Uneda Michio 畝田道雄

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UNEDA Michio 畝田道雄

畝田道雄ウネダミチオ

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Researcher Number	00298324
Other IDs
Affiliation (Current)	2025: 岐阜大学, 工学部, 教授
Affiliation (based on the past Project Information) *help	2017 – 2023: 金沢工業大学, 工学部, 教授 2013 – 2015: 金沢工業大学, 工学部, 教授 2007 – 2010: Kanazawa Institute of Technology, College of Engineering, Associate Professor 2006: 金沢工業大学, 工学部, 助教授 2003 – 2005: 金沢工業大学, 工学部, 講師 1998 – 1999: 金沢工業大学, 工学部, 助手
Review Section/Research Field	Principal Investigator Production engineering/Processing studies / Basic Section 18020:Manufacturing and production engineering-related / Materials/Mechanics of materials / 機械工作・生産工学 Except Principal Investigator Production engineering/Processing studies / Design engineering/Machine functional elements/Tribology / 機械工作・生産工学
Keywords	Principal Investigator CMP / 研磨・CMP / 超精密加工 / 振動応用 / 最終仕上げ工程 / データドリブン / 革新的ロボット研磨技術 / AI融合最適化 / モデルベースシミュレーション / 表面改質 … More / 高能率 / ナノバブル / プラズマガス / SiC基板 / 研磨レート / 電界印加 / 研磨条件 / 研磨能率 / スラリー流れ場 / サファイア / 遺伝的アルゴリズム / 最適化 / 形状創成 / 研磨 / 高平坦化 / 大口径ワーク / 揺動制御 / ラッピング / 外周刃 / 材料加工・処理 / 機械工作・生産工学 / 超音波探傷試験 / 高分解能位置標定 / 音響探査 / MUSIC / ミストエアー流速 / ミスト加工液 / スライシング / 硬脆材料 / 高速度カメラ / 外周刃ブレード / エアミスト加工液 … More Except Principal Investigator 評価・設計法 / 3次元形状分析と設計 / AI / 作刀 / 設計法 / 作刀評価 / 3次元設計 / AI分析 / 可視化 / 設計・評価法 / 美 / 日本刀 / 超押し込み試験 / SiC, GaN, ダイヤモンド / PCVM / TEM / 超押し込み実験 / SiC, GaN, ﾀﾞｲﾔﾓﾝﾄﾞ / フェムト秒(Fs)レーザ / 融合加工装置 / 超難加工結晶 / 加工レート / 疑似ラジカル / 超難加工材料 / 疑似ラジカル場 / P-CVM / CMP / フェムト秒レーザ / 難加工材料 / 表面粗さ / 加工効率 / プラズマ融合CMP / Diamond pellets / High precision lapping / Material machining / Mechanical machining / ダイヤモンドペレット / 精密研磨 / 材料加工・処理 / 機械工作・生産工学 / Hard and brittle material / Semiconductor material / Wire tool / Cutting / Slicing / Grinding / ダイヤモンド砥粒 / マルチワイヤソー / 硬脆材料 / 半導体材料 / ワイヤ工具 / 切断 / スライシング / 研削 / 工具寿命 / 高能率 / 振動 / 外周刃 / 砥粒加工 / 切断加工 / 複合材料 / 切削・研削加工 Less

Development of Innovative Robot Polishing Technology by Model Based Simulation and Optimization involving AIPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  畝田道雄
- Project Period (FY)
  2022 – 2024
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Review Section
  
  Basic Section 18020:Manufacturing and production engineering-related
- Research Institution
  Kanazawa Institute of Technology
Highly efficient chemical mechanical polishing method for SiC substrates using enhanced slurry containing bubbles of plasma gasPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  UNEDA Michio
- Project Period (FY)
  2017 – 2020
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Production engineering/Processing studies
- Research Institution
  Kanazawa Institute of Technology
Proposal and its verification of novel evaluation/ design method of Japanese sword based on scientific elucidation for beauty
- Principal Investigator
  
  ISHIKAWA Ken-ichi
- Project Period (FY)
  2017 – 2021
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Design engineering/Machine functional elements/Tribology
- Research Institution
  Kanazawa Institute of Technology
Development of High Efficiency Chemical Mechanical Polishing Method of Hard-to-Process Materials Using Slurry Behavior ControlPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  Uneda Michio
- Project Period (FY)
  2013 – 2015
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Production engineering/Processing studies
- Research Institution
  Kanazawa Institute of Technology
Breakthrough in the ultra-precison polishing process of diamond substrates as an ulimate device
- Principal Investigator
  
  DOI Toshiro
- Project Period (FY)
  2012 – 2015
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (S)
- Research Field
  
  Production engineering/Processing studies
- Research Institution
  Kyushu University
Development of vibratory OD-blade slicing method with high efficiency and long tool life for composite materials
- Principal Investigator
  
  ISHIKAWA Ken-ichi
- Project Period (FY)
  2008 – 2010
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Production engineering/Processing studies
- Research Institution
  Kanazawa Institute of Technology
Development Study on Ultra Precision Lapping Technique of Large Sized Workpiece by Oscillation Controlled MethodPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  UNEDA Michio
- Project Period (FY)
  2008 – 2010
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
- Research Field
  
  Production engineering/Processing studies
- Research Institution
  Kanazawa Institute of Technology
振動スピンドルを用いた振動外周刃切断方式の実用性評価とその超高速切断技術への展開Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  畝田道雄
- Project Period (FY)
  2006 – 2007
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
- Research Field
  
  Production engineering/Processing studies
- Research Institution
  Kanazawa Institute of Technology
Development of High Accuracy Process Technique in 4-way System Diamond Pellets Grinding
- Principal Investigator
  
  ISHIKAWA Ken-ichi
- Project Period (FY)
  2006 – 2007
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Production engineering/Processing studies
- Research Institution
  Kanazawa Institute of Technology
MUSIC等の固有値解析法を用いた高分解能材料欠陥位置標定システムの開発研究Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  畝田道雄
- Project Period (FY)
  2003 – 2005
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
- Research Field
  
  Materials/Mechanics of materials
- Research Institution
  Kanazawa Institute of Technology
Development of high speed processing silicon slicer using diamond wire tool
- Principal Investigator
  
  ISHIKAWA Ken-ichi
- Project Period (FY)
  1999 – 2001
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Research Field
  
