山川進二 Yamakawa Shinji

研究者番号	90876252
その他のID
所属 (現在)	2025年度: 兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 准教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2021年度 – 2023年度: 兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 助教
審査区分/研究分野	研究代表者小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連
キーワード	研究代表者 LWR / 軟X線 / 半導体微細加工 / XANES / 接触角測定 / 高分子合成 / 現像速度 / EUVフラッド露光 / EUV干渉露光 / 線幅ばらつき / 軟X線共鳴散乱 / フォトレジスト / EUVリソグラフィ

研究課題
(1件)
研究成果
(30件)

フォトレジスト薄膜中における化学組成分布がパターン線幅粗さに与える影響の解明研究代表者
- 研究代表者
  
  山川進二
- 研究期間 (年度)
  2021 – 2023
- 研究種目
  
  若手研究
- 審査区分
  
  小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連
- 研究機関
  兵庫県立大学

すべて 2024 2023 2022 2021

すべて雑誌論文学会発表

[雑誌論文] The x-ray absorption spectroscopy analysis of the negative-tone PAG bound resist2023
- 著者名/発表者名
  Yamakawa Shinji、Harada Tetsuo、Watanabe Takeo
- 雑誌名
  
  Proceedings of SPIE
  
  巻: 12750 ページ: 60-60
- DOI
  10.1117/12.2687118
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14212
[雑誌論文] Present Status of EUV Interference Lithography at NewSUBARU2023
- 著者名/発表者名
  Imai Rikuya、Yamakawa Shinji、Harada Tetsuo、Watanabe Takeo
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 36 号: 1 ページ: 53-59
- DOI
  10.2494/photopolymer.36.53
- ISSN
  0914-9244, 1349-6336
- 年月日
  2023-06-15
- 言語
  英語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14212
[雑誌論文] Spatial Distribution Analysis of Polymers in Resist Thin Film by Reflection-mode Resonant Soft X-ray Scattering2023
- 著者名/発表者名
  Nakamoto Atsunori、Yamakawa Shinji、Harada Tetsuo、Watanabe Takeo
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 36 号: 1 ページ: 41-45
- DOI
  10.2494/photopolymer.36.41
- ISSN
  0914-9244, 1349-6336
- 年月日
  2023-06-15
- 言語
  英語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14212
[雑誌論文] Characterization of Photoacid Generator Bound Resist with X-ray Absorption Spectroscopy at NewSUBARU2023
- 著者名/発表者名
  Yamakawa Shinji、Harada Tetsuo、Nakanishi Koji、Watanabe Takeo
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 36 号: 1 ページ: 47-52
- DOI
  10.2494/photopolymer.36.47
- ISSN
  0914-9244, 1349-6336
- 年月日
  2023-06-15
- 言語
  英語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14212
[雑誌論文] Spatial Distribution Imaging of Resist Thin Film with Micrometer Resolution using Reflection Type Soft X-ray Projection Microscope2023
- 著者名/発表者名
  Iguchi Shuhei、Harada Tetsuo、Yamakawa Shinji、Watanabe Takeo、Motokawa Takeharu
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 36 号: 1 ページ: 25-30
- DOI
  10.2494/photopolymer.36.25
- ISSN
  0914-9244, 1349-6336
- 年月日
  2023-06-15
- 言語
  英語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14212
[雑誌論文] Grazing-Incidence Soft-X-ray Scattering for the Chemical Structure Size Distribution Analysis in EUV Resist2022
- 著者名/発表者名
  Nakamoto Atsunori、Yamakawa Shinji、Harada Tetsuo、Watanabe Takeo
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 35 号: 1 ページ: 61-65
- DOI
  10.2494/photopolymer.35.61
- ISSN
  0914-9244, 1349-6336
- 年月日
  2022-12-16
- 言語
  英語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14212
[雑誌論文] Affinity Analysis of Photoacid Generator in the Thin Film of Chemical Amplification Resist by Contact Angle Measurement2021
- 著者名/発表者名
  Yamakawa Shinji、Yamamoto Ako、Yasui Seiji、Watanabe Takeo、Harada Tetsuo
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 34 号: 1 ページ: 111-115
- DOI
  10.2494/photopolymer.34.111
- NAID
  130008119653
- ISSN
  0914-9244, 1349-6336
- 年月日
  2021-06-11
- 言語
  英語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14212
[学会発表] 軟X 線反射型共鳴散乱法によるEUV レジスト薄膜中の構成物の空間分布評価2024
- 著者名/発表者名
  中本敦啓、山川進二、原田哲男、渡邊健夫
- 学会等名
  ニュースバルシンポジウム2024
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14212
[学会発表] レジスト材料の空間分布測定を目的とした反射型拡大投影軟X 線顕微鏡の開発2024
- 著者名/発表者名
  井口脩平、原田哲男、山川進二、渡邊健夫
- 学会等名
  ニュースバルシンポジウム2024
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14212
[学会発表] 光電子顕微鏡を用いたレジスト薄膜表面の化学組成分布の観察2024
- 著者名/発表者名
  笹倉司、山川進二、原田哲男、渡邊健夫
- 学会等名
  ニュースバルシンポジウム2024
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14212
[学会発表] Spatial Distribution Imaging of Resist Thin Film with Micrometer Resolution using Reflection Type Soft X-ray Projection Microscope2023
- 著者名/発表者名
  Iguchi Shuhei、Harada Tetsuo、Yamakawa Shinji、Watanabe Takeo、Motokawa Takeharu
- 学会等名
  The 40th International Conference of Photopolymer Science and Technology
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14212
[学会発表] Evaluation of the Chemical Component Distribution in Resist Thin Film by Grazing Incidence Resonant Soft X-ray Scattering2023
- 著者名/発表者名
  Atsunori Nakamoto, Shinji Yamakawa, Tetsuo Harada, Takeo Watanabe
- 学会等名
