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青木 秀充  アオキ ヒデミツ

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Researcher Number 10419468
Affiliation (based on the past Project Information) *help 2010: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 准教授
2009: Osaka University, 工学研究科, 准教授
2007 – 2008: Osaka University, 大学院・工学研究科, 准教授
Review Section/Research Field
Principal Investigator
Electron device/Electronic equipment / Structural/Functional materials
Keywords
Principal Investigator
LSI / 窒化ホウ素 / 低誘電率 / 配線 / LowK / メチルBN / BCN / ドライエッチング / LSI配線 / 低誘電率(Low-k) … More / メチル窒化ホウ素 / テロ対策 / 粉末 / 安全 / 携帯 / 固体燃料 / ギ酸アンモニウム / 固体高分子型 / 燃料電池 Less
  • Research Projects

    (2 results)
  • Research Products

    (22 results)
  • Co-Researchers

    (2 People)
  •  メチルBN系低誘電率膜のLSI先端配線への応用Principal Investigator

    • Principal Investigator
      青木 秀充
    • Project Period (FY)
      2008 – 2010
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • Research Field
      Electron device/Electronic equipment
    • Research Institution
      Osaka University
  •  カルボン酸系固形燃料を用いたマイクロ燃料電池の研究開発Principal Investigator

    • Principal Investigator
      青木 秀充
    • Project Period (FY)
      2007 – 2008
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Exploratory Research
    • Research Field
      Structural/Functional materials
    • Research Institution
      Osaka University

All 2010 2009 2008 2007

All Journal Article Presentation

  • [Journal Article] メチルBCN膜のRFバイアスによる膜質依存性2009

    • Author(s)
      増住拓朗、原誠、青木秀充、呂志明、木村千春、杉野隆
    • Journal Title

      電子情報通信学会(電子デバイス研究会) 109(81)

      Pages: 15-20

    • NAID

      110007338322

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20360160
  • [Presentation] Methyl-BCN膜の湿度による膜質への影響2010

    • Author(s)
      西崎誠, 原誠, 増住拓郎, 呂志明, 青木秀充, 木村千春, 杉野隆
    • Organizer
      2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      東海大学(平塚市)
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20360160
  • [Presentation] 酸素プラズマ種によるメチルBCN膜の膜質への影響2010

    • Author(s)
      呂志明, 原誠, 増住拓朗, 西崎誠, 木村千春, 青木秀充, 杉野隆
    • Organizer
      2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      東海大学(平塚市)
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20360160
  • [Presentation] Methyl-BCN膜のCMP用薬液による膜質への影響2010

    • Author(s)
      呂志明, 九鬼知博, 西崎誠, 木村千春, 青木秀充
    • Organizer
      第71回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      長崎大学
    • Year and Date
      2010-09-14
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20360160
  • [Presentation] メチルBCN膜のRFバイアスによる膜質依存性2009

    • Author(s)
      増住拓朗, 原誠, 青木秀充, 呂志明, 木村千春, 杉野隆
    • Organizer
      電子情報通信学会 (電子デバイス研究会)2009表面
    • Place of Presentation
      東京工業大学(目黒区)
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20360160
  • [Presentation] CF4を用いた低温ドライエッチングによるMethyl-BCN膜特性への影響2009

    • Author(s)
      原誠, 増住拓朗, 呂志明, 青木秀充, 木村千春, 杉野隆
    • Organizer
      H21年度電気学会関西支部連合大会
    • Place of Presentation
      大阪大学(吹田市)
    • Year and Date
      2009-11-07
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20360160
  • [Presentation] O_2プラズマによるMethyl-BCN膜への影響評価2009

    • Author(s)
      呂志明, 原誠, 増住拓朗, 木村千春, 青木秀充, 杉野隆
    • Organizer
      第23回ダイヤモンドシンポジウム(2009)
    • Place of Presentation
      千葉工業大学(習志野市)
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20360160
  • [Presentation] メチルBCN膜の酸素プラズマアッシングによる膜質への影響評価2009

    • Author(s)
      呂志明, 原誠, 増住拓朗, 青木秀充, 木村千春, 杉野隆
    • Organizer
      H21年度電気学会関西支部連合大会
    • Place of Presentation
      大阪大学(吹田市)
    • Year and Date
      2009-11-07
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20360160
  • [Presentation] 紫外光照射によるMethyl-BCN膜特性への影響評価2009