  機械工作・生産工学
- Research Institution
  Kanazawa Institute of Technology
ミスト化した加工液による高性能外周刃振動切断方式の開発Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  畝田道雄
- Project Period (FY)
  1998 – 1999
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
- Research Field
  
  機械工作・生産工学
- Research Institution
  Kanazawa Institute of Technology

[Journal Article] Highly efficient chemical mechanical polishing method for SiC substrates using enhanced slurry containing bubbles of ozone gas2020
- Author(s)
  Uneda Michio、Fujii Koji
- Journal Title
  
  Precision Engineering
  
  Volume: 64 Pages: 91-97
- DOI
  10.1016/j.precisioneng.2020.03.015
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06094
[Journal Article] Development of High Efficiency Polishing Method of SiC Substrate assisted by Nanobubbles Containing Ozone Gas2019
- Author(s)
  Koji Fujii and Michio Uneda
- Journal Title
  
  Proceedings of International Conference on Planarization/CMP Technology 2019
  
  Volume: 1 Pages: 171-172
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06094
[Journal Article] High Efficient CMP Method of SiC by Enhanced Slurry Containing Nano-bubbleswith Active Gas2018
- Author(s)
  Koji Fujii, Michio Uneda, Kazutaka Shibuya, Yoshio Nakamura, Daizo Ichikawa and Ken-ichi Ishikawa
- Journal Title
  
  Proceedings of International Conference on Planarization/CMP Technology 2018
  
  Volume: 1 Pages: 310-313
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06094
[Journal Article] <b>– Mechanical Properties of Natural and Artificial Polishing Stones and <i>Kansei</i> Evaluation by Sword Polishers –</b>2018
- Author(s)
  Kyo OI, Michio UNEDA and Ken-ichi ISHIKAWA
- Journal Title
  
  Advanced Experimental Mechanics
  
  Volume: 3 Issue: 0 Pages: 180-185
- DOI
  10.11395/aem.3.0_180
- NAID
  130007538728
- ISSN
  2189-4752, 2424-175X
- Year and Date
  2018-08-10
- Language
  English
- Peer Reviewed / Open Access
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06129
[Journal Article] 感性評価による日本刀の美しさに関する研究2017
- Author(s)
  畝田道雄，村上昇啓，高島伸治，神宮英夫，石川憲一
- Journal Title
  
  精密工学会誌
  
  Volume: 83 Pages: 361-366
- NAID
  130005548960
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06129
[Journal Article] Visualization of hand-polishing process for Japanese swords - Mechanical properties of natural and artificial polishing stones and Kansei evaluation by craftsmen -2017
- Author(s)
  Kyo Oi, Michio Uneda and Ken-ichi Ishikawa
- Journal Title
  
  Proceedings of 12th International Symposium on Advanced Science and Technology in Experimental Mechanics 2017
  
  Volume: 1 Pages: 1-4
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06129
[Journal Article] Chamical Mechanical Polishing of SiC Substrate Using Enhanced Slurry Containing Nanobubbles with Active Gas Generated by Plasma2017
- Author(s)
  Shinya MIZUUCHI, Michio UNEDA, Kazutaka SHIBUYA, Yoshio NAKAMURA, Daizo ICHIKAWA and Ken-ichi ISHIKAWA
- Journal Title
  
  Proceedings of International Conference on Planarization/CMP Technology 2017
  
  Volume: 1 Pages: 372-376
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06094
[Journal Article] Analysis of sapphire- chemical mechanical polishing using digital image processing2016
- Author(s)
  Michio Uneda, Keiichi Takano, Koji Koyama, Hideo Aida and Ken-ichi Ishikawa
- Journal Title
  
  Mechanical Engineering Journal
  
  Volume: 3 Issue: 1 Pages: 15-00509-15-00509
- DOI
  10.1299/mej.15-00509
- NAID
  130005126175
- ISSN
  2187-9745
- Language
  English
- Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant / Open Access
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25420070
[Journal Article] Analysis fo sapphire-chemical mechanical polishing using digital image processing2016
- Author(s)
  Michio Uneda, Keiichi Takano, Koji Koyama, Hideo Aida, Ken-ichi Ishikawa
- Journal Title
  
  Special issue on Micromechatronics ofr Information and Precision Equipment, Mechanical Engineering Journal of 2016 The Japan Society of Mechanical Ingineers
  
  Volume: 3（１） Pages: 1-11
- Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant / Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[Journal Article] Investigation of Chemical Mechanical Polishing Mechanism of Hard-to-Process Materials Using Commercially Available Single-Sided Polishier2015
- Author(s)
  Michio Uneda, Keiichi Takano, Koji Koyama, Hideo Aida, Ken-ichi Ishikawa
- Journal Title
  
  International Journal of Automation Technology
  
  Volume: 9(5) Pages: 573-579
- Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant / Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[Journal Article] Basic Study on Etching Selectivity of Plasma Chemical Vaporization Machining by Introducing Crystallographic Damage into Work Surface2015
- Author(s)
  asuhisa Sano, Toshiro Doi, Syuhei Kurokawa, Hideo Aida, Osamu Ohnishi, Michio Uneda, Yuu Okada, Hiroaki Nishikawa and Kazuto Yamauchi
- Journal Title
  
  Key Engineering Materials
  
  Volume: 625 Pages: 550-553
- Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant / Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[Journal Article] Consideration of Femtosecond Laser-induced Effect on Semiconductor Material SiC Substrate for CMP Processing2015
- Author(s)
  hengwu WANG, Syuhei KUROKAWA, Toshiro DOI, Yasuhisa SANO, Hideo AIDA, Osamu OHNISHI, Michio UNEDA, Koki OYAMA, Terutake HAYASHI, Ji ZHANG, Asakawa EIJI
- Journal Title
  
  Applied Mechanics and Materials
  
  Volume: 799-800 Pages: 458-462
- Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant / Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[Journal Article] Investigation of Chemical Mechanical Polishing Mechanism of Hard-to-Process Materials Using Commercially Available Single-Sided Polisher2015
- Author(s)
  Michio Uneda, Keiichi Takano, Koji Koyama, Hideo Aida and Ken-ichi Ishikawa
- Journal Title
  
  International Journal of Automation Technology
  
  Volume: 9 Pages: 573-579
- Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25420070
[Journal Article] Dependence of GaN Removal Rate of Plasma Chemical Vaporization Machining on Mechanically Introduced Damage2014
- Author(s)
  Y.Sano, T.K.Doi, S.Kurokawa, H.Aida, O.Ohnishi, M.Uneda, K.Shiozawa, Y.Okada, K.Yamauchi
- Journal Title
  