  The 13th SPSJ International Polymer Conference
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14212
[学会発表] Analysis of the Chemical Component Distribution in EUV Resist Thin Films by Soft X-Ray2023
- 著者名/発表者名
  Shinji Yamakawa, Atsunori Nakamoto, Shuhei Iguchi, Tsukasa Sasakura, Tetsuo Harada, Takeo Watanabe
- 学会等名
  The 13th SPSJ International Polymer Conference
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14212
[学会発表] Characterization of Photoacid Generator Bound Resist with X-ray Absorption Spectroscopy at NewSUBARU2023
- 著者名/発表者名
  Yamakawa Shinji、Harada Tetsuo、Nakanishi Koji、Watanabe Takeo
- 学会等名
  The 40th International Conference of Photopolymer Science and Technology
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14212
[学会発表] Chemical Imaging of Resist Thin-Film Surface using PEEM at NewSUBARU2023
- 著者名/発表者名
  Tsukasa Sasakura, Shinji Yamakawa, Tetsuo Harada, Takeo Watanabe
- 学会等名
  NGL Workshop 2023
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14212
[学会発表] 軟X線反射型共鳴散乱法を用いたレジスト薄膜中における化学組成の空間分布評価2023
- 著者名/発表者名
  中本敦啓、山川進二、原田哲男、渡邊健夫
- 学会等名
  ニュースバルシンポジウム2023
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14212
[学会発表] EUV干渉露光系の高度化の検討2023
- 著者名/発表者名
  今井陸陽、山川進二、原田哲男、渡邊健夫
- 学会等名
  ニュースバルシンポジウム2023
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14212
[学会発表] Investigation of the Chemical Imaging of Resist Thin Films by Photoemission Electron Microscopy at NewSUBARU2023
- 著者名/発表者名
  Tsukasa Sasakura, Shinji Yamakawa, Tetsuo Harada, Takeo Watanabe
- 学会等名
  The 13th SPSJ International Polymer Conference
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14212
[学会発表] Spatial Distribution Imaging of Resist Thin Film with Micrometer Resolution using Reflection Type Soft X-ray Projection Microscope2023
- 著者名/発表者名
  Iguchi Shuhei、Yamakawa Shinji、Harada Tetsuo、Watanabe Takeo
- 学会等名
  NGL Workshop 2023
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14212
[学会発表] The x-ray absorption spectroscopy analysis of the negative-tone PAG bound resist2023
- 著者名/発表者名
  Yamakawa Shinji、Harada Tetsuo、Watanabe Takeo
- 学会等名
  International Conference on Extreme Ultraviolet Lithography 2023
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14212
[学会発表] Spatial Distribution Evaluation of EUV Resist Using Reflection-type Projection Soft X-Ray Microscope2023
- 著者名/発表者名
  Shuhei Iguchi, Tetsuo Harada, Shinji Yamakawa, Takeo Watanabe
- 学会等名
  The 13th SPSJ International Polymer Conference
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14212
[学会発表] Present Status of EUV Interference Lithography at NewSUBARU2023
- 著者名/発表者名
  Imai Rikuya、Yamakawa Shinji、Harada Tetsuo、Watanabe Takeo
- 学会等名
  The 40th International Conference of Photopolymer Science and Technology
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14212
[学会発表] Spatial Distribution Analysis of Polymers in Resist Thin Film by Reflection-mode Resonant Soft X-ray Scattering2023
- 著者名/発表者名
  Nakamoto Atsunori、Yamakawa Shinji、Harada Tetsuo、Watanabe Takeo
- 学会等名
  The 40th International Conference of Photopolymer Science and Technology
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14212
[学会発表] 斜入射軟X線共鳴散乱を用いたレジスト薄膜中の化学構成材の空間分布測定2022
- 著者名/発表者名
  中本敦啓、山川進二、原田哲男、渡邊健夫
- 学会等名
  第71回高分子討論会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14212
[学会発表] レジスト薄膜中の空間分布測定用軟X線反射型共鳴散乱法の検討2022
- 著者名/発表者名
  中本敦啓、山川進二、原田哲男、渡邊健夫
- 学会等名
  NGLワークショップ2022
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14212
[学会発表] Grazing-Incidence Soft-X-ray Scattering for the Chemical Structure Size Distribution Analysis in EUV Resist2022
- 著者名/発表者名
  Nakamoto Atsunori、Yamakawa Shinji、Harada Tetsuo、Watanabe Takeo
- 学会等名
  The 39th International Conference of Photopolymer Science and Technology
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14212
[学会発表] レジスト薄膜中の空間分布測定を目的とした軟X線反射型共鳴散乱の検討2022
- 著者名/発表者名
  中本敦啓、山川進二、原田哲男、渡邊健夫
- 学会等名
  第58回X線分析討論会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14212
[学会発表] Affinity Analysis of Photoacid Generator in the Thin Film of Chemical Amplification Resist by Contact Angle Measurement2021
- 著者名/発表者名
  Shinji Yamakawa, Ako Yamamoto, Seiji Yasui, Takeo Watanabe, Tetsuo Harada
- 学会等名
  The 38th International Conference of Photopolymer Science and Technology
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14212
[学会発表] 化学増幅型レジスト薄膜における光酸発生剤の組成分布およびレジスト特性評価2021
- 著者名/発表者名
  山川進二、原田哲男、渡邊健夫
- 学会等名
  第70回高分子討論会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14212
[学会発表] 化学増幅レジスト薄膜中の化学構成物の空間分布解析絵の検討2021
- 著者名/発表者名
  山川進二、原田哲男、渡邊健夫
- 学会等名
  NGLワークショップ2021
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K14212

