 町田克之, 益一哉, 曽根正人
- 学会等名
  第64回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Structure Stability of Electrodeposited Au-Cu Alloy Micro-Cantilever Evaluated By Long-Term Vibration Test for Applications As Movable Components in MEMS Devices2018
- 著者名/発表者名
  Kyoutarou Nitta, Koichiro Tachibana, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu
- 学会等名
  233rd ECS Meeting
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Enhanced Mechanical Strength of Ti-Au Bi-Layered Micro-Cantilever For MEMS Accelerometers2018
- 著者名/発表者名
  Ken Hashigata, Haochun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
- 学会等名
  第64回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] 長期振動試験によるAu-Cu合金微小カンチレバーの構造安定性2018
- 著者名/発表者名
  新田京太朗, 橘航一朗, Haochun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, 山根大輔, 小西敏文, 町田克之, 益一哉, 曽根正人
- 学会等名
  第64回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Electroplating of Gold on Titanium Substrate: Method to Deposit Defect-Free Film2018
- 著者名/発表者名
  Ken Hashigata, Hao-Chun Tang, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
- 学会等名
  22nd Topical Meeting of the International Society of Electrochemistry
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] 積層メタル技術で作製したMEMS慣性センサのモジュール化の検討(2)2018
- 著者名/発表者名
  古賀達也, 高安基大, 山根大輔, 伊藤浩之, 小西敏文, 道正志郎, 石原昇, 町田克之, 益一哉
- 学会等名
  第64回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] レジオネラ属菌の蛍光の励起光照射時間依存性の反応化学的解析2018
- 著者名/発表者名
  田中佐和子，大西脩平，石田誠，澤田和明，石井仁，町田克之，益一哉，二階堂靖彦，齋藤光正，吉田眞一
- 学会等名
  2018年第65回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H03992
[学会発表] フォトゲート型蛍光センサによるレジオネラ属菌の識別可能性の検討2018
- 著者名/発表者名
  田中佐和子, 大西脩平, 石田誠, 澤田和明, 石井仁, 町田克之, 二階堂靖彦, 齋藤光正, 吉田眞一
- 学会等名
  第10回集積化MEMSシンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H03992
[学会発表] 積層メタル技術を用いたMEMS慣性センサの封止環境における温度依存性2018
- 著者名/発表者名
  小西敏文, 山根大輔, 佐布晃昭, 陳君怡, Chang Tso-Fu Mark, 伊藤浩之, 道正志郎, 石原昇, 曽根正人, 町田克之, 益一哉, 飯田慎一
- 学会等名
  第64回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] A Study on Tri-Axis Fully-Differential Electrodes for MEMS Accelerometer With Segmented Capacitance Detection2018
- 著者名/発表者名
  Shota Otobe, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu
- 学会等名
  Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology 2018 (APCOT 2018)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Temperature Characteristics of MEMS Inertial Sensor Fabricated by Gold Multi-Layer Metal Technology2018
- 著者名/発表者名
  Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Shin-ichi Iida, Takuma Suzuki, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu
- 学会等名
  13th Annual IEEE International Conference on Nano-Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE NEMS 2018)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] 集積化CMOS-MEMS技術による高感度慣性センサと応用システム2018
- 著者名/発表者名
  伊藤浩之, 山根大輔, 小西敏文, 道正志郎, 石原昇, 町田克之, 曽根正人, 三宅美博, 益一哉
- 学会等名
  第64回応用物理学会春季学術講演会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] 単一Au錘3軸差動MEMS加速度センサの検討2018
- 著者名/発表者名
  新島宏文, 乙部翔太, 高安基大, 山根大輔, 伊藤浩之, 佐布晃昭, 小西敏文, 道正志郎, 飯田慎一, 石原昇, 町田克之, 益一哉
- 学会等名
  平成30年電気学会全国大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] 傾斜を用いた1mG MEMS加速度センサの分解能評価の検討2018
- 著者名/発表者名
  高安基大, 古賀達也, 辻一平, 伊藤浩之, 山根大輔, 道正志郎, 小西敏文, 飯田慎一, 石原昇, 町田克之, 益一哉
- 学会等名
  平成30年電気学会全国大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] 高感度MEMS加速度センサのBrownian Noise評価に関する検討2018
- 著者名/発表者名
  新島宏文, 乙部翔太, 高安基大, 山根大輔, 小西敏文, 佐布晃昭, 伊藤浩之, 年吉洋, 町田克之, 益一哉
- 学会等名
  第64回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Pulse Current Electrodeposition of Ultrahigh Strength of Nanocrystalline Au-Cu Alloys2018
- 著者名/発表者名
  Haochun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
- 学会等名
  22nd Topical Meeting of the International Society of Electrochemistry
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] レジオネラ属菌の赤色蛍光の励起光照射時間依存性の検討2018
- 著者名/発表者名
  田中佐和子, 大西脩平, 石田誠, 澤田和明, 石井仁, 町田克之, 二階堂靖彦, 齋藤光正, 吉田眞一
- 学会等名
  2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H03992
[学会発表] MEMS加速度センサ用高分解能容量検出回路2017
- 著者名/発表者名
  高安基大, 道正志郎, 伊藤浩之, 山根大輔, 小西敏文, 町田克之, 石原昇, 益一哉
- 学会等名
  第78応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Micro-Mechanical Property Enhancement of Metals Electroplated in Electrolyte Containing Supercritical CO22017
- 著者名/発表者名
  Tso-Fu Mark Chang, Haochun Tang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
- 学会等名
  IUMRS International Conference in Asia (IUMRS-ICA) 2017
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] 静電容量型MEMSセンサにおけるブラウニアン・ノイズ評価手法の検討(2)2017
- 著者名/発表者名
  新島宏文, 高安基大, 山根大輔, 小西敏文, 佐布晃昭, 伊藤浩之, 年吉洋, 町田克之, 益一哉
- 学会等名
  第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Micro-Mechanical Property Evaluation of Electroplated Au/Cu Alloys toward Applications in MEMS Accelerometers2017
- 著者名/発表者名
  Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
- 学会等名
  21th International Conference on Solid State Ionics
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Mechanical Strengthening of Gold Micro-Cantilever by Control of Electroplating Conditions2017
- 著者名/発表者名
  Keisuke Asano, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
- 学会等名
  IUMRS International Conference in Asia (IUMRS-ICA) 2017
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] A Tri-axis MEMS Accelerometer With a Gold Electroplated Single-proof-mass and Segmented Electrodes2017
- 著者名/発表者名
  Shota Otobe, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu
- 学会等名
  2017 Int'l Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2017)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Electrochemical Plating of Au-Cu Alloy Films for MEMS Sensor Applications2017
- 著者名/発表者名
  Chun-Yi Chen, Tang Hao-Chun, Masaharu Yoshiba, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
- 学会等名
  RACI National Centenary Conference
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Long-Term Vibration Testing of Ti/Au Micro-Cantilever Fabricated by Multi-Layer Metal Technology2017
- 著者名/発表者名
  Koichiro Tachibana, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
- 学会等名
  2017 MRS Fall Meeting
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Ultrahigh Strength in Electroplated Nanocrystalline Au-Cu Alloys Evaluated by Micro-Compression Tests2017
- 著者名/発表者名
  Hao-chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
- 学会等名
  2017 MRS Fall Meeting
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] 金めっきで形成したMEMS加速度センサの長期振動特性に関する検討2017
- 著者名/発表者名
  山根大輔, 小西敏文, 佐布晃昭, 橘航一朗, 寺西美波, 陳君怡, Tso-Fu Mark Chang, 曽根正人, 町田克之, 益一哉
- 学会等名
  第78応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] MEMS慣性センサ用弛張発振型容量検出回路2017
- 著者名/発表者名
  高安基大, 道正志郎, 伊藤浩之, 山根大輔, 小西敏文, 町田克之, 石原昇, 益一哉
- 学会等名
  第9回集積化MEMSシンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] 積層メタル技術を用いたMEMS慣性センサにおける粘性定数の検討2017
- 著者名/発表者名
  小西敏文, 山根大輔, 佐布晃昭, 曽根正人, 年吉洋, 益一哉, 町田克之
- 学会等名
  第64回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  パシフィコ横浜
- 年月日
  2017-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Detection of Bacterial Fluorescence by the Combination of MEMS Microfluidic Chip and Si Photodetector toward On-chip Biological Sensing2017
- 著者名/発表者名
  S. Onishi, C. Y. Joon, M. Ishida, K. Sawada, H. Ishii, K. Machida, K. Masu, Y. Nikaido, M. Saito, and S. Yoshida
- 学会等名
  232nd The Electrochemical Society Fall Meeting
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H03992
[学会発表] Temperature Structure Stability of Multi-Ti/Au-Layered Micro-Cantilever2017
- 著者名/発表者名
  Takuma Suzuki, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
- 学会等名
  IUMRS International Conference in Asia (IUMRS-ICA) 2017
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Young’s Modulus Evaluation of Ti/Au Micro-Cantilevers by Au Electrodeposition2017
- 著者名/発表者名
  Hideaki Nakajima, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
- 学会等名
  IUMRS International Conference in Asia (IUMRS-ICA) 2017
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] 非侵襲性高感度医用デバイスのための貴金属材料の作製とその材料評価2017
- 著者名/発表者名
  曽根正人, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, 山根大輔, 小西敏文, 町田克之, 益一哉
- 学会等名
  第63回国立大学共同利用・共同研究拠点知の拠点セミナー
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Tilt Characteristics of a MEMS Accelerometer fabricated by Multi-layer Metal Technology2017
- 著者名/発表者名
  Ippei Tsuji, Motohiro Takayasu, Hiroyuki Ito, Daisuke Yamane, Shiro Dosho, Toshifumi Konishi, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu
- 学会等名
  2017 Int'l Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2017)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Temperature Dependence on Package Sealing Ambient of MEMS Sensor Fabricated by Gold Electroplating2017
- 著者名/発表者名
  Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Teruaki Safu, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Shinichi Iida
- 学会等名
  The 30th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2017)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] ビーズを用いたPDMS製細菌捕獲チップの検討Ⅴ -フィルタフリー蛍光センサの適用-2017
- 著者名/発表者名
  大西脩平, 崔容俊, 石田誠, 澤田和明, 石井仁, 町田克之, 益一哉, 二階堂靖彦, 齋藤光正, 吉田眞一
- 学会等名
  第64回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  横浜
- 年月日
  2017-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H03992
[学会発表] Defect-Free and Uniform Electroplating of Gold on Titanium Surface for Design of MEMS Components2017
- 著者名/発表者名
  Ken Hashigata, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
- 学会等名
  TACT2017 International Thin Films Conference
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] MEMS 加速度センサ用高分解能容量検出回路の評価2017
- 著者名/発表者名
  高安基大, 道正志郎, 伊藤浩之, 山根大輔, 小西敏文, 町田克之, 石原昇, 益一哉
- 学会等名
  第8回集積化MEMS技術研究ワークショップ