  Sensors and Materials
  
  Volume: 26 Pages: 429-434
- Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[Journal Article] Influence of Pad Surface Asperity on Removal Rate in Chemical Mechanical Polishing of Large-Diameter Silicon Wafer Which Applies to Substrate of GaN-based LEDs2014
- Author(s)
  Michio UNEDA, Yuki MAEDA, Kazutaka SHIBUYA, Yoshio NAKAMURA, Daizo ICHIKAWA, Kiyomi FUJII, Ken-ichi ISHIKAWA
- Journal Title
  
  Sensors and Materials
  
  Volume: 26 Pages: 435-445
- Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[Journal Article] N-Face Finishing Influence on Geometry of Double-Side Polished GaN Substrate2014
- Author(s)
  Koji KOYAMA, Hideo AIDA, Michio UNEDA, Hidetoshi TAKEDA, Seong-Woo KIM, Hiroki TAKEI, Tsutomu YAMAZAKI, and Toshiro DOI
- Journal Title
  
  Int. J. Automation Technology
  
  Volume: 8 Pages: 121-127
- Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[Journal Article] N-Face Finishing Influence on Geometry of Double-Side Polished GaN Substrate2014
- Author(s)
  Koji Koyama, Hideo Aida, Michio Uneda, Hidetoshi Takeda, Seong-Woo Kim, Hiroki Takei, Tsutomu Yamazaki, Toshiro Doi
- Journal Title
  
  International Journal of Automation Technology
  
  Volume: 8 Pages: 121-127
- Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[Journal Article] サファイアCMPにおける研磨メカニズムの分析2014
- Author(s)
  畝田道雄，高野圭市，小山浩司，會田英雄，片倉春治，武居裕樹，石川憲一
- Journal Title
  
  2014年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集
  
  Volume: 1 Pages: 2-2
- Acknowledgement Compliant
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[Journal Article] Novel Chemical Mechanical Polishing/Plasma-Chemical Vaporization Machining (CMP/P-CVM) Combined Processing of Hard-to-Process Crystals Based on Innovative Concepts2014
- Author(s)
  Toshiro K. Doi, Yasuhisa Sano, Syuhei Kurowaka, Hideo Aida, Osamu Ohnishi, Michio Uneda and Koki Ohyama
- Journal Title
  
  Sensors and Materials
  
  Volume: 26 Pages: 403-415
- Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[Journal Article] サファイアCMPの研磨レートに及ぼすスラリーフローの影響2014
- Author(s)
  畝田道雄，福田有哉，横川和弘，堀田和利，杉山博保，玉井一誠，森永均，石川憲一
- Journal Title
  
  砥粒加工学会誌
  
  Volume: 58 Pages: 583-588
- NAID
  130004661519
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25420070
[Journal Article] Novel Chemical Mechanical Polishing/Plasma-Chemical Vaporization Machining [CMP/P-CVM] Combined Processing of Hard-to-Process Crystals Based on Innovative Concepts2014
- Author(s)
  T. K. Doi, Y. Sano, S. Kurokawa, Hideo Aida, Osamu Ohnishi, Michio Uneda, Koki Ohyama
- Journal Title
  
  Sensors & Materials
  
  Volume: 未定
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[Journal Article] サファイア基板のメカニカルポリシングに及ぼす定盤表面性状の影響―定盤表面性状とスラリーフロー並びに研磨レートの関係―2014
- Author(s)
  畝田道雄，福田有哉，伊藤康昭，堀田和利，杉山博保，森永均，石川憲一
- Journal Title
  
  砥粒加工学会誌
  
  Volume: 58 Pages: 314-320
- NAID
  130004835712
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25420070
[Journal Article] Fabrication Mechanism for Patterned Sapphire Substrates by Wet Etching2014
- Author(s)
  Natsuko Aota, Hideo Aida, Yutaka Kimura, Yuki Kawamata and Michio Uneda
- Journal Title
  
  ECS Journal of Solid State Science and Technology
  
  Volume: 3
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25420070
[Journal Article] Basic Study on Etching Selectivity of Plasma Chemical Vaporization Machining by Introducing Crystallographic Damage into Work Surface2014
- Author(s)
  Yasuhisa Sano, Toshiro Doi, Syuhei Kurokawa, Hideo Aida, Osamu Ohnishi, Michio Uneda, Yuu Okada, Hiroaki Nishikawa, Kazuto Yamauchi
- Journal Title
  
  Key Engineering Materials
  
  Volume: 625 Pages: 550-553
- Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[Journal Article] N-Face Finishing Influence on Geometry of Double-Side Polished GaN Substrate2014
- Author(s)
  Koji Koyama, Hideo Aida, Michio Uneda, Hidetoshi Takeda, Seong-Woo Kim, Hiroki Takei, Tsutomu Yamazaki, and Toshiro Doi
- Journal Title
  
  International Journal of Automation Technology
  
  Volume: 8 Pages: 121-127
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25420070
[Journal Article] Study on Quantitative Evaluation of Slurry Flow Mechanism at Lapping Processing using Digital Image Correlation Method-Correlation of Slurry Flow and Lapping Characteristics in Oscillation Controlled Lapping-2010
- Author(s)
  畝田道雄, 村田慎太郎, 石川憲一
- Journal Title
  
  Proceedings of 5th International Symposium on Advanced Science and Technology in Experimental Mechanics
  
  Volume: (CD-ROM)
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20760090
[Journal Article] Study on Quantitative Evaluation of Slurry Flow Mechanism at Lapping Processing using Digital Image Correlation Method-Correlation of Slurry Flow and Lapping Characteristics in Oscillation Controlled Lapping-2010
- Author(s)
  Michio UNEDA, Shintaro MURATA, Ken-ichi ISHIKAWA
- Journal Title
  
  Proceedings of 5th International Symposium on Advanced Science and Technology in Experimental Mechanics CD-ROM.
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20760090
[Journal Article] 小径工具による揺動制御ラッピングに関する研究-オーバーハングを考慮した研磨特性とスラリーフローに基づく考察-2009
- Author(s)
  成瀬尚, 畝田道雄, 石川憲一
- Journal Title
  