山川 進二 Yamakawa Shinji

研究課題

研究成果

フォトレジスト薄膜中における化学組成分布がパターン線幅粗さに与える影響の解明研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

[雑誌論文] The x-ray absorption spectroscopy analysis of the negative-tone PAG bound resist2023

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Present Status of EUV Interference Lithography at NewSUBARU2023

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

ISSN

年月日

言語

データソース

[雑誌論文] Spatial Distribution Analysis of Polymers in Resist Thin Film by Reflection-mode Resonant Soft X-ray Scattering2023

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

ISSN

年月日

言語

データソース

[雑誌論文] Characterization of Photoacid Generator Bound Resist with X-ray Absorption Spectroscopy at NewSUBARU2023

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

ISSN

年月日

言語

データソース

[雑誌論文] Spatial Distribution Imaging of Resist Thin Film with Micrometer Resolution using Reflection Type Soft X-ray Projection Microscope2023

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

ISSN

年月日

言語

データソース

[雑誌論文] Grazing-Incidence Soft-X-ray Scattering for the Chemical Structure Size Distribution Analysis in EUV Resist2022

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

ISSN

年月日

言語

データソース

[雑誌論文] Affinity Analysis of Photoacid Generator in the Thin Film of Chemical Amplification Resist by Contact Angle Measurement2021

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

ISSN

年月日

言語

データソース

[学会発表] 軟X 線反射型共鳴散乱法によるEUV レジスト薄膜中の構成物の空間分布評価2024

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] レジスト材料の空間分布測定を目的とした反射型拡大投影軟X 線顕微鏡の開発2024

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] 光電子顕微鏡を用いたレジスト薄膜表面の化学組成分布の観察2024

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] Spatial Distribution Imaging of Resist Thin Film with Micrometer Resolution using Reflection Type Soft X-ray Projection Microscope2023

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] Evaluation of the Chemical Component Distribution in Resist Thin Film by Grazing Incidence Resonant Soft X-ray Scattering2023

山川進二 Yamakawa Shinji