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野崎 幹人  NOZAKI Mikito

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 90646217
その他のID
所属 (現在) 2025年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 技術職員
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2022年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 技術専門職員
2022年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 技術職員
2019年度 – 2021年度: 大阪大学, 工学研究科, 技術職員
審査区分/研究分野
研究代表者
小区分21050:電気電子材料工学関連
キーワード
研究代表者
酸窒化膜 / HEMT / MOS / 放射光光電子分光分析 / 2次元電子ガス / AlGaN / ゲート絶縁膜 / MOS界面 / 窒化ガリウム
  • 研究課題

    (1件)
  • 研究成果

    (5件)
  • 共同研究者

    (1人)
  •  積層型酸窒化膜によるGaN MOSデバイスの高耐圧・大電流化と閾値電圧制御の実現研究代表者

    • 研究代表者
      野崎 幹人
    • 研究期間 (年度)
      2019 – 2022
    • 研究種目
      若手研究
    • 審査区分
      小区分21050:電気電子材料工学関連
    • 研究機関
      大阪大学

すべて 2020 2019

すべて 雑誌論文 学会発表

  • [雑誌論文] Evaluation and mitigation of reactive ion etching-induced damage in AlGaN/GaN MOS structures fabricated by low-power inductively coupled plasma2020

    • 著者名/発表者名
      M. Nozaki, D. Terashima, A. Yoshigoe, T. Hosoi, T. Shimura, H. Watanabe
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 59 号: SM ページ: SMMA07-SMMA07

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ab8f0e

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K05338, KAKENHI-PROJECT-19K15027
  • [学会発表] Gate Stack Technology for Advanced GaN-based MOS Devices2020

    • 著者名/発表者名
      Heiji Watanabe, Takuji Hosoi, Mikito Nozaki, Hidetoshi Mizobata, Takayoshi Shimura
    • 学会等名
      2020 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K15027
  • [学会発表] Evaluation of Reactive Ion Etching-induced Damage on 2DEG at AlGaN/GaN Interface2019

    • 著者名/発表者名
      Mikio Nozaki, Daiki Terashima, Akitaka Yoshigoe, Takuji Hosoi, Takayoshi Shimura, Heiji Watanabe
    • 学会等名
      IWDTF 2019
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K15027
  • [学会発表] AlGaN/GaNヘテロ構造の低バイアス電力ICPエッチングによる低損傷加工2019

    • 著者名/発表者名
      野崎幹人,寺島大貴,吉越章隆,細井卓治,志村考功,渡部平司
    • 学会等名
      先進パワー半導体分科会第6回講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K15027
  • [学会発表] ICPエッチングがAlGaN/GaN界面の2DEGに与える影響の評価2019

    • 著者名/発表者名
      野崎 幹人, 寺島 大貴, 吉越 章隆, 細井 卓治, 志村 考功, 渡部 平司
    • 学会等名
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K15027
  • 1.  吉越 章隆
    共同の研究課題数: 0件
    共同の研究成果数: 1件

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