  日本機械学会論文集(C編) 75,757
  
  Pages: 2581-2588
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20760090
[Journal Article] 複合材料(CFRP)を切断対象とした振動外周刃切断方式の加工特性に関する研究-繊維方向が切断特性に及ぼす影響-2009
- Author(s)
  畝田道雄, 成瀬尚, 山下義徳, 石川憲一
- Journal Title
  
  砥粒加工学会誌 53
  
  Pages: 627-632
- NAID
  10025533820
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20560116
[Journal Article] 小径工具による揺動制御ラッピングに関する研究―オーバーハングを考慮した研磨特性とスラリーフローに基づく考察―2009
- Author(s)
  成瀬尚, 畝田道雄, 石川憲一
- Journal Title
  
  日本機械学会論文集(C編) 75
  
  Pages: 2581-2588
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20760090
[Journal Article] 複合材料(CFRP)を切断対象とした振動外周刃切断方式の加工特性に関する研究-繊維方向が切断特性に及ぼす影響-2009
- Author(s)
  畝田道雄,成瀬尚,山下義徳,石川憲一
- Journal Title
  
  砥粒加工学会誌 53,10
  
  Pages: 627-632
- NAID
  10025533820
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20560116
[Journal Article] 複合材料を切断対象とした振動外周刃切断方式の加工特性に関する基礎研究2008
- Author(s)
  畝田道雄,成瀬尚,石川憲一,諏訪部仁
- Journal Title
  
  砥粒加工学会誌 52,7
  
  Pages: 412-416
- NAID
  10021136831
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20560116
[Journal Article] 複合材料を切断対象とした振動外周刃切断方式の加工特性に関する基礎研究2008
- Author(s)
  畝田道雄, 成瀬尚, 石川憲一, 諏訪部仁
- Journal Title
  
  砥粒加工学会誌 52
  
  Pages: 412-416
- NAID
  10021136831
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20560116
[Journal Article] Basic study on fixed abrasive lapping characteristics of diamond pellets2007
- Author(s)
  Michio Uneda, Ou Sakai, Ken-ichi Ishikawa, Hitoshi Suwabe
- Journal Title
  
  Journal of the Japan Society for Abrasive Technology 51, 10
  
  Pages: 605-610
- NAID
  10019952681
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18560116
[Journal Article] ダイヤモンドペレットを用いた固定砥粒研磨加工特性に関する研究2007
- Author(s)
  畝田道雄, 酒井王, 石川憲一, 諏訪部仁
- Journal Title
  
  砥粒加工学会誌 51
  
  Pages: 605-610
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18560116
[Journal Article] 振動外周刃政断方式の加工特性に関する研究-振動による外周刃ブレードの原点復帰効果に関する有限要素解析シミュレーション-2007
- Author(s)
  畝田道雄, 塚田広昌, 石川憲一, 諏訪部仁
- Journal Title
  
  2007年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
  
  Pages: 637-638
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18760105
[Journal Article] 振動外周刃切断方式の加工特性に関する研究-振動による外周刃ブレードの原点復帰効果に関する有限要素解析と実験検証-2007
- Author(s)
  畝田道雄, 塚田広昌, 石川憲一, 諏訪部仁
- Journal Title
  
  精密工学会誌 73
  
  Pages: 1142-1148
- NAID
  110006403575
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18760105
[Journal Article] ダイヤモンドペレットを用いた固定砥粒研磨加工特性に関する研究2007
- Author(s)
  畝田道雄, 酒井王, 石川憲一, 諏訪部仁
- Journal Title
  
  砥粒加工学会誌 51
  
  Pages: 605-610
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18560116
[Journal Article] ダイヤモンドペレットによる定圧研削加工特性に関する研究-研削量と研削距離の相関-2007
- Author(s)
  畝田道雄, 酒井王, 石川憲一, 諏訪部仁
- Journal Title
  
  2007年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
  
  Pages: 1121-1122
- NAID
  130005028300
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18560116
[Journal Article] 振動外周刃切断方式の加工特性評価に関する研究2006
- Author(s)
  畝田道雄, 塚田広昌, 石川憲一, 諏訪部仁
- Journal Title
  
  2006年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集
  
  Pages: 119-122
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18760105
[Journal Article] Studies on Slicing Characteristics of Vibratory OD-blade Slicing2006
- Author(s)
  Michio UNEDA, Hiromasa TSUKAWA, Ken-ichi ISHIKAWA, Hitoshi SUWABE
- Journal Title
  
  Proceedings of ASPE 2006 Annual Meetings (CD-ROM)
- NAID
  130005028627
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18760105
[Journal Article] ダイヤモンドペレットによる定圧研削特性に関する基本的研究2006
- Author(s)
  畝田道雄, 酒井王, 石川憲一, 諏訪部仁
- Journal Title
  
  砥粒加工学会北信越ハイテク加工研究分科会, 2006年度研究・開発成果発表会講演論文集
  
  Pages: 41-42
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18560116
[Journal Article] ダイヤモンドペレットによる定圧研削特性に関する研究2006
- Author(s)
  畝田道雄, 酒井王, 石川憲一, 諏訪部仁
- Journal Title
  
  2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
  
  Pages: 325-326
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18560116
[Journal Article] マイクロホンの指向性を考慮した音源位置同定法に関する研究2005
- Author(s)
  畝田道雄, 石川憲一
- Journal Title
  
  精密工学会誌 71,11
  
  Pages: 1426-1430
- NAID
  10016764411
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15760069
[Journal Article] 音源位置同定法としての音響ホログラフィ法とMUSIC法の基本性能比較に関する研究2005
- Author(s)
  畝田道雄, 石川憲一
- Journal Title
  
  精密工学会誌 71・4(掲載決定)
- NAID
  110001824157
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15760069
[Journal Article] A Study on Basic Performance Comparison with Acoustic Holography and MUIC Methods in Sound Source Identification2005
- Author(s)
  Michio UNEDA, Ken-ichi ISHIKAWA
- Journal Title
  
  Proceedings of The First International Symposium on Advanced Technology of Vibration and Sound 1
  
  Pages: 64-67
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15760069
[Journal Article] マイクロホンの指向性を考慮した音源位置同定法に関する基礎研究2005
- Author(s)
  畝田道雄, 石川憲一, 新井康平
- Journal Title
  