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] 積層メタル技術によるTi/Auマイクロカンチレバーの疲労特性の検討2017
- 著者名/発表者名
  橘航一朗, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, 小西敏文, 町田克之, 年吉洋, 山根大輔, 益一哉, 曽根正人
- 学会等名
  第64回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  パシフィコ横浜
- 年月日
  2017-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Strategies of Mechanical Strengthening in Electroplated Au Materials2017
- 著者名/発表者名
  Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
- 学会等名
  IUMRS International Conference in Asia (IUMRS-ICA) 2017
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] 積層メタル技術によるTi/Auめっき構造体のヤング率評価（２）2017
- 著者名/発表者名
  中島英亮, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, 小西敏文, 町田克之, 年吉洋, 山根大輔, 益一哉, 曽根正
- 学会等名
  第64回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  パシフィコ横浜
- 年月日
  2017-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] 積層メタル技術による3軸MEMS加速度センサのばね定数設計方法2017
- 著者名/発表者名
  佐布晃昭, 小西敏文, 山根大輔, 年吉洋, 曽根正人, 益一哉, 町田克之
- 学会等名
  第64回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  パシフィコ横浜
- 年月日
  2017-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Sub-1mG Inertial Sensors by Multi-layer Metal Technology2017
- 著者名/発表者名
  Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu
- 学会等名
  IUMRS International Conference in Asia (IUMRS-ICA) 2017
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Material Design of High Strength Electroplated Gold Alloy toward High-Sensitive MEMS Accelerometers2017
- 著者名/発表者名
  Masato Sone, Haochun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu
- 学会等名
  IUMRS International Conference in Asia (IUMRS-ICA) 2017
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] 3軸MEMS加速度センサにおける単一Au錘および電極分割方式の検討2017
- 著者名/発表者名
  乙部翔太, 高安基大, 山根大輔, 小西敏文, 佐布晃昭, 伊藤浩之, 道正志郎, 石原昇, 町田克之, 益一哉
- 学会等名
  第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Preparation and Characterization of Au-Cu Alloy Films for MEMS Accelerometer2017
- 著者名/発表者名
  Chun-Yi Chen, Tang Hao-Chun, Masaharu Yoshiba, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
- 学会等名
  21st Topical Meeting of the International Society of Electrochemistry
- 発表場所
  Szeged, Hungary
- 年月日
  2017-04-23
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] A Capacitive Sensor Circuit Based on Relaxation Oscillator for Sub-1mG MEMS Inertial Sensors2017
- 著者名/発表者名
  Motohiro Takayasu, Shiro Dosho, Hiroyuki Ito, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Noboru Ishihara, Kazuya Masu
- 学会等名
  2017 Int'l Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2017)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] FEM Simulation on Structure Stability of Ti/Au Multi-Layered Cantilevers with Various Dimensions for Applications as Movable Structures in MEMS Devices2017
- 著者名/発表者名
  Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
- 学会等名
  21th International Conference on Solid State Ionics
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Long-Term Vibration Characteristics of MEMS Inertial Sensors by Multi-Layer Metal Technolog2017
- 著者名/発表者名
  Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Koichiro Tachibana, Minami Teranishi, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu
- 学会等名
  The 19th Int. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2017)
- 発表場所
  Kaohsiung Exhibition Center, Kaohsiung, Taiwan
- 年月日
  2017-06-18
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Temperature Dependence of Structure Stability of Ti/Au Micro-Cantilever Fabricated by Multi-Layer Metal Technology2017
- 著者名/発表者名
  Takuma Suzuki, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
- 学会等名
  2017 MRS Fall Meeting
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] ビーズを用いたPDMS製細菌捕獲チップの検討Ⅴ- レジオネラ蛍光の減衰過程の解析 -2017
- 著者名/発表者名
  大西脩平, 崔容俊, 石田誠，澤田和明，石井仁，町田克之，益一哉，二階堂靖彦，齋藤光正，吉田眞一
- 学会等名
  2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H03992
[学会発表] Preparation and Characterization of Au-Cu Alloy Films for MEMS Accelerometer2017
- 著者名/発表者名
  Chun-Yi Chen, Tang Hao-Chun, Masaharu Yoshiba, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
- 学会等名
  21st Topical Meeting of the International Society of Electrochemistry
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] 積層メタル技術によるMEMS加速度センサの傾斜時感度特性の検討2017
- 著者名/発表者名
  古賀達也, 辻一平, 高安基大, 伊藤浩之, 山根大輔, 道正志郎, 小西敏文, 石原昇, 町田克之, 益一哉
- 学会等名
  第9回集積化MEMSシンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] 発振型容量検出回路を用いたAu錘CMOS-MEMS加速度センサの検討2017
- 著者名/発表者名
  折原恒祐, 高安基大, 道正志郎, 伊藤浩之, 山根大輔, 小西敏文, 石原昇, 町田克之, 益一哉
- 学会等名
  第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] フォトゲート型蛍光センサを用いたレジオネラの蛍光観測2017
- 著者名/発表者名
  大西脩平, 崔容俊, 石田誠，澤田和明，石井仁，町田克之，益一哉，二階堂靖彦，齋藤光正，吉田眞一
- 学会等名
  第９回集積化MEMSシンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H03992
[学会発表] A Study on Young’s Modulus of Electroplated Gold Cantilevers for MEMS Devices2017
- 著者名/発表者名
  Hideaki Nakajima, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Masato Sone, Kazuya Masu
- 学会等名
  12th Annual IEEE Int. Conf. on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE NEMS 2017)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Long-Term Vibration Test and Structure Stability of Ti/Au Micro-Cantilever as MEMS Components2017
- 著者名/発表者名
  Koichiro Tachibana, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
- 学会等名
  IUMRS International Conference in Asia (IUMRS-ICA) 2017
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] 積層メタルMEMS慣性センサの長期振動特性評価2017
- 著者名/発表者名
  山根大輔, 小西敏文, 佐布晃昭, 橘航一朗, 寺西美波, 陳君怡, Tso-Fu Mark Chang, 曽根正人, 町田克之, 益一哉
- 学会等名
  第9回集積化MEMSシンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Structure Stability Enhancement of Gold Micro-Cantilever with a Constrained at Top and Bottom of the Fixed-End2017
- 著者名/発表者名
  Minami Teranishi, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
- 学会等名
  43rd Micro and Nano Engineering (MNE2017)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] 移動体制御による慣性センサ評価系の構築2017
- 著者名/発表者名
  權田惇晟, 高安基大, 山根大輔, 伊藤浩之, 小西敏文, 道正志郎, 石原昇, 町田克之, 益一哉
- 学会等名
  第64回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  パシフィコ横浜
- 年月日
  2017-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] A Novel Tri-Axis MEMS Accelerometer with a Single Au Proof Mass and Fully Differential Sensing Electrodes2017
- 著者名/発表者名
  Hirofumi Niijima, Motohiro Takayasu, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu
- 学会等名
  The 30th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2017)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] 積層メタル技術を用いたMEMS慣性センサの構造設計のための粘性定数モデルの検討2017
- 著者名/発表者名
  小西敏文, 山根大輔, 佐布晃昭, 曽根正人, 年吉洋, 益一哉, 町田克之
- 学会等名
  第9回集積化MEMSシンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] 積層メタル技術によるMEMS慣性センサの傾斜時感度特性の検討2017
- 著者名/発表者名
  古賀達也, 辻一平, 高安基大, 伊藤浩之, 山根大輔, 道正志郎, 小西敏文, 石原昇, 町田克之, 益一哉
- 学会等名
  第9回集積化MEMSシンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] MEMS inertial sensors for biomedical applications2017
- 著者名/発表者名
  Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Yoshihiro Miyake, Kazuya Masu
- 学会等名
  12th Annual IEEE Int. Conf. on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE NEMS 2017)
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Mechanical Property Anisotropy of Pure Gold Evaluated by Micro-compression Test2017
- 著者名/発表者名
  Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
- 学会等名
  43rd Micro and Nano Engineering (MNE2017)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] 積層メタル技術によるTi/Auめっき構造体のヤング率評価（１）2017
- 著者名/発表者名
  山根大輔, 小西敏文, 佐布晃昭, 中島英亮, 寺西美波, 陳君怡, Tso-Fu Mark Chang, 曽根正人, 年吉洋, 益一哉, 町田克之
- 学会等名
  第64回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  パシフィコ横浜
- 年月日
  2017-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Electroplated Au-based Materials with High Micro-mecchanical Properties as MEMS accelerometer Components2017
- 著者名/発表者名
  Chun-Yi Chen, Hao-Chun Tang, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
- 学会等名
  21th International Conference on Solid State Ionics
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Long-Term Vibration Characteristics of MEMS Inertial Sensors by Multi-Layer Metal Technology2017
- 著者名/発表者名
  Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Koichiro Tachibana, Minami Teranishi, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu
- 学会等名
  The 19th Int. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2017)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] 積層メタル技術を用いたMEMS加速度センサの傾斜計応用の検討2017
- 著者名/発表者名
  辻一平, 高安基大, 伊藤浩之, 山根大輔, 道正志郎, 小西敏文, 石原昇, 町田克之, 益一哉
- 学会等名
  第9回集積化MEMSシンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] 積層メタル技術を用いた高感度MEMS慣性センサの傾斜計応用の検討2017
- 著者名/発表者名
  辻一平, 高安基大, 伊藤浩之, 山根大輔, 道正志郎, 小西敏文, 石原昇, 町田克之, 益一哉
- 学会等名
  第78応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] 積層メタル技術によるTi/Auマイクロカンチレバーの温度依存性のシミュレーションの検討2017
- 著者名/発表者名
  鈴木拓真, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, 小西敏文, 町田克之, 年吉洋, 山根大輔, 益一哉, 曽根正人
- 学会等名
  第64回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  パシフィコ横浜
- 年月日
  2017-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] 積層メタル技術で作製したMEMS慣性センサのモジュール化の検討2017
- 著者名/発表者名
  高安基大, 權田惇晟, 山根大輔, 伊藤浩之, 小西敏文, 道正志郎, 石原昇, 町田克之, 益一哉
- 学会等名
  第64回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  パシフィコ横浜
- 年月日
  2017-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Effects of Bi-Layered Au/Ti Structure on Mechanical Properties of Micro-Cantilever Evaluated by Micro-Bending Test Toward Applications in MEMS Devices2017
- 著者名/発表者名
  Ken Hashigata, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
- 学会等名
  43rd Micro and Nano Engineering (MNE2017)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] 積層メタル技術を用いた高感度MEMS 傾斜計の検討2017
