Kanda Kensuke 神田健介

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KANDA Kensuke 神田健介

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Researcher Number	20446735
Other IDs	https://orcid.org/0000-0002-2395-120X
Affiliation (Current)	2025: 兵庫県立大学, 工学研究科, 教授
Affiliation (based on the past Project Information) *help	2019 – 2024: 兵庫県立大学, 工学研究科, 准教授 2016 – 2019: 兵庫県立大学, 工学研究科, 助教 2014 – 2015: 兵庫県立大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 2012: 兵庫県立大学, 大学院・工学研究科, 助教 2012: 兵庫県立大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 2011: 兵庫県立大学, 工学研究科, 助教 2008 – 2009: Tokyo Metropolitan University, システムデザイン研究科, 客員研究員
Review Section/Research Field	Principal Investigator Intelligent mechanics/Mechanical systems / Basic Section 20020:Robotics and intelligent system-related / Fluid engineering Except Principal Investigator Basic Section 20020:Robotics and intelligent system-related / Basic Section 28050:Nano/micro-systems-related / Basic Section 26030:Composite materials and interfaces-related
Keywords	Principal Investigator MEMS / 圧電薄膜 / 薄膜 / マイクロマシン / マイクロ・ナノシステム / センサ / アクチュエータ / PZT / 磁性体薄膜 / 微細加工 … More / 強磁性体 / 強誘電体 / 半導体製造プロセス / ハーベスタ / 自律センサ / エナジーハーベスタ / 非線形振動 / 振動発電 / 磁石 / 圧電 / 非線形効果 / 振動発電素子 / 磁石薄膜 / 無線電力伝送 / エナジーハーベスティング / フレキシブル / 触覚デバイス / インターフェース / ハプティックス / 触覚ディスプレイ / MEMS・マイクロマシン / IoT / 触覚アクチュエータ / チタン酸ジルコン酸鉛 / 多層積層 / 多層成膜 / バイモルフ / ナノメカトロニクス / マイクロ / マイクロチャネル / 量子ドット / マイクロチャンネル / 生体物質位置測定 / 全反射蛍光法 / 粒子追跡 … More Except Principal Investigator MEMS / ひずみゲージ / マイクロヒータ / 温冷覚センサ / 振動覚センサ / 触覚センサ / 二酸化バナジウム / 荷重分布計測 / 圧電センサ / 電力伝送 / エナジーハーベスタ / 圧電体薄膜 / NiCr / PZT / カンチレバー / 圧電素子 / マルチモーダル / 界面構造 / 電気磁気効果 / マルチフェロイック複合体 / マイクロピラー型 / 複合体 / 交差相関 / 強磁性 / 強誘電性 / マイクロピラー型構造 / MOCVD法 / マルチフェロイクス / 電気磁気結合現象 / 電気磁気電圧係数 / ピラー型複合体薄膜 / 有機金属化学気相堆積法 / 反応性イオンエッチング / 高温スパッタ法 / マルチフェロイック材料 Less

医療・介護IoTデバイスのためのMEMS振動型エナジーハーベスタによる電力伝送
- Principal Investigator
  
  藤田孝之
- Project Period (FY)
  2022 – 2024
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Review Section
  
  Basic Section 28050:Nano/micro-systems-related
- Research Institution
  University of Hyogo
Combined Micro Tactile Sensor Chip with Mechanical and Warm-cold Stimulations Mimicking Frequency and Spatial Characteristics of Human Receptors
- Principal Investigator
  
  寒川雅之
- Project Period (FY)
  2022 – 2025
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Review Section
  
  Basic Section 20020:Robotics and intelligent system-related
- Research Institution
  Niigata University
Piezoelectric/Ferromagnetic thin-film integration for wide-band MEMS energy harvesting devicesPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  神田健介
- Project Period (FY)
  2020 – 2024
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Review Section
  
  Basic Section 20020:Robotics and intelligent system-related
- Research Institution
  University of Hyogo
Development of Micro Tactile Sensor Chip Including Pressure, Vibration, and Temperature Sensations
- Principal Investigator
  
  Sohgawa Masayuki
- Project Period (FY)
  2019 – 2021
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Review Section
  
  Basic Section 20020:Robotics and intelligent system-related
- Research Institution
  Niigata University
Development of nano-pillar type multiferroic composite materials using microfabrication technique
- Principal Investigator
  
  KOBUNE MASAFUMI
- Project Period (FY)
  2018 – 2020
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Review Section
  
  Basic Section 26030:Composite materials and interfaces-related
- Research Institution
  University of Hyogo
Development of thin-film based PiezoMEMS haptic devicesPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  Kanda Kensuke
- Project Period (FY)
  2017 – 2019
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Intelligent mechanics/Mechanical systems
- Research Institution
  University of Hyogo
Multilayer deposition of PZT thin films and application to MEMS devicesPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  Kanda Kensuke
- Project Period (FY)
  2014 – 2016
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Intelligent mechanics/Mechanical systems
- Research Institution
  University of Hyogo
Characterization and Application of Thin-Film PZT/PZT BimorphPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  KANDA Kensuke
- Project Period (FY)
  2011 – 2012
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
- Research Field
  
  Intelligent mechanics/Mechanical systems
- Research Institution
  University of Hyogo
Three-dimensional direct measurement of biological substances near-surface regionPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  KANDA Kensuke
- Project Period (FY)
  2007 – 2009
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
- Research Field
  
  Fluid engineering
- Research Institution
  Tokyo Metropolitan University

[Book] ＶＲ／ＡＲ技術の開発動向と最新応用事例　第3章第3節2018
- Author(s)
  神田健介
- Total Pages
  8
- Publisher
  技術情報協会
- ISBN
  9784861046940
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[Book] Measurement and Control of Motion of Nanoparticles in Microchannel2009
- Author(s