  日本機械学会第4回評価・診断に関するシンポジウム講演論文集
  
  Pages: 15-18
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15760069
[Journal Article] 音響ホログラフィ法とMUSIC法における音源位置同定性能の比較に関する研究2004
- Author(s)
  畝田道雄, 石川憲一
- Journal Title
  
  日本機械学会第3回評価・診断に関するシンポジウム講演論文集
  
  Pages: 39-43
- NAID
  110004057743
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15760069
[Journal Article] MUSICアルゴリズムを用いた近距離音源の高分解能位置推定に関する研究2004
- Author(s)
  畝田道雄, 石川憲一
- Journal Title
  
  2004年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
  
  Pages: 641-642
- NAID
  130004656236
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15760069
[Journal Article] MUSICによる近距離音源の高分解能位置推定法に関する研究-センサ間の振幅・位相偏差とその補償処理が位置推定性能に及ぼす影響-2004
- Author(s)
  畝田道雄, 石川悪一
- Journal Title
  
  精密工学会誌 70・8
  
  Pages: 1111-1116
- NAID
  110001824043
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15760069
[Journal Article] 音源探査における音響ホログラフィ法とMUSIC法の性能比較2004
- Author(s)
  畝田道雄, 石川憲一
- Journal Title
  
  2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
  
  Pages: 995-996
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15760069
[Presentation] 小径パッドを用いた大型工作物の研磨特性に及ぼすスラリー挙動の影響2024
- Author(s)
  齋藤光太郎，畝田道雄，天髙恭祐，堀田和利，森永均
- Organizer
  2024年度精密工学会春季大会学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22K03866
[Presentation] The impact of consumable properties on 3-D polishing through visualization of the polishing process2023
- Author(s)
  Kotaro Saito, Michio Uneda, Kyousuke Tenkou, Kazutoshi Hotta, and Hitoshi Morinaga
- Organizer
  International Conference on Planarization/CMP Technology 2023
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22K03866
[Presentation] 2軸制御研磨装置と小径ポリッシャーを用いた研磨プロセスの見える化による3D研磨のメカニズム考察2023
- Author(s)
  齋藤光太郎，畝田道雄，天髙恭祐，堀田和利，森永均
- Organizer
  2023年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22K03866
[Presentation] 新作日本刀の姿に着目した特徴分析並びに3次元設計法の提案と実証2021
- Author(s)
  村上浩規，畝田道雄，石川憲一
- Organizer
  日本実験力学会2021年度年次講演会講演論文集
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06129
[Presentation] ニューラルネットワークを用いたAIによる新作日本刀の科学的特徴解析と設計法の提案2020
- Author(s)
  横山詳悟，村上浩規，畝田道雄，石川憲一
- Organizer
  2020年度精密工学会北陸信越支部学術講演会講演論文集
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06129
[Presentation] 日本刀の形状美と機能美に着目した「踏ん張り」と「樋」の科学的研究2020
- Author(s)
  横山詳悟，中村晏奈，畝田道雄，石川憲一
- Organizer
  2020年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06129
[Presentation] オゾンガス内包ナノバブル添加スラリーによるSiC基板の高能率研磨加工法の研究2019
- Author(s)
  藤井皐司，畝田道雄
- Organizer
  2019年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06094
[Presentation] 新作日本刀の評価・設計法の研究－現代刀の審査結果と刀職技術の科学に基づく新作日本刀の設計アプローチ－2019
- Author(s)
  大井恭，畝田道雄，石川憲一
- Organizer
  2019年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06129
[Presentation] 新作日本刀の設計・評価法－サイエンスの視点からの新作日本刀の設計アプローチ－2019
- Author(s)
  畝田道雄
- Organizer
  日本刀文化振興協会日本刀の匠たち－第10回新作日本刀研磨外装刀職技術展覧会－講演会
- Invited
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06129
[Presentation] 鐵の芸術～日本刀～刀剣研師の技の科学2018
- Author(s)
  畝田道雄
- Organizer
  日本刀文化振興協会主催「日本刀の匠たち－第9回新作日本刀研磨外装刀職技術展覧会－」講演会
- Invited
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06129
[Presentation] 活性ガス内包ナノバブル添加スラリーによるSiC基板の高能率研磨加工法の研究2018
- Author(s)
  水内伸哉，畝田道雄，澁谷和孝，中村由夫，市川大造，石川憲一
- Organizer
  2018年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06094
[Presentation] 鐵の芸術～日本刀～刀剣研師の技の科学2018
- Author(s)
  畝田道雄
- Organizer
  全日本刀匠会主催「お守り刀展覧会」関連行事（刀剣講座）
- Invited
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06129
[Presentation] 新作日本刀の評価・設計法の研究-刀剣研師の感性評価と現代刀の審査結果に基づく新作日本刀の設計アプローチ-2017
- Author(s)
  大井恭，畝田道雄，石川憲一
- Organizer
  2018年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06129
[Presentation] 活性ガス内包ナノバブル添加スラリー供給装置の開発とそれによるSiC基板の高能率CMPの試み2017
- Author(s)
  水内伸哉，畝田道雄，澁谷和孝，中村由夫，市川大造，石川憲一
- Organizer
  2017年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06094
[Presentation] 日本刀の研ぎに及ぼす研磨工程の基礎科学－天然・人造砥石の機械的特性の調査と匠の意識調査－2017
- Author(s)
  大井恭，畝田道雄，石川憲一
- Organizer
  2017年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06129
[Presentation] Influence of Linear Velocity Ratio on Removal Rate in Sapphire- Chemical Mechanical Polishing2015
- Author(s)
  Michio Uneda, Keiichi Takano, Koji Koyama, Hideo Aida and Ken-ichi Ishikawa
- Organizer
  2015 JSME-IIP/ ASME-ISPS Jouint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment
- Place of Presentation
  神戸国際会議場
- Year and Date
  2015-06-17
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25420070
[Presentation] サファイアCMPにおける研磨メカニズムの分析－スラリー並びに修正リングが研磨レートに及ぼす影響－2015
- Author(s)
  高野圭市，畝田道雄，小山浩司，會田英雄，石川憲一
- Organizer
  2015年度砥粒加工学会学術講演会
- Place of Presentation
  慶應義塾大学
- Year and Date
  2015-09-10
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25420070
[Presentation] Consideration of Femtosecond laser-induced Effect on Semiconductor Material SiC Substrate for CMP Processing2015
- Author(s)
  Syuhei Kurokawa, Toshiro Doi, Yasuhisa Sano, Hideo Aida, Osamu Ohnishi, Michio Uneda, Koki Ohyama, Terutake Hayashi, Ji Zhang, Asakawa Eiji
- Organizer
  2015 ASR Bali Conferences(ICMMT2015/ICRE2015/ICLB2015)
- Place of Presentation
  Bali, Indonesia
- Year and Date
  2015-05-09
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[Presentation] 研磨の見える化（評価技術）とその技術動向2014
- Author(s)
  畝田道雄
- Organizer
  精密工学会プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会主催「CMP技術の基礎を理解するサマーキャンプ2014」
- Place of Presentation
  新宿ワシントンホテル
- Year and Date
  2014-08-30
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[Presentation] Removal Rate of Plasma Chemical Vaporization Machining of Intentionally Damaged Surface by Mechanical Action2014
- Author(s)
  K. Shiozawa, Y. Sano, T. Doi, S. Kurokawa, H. Aida, O.Ohnishi, M. Uneda, Y. Okada, and K. Yamauchi
- Organizer
  15th International Conference on Precision Engineering (ICPE2014)
- Place of Presentation
  石川県政記念しいのき迎賓館（石川）
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[Presentation] Basic Study on Etching Selectivity of Plasma Chemical Vaporization Machining by Introducing Crystallographic Damage into Work Surface2014
- Author(s)
  Y. Sano, T. Doi, S. Kurokawa, H. Aida, O. Ohnishi, M. Uneda, Y. Okada, H. Nishikawa, and K. Yamauchi
- Organizer
  5th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN2013)
- Place of Presentation
  Howard Civil International Centre(台湾）
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[Presentation] CMPのサイエンス化に向けて－消耗副資材（スラリー・研磨パッド）からのアプローチ-2014
- Author(s)
  畝田道雄
- Organizer
  先進研磨技術研究会第5回講演会
- Place of Presentation
  キャンパスプラザ京都（京都府）
- Year and Date
  2014-08-27
- Invited
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[Presentation] サファイア・GaN基板の加工・研磨技術とその応用2014
- Author(s)
  小山浩司，畝田道雄，小堀康之
- Organizer
  日本テクノセンター主催セミナー
- Place of Presentation
  日本テクノセンター(東京都）
- Year and Date
  2014-07-27
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[Presentation] Relationships Between Polishing Variables, Removal Rate and Slurry Flow in Sapphire-CMP2013
- Author(s)
  Michio Uneda, Yuya Fukuta, Yasuaki Itou, Kazutoshi Hotta, Kazusei Tamai, Hitoshi Morinaga and Ken-ichi Ishikawa
- Organizer
  Proceedings of ICPT2013
- Place of Presentation
  Ambassador Hotel, Hsinchu, Taiwan
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25420070
[Presentation] サファイアCMPの研磨レートに及ぼすスラリーフローの影響2013
- Author(s)
  畝田道雄，福田有哉，伊藤康昭，堀田和利，玉井一誠，森永均，石川憲一
- Organizer
  2013年度精密工学会秋季大会学術講演会
- Place of Presentation
  関西大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25420070
[Presentation] 先端的難加工基板の高効率精密加工法の研究（第4報）－加工変質層の断面TEM による評価とそのPCVM加工特性－2013
- Author(s)
  塩澤昂祐, 佐野泰久, 土肥俊郎, 黒河周平, 會田英雄, 大西修, 畝田道雄, 岡田悠, 山内和人
- Organizer
  2013年度精密工学会秋季大会学術講演会
- Place of Presentation
  関西大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[Presentation] Effects of In-Situ Monitoring and Its Impact on Chemical Mechanical Polishing of Compound Materials2013
- Author(s)
  Michio Uneda
- Organizer
  Workshop on Ultra-Precision Processing for III-Nitride
- Place of Presentation
  Best Western Plus Pepper Tree Inn, Santa Barbara, USA
- Invited
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25420070
[Presentation] Characteristics of Sapphire CMP Under Various Gas Conditions Using Bell-Jar Type CMP Machine2012
- Author(s)
  Takateru EGASHIRA, Toshiro DOI, Syuhei KUROKAWA, Osamu OHNISHI, Michio UNEDA, Isamu KOSHIYAMA, and Daizo ICHIKAWA
- Organizer
  Advanced Metallization Conference 2012
- Place of Presentation
  東京大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[Presentation] デジタル画像相関法を用いたスラリーフローの定量評価研究-揺動制御ラッピング方式におけるスラリーフローと研磨特性の相関関係-2010
- Author(s)
  畝田道雄, 村田慎太郎, 石川憲一
- Organizer
  2010年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
- Place of Presentation
  名古屋大学
- Year and Date
  2010-09-27
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20760090
[Presentation] デジタル画像相関法を用いたスラリーフローの定量評価研究-揺動制御ラッピング方式におけるスラリーフローのベクトル評価-2010
- Author(s)
  畝田道雄, 村田慎太郎, 石川憲一
- Organizer
  砥粒加工学会・先端加工学会共催先端加工ネットワーク2010年度研究・開発成果発表会講演論文集
- Place of Presentation
  金沢工業大学
- Year and Date
  2010-07-16
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20760090
[Presentation] デジタル画像相関法を用いた揺動制御ラッピング方式におけるスラリーフローの定量評価研究2010
- Author(s)
  村田慎太郎, 後閑一洋, 畝田道雄, 石川憲一
- Organizer
  日本機械学会北陸信越支部第39回学生員卒業研究発表講演会講演論文集 59-60
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20760090
[Presentation] デジタル画像相関法を用いた揺動制御ラッピング方式におけるスラリーフローの定量評価研究2010
- Author(s)
  村田慎太郎, 後閑一洋, 畝田道雄, 石川憲一
- Organizer
  社団法人日本機械学会
- Place of Presentation
  新潟大学
- Year and Date
  2010-03-09
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20760090
[Presentation] デジタル画像相関法を用いたスラリーフローの定量評価研究-揺動制御ラッピング方式におけるスラリーフローのベクトル評価-2010
- Author(s)
  畝田道雄, 村田慎太郎, 石川憲一
- Organizer
  砥粒加工学会・先端加工学会共催先端加工ネットワーク 2010年度研究・開発成果発表会講演論文集 47-48
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20760090
[Presentation] デジタル画像相関法を用いたスラリーフローの定量評価研究-揺動制御ラッピング方式におけるスラリーフローと研磨特性の相関関係-2010
- Author(s)
  畝田道雄, 村田慎太郎, 石川憲一
- Organizer
  2010年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 357-358
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20760090
[Presentation] 小径工具を用いた揺動制御ラッピングの研究2009
- Author(s)
  畝田道雄, 成瀬尚, 石川憲一, 諏訪部仁
- Organizer
  2009年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 299-300
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20760090
[Presentation] 小径工具を用いた揺動制御ラッピングの研究2009
- Author(s)
  畝田道雄, 成瀬尚, 石川憲一, 諏訪部仁
- Organizer
  2009年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
- Place of Presentation
  中央大学
- Year and Date
  2009-03-13
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20760090
[Presentation] Study on fixed abrasive lapping characteristics of diamond pellets and optimized simulation of layout method of pellet2008
- Author(s)
  Michio Uneda, Ou Sakai, Ken-ichi Ishikawa, Hitoshi Suwabe
- Organizer
  Proceedings of Spring Meeting of the Japan Society for Precision Engineering
- Place of Presentation
  Meiji University
- Year and Date
  2008-03-25
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18560116
[Presentation] 小径工具を用いた大口径ウェーハの揺動制御ラッピングに関する研究-オーバーラップ時に生じる偏荷重の簡易モデル化と実験検証-2008
- Author(s)
  畝田道雄, 成瀬尚, 石川憲一, 諏訪部仁
- Organizer
  砥粒加工学会北信越ハイテク加工研究分科会2008年度研究・開発成果発表会講演論文集 21-22
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20760090
[Presentation] 複合材料を切断対象とした振動外周刃切断方式の加工特性に関する研究2008
- Author(s)
  畝田道雄, 成瀬尚, 石川憲一, 諏訪部仁
- Organizer
  2008年度精密工学会春季大会学術講演会
- Place of Presentation
  明治大学
- Year and Date
  2008-03-17
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18760105
[Presentation] ダイヤモンドペレットによる固定砥粒研磨加工特性とそれに基づくペレットの最適配置シミュレーションに関する研究2008
- Author(s)
  畝田道雄, 酒井王, 石川憲一, 諏訪部仁
- Organizer
  2008年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
- Place of Presentation
  明治大学
- Year and Date
  2008-03-17
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18560116
[Presentation] 小径工具を用いた揺動制御ラッピングに関する研究-オーバーラップを考慮したウェーバ全面研磨の基礎検討-2008
- Author(s)
  畝田道雄, 成瀬尚, 石川憲一, 諏訪部仁
- Organizer
  2008年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集
- Place of Presentation
  滋賀県立大学
- Year and Date
  2008-09-03
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20760090
[Presentation] 小径工具を用いた揺動制御ラッピングに関する研究-オーバーラップを考慮したウェーハ全面研磨の基礎検討-2008
- Author(s)
  畝田道雄, 成瀬尚, 石川憲一, 諏訪部仁
- Organizer
  2008年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集 21-22
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20760090
[Presentation] 小径工具を用いた大口径ウェーハの揺動制御ラッピングに関する研究-オーバーラップ時に生じる偏荷重の簡易モデル化と実験検証-2008
- Author(s)
  畝田道雄, 成瀬尚, 石川憲一, 諏訪部仁
- Organizer
  砥粒加工学会北信越ハイテク加工研究分科会2008年度研究・開発成果発表会講演論文集
- Place of Presentation
  金沢工業大学
- Year and Date
  2008-07-04
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20760090
[Presentation] Basic study on fixed abrasive lapping characteristics of diamond pellets2007
- Author(s)
  Michio Uneda, Ou Sakai, Ken-ichi Ishikawa, Hitoshi Suwabe
- Organizer
  Proceedings of Meeting of the Hokushinetu Research Committee on High Processing Technology
- Place of Presentation
  Kanazawa Institute of Technology
- Year and Date
  2007-07-06
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18560116
[Presentation] ダイヤモンドペレットによる定圧研削加工特性に関する研究-研削量と研削距離の相関-2007
- Author(s)
  畝田道雄, 酒井王, 石川憲一, 諏訪部仁
- Organizer
  2007年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
- Place of Presentation
  芝浦工業大学
- Year and Date
  2007-03-20
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18560116
[Presentation] Study on Grinding Characteristics of Diamond Pellets-Relation between Grinding Profile and Grinding Distance-2007
- Author(s)
  Michio Uneda, Ou Sakai, Ken-ichi Ishikawa, Hitoshi Suwabe
- Organizer
  Proceedings of Spring Meeting of the Japan Society for Precision Engineering
- Place of Presentation
  Shibaura Institute of Technology
- Year and Date
  2007-03-20
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18560116
[Presentation] ダイヤモンドペレットによる固定砥粒研磨加工特性に関する基礎研究2007
- Author(s)
  畝田道雄, 酒井王, 石川憲一, 諏訪部仁
- Organizer
  砥粒加工学会北信越ハイテク加工研究分科会2007年度研究・開発成果発表会講演論文集
- Place of Presentation
  金沢工業大学
- Year and Date
  2007-07-06
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18560116
[Presentation] ダイヤモンドペレットを用いた固定砥粒研磨加工特性に関する基礎的研究2007
- Author(s)
  畝田道雄, 酒井王, 石川憲一, 諏訪部仁
- Organizer
  2007年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集
- Place of Presentation
  東京工業大学
- Year and Date
  2007-09-05
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18560116
[Presentation] Basic study on fixed abrasive lapping characteristics of diamond pellets2007
- Author(s)
  Michio Uneda, Ou Sakai, Ken-ichi Ishikawa, Hitoshi Suwabe
- Organizer
  Proceedings of Meeting of the Japan Society for Abrasive Technology
- Place of Presentation
  Tokyo Institute of Technology
- Year and Date
  2007-09-05
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18560116
[Presentation] ダイヤモンドペレットによる定圧研削加工特性に関する研究2006
- Author(s)
  畝田道雄, 酒井王, 石川憲一, 諏訪部仁
- Organizer
  2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
- Place of Presentation
  宇都宮大学
- Year and Date
  2006-09-20
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18560116
[Presentation] Basic Study on Grinding Characteristics of Diamond Pellets2006
- Author(s)
  Michio Uneda, Ou Sakai, Ken-ichi Ishikawa, Hitoshi Suwabe
- Organizer
  Proceedings of Meeting of the Hokushinetu Research Committee on High Processing Technology
- Place of Presentation
  Kanazawa Institute of Technology
- Year and Date
  2006-07-07
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18560116
[Presentation] ダイヤモンドペレットによる研削加工特性に関する基礎的研究2006
- Author(s)
  畝田道雄, 酒井王, 石川憲一, 諏訪部仁
- Organizer
  砥粒加工学会北信越ハイテク加工研究分科会2006年度研究・開発成果発表会講演論文集
- Place of Presentation
  金沢工業大学
- Year and Date
  2006-07-07
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18560116
[Presentation] Study on Grinding Characteristics of Diamond Pellets2006
- Author(s)
  Michio Uneda, Ou Sakai, Ken-ichi Ishikawa, Hitoshi Suwabe
- Organizer
  Proceedings of Fall Meeting of the Japan Society for Precision Engineering
- Place of Presentation
  Utsunomiya University
- Year and Date
  2006-09-20
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18560116
[Presentation] Innovation in Chemical Mechanical Polishing(CMP): Plasma Fusion CMP for Highly Efficient Processing of Next-Generation Optoelectronics Single Crystals
- Author(s)
  Hideo Aida, Toshiro Doi, Yasuhisa Sano, Syuhei Kurokawa, Seong Woo Kim, Koki Oyama, Tadakazu Miyashita, Michio Uneda, Osamu Ohnishi, Chengwu Wang
- Organizer
  The 8th Manufacturing Institute for Research on Advanced Initiatives
- Place of Presentation
  Taiwan
- Year and Date
  2015-03-25 – 2015-03-26
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[Presentation] Removal Rate of Plasma Chemical Vaporization Machining of Intentionally Damaged Surface by Mechanical Action
- Author(s)
  K. Shiozawa, Y. Sano, T. Doi, S. Kurokawa, H. Aida, O. Ohnishi, M. Uneda, Y. Okada, and K. Yamauchi
- Organizer
  15th International Conference on Precision Engineering (ICPE2014)
- Place of Presentation
  ホテル日航金沢（石川県金沢市）
- Year and Date
  2014-07-22 – 2014-07-25
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[Presentation] サファイアCMPにおける研磨メカニズムの分析
- Author(s)
  畝田道雄，高野圭市，小山浩司，會田英雄，片倉春治，武居裕樹，石川憲一
- Organizer
  2014年度砥粒加工学会学術講演会
- Place of Presentation
  岩手大学（岩手県盛岡市）
- Year and Date
  2014-09-11 – 2014-09-13
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25420070
[Presentation] 先端的難加工基板の高効率精密加工法の研究（第2報）－疑似ラジカル場を想定した加工変質層の形成によるPCVM加工速度の増大－
- Author(s)
  佐野泰久、土肥俊郎、黒河周平、曾田秀雄、大西修、畝田道雄、岡田悠、西川央明、山内和人
- Organizer
  2013年度精密工学会春季大会学術講演会
- Place of Presentation
  東京工業大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[Presentation] Investigation of Polishing Mechanism of Sapphire-CMP Using Commercially Available Single-Sided Polisher
- Author(s)
  Michio Uneda
- Organizer
  Workshop on Ultra-Precision Processing (WUPP) for Wide-gap Semiconductors 2014
- Place of Presentation
  Hilton Bath City Hotel (英国)
- Year and Date
  2014-08-20 – 2014-08-22
- Invited
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24226005
[Presentation] Investigation of Polishing Mechanism of Sapphire-CMP Using Commercially Available Single-Sided Polisher
- Author(s)
  Michio Uneda
- Organizer
  Workshop on Ultra-Precision Processing for Wide band gap Semiconductors 2014
- Place of Presentation
  Bath, UK
- Year and Date
  2014-08-20 – 2014-08-22
- Invited
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25420070
[Presentation] 先端的難加工基板の高効率精密加工法の研究（第1報）-新しい概念を導入した加工プロセスの提案－
- Author(s)
  土肥俊郎、佐野泰久、黒河周平、曾田秀雄、大西修、畝田道雄
- Organizer
  2013年度精密工学会春季大会
- Place of Presentation
  東京工業大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-24226005

1. ISHIKAWA Ken-ichi (00064452)

# of Collaborated Projects: 4 results

# of Collaborated Products: 30 results
2. SANO Yasuhisa (40252598)

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 14 results
3. SUWABE Hitoshi (40202139)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
4. DOI Toshiro (30207675)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 17 results
5. KUROKAWA Syuhei (90243899)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 14 results
6. OHNISHI Osamu (50315107)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 15 results
7. 鈴木教和 (00359754)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
8. KAJIKURA Atsushi

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
9. NISHIMOTO Yoshinobu

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
10. AIDA Hideo

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 17 results
11. 鍛治倉惇

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results

Uneda Michio 畝田 道雄

UNEDA Michio 畝田 道雄

畝田 道雄 ウネダ ミチオ

Research Projects

Research Products

Co-Researchers

Development of Innovative Robot Polishing Technology by Model Based Simulation and Optimization involving AIPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Review Section

Research Institution

Highly efficient chemical mechanical polishing method for SiC substrates using enhanced slurry containing bubbles of plasma gasPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Proposal and its verification of novel evaluation/ design method of Japanese sword based on scientific elucidation for beauty

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Development of High Efficiency Chemical Mechanical Polishing Method of Hard-to-Process Materials Using Slurry Behavior ControlPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Breakthrough in the ultra-precison polishing process of diamond substrates as an ulimate device

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Development of vibratory OD-blade slicing method with high efficiency and long tool life for composite materials

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Development Study on Ultra Precision Lapping Technique of Large Sized Workpiece by Oscillation Controlled MethodPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

振動スピンドルを用いた振動外周刃切断方式の実用性評価とその超高速切断技術への展開Principal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Development of High Accuracy Process Technique in 4-way System Diamond Pellets Grinding

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

MUSIC等の固有値解析法を用いた高分解能材料欠陥位置標定システムの開発研究Principal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Development of high speed processing silicon slicer using diamond wire tool

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

ミスト化した加工液による高性能外周刃振動切断方式の開発Principal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

[Journal Article] Highly efficient chemical mechanical polishing method for SiC substrates using enhanced slurry containing bubbles of ozone gas2020

Author(s)

Uneda Michio 畝田道雄

UNEDA Michio 畝田道雄

畝田道雄ウネダミチオ