- 著者名/発表者名
  辻一平, 高安基大, 伊藤浩之, 山根大輔, 小西敏文, 道正志郎, 石原昇, 町田克之, 益一哉
- 学会等名
  第8回集積化MEMS技術研究ワークショップ
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Enhancement of Mechanical Properties in Au Films Electroplated with Supercritical Carbon Dioxide2016
- 著者名/発表者名
  Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
- 学会等名
  42nd Micro and Nano Engineering (MNE2016)
- 発表場所
  the Reed Messe Wien Exhibition & Congress Center, Vienna, Austria
- 年月日
  2016-09-19
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Pulse Electroplating of Ultra-Fine Grained Au Films with High Strength for Micro-Electrical-Mechanical System Devices2016
- 著者名/発表者名
  Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
- 学会等名
  ISE - Topical Meeting
- 発表場所
  Auckland, New Zealand
- 年月日
  2016-04-17
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] 積層メタル構造を用いた MEMS 加速度センサのストッパーのロバスト性検討2016
- 著者名/発表者名
  小西敏文, 山根大輔, 佐布晃昭, 年吉洋, 曽根正人, 益一哉, 町田克之
- 学会等名
  第63回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学大岡山キャンパス、東京都目黒区
- 年月日
  2016-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] 微小引張試験片を用いたMEMS 用金めっき材料の機械的特性の評価2016
- 著者名/発表者名
  柳田佐理, Chang Tso-Fu Mark, Chen Chu-Yi, 名越貴志, 山根大輔, 町田克之, 益一哉, 曽根正人
- 学会等名
  第33回センサ・マイクロマシンと応用シンポジウム
- 発表場所
  平戸文化センター, 長崎県平戸市
- 年月日
  2016-10-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Preparation and Characterization of Gold Films by Electroplating with Supercritical Carbon Dioxide2016
- 著者名/発表者名
  Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Katsuyuki Machida, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone
- 学会等名
  ISE - Topical Meeting
- 発表場所
  Auckland, New Zealand
- 年月日
  2016-04-17
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Study of Gold Electroplating by Constant and Pulse Current Method with Non-Cyanide Gold Sulfite Electrolyte2016
- 著者名/発表者名
  Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
- 学会等名
  ISE - Topical Meeting
- 発表場所
  Auckland, New Zealand
- 年月日
  2016-04-17
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] CMOS-MEMS慣性センサにおける機械的ノイズの解析手法2016
- 著者名/発表者名
  小西敏文, 山根大輔, 伊藤浩之, 道正志郎, 石原昇, 年吉洋, 益一哉, 町田克之
- 学会等名
  第77回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  新潟県新潟市朱鷺メッセ
- 年月日
  2016-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] 1mG以下検出へ向けた積層メタルMEMS加速度センサの基礎検討2016
- 著者名/発表者名
  山根大輔, 小西敏文, 佐布晃昭, 曽根正人, 年吉洋, 益一哉, 町田克之
- 学会等名
  第77回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  新潟県新潟市朱鷺メッセ
- 年月日
  2016-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Sub-1G検出へ向けた積層メタル3軸加速度センサの基礎検討2016
- 著者名/発表者名
  山根大輔, 小西敏文, 年吉洋, 益一哉, 町田克之
- 学会等名
  電子情報通信学会2016年総合大会
- 発表場所
  九州大学伊都キャンパス、福岡県福岡市
- 年月日
  2016-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Mechanical Behaviour of Electroplated Gold Evaluated by Micro-Tensile Test for Application in MEMS Accelerometer2016
- 著者名/発表者名
  Sari Yanagida, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
- 学会等名
  42nd Micro and Nano Engineering (MNE2016)
- 発表場所
  the Reed Messe Wien Exhibition & Congress Center, Vienna, Austria
- 年月日
  2016-09-19
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] 微小電子機械システムのための超臨界流体を用いた金属皮膜形成技術2016
- 著者名/発表者名
  曽根正人, Tso-Fu Mark Chang, Chun-yi Chen, 山根大輔, 益一哉, 町田克之
- 学会等名
  第6回CSJ化学フェスタ
- 発表場所
  タワーホール船堀, 東京
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] A Study of Railroad Vehicle Control by Inertial Sensors2016
- 著者名/発表者名
  Motohiro Takayasu, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Masakazu Sonobe, Takumi Kobayashi, Yamato Fukuta, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
- 学会等名
  11th World Congress on Railway Research
- 発表場所
  Milan, Italy
- 年月日
  2016-05-29
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] 微小曲げ試験による金めっきで作製した微小カンチレバーの機械的特性評価2016
- 著者名/発表者名
  浅野啓介, 唐浩峻, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 名越貴志, 山根大輔, 町田克之, 益一哉, 曽根正人
- 学会等名
  第33回センサ・マイクロマシンと応用シンポジウム
- 発表場所
  平戸文化センター, 長崎県平戸市
- 年月日
  2016-10-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] RC発振器型高感度容量検出回路2016
- 著者名/発表者名
  高安基大, 道正志郎, 伊藤浩之, 石原昇, 山根大輔, 小西敏文, 町田克之, 益一哉
- 学会等名
  第8回集積化MEMSシンポジウム
- 発表場所
  平戸文化センター, 長崎県平戸市
- 年月日
  2016-10-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] 積層メタル技術によるMEMS加速度センサのばね定数設計方法2016
- 著者名/発表者名
  佐布晃昭, 小西敏文, 山根大輔, 年吉洋, 曽根正人, 益一哉, 町田克之
- 学会等名
  第8回集積化MEMSシンポジウム
- 発表場所
  平戸文化センター, 長崎県平戸市
- 年月日
  2016-10-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] 高感度MEMS 加速度センサー用金電気めっきの変形挙動および強度の結晶方位依存性評価2016
- 著者名/発表者名
  葭葉将治, Chen Chun-Yi, 名越貴志, Chang Tso-Fu Mark, 山根大輔, 町田克之, 益一哉, 曽根正人
- 学会等名
  第33回センサ・マイクロマシンと応用シンポジウム
- 発表場所
  平戸文化センター, 長崎県平戸市
- 年月日
  2016-10-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] マイクロ曲げ試験による電析金薄膜の機械的特性評価2016
- 著者名/発表者名
  浅野啓介, 唐浩峻, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 山根大輔, 町田克之, 益一哉, 曽根正人
- 学会等名
  第63回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学大岡山キャンパス、東京都目黒区
- 年月日
  2016-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Controllable Mechanical Properties of Au Films by Pulse Electroplating for MEMS Accelerometer2016
- 著者名/発表者名
  Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
- 学会等名
  42nd Micro and Nano Engineering (MNE2016)
- 発表場所
  the Reed Messe Wien Exhibition & Congress Center, Vienna, Austria
- 年月日
  2016-09-19
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] 積層メタル差動型MEMS加速度センサの基礎検討2016
- 著者名/発表者名
  山根大輔, 小西敏文, 佐布晃昭, 伊藤浩之, 道正志郎, 石原昇, 曽根正人, 年吉洋, 益一哉, 町田克之
- 学会等名
  第77回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  新潟県新潟市朱鷺メッセ
- 年月日
  2016-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Electroplated Gold Materials with Enhanced Mechanical Strength by Multi-Layered Structure2016
- 著者名/発表者名
  Yota Ishizuka, Sari Yanagida, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone
- 学会等名
  ISE - Topical Meeting
- 発表場所
  Auckland, New Zealand
- 年月日
  2016-04-17
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] 差動型積層メタルMEMS加速度センサの検討2016
- 著者名/発表者名
  山根大輔, 小西敏文, 佐布晃昭, 伊藤浩之, 曽根正人, 年吉洋, 益一哉, 町田克之
- 学会等名
  第8回集積化MEMSシンポジウム
- 発表場所
  平戸文化センター, 長崎県平戸市
- 年月日
  2016-10-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Comparison of Bacterial Stress Responses between Legionella pneumophila and Legionella dumoffii Trapped in a MEMS Microfluidic Chip2016
- 著者名/発表者名
  Y. Nishimura, S. Onishi, M. Ishid, K. Sawada, H. Ishii, K. Machida, K. Masu, C. Wang, K. Iida, M. Saito, S. Yoshida
- 学会等名
  Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology 2016
- 発表場所
  金沢
- 年月日
  2016-06-27
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H03992
[学会発表] Electrodeposited Gold for Next Generation MEMS Accelerometer Toward Medical Applications2016
- 著者名/発表者名
  Masato Sone, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu
- 学会等名
  Integrative Biology-2016
- 発表場所
  Berlin, Germany
- 年月日
  2016-07-18
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] A Design of Spring Constant Arranged for MEMS Accelerometer by Multi-layer Metal Technology2016
- 著者名/発表者名
  Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
- 学会等名
  IEEE NEMS 2016
- 発表場所
  Matsushima Bay and Sendai, Miyagi, Japan
- 年月日
  2016-04-17
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] 電解金めっきで作製した Ti/Au 微小カンチレバーの構造安定性2016
- 著者名/発表者名
  寺西美波, Chang Tso-Fu Mark, Chen Chun-Yi, 小西敏文, 町田克之, 年吉洋, 山根大輔, 益一哉, 曽根正人
- 学会等名
  第63回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学大岡山キャンパス、東京都目黒区
- 年月日
  2016-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] A Novel Noise Analysis Method with Multi-physics Simulation for Capacitive CMOS-MEMS Inertial Sensor System2016
- 著者名/発表者名
  Toshifumi Konishi,Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
- 学会等名
  2016 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM 2016)
- 発表場所
  Tsukuba International Congress Center, Tsukuba, Japan
- 年月日
  2016-09-26
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Enhanced mechanical property of metallic films with supercritical carbon dioxide for micro-electrical-mechanical system accelerometer2016
- 著者名/発表者名
  Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
- 学会等名
  The 15th Symposium on Development of Supercritical Fluid Technology and Application and The 2nd International Workshop on Supercritical Fluid Dyeing Technology
- 発表場所
  Kaohsiung, Taiwan
- 年月日
  2016-09-08
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] マルチフィジクスシミュレーションを用いたCMOS-MEMS慣性センサのノイズ解析手法2016
- 著者名/発表者名
  小西敏文, 山根大輔, 伊藤浩之, 道正志郎, 石原昇, 年吉洋, 益一哉, 町田克之
- 学会等名
  第8回集積化MEMSシンポジウム
- 発表場所
  平戸文化センター, 長崎県平戸市
- 年月日
  2016-10-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] マイクロ流路チップを用いたレジオネラ・ニューモフィラとレジオネラ・デュモフィのストレス応答の観測2016
- 著者名/発表者名
  大西脩平，西村祐典，石田誠，澤田和明，石井仁，町田克之，益一哉，王常楽，飯田健一郎，齋藤光正，吉田眞一
- 学会等名
  第8回応用物理学会集積化MEMS シンポジウム
- 発表場所
  平戸
- 年月日
  2016-10-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H03992
[学会発表] 小型高感度MEMS慣性センサモジュールの試作評価2016
- 著者名/発表者名
  高安基大, 權田惇晟, 山根大輔, 小西敏文, 伊藤浩之, 道正志郎, 石原昇, 町田克之, 益一哉
- 学会等名
  LSIとシステムのワークショップ
- 発表場所
  東京大学生産技術研究所総合研究実験棟(An棟) 2階コンベンションホール
- 年月日
  2016-05-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] マイクロ圧縮試験による MEMS 用金電気めっきの機械的特性の評価2016
- 著者名/発表者名
  葭葉将治, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 山根大輔, 町田克之, 益一哉, 曽根正人
- 学会等名
  第63回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学大岡山キャンパス、東京都目黒区
- 年月日
  2016-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] High Mechanical Strength in Gold Films Electroplated with Supercritical Carbon Dioxide for MEMS Applications2016
- 著者名/発表者名
  Haochun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
- 学会等名
  第77回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  新潟県新潟市朱鷺メッセ
- 年月日
  2016-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Mechanical Characteristics of Structure Stability with Ti/Au Micro-Cantilevers Formed by Au Electroplating2016
- 著者名/発表者名
  Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone
- 学会等名
  ISE - Topical Meeting
- 発表場所
  Auckland, New Zealand
- 年月日
  2016-04-17
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Application of Supercritical Carbon Dioxide in Electroplating of Gold Materials Used in MEMS Devices2016
- 著者名/発表者名
  Haochun Tang,Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Katsuyuki Machida, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone
- 学会等名
  第63回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学大岡山キャンパス、東京都目黒区
- 年月日
  2016-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] 高感度MEMS加速度センサーのための金めっき材料の合成とその機械的特性評価2016
- 著者名/発表者名
  曽根正人, Tso-Fu Mark Chang, 陳君怡, 山根大輔, 益一哉, 町田克之
- 学会等名
  日本学術振興会・第172委員会
- 発表場所
  物質・材料研究機構, 茨城県つくば市
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] 積層メタル技術によるMEMS加速度センサを用いた慣性センサモジュールの検討2016
- 著者名/発表者名
  權田惇晟, 高安基大, 山根大輔, 小西敏文, 伊藤浩之, 道正志郎, 石原昇, 町田克之, 益一哉
- 学会等名
  第8回集積化MEMSシンポジウム
- 発表場所
  平戸文化センター, 長崎県平戸市
- 年月日
  2016-10-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Sub-1mG検出へ向けた積層メタルMEMS慣性センサ2016
- 著者名/発表者名
  山根大輔, 小西敏文, 佐布晃昭, 曽根正人, 年吉洋, 益一哉, 町田克之
- 学会等名
  第8回集積化MEMSシンポジウム
- 発表場所
  平戸文化センター, 長崎県平戸市
- 年月日
  2016-10-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Sub-1G 検出へ向けた CMOS-MEMS 加速度センサの検討2016
- 著者名/発表者名
  山根大輔, 小西敏文, 伊藤浩之, 年吉洋, 益一哉, 町田克之
- 学会等名
  第63回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学大岡山キャンパス、東京都目黒区
- 年月日
  2016-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Fine Grained Au Films with Controllable Mechanical Strength by Pulse Plating2016
- 著者名/発表者名
  Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
- 学会等名
  The 2016 PRiME Meeting
- 発表場所
  Hawaii, USA
- 年月日
  2016-10-02
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] A 1-mG MEMS Sensor2016
- 著者名/発表者名
  Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
- 学会等名
  229th ECS Meeting
- 発表場所
  San Diego, CA, USA
- 年月日
  2016-05-29
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] A Damping Constant Model for Proof-Mass Structure Design of MEMS Inertial Sensor by Multi-Layer Metal Technology2016
- 著者名/発表者名
  Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Teruaki Safu, Masato Sone, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
- 学会等名
  IEEE Sensors 2016
- 発表場所
  Orland, FL, USA
- 年月日
  2016-10-30
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] A Novel MEMS Inertial Sensor With Out-of-plane Differential Sensing Structure By Multi-layer Metal Technology2016
- 著者名/発表者名
  Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroyuki Ito, Hiroshi Toshiyohi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
- 学会等名
  Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2016)
- 発表場所
  Kanazawa, Japan
- 年月日
  2016-06-26
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] A Spring Design for Tri-axis MEMS Accelerometer by Multi-layer Metal Technology2016
- 著者名/発表者名
  Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
- 学会等名
  2016 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM 2016)
- 発表場所
  Tsukuba International Congress Center, Tsukuba, Japan
- 年月日
  2016-09-26
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] 積層メタル技術によるMEMS加速度センサのばね定数設計方法（I）2016
- 著者名/発表者名
  佐布晃昭, 小西敏文, 山根大輔, 年吉洋, 曽根正人, 益一哉, 町田克之
- 学会等名
  第77回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  新潟県新潟市朱鷺メッセ
- 年月日
  2016-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] マイクロ圧縮試験による金 / チタン積層構造の機械的特性評価2016
- 著者名/発表者名
  石塚陽大, 柳田佐理, Chang Tso-Fu Mark, Chen Chun-Yi, 小西敏文, 町田克之, 年吉洋, 山根大輔, 益一哉, 曽根正人
- 学会等名
  第63回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学大岡山キャンパス、東京都目黒区
- 年月日
  2016-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Micro-Bending Tests of Pure Gold Cantilevers for Applications as Movable Components in MEMS Devices2016
- 著者名/発表者名
  Keisuke Asano, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
- 学会等名
  42nd Micro and Nano Engineering (MNE2016)
- 発表場所
  the Reed Messe Wien Exhibition & Congress Center, Vienna, Austria
- 年月日
  2016-09-19
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Young’s modulus evaluation of electroplated Ti/Au structures for MEMS devices2016
- 著者名/発表者名
  Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hideaki Nakajima, Minami Teranishi, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
- 学会等名
  29th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2016)
- 発表場所
  ANA Crowne Plaza Kyoto, Kyoto, Japan
- 年月日
  2016-11-08
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] A MEMS Inertia Sensor with Brownian Noise of Below 50 nG/Hz^1/2 by Multi-Layer Metal Technology2016
- 著者名/発表者名
  Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
- 学会等名
  IEEE Inertial Sensors 2016
- 発表場所
  Laguna Beach, California, USA
- 年月日
  2016-02-23
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Pulse Electroplating of Au Films with Ultra High Strength2016
- 著者名/発表者名
  Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Hao-Chun Tang, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
- 学会等名
  229th ECS Meeting
- 発表場所
  San Diego, CA, USA
- 年月日
  2016-05-29
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Development of High Sensitivity CMOS-MEMS Inertia Sensor and its Application to Early-Stage Diagnosis of Parkinson's Disease2016
- 著者名/発表者名
  Kazuya Masu, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Masato Sone, Yoshihiro Miyake
- 学会等名
  the 46th European Solid-State Device Re-search Conference (ESSDERC)
- 発表場所
  Swisstech Convention Centre, Lausanne, Switzerland
- 年月日
  2016-09-12
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] CMOS低雑音オペアンプ設計法の検討2016
- 著者名/発表者名
  劉安琪, 小西敏文, 山根大輔, 伊藤浩之, 道正志郎, 石原昇, 町田克之, 益一哉
- 学会等名
  電子情報通信学会2016年総合大会
- 発表場所
  九州大学伊都キャンパス、福岡県福岡市
- 年月日
  2016-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] High Strength Au film Fabricated by Advanced Electrochemical Technique in Supercritical CO2 Emulsified Electrolyte for MEMS Accelerometers2016
- 著者名/発表者名
  Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Hao-Chun Tang, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
- 学会等名
  2nd International Conference and Expo on Separation Techniques
- 発表場所
  Valencia, Spain
- 年月日
  2016-09-26
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Electroplated Gold Materials with Enhanced Mechanical Strength by Multi-Layered Struct2016
- 著者名/発表者名
  Yota Ishizuka, Sari Yanagida, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone
- 学会等名
  ISE - Topical Meeting
- 発表場所
  Auckland, New Zealand
- 年月日
  2016-04-17
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] 電解金めっき法により作製した金/チタン積層構造を有する微小カンチレバーの構造安定性の評価2016
- 著者名/発表者名
  寺西美波, Chang Tso-Fu Mark, Chen Chun-Yi, 小西敏文, 町田克之, 年吉洋, 山根大輔, 益一哉, 曽根正人
- 学会等名
  第33回センサ・マイクロマシンと応用シンポジウム
- 発表場所
  平戸文化センター, 長崎県平戸市
- 年月日
  2016-10-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] High Mechanical Strength Gold Micro-Components Fabricated by Pulse Electroplating2015
- 著者名/発表者名
  Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
- 学会等名
  41st Micro and Nano Engineering (MNE2015)
- 発表場所
  Hague, Netherlands
- 年月日
  2015-09-21
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Observation of Stress Responses of Bacteria Confined in a MEMS Microfluidic Chip2015
- 著者名/発表者名
  Y. Nishimura, M. Ishida, K. Sawada, H. Ishii, K. Machida, K. Masu, C. Wang, K. Iida, M. Saito, and S. Yoshida
- 学会等名
  The 228th Electrochemical Society Fall Meeting
- 発表場所
  Phoenix、USA
- 年月日
  2015-10-14
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H03992
[学会発表] 電解金めっきで作製した微小カンチレバーの形状安定性評価2015
- 著者名/発表者名
  寺西美波, Chang Tso-Fu Mark, 山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 伊藤浩之, 年吉洋, 町田克之, 益一哉, 曽根正人
- 学会等名
  平成27年電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会
- 発表場所
  九州大学医学部百年講堂、福岡県福岡市
- 年月日
  2015-07-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] ゲイン制御型CMOS-MEMS加速度センサ回路の検討2015
- 著者名/発表者名
  小西敏文, 山根大輔, 高安基大, 伊藤浩之, 道正志郎, 石原昇, 益一哉, 年吉洋, 町田克之
- 学会等名
  第76回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  名古屋国際会議場愛知県名古屋市
- 年月日
  2015-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Compression Deformation of Micro-components Fabricated by FIB from Gold Electrodeposited Films2015
- 著者名/発表者名
  Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Tso-fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
- 学会等名
  International Symposium for Advanced Materials Research (ISAMR 2015)
- 発表場所
  Sun Moon Lake, Taiwan
- 年月日
  2015-08-16
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Micro-Mechanical Properties of Electrodeposited Gold Thin Films2015
- 著者名/発表者名
  Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
- 学会等名
  TACT 2015 International Thin Films Conference
- 発表場所
  Tainan, Taiwan
- 年月日
  2015-11-15
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Sub-1G～20G集積化MEMS加速度センサの基本評価2015
- 著者名/発表者名
  山根大輔, 小西敏文, 年吉洋, 益一哉, 町田克之
- 学会等名
  第76回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  名古屋国際会議場愛知県名古屋市
- 年月日
  2015-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] A Sub-1G MEMS Inertial Sensor2015
- 著者名/発表者名
  Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
- 学会等名
  International Symposium for Advanced Materials Research (ISAMR 2015)
- 発表場所
  Sun Moon Lake, Taiwan
- 年月日
  2015-08-16
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Sub-1G～20G集積化MEMS慣性センサ2015
- 著者名/発表者名
  山根大輔, 小西敏文, 年吉洋, 益一哉, 町田克之
- 学会等名
  第7回集積化MEMSシンポジウム
- 発表場所
  新潟コンベンションセンター（朱鷺メッセ）、新潟県新潟市
- 年月日
  2015-10-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] A Sub-1G MEMS Sensor2015
- 著者名/発表者名
  Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
- 学会等名
  the 227th ECS Meeting
- 発表場所
  Chicago, Illinois, USA
- 年月日
  2015-05-24
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] 電解金めっきで作製したMEMSデバイスにおける動作構造安定性2015
- 著者名/発表者名
  寺西美波, Chang Tso-Fu Mark, 小西敏文, 松島隆明, 町田克之, 年吉洋, 山根大輔, 伊藤浩之, 益一哉, 曽根正人
- 学会等名
  第6回集積化MEMS技術研究ワークショップ
- 発表場所
  NHK放送技術研究所、東京都世田谷区
- 年月日
  2015-07-31
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] A Sub-1G CMOS-MEMS Accelerometer2015
- 著者名/発表者名
  Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Motohiro Takayasu, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
- 学会等名
  IEEE Sensors 2015
- 発表場所
  Busan, South Korea
- 年月日
  2015-11-01
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] ビーズを用いたPDMS製細菌捕獲チップの検討Ⅳ – 紫外光照射によるレジオネラの光応答の観測 -2015
- 著者名/発表者名
  西村祐典，石田誠，澤田和明，石井仁，町田克之，益一哉，王常楽，飯田健一郎，齋藤光正，吉田眞一
- 学会等名
  応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  名古屋
- 年月日
  2015-09-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H03992
[学会発表] Nano-G metrology system and its biomedical applications by CMOS-MEMS technology2015
- 著者名/発表者名
  Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu
- 学会等名
  3rd International Conference on Integrative Biology
- 発表場所
  Valencia, Spain
- 年月日
  2015-08-04
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] CMOS -MEMS -New Frontier of Multilevel Interconnect Technology-2015
- 著者名/発表者名
  Katsuyuki Machida, Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu
- 学会等名
  2015 International Conference on Electronics Packaging and iMAPS All Asia Conference (ICEP-IAAC 2015)
- 発表場所
  Kyoto, Japan
- 年月日
  2015-04-14
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Study on Ti/Au Two-Layered Cantilevers with Different Aspect Ratio for MEMS Devices2015
- 著者名/発表者名
  Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone
- 学会等名
  2015 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2015)
- 発表場所
  Sapporo, Japan
- 年月日
  2015-09-27
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] マイクロ流路内でのレジオネラ属菌のストレス応答2015
- 著者名/発表者名
  西村祐典，石田誠，澤田和明，石井仁，町田克之，益一哉，王常楽，飯田健一郎，齋藤光正，吉田眞一
- 学会等名
  電気学会E部門総合研究会
- 発表場所
  福岡
- 年月日
  2015-07-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H03992
[学会発表] Sample Size Effect on Mechanical Properties of Electrodeposited Gold Evaluated by Micro-Compression Test2015
- 著者名/発表者名
  Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Tsu-Fu Mark Chang, Katsuyuki Machida, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone
- 学会等名
  41st Micro and Nano Engineering (MNE2015)
- 発表場所
  Hague, Netherlands
- 年月日
  2015-09-21
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Novel Gain-Controlled Sensor Circuits Designed by Multi-physics Simulation for CMOS-MEMS Accelerometer2015
- 著者名/発表者名
  Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Motohiro Takayasu, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Kazuya Masu, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida
- 学会等名
  2015 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2015)
- 発表場所
  Sapporo, Japan
- 年月日
  2015-09-27
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Robustness of Integrated Stoppers for MEMS Accelerometer Fabricated by Multi-layered Metal Technology2015
- 著者名/発表者名
  Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Motohiro Takayasu, Teruaki Safu, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
- 学会等名
  2015 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2015)
- 発表場所
  Sapporo, Japan
- 年月日
  2015-09-27
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] MEMS加速度センサのための金属構造体の密着力評価2015
- 著者名/発表者名
  佐布晃昭, 小西敏文, 松島隆明, 山根大輔, 年吉洋, 曽根正人, 益一哉, 町田克之
- 学会等名
  第76回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  名古屋国際会議場愛知県名古屋市
- 年月日
  2015-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Stress Responses of Bacteria, Legionella, Confined in MEMS Microfluidic Chip2015
- 著者名/発表者名
  Y. Nishimura, M. Ishida, K. Sawada, H. Ishii, K. Machida, K. Masu, C. Wang, K. Iida, M. Saito, and S. Yoshida
- 学会等名
  9th Int’l Symp. on Nanomedicine (ISNM2015)
- 発表場所
  津
- 年月日
  2015-12-11
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H03992
[学会発表] Stability of Movable Structure Formed by Au Electroplating for MEMS Devices2015
- 著者名/発表者名
  Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, Tatsuo Sato, Masato Sone
- 学会等名
  8th Int. Conf. on Materials for Advanced Technologies (ICMAT 2015)
- 発表場所
  SUNTEC, Singapore
- 年月日
  2015-06-28
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] マイクロ流路内でのレジオネラ属菌のストレス応答2015
- 著者名/発表者名
  西村祐典，石田誠，澤田和明，石井仁，町田克之，益一哉，王常楽，飯田健一郎，齋藤光正，吉田眞一
- 学会等名
  集積化MEMSシンポジウム
- 発表場所
  新潟
- 年月日
  2015-10-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H03992
[学会発表] マルチフィジクスシミュレーションを用いたCMOS-MEMS 加速度センサのためのゲイン制御センサ回路の検討2015
- 著者名/発表者名
  小西敏文, 山根大輔, 高安基大, 伊藤浩之, 道正志郎, 石原昇, 益一哉, 年吉洋, 町田克之
- 学会等名
  第7回集積化MEMSシンポジウム
- 発表場所
  新潟コンベンションセンター（朱鷺メッセ）、新潟県新潟市
- 年月日
  2015-10-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Mechanical Properties of Electrodeposited Gold for MEMS Device2015
- 著者名/発表者名
  Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
- 学会等名
  2015 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2015)
- 発表場所
  Sapporo, Japan
- 年月日
  2015-09-27
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] A Low Mechanical Noise Tri-axis MEMS Ineretial Sensor Fabricated by Multi-layered Metal Technology2015
- 著者名/発表者名
  Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
- 学会等名
  41st Micro and Nano Engineering (MNE2015)
- 発表場所
  Hague, Netherlands
- 年月日
  2015-09-21
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] A Study on Mechanical Structure of a MEMS Accelerometer Fabricated by Multi-layer Metal Technology2015
- 著者名/発表者名
  Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Masato Sone, Katsuyuki Machida
- 学会等名
  5th Advanced Metallization Conference Asian Session (ADMETAplus2015)
- 発表場所
  Seoul, Korea
- 年月日
  2015-09-16
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Structure Stability of High Aspect Ratio Ti/Au Two-Layered Cantilevers for Applications in MEMS Accelerometers2015
- 著者名/発表者名
  Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone
- 学会等名
  41st Micro and Nano Engineering (MNE2015)
- 発表場所
  Hague, Netherlands
- 年月日
  2015-09-21
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] A Study on Mechanical Structure of a MEMS Accelerometer Fabricated by Multi-layer Metal Technology2015
- 著者名/発表者名
  Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Masato Sone, Katsuyuki Machida
- 学会等名
  32nd Advanced Metallization Conference (AMC2015)
- 発表場所
  Austin, Texas, US
- 年月日
  2015-09-09
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] MEMS加速度センサのための金属構造体の密着力評価2015
- 著者名/発表者名
  佐布晃昭, 小西敏文, 松島隆明, 山根大輔, 年吉洋, 曽根正人, 益一哉, 町田克之
- 学会等名
  第7回集積化MEMSシンポジウム
- 発表場所
  新潟コンベンションセンター（朱鷺メッセ）、新潟県新潟市
- 年月日
  2015-10-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K17453
[学会発表] Bacterial diagnostic microfluidic chip for detecting Legionella pneumophila2014
- 著者名/発表者名
  Hiromu Ishii, Makoto Ishida, Kazuaki Sawada, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Ken-ichiro Iida, Mitsumasa Saito, and Shin-ichi Yoshida
- 学会等名
  IEEE INEC2014
- 発表場所
  Sapporo, Japan
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560394
[学会発表] Bacterial diagnostic microfluidic chip for detecting Legionella pneumophila2014
- 著者名/発表者名
  Hiromu Ishii, Makoto Ishida, Kazuaki Sawada, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Ken-ichiro Iida, Mitsumasa Saito, and Shin-ichi Yoshida
- 学会等名
  The 6th IEEE International Nanoelectronics Conference　(INEC 2014), IEEE
- 発表場所
  北海道大学　札幌
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560394
[学会発表] A Tri-Axis MEMS Capacitive Sensor Using Multi-Layered High-density Metal for an Integrated CMOS-MEMS Accelerometer2014
- 著者名/発表者名
  Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu
- 学会等名
  Proc. 2014 IEEE International Interconnect Technology Conference (IITC)
- 発表場所
  San Jose, CA, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] エネルギーハーベスティングデバイスの検討(2)2014
- 著者名/発表者名
  加賀谷賢, 小西敏文, 山根大輔, 松島隆明, 伊藤浩之, 石原昇, 年吉洋, 町田克之, 益一哉
- 学会等名
  第61回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  青山学院大学相模原キャンパ
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] A Sub-1G Capacitive Sensor for Integrated CMOS-MEMS Accelerometers2014
- 著者名/発表者名
  Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu
- 学会等名
  Proc. 7th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT2014)
- 発表場所
  EXCO, Daegu, Korea
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] PDMS-BASED MICROFLUIDIC CHIP FOR DETECTION OF LEGIONELLA PNEUMOPHILA BY MIXING WITH MICROBEADS2014
- 著者名/発表者名
  R. Hayashi, Y. Nishimura, H. Nakazawa, M. Ishida, K. Sawada, H. Ishii, K. Machida, N. Ishihara, K. Masu, C. Wang, K. Iida, M. Saito, and S. Yoshida
- 学会等名
  The 7th　Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2014)
- 発表場所
  Daegu Korea
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560394
[学会発表] Sub-1G MEMS 加速度センサの検討2014
- 著者名/発表者名
  山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 伊藤浩之, 石原昇, 年吉洋, 町田克之, 益一哉
- 学会等名
  第61回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  青山学院大学相模原キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] A Dual-Axis MEMS Inertial Sensor Using Multi-Layered High-density Metal for an Arrayed CMOS-MEMS Accelerometer2014
- 著者名/発表者名
  Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu
- 学会等名
  Proc. Symp. On Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP2014)
- 発表場所
  Cannes, Cote d'Azur, France
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] エネルギーハーベスティングデバイスの検討(3)2014
- 著者名/発表者名
  小西敏文, 加賀谷賢, 山根大輔, 松島隆明, 伊藤浩之, 石原昇, 益一哉, 町田克之, 年吉洋
- 学会等名
  第61回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  青山学院大学相模原キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] Integrated CMOS-MEMS Technology and its Application2014
- 著者名/発表者名
  Katsuyuki Machida, Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Hiroshi Toshiyoshi, and Kazuya Masu
- 学会等名
  The 2nd Int. Symp. on More-than-Moore, the 225th Meeting of the Electrochemical Society
- 発表場所
  Orland, Florida, US
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] アレイ型MEMS 加速度センサ-2 軸MEMS 加速度センサの検討2014
- 著者名/発表者名
  松島隆明, 小西敏文, 山根大輔, 伊藤浩之, 石原昇, 年吉洋, 町田克之, 益一哉
- 学会等名
  第61回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  青山学院大学相模原キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] ビーズを用いたPDMS製細菌捕獲チップの検討2014
- 著者名/発表者名
  林隆平，中澤寛一，西村祐典，石田誠，澤田和明，石井仁，町田克之，益一哉，飯田健一郎，齋藤光正，吉田眞一
- 学会等名
  第61回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  青山学院大学　淵野辺
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560394
[学会発表] MEMS 加速度センサによるSub-1G 検出の基礎検討2014
- 著者名/発表者名
  山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 年吉洋, 町田克之, 益一哉
- 学会等名
  平成26年電気学会全国大会
- 発表場所
  於愛媛大学城北キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] PDMS-BASED MICROFLUIDIC CHIP FOR DETECTION OF LEGIONELLA PNEUMOPHILA BY MIXING WITH MICROBEAD2014
- 著者名/発表者名
  R. Hayashi, Y. Nishimura, H. Nakazawa, Ishida, K. Sawada, H.Ishii, K.Machida, Ishihara, K. Masu, C. Wang, K. Iida, M. Saito, S. Yoshida
- 学会等名
  The 7th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT)
- 発表場所
  Daegu, Korea(accepted for presentation)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560394
[学会発表] Bacterial Diagnostic Chip by the Detection of Fluorescence from Legionella pneumophila in a Microbeads Suspension2014
- 著者名/発表者名
  R. Hayashi, H. Nakazawa, K. Sawada, M. Ishida, H. Ishii, K. Machida, C. Wang, K. Iida, M. Saito, and S. Yoshida
- 学会等名
  225ｔｈ ECS Meeting, The Electrochemical Sciety
- 発表場所
  Orland　USA
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560394
[学会発表] エネルギーハーベストデバイスの検討(1)2013
- 著者名/発表者名
  加賀谷賢, 小西敏文, 山根大輔, 松島隆明, 佃真文, 伊藤浩之, 石原昇, 年吉洋, 町田克之, 益一哉
- 学会等名
  第74回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  同志社大学
- 年月日
  2013-09-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] アレイ型MEMS 加速度センサの設計2013
- 著者名/発表者名
  小西敏文, 山根大輔, 本橋剛, 加賀谷賢, 松島隆明, 伊藤浩之, 石原昇, 年吉洋, 町田克之, 益一哉
- 学会等名
  第60回応用物理学会春季学術講演会・合同セッションL
- 発表場所
  神奈川工科大学
- 年月日
  2013-03-29
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] Challenges in Integration of Diverse Functionalities on CMOS2013
- 著者名/発表者名
  Kazuya Masu, Noboru Ishihara, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, and Hiroshi Toshiyoshi
- 学会等名
  18th Asia and South Pacific Design Automation Conference (ASP-DAC 2013)
- 発表場所
  Yokohama City Japan
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] CMOS とMEMS 集積のためのシミュレーション解析 -集積化CMOS-MEMS デバイス実現に向けて2013
- 著者名/発表者名
  小西敏文, 山根大輔, 松島隆明, 町田克之, 益一哉, 年吉洋
- 学会等名
  電子情報通信学会シリコン・フォトニクス研究会
- 発表場所
  東京工業大学
- 年月日
  2013-10-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] Bacterial Diagnostic Chip by the Detection of Fluorescence from Legionella pneumophila in a Microbeads Suspension2013
- 著者名/発表者名
  R. Hayashi, H. Nakazawa, K. Sawada, M. Ishida, H. Ishii, K. Machida, C. Wang, K. Iida, M. Saito, S. Yoshida
- 学会等名
  Abs. Q2-1485, The 225th Electrochemical Society Spring Meeting
- 発表場所
  Orland USA
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560394
[学会発表] アレイ型CMOS-MEMS 加速度センサのためのデバイスの評価2013
- 著者名/発表者名
  加賀谷賢, 小西敏文, 山根大輔, 本橋剛, 松島隆明, 伊藤浩之, 石原昇, 年吉洋, 町田克之, 益一哉
- 学会等名
  第60回応用物理学会春季学術講演会・合同セッションL
- 発表場所
  神奈川工科大学
- 年月日
  2013-03-29
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] エネルギーハーベストデバイスの小型化の検討2013
- 著者名/発表者名
  加賀谷賢, 小西敏文, 山根大輔, 松島隆明, 佃真文, 伊藤浩之, 石原昇, 年吉洋, 町田克之, 益一哉
- 学会等名
  応用物理学会第5回集積化MEMS シンポジウム
- 発表場所
  仙台国際センター
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] マルチフィジクスシミュレーションを用いた集積化CMOS-MEMS 技術のためのセンサ回路の検討2013
- 著者名/発表者名
  小西敏文, 山根大輔, 松島隆明, 丸山智史, 加賀谷賢, 伊藤浩之, 石原昇, 年吉洋, 町田克之, 益一哉
- 学会等名
  応用物理学会第5回集積化MEMS シンポジウム
- 発表場所
  仙台国際センター
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] 細菌迅速検出用マイクロチップV ‐培養条件と蛍光特性‐2013
- 著者名/発表者名
  林隆平，中澤寛一，石田誠，澤田和明，石井仁，町田克之，石原昇，益一哉，王常楽，飯田健一郎，齋藤光正，藤井潤，吉田眞一
- 学会等名
  第74回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  同志社大学　京都
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560394
[学会発表] Sub-1G MEMS Accelerometer2013
- 著者名/発表者名
  Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Gou Motohashi, Ken Kagaya, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu
- 学会等名
  Proc. IEEE SENSORS 2013
- 発表場所
  USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] Novel Sensor Circuits Design Using Multi-physics Simulation for CMOS-MEMS Technology2013
- 著者名/発表者名
  Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Satoshi Maruyama, Ken Kagaya, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu
- 学会等名
  2013 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM 2013)
- 発表場所
  Fukuoka, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] アレイ型MEMS 加速度センサの基本特性評価2013
- 著者名/発表者名
  山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 加賀谷賢, 佃真文, 伊藤浩之, 石原昇, 年吉洋, 町田克之, 益一哉
- 学会等名
  第74回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  同志社大学
- 年月日
  2013-09-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] アレイ型MEMS 加速度センサの検討2013
- 著者名/発表者名
  山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 本橋剛, 加賀谷賢, 伊藤浩之, 石原昇, 年吉洋, 町田克之, 益一哉
- 学会等名
  第60回応用物理学会春季学術講演会・合同セッションL
- 発表場所
  神奈川工科大学
- 年月日
  2013-03-29
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] 集積化CMOS-MEMS技術の検討2013
- 著者名/発表者名
  町田克之
- 学会等名
  電気学会全国大会・シンポジウム
- 発表場所
  名古屋大学(愛知県）
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] 金メッキ集積化CMOS-MEMSによるアレイ型加速度センサの小型化2013
- 著者名/発表者名
  山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 加賀谷賢, 佃真文, 伊藤浩之, 石原昇, 年吉洋, 町田克之, 益一哉
- 学会等名
  応用物理学会第4回集積化MEMS 技術研究ワークショップ
- 発表場所
  大阪府立大学
- 年月日
  2013-07-26
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] アレイ型MEMS 加速度センサの特性評価2013
- 著者名/発表者名
  山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 加賀谷賢, 佃真文, 伊藤浩之, 石原昇, 年吉洋, 町田克之, 益一哉
- 学会等名
  応用物理学会第5回集積化MEMS シンポジウム
- 発表場所
  仙台国際センター
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] MEMS型細菌チップに捕獲されたレジオネラの蛍光スペクトルと培養条件2013
- 著者名/発表者名
  林隆平, 中澤寛一, 石田誠, 澤田和明, 石井仁, 町田克之, 石原昇, 益一哉, 王上楽, 飯田健一郎, 齋藤光正, 藤井潤, 吉田眞一
- 学会等名
  第30回センサ・マイクロマシンとその応用システム, 電気学会
- 発表場所
  仙台国際センター　仙台
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560394
[学会発表] AN ARRAYED MEMS ACCELEROMETER WITH A WIDE RANGE OF DETECTION2013
- 著者名/発表者名
  Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Gou Motohashi, Ken Kagaya, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu
- 学会等名
  Proc. 17th Int. Conf on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2013)
- 発表場所
  Barcelona, Spain
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] 回路シミュレータを用いた集積化CMOS-MEMS のための統合設計環境の構築2013
- 著者名/発表者名
  小西敏文, 丸山智史, 山根大輔, 松島隆明, 町田克之, 益一哉, 年吉洋
- 学会等名
  応用物理学会第4回集積化MEMS技術研究ワークショップ
- 発表場所
  大阪府立大学
- 年月日
  2013-07-26
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] SPICE 環境下でのMEMS 設計MEMS Design in SPICE Environment2013
- 著者名/発表者名
  年吉洋, 小西敏文, 町田克之, 益一哉
- 学会等名
  2013年春季応用物理学会合同セッションL, 27p-G9-5
- 発表場所
  神奈川工科大学
- 年月日
  2013-03-27
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] A Mixed-Design Technique for Integrated MEMS using a Circuit Simulator with HDL2013
- 著者名/発表者名
  Hiroshi Toshiyoshi, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu
- 学会等名
  Proc. 20th Int. Con. Mixed Design of Integrated Circuits and Systems (MIXDES 2013)
- 発表場所
  Poland
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] 集積化CMOS-MEMS 加速度センサ回路の検討2013
- 著者名/発表者名
  小西敏文, 山根大輔, 松島隆明, 丸山智史, 加賀谷賢, 伊藤浩之, 石原昇, 年吉洋, 町田克之, 益一哉
- 学会等名
  第74回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  同志社大学
- 年月日
  2013-09-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] Bio-MEMS Chip for Bacteria Detection -A Challenge of Si Technology to Biomedical Field-2013
- 著者名/発表者名
  Hiromu Ishii, Makoto Ishida, Kazuaki Sawada, Katsuyuki Machida, Ken-ichiro Iida, Mitsumasa Saito, and Shin-ichi Yoshida
- 学会等名
  224ｔｈ ECS Meeting, The Electrochemical Sciety
- 発表場所
  San　Francisco　USA
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560394
[学会発表] 集積化CMOS-MEMS 技術の検討2013
- 著者名/発表者名
  町田克之, 小西敏文, 山根大輔, 年吉洋, 益一哉
- 学会等名
  平成25年度電気学会全国大会・シンポジウムS24 ワイヤレス通信応用RF-MEMS 技術
- 発表場所
  名古屋大学
- 年月日
  2013-03-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] Bio-MEMS Chip for Bacteria Detection–A Challenge of Si Technology to Biomedical Field-2013
- 著者名/発表者名
  Hiromu Ishii, Makoto Ishida, Kazuaki Sawada, Katsuyuki Machida, Ken-ichiro Iida, Mitsumasa Saito, Shin-ichi Yoshida
- 学会等名
  Abs. E12-2222, The 224th Electrochemical Society Fall Meeting
- 発表場所
  San Francisco, USA
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560394
[学会発表] アレイ型MEMS 加速度センサの基礎検討2013
- 著者名/発表者名
  佃真文, 山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 加賀谷賢, 伊藤浩之, 石原昇, 年吉洋, 町田克之, 益一哉
- 学会等名
  平成25年度電気学会総合研究会
- 発表場所
  東京工科大学
- 年月日
  2013-08-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] 集積化CMOS-MEMS技術の検討2012
- 著者名/発表者名
  町田克之
- 学会等名
  第5回マイクロシステム融合研究会
- 発表場所
  東北大学(招待講演)
- 年月日
  2012-03-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] Fabrication of Bio-MEMS Device for on-chip Testing of the Bacteria Behavior2012
- 著者名/発表者名
  Youngshik Shin, Kyohei Katsube, Kazuaki Sawada, Makoto Ishida, Hiromu Ishii, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Ken-ichiro Iida, Mitsumasa Saito, and Shin-ichi Yoshida
- 学会等名
  2012 MRS Spring Meeting, JSAP-MRS
- 発表場所
  San Francisco, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560394
[学会発表] アレイ型CMOS-MEMS 加速度センサの検討(1)2012
- 著者名/発表者名
  本橋剛, 小西敏文, 松島隆明, 伊藤浩之, 石原昇, 年吉洋, 町田克之, 益一哉
- 学会等名
  第59回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  早稲田大学
- 年月日
  2012-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] Multi-physics Equivalent Circuit Models for MEMS Sensors and Actuators2012
- 著者名/発表者名
  Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Hiroshi Toshiyoshi
- 学会等名
  The 1st Int. Symp. on More-than-Moore, the 222nd Meeting of the Electrochemical Society / The 2012 Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid-State Science (PRiME)
- 発表場所
  Hawaii, US
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] 細菌迅速検出用マイクロチップ IV ‐蛍光色素を用いた細菌検出条件の検討‐2012
- 著者名/発表者名
  林　隆平，勝部恭平，中澤寛一，石田　誠，澤田和明，石井　仁，町田克之，石原　昇，益　一哉，飯田健一郎，齋藤光正，藤井　潤，吉田眞一
- 学会等名
  第59回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  早稲田大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560394
[学会発表] How can we bridge the gap between photonics and Si CMOS LSI?2012
- 著者名/発表者名
  Kazuya Masu, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, and Hiroshi Toshiyoshi
- 学会等名
  The 2nd International Symposium on Photonics and Electronics Convergence-Advanced Nanophotonics and Silicon Device Systems-(ISPEC 2012)
- 発表場所
  Tokyo, Japan
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] Fabrication of Bio-MEMS Device for on-chip Testing of the Bacteria Behavior2012
- 著者名/発表者名
  Youngshik Shin, Kyohei Katsube, Kazuaki Sawada, Makoto Ishida, Hiromu Ishii, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Ken-ichiro Iida, Mitsumasa Saito, Shin-ichi Yoshida
- 学会等名
  Abstract No. B 5.3, Heterogeneous Integration Challenges of MEMS, Sensor, and CMOS LSI, Symp. B, 2012 MRS Spring Meeting, JSAP-MRS
- 発表場所
  San Francisco, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560394
[学会発表] ハードウェハ記述言語を用いた集積化CMOS-MEMS 統合設計技術2012
- 著者名/発表者名
  小西敏文, 丸山智史, 三田信, 山根大輔, 伊藤浩之, 町田克之, 石原昇, 益一哉, 藤田博之, 年吉洋
- 学会等名
  応用物理学会第4回集積化MEMS シンポジウム, IM1-4
- 発表場所
  北九州国際会議場
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] 細菌迅速検出用マイクロチップIII　‐細菌の捕獲状態と蛍光強度‐2012
- 著者名/発表者名
  勝部恭平，林隆平，辛永式，中澤寛一，石田誠，澤田和明，石井仁，町田克之，石原昇，益一哉，飯田健一郎，齋藤光正，藤井潤，吉田眞一
- 学会等名
  第59回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  早稲田大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560394
[学会発表] A Multi-Physics Simulation Technique for Integrated MEMS2012
- 著者名/発表者名
  Hiroshi Toshiyoshi, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu
- 学会等名
  2012 IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM 2012)
- 発表場所
  San Francisco, CA, USA
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] アレイ型CMOS-MEMS 加速度センサのためのデバイスの検討2012
- 著者名/発表者名
  山根大輔, 本橋剛, 小西敏文, 松島隆明, 伊藤浩之, 石原昇, 年吉洋, 町田克之, 益一哉
- 学会等名
  応用物理学会第4回集積化MEMS シンポジウム, IM3-4
- 発表場所
  北九州国際会議場
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] アレイ型CMOS-MEMS 加速度センサの検討42012
- 著者名/発表者名
  本橋剛, 小西敏文, 松島隆明, 山根大輔, 伊藤浩之, 石原昇, 年吉洋, 町田克之, 益一哉
- 学会等名
  2012年秋期第73 会応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  愛媛大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] A CMOS-MEMS Design Technique based on an Electrical Circuit Simulator with Hardware Description Language2012
- 著者名/発表者名
  Toshifumi Konishi, Satoshi Maruyama, Makoto Mita, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Noboru Ishihara, Kazuya Masu, Hiroyuki Fujita, and Hiroshi Toshiyoshi
- 学会等名
  2012 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM 2012)
- 発表場所
  Kyoto Int. Conf. Center, Kyoto, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] A Novel Sensor Structure and its Fabrication Process for Integrated CMOS-MEMS Accelerometer2012
- 著者名/発表者名
  Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Toshifumi Konishi, Gou Motohashi, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu
- 学会等名
  2012 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM 2012)
- 発表場所
  Kyoto Int. Conf. Center, Kyoto, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] Bio-MEMES Chip for Trapping Bacteria by Si-pillar Structure and Its Application to Legionella2012
- 著者名/発表者名
  K. Katsube, R. Hayashi, Y. Shin, H. Nakazawa, M. Ishida, K. Sawada, H. Ishii, K. Machida, N. Ishihara, K. Masu, Y. Takekawa, C. Wang, K. Iida, M. Saito, J. Fujii, S. Yoshida
- 学会等名
  The 6th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT), IEEE
- 発表場所
  南京、中国
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560394
[学会発表] MEMS型細菌捕獲チップの製作とレジオネラを用いた評価2012
- 著者名/発表者名
  林隆平，勝部恭平，辛永式，中澤寛一，石田誠，澤田和明，石井仁，町田克之，石原昇，益一哉，飯田健一郎，齋藤光正，藤井潤，吉田眞一
- 学会等名
  第29回センサ・マイクロマシンとその応用システム，電気学会
- 発表場所
  小倉
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560394
[学会発表] Bio-MEMES Chip for Trapping Bacteria by Si-pillar Structure and Its Application to Legionella2012
- 著者名/発表者名
  Kyohei Katsube, Ryuhei Hayashi, Youngshik Shin, Hirokazu Nakazawa, Makoto Ishida, Kazuaki Sawada, Hiromu Ishii, Katsuyuki Machida, Noboru Ishihara, Kazuya Masu, Yuta Takekawa, Changle Wang, Ken-ichiro Iida, Mitsumasa Saito, Jun Fujii, Shin-ichi Yoshida
- 学会等名
  Abstract No. ac12000224, The 6th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT)
- 発表場所
  Nanjing, China
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560394
[学会発表] 0.35μmCMOS-LSI によるMEMS センサ用VCO 回路の検討2012
- 著者名/発表者名
  本橋剛, 小西敏文, 松島隆明, 山根大輔, 伊藤浩之, 石原昇, 年吉洋, 町田克之, 益一哉
- 学会等名
  応用物理学会第4回集積化MEMS シンポジウム, IM3-5
- 発表場所
  北九州国際会議場
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] Fabrication of microfluidic device for the bacteria observation2012
- 著者名/発表者名
  Youngshik Shin，Kyohei Katsube，Makoto Ishida，Kazuaki Sawada，Hiromu Ishii，Katsuyuki Machida，Noboru Ishihara，Kazuya Masu，Ken-ichiro Iida，Mistumasa Saito，Jun Fujii，Shin-ichi Yoshida
- 学会等名
  第59回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  早稲田大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560394
[学会発表] アレイ型CMOS-MEMS 加速度センサの検討2012
- 著者名/発表者名
  山根大輔, 本橋剛, 小西敏文, 松島隆明, 伊藤浩之, 石原昇, 年吉洋, 町田克之, 益一哉
- 学会等名
  応用物理学会第3回集積化MEMS 技術研究ワークショップ
- 発表場所
  岩手県雫石
- 年月日
  2012-07-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] Fabrication of Microfluidic Device for On-chip Observation of Bacterial Behavior2012
- 著者名/発表者名
  Youngshik Shin, Kyohei Katsube, Makoto Ishida, Kazuaki Sawada, Hiromu Ishii, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Ken-ichiro Iida, Mitsumasa Saito, and Shin-ichi Yoshida
- 学会等名
  第29回センサ・マイクロマシンとその応用システム，電気学会
- 発表場所
  小倉
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560394
[学会発表] 統合設計技術のためのMEMS 加速度センサのモデルの検討2012
- 著者名/発表者名
  加賀谷賢, 小西敏文, 山根大輔, 伊藤浩之,石原昇, 年吉洋, 町田克之, 益一哉
- 学会等名
  応用物理学会第4回集積化MEMS シンポジウム
- 発表場所
  北九州国際会議場
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] アレイ型CMOS-MEMS 加速度センサの検討32012
- 著者名/発表者名
  松島隆明, 小西敏文, 本橋剛, 山根大輔, 伊藤浩之, 石原昇, 年吉洋, 町田克之, 益一哉
- 学会等名
  2012年秋期第73 会応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  愛媛大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] アレイ型CMOS-MEMS 加速度センサの検討(2)2012
- 著者名/発表者名
  小西敏文, 本橋剛, 松島隆明, 伊藤浩之, 石原昇, 年吉洋, 町田克之, 益一哉
- 学会等名
  第59回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  早稲田大学
- 年月日
  2012-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] Evaluation of a Capacitive Sensor with a Gold Proof Mass Toward Integrated CMOS-MEMS Accelerometers2012
- 著者名/発表者名
  Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Toshifumi Konishi, Gou Motohashi, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu
- 学会等名
  25th Int. Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2012)
- 発表場所
  Kobe, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] Integrated CMOS-MEMS Technology and its application2011
- 著者名/発表者名
  K.Machida
- 学会等名
  Nano Korea 2011
- 発表場所
  Seoul, Korea(招待講演)
- 年月日
  2011-08-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] Integrated CMOS-MEMS Technology and its application2011
- 著者名/発表者名
  K.Machida
- 学会等名
  IITC2011
- 発表場所
  Dresden, Germany(招待講演)
- 年月日
  2011-05-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] 集積化CMOS-MEMS技術とシミュレーションへの期待2011
- 著者名/発表者名
  町田克之
- 学会等名
  第4回MemsOne技術交流会
- 発表場所
  東京(招待講演)
- 年月日
  2011-12-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] 集積化 CMOS-MEMS のための統合設計技術の検討 (2)2011
- 著者名/発表者名
  小西敏文, 丸山智史, 松島隆明, 三田信, 町田克之, 伊藤浩之, 石原昇, 益一哉, 藤田博之, 年吉洋
- 学会等名
  第72回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  山形大学
- 年月日
  2011-08-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] 細菌迅速検出用マイクロチップII　‐蛍光強度の細菌濃度依存性‐2011
- 著者名/発表者名
  勝部恭平，辛永式，石田誠，澤田和明，石井仁，町田克之，石原昇，益一哉，飯田健一郎，齋藤光正，藤井潤，吉田眞一
- 学会等名
  第72回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  山形大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560394
[学会発表] Integrated CMOS-MEMS Technology and its Application2011
- 著者名/発表者名
  Katsuyuki Machida, Hiroki Morimura, and Kazuya Masu
- 学会等名
  2011 IEEE International Interconnect Technology Conference for Advanced Metallization
- 発表場所
  Dresden, Germany
- 年月日
  2011-05-08
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] Integrated CMOS-MEMS Technology and its Application2011
- 著者名/発表者名
  Katsuyuki Machida, Hiroki Morimura, and Kazuya Masu
- 学会等名
  The 9th International Symposium & Exhibition in Korea
- 発表場所
  Korea
- 年月日
  2011-08-24
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149
[学会発表] 集積化CMOS-MEMS 技術とシミュレーションへの期待2011
- 著者名/発表者名
  町田克之
- 学会等名
  第4回MemsOne 技術交流会,マイクロマシンセンタ主催
- 発表場所
  東京
- 年月日
  2011-12-16
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360149

1. 石井仁 (20506175)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 53件
2. 益一哉 (20157192)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 208件
3. 齋藤光正 (00315087)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 31件
4. 年吉洋 (50282603)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 51件
5. 石原昇 (20396641)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 33件
6. 吉田眞一 (60128113)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
7. 山根大輔 (70634096)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 155件
8. 曽根正人 (30323752)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 110件
9. Chang Tsu-Fu Mark

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 8件
10. 吉田真一

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 22件
11. 宮原敏

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 1件

町田 克之 Machida Katsuyuki

研究課題

研究成果

共同研究者

細菌ストレス応答の動的過程解明:エレクトロニクスに創発された新細菌同定法への展開

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

エレクトロニクスに創発された細菌行動学の創生

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

結晶構造を制御した金合金めっきによるナノG検出法の開拓

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

異種機能素子統合設計技術と人体行動予知システム用チップの研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

細菌迅速検知チップに関する基礎的研究

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[図書] Advances in Microelectronics: Reviews, Vol. 1, "Fabrication and Characterization of High Strength Electrodeposited Gold toward High-Sensitive MEMS Inertial Sensors"2018

著者名/発表者名

総ページ数

出版者

ISBN

データソース

[図書] 異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用2012

著者名/発表者名

総ページ数

出版者

データソース

[図書] 異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用2012

著者名/発表者名

総ページ数

出版者

データソース

[雑誌論文] Detection system for Legionella bacteria using photogate-type optical sensor2022

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] フォトゲート型光センサを用いたレジオネラ属菌のセンシング2020

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

ISSN

年月日

言語

データソース

[雑誌論文] Bacterial Identification by Using Photogate-Type Optical Sensor2019

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Sample size effect on micro-mechanical properties of gold electroplated with dense carbon dioxide2018

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] 蛍光センサによる細菌識別に向けたレジオネラ属菌の発光特性の検討2018

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] A 0.18-µm CMOS time-domain capacitive-sensor interface for sub-1mG MEMS accelerometers2018

著者名/発表者名

町田克之 Machida Katsuyuki