    • Author(s)
      増住拓朗, 原誠, 呂志明, 青木秀充, 木村千春, 杉野隆
    • Organizer
      H21年度電気学会関西支部連合大会
    • Place of Presentation
      大阪大学(吹田市)
    • Year and Date
      2009-11-07
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20360160
  • [Presentation] UV照射に対するMethyl-BCN膜の特性評価2009

    • Author(s)
      増住拓朗, 原誠, 呂志明, 青木秀充, 木村千春, 杉野隆
    • Organizer
      2009年秋季第70回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      富山大学(富山市)
    • Year and Date
      2009-09-09
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20360160
  • [Presentation] 還元水による析出Pt触媒を用いたギ酸アンモニウム燃料電池の基礎評価2009

    • Author(s)
      新田智弘, 青木秀充, 木村千春, 杉野隆
    • Organizer
      2009年春季第56回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      筑波大学
    • Year and Date
      2009-03-31
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-19656181
  • [Presentation] 低温ドライエッチングを用いたMethyl-BCN膜の特性評価2009

    • Author(s)
      原誠, 増住拓朗, 呂志明, 青木秀充, 木村千春, 杉野隆
    • Organizer
      2009年秋季第70回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      富山大学(富山市)
    • Year and Date
      2009-09-09
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20360160
  • [Presentation] メチルBCN膜の酸素プラズマアッシングによる膜質への影響評価2009

    • Author(s)
      呂志明, 原誠, 増住拓朗, 青木秀充, 木村千春, 杉野隆
    • Organizer
      2009年秋季第70回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      富山大学(富山市)
    • Year and Date
      2009-09-09
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20360160
  • [Presentation] TMABを用いたH含有BCN膜のRFパワー依存性2008

    • Author(s)
      増住拓朗 原誠 渡邊大祐 木村千春 青木秀充杉野隆
    • Organizer
      電気学会関西支部連合大会(2008)
    • Place of Presentation
      京都工芸繊維大学
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20360160
  • [Presentation] BCN膜へのCu電解メッキ液による影響2008

    • Author(s)
      渡邊大祐, 青木秀充, 原 誠, M. K. マズンデル, 増住拓郎, 大井直樹, 木村千春, 杉野 隆
    • Organizer
      2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      中部大学
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20360160
  • [Presentation] ギ酸アンモニウム燃料を用いた燃料電池特性の評価2008

    • Author(s)
      大山和俊、新田智弘、木村千春、青木秀充、杉野隆
    • Organizer
      2008年春季第55回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      日本大学
    • Year and Date
      2008-03-27
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-19656181
  • [Presentation] TMABで作製したメチル窒化ホウ素膜のRFパワー依存性2008

    • Author(s)
      増住拓朗, 原誠, 渡邊大祐, 木村千春, 青木秀充, 杉野隆
    • Organizer
      第22回ダイヤモンドシンポジウム(2008)
    • Place of Presentation
      早稲田大学
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20360160
  • [Presentation] TMABを用いたMethyl doped BN膜のRFパワー依存性2008

    • Author(s)
      増住拓朗, 原誠, M. K. マズンデル, 木村千春, 青木秀充, 杉野 隆
    • Organizer
      2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      中部大学
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20360160
  • [Presentation] ギ酸アンモニウム燃料電池を用いた酸化活性の温度依存性2008

    • Author(s)
      新田智弘, 青木秀充, 木村千春, 杉野隆
    • Organizer
      2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      中部大学
    • Year and Date
      2008-09-03
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-19656181
  • [Presentation] Pt-Pd触媒を用いたギ酸アンモニウム燃料電池の基礎評価2008

    • Author(s)
      新田智弘, 大山和俊, 木村千春, 青木秀充, 杉野隆
    • Organizer
      2008年春季第55回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      日本大学
    • Year and Date
      2008-03-27
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-19656181
  • [Presentation] 配線プロセスのためのBCN薄膜上への積層メタル層評価2008

    • Author(s)
      原誠, 増住拓朗, M. K. マズンデル, 渡邊大祐, 木村千春, 青木秀充, 杉野 隆
    • Organizer
      2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      中部大学
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20360160
  • [Presentation] Pt-Ir触媒を用いたギ酸アンモニウム燃料電池の特性評価2007

    • Author(s)
      大山和俊 木村千春 青木秀充 杉野隆
    • Organizer
      電気学会関西支部連合大会
    • Place of Presentation
      神戸大学
    • Year and Date
      2007-11-21
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-19656181
  • 1.  杉野 隆 (90206417)
    # of Collaborated Projects: 2 results
    # of Collaborated Products: 21 results
  • 2.  木村 千春 (90372630)
    # of Collaborated Projects: 2 results
    # of Collaborated Products: 22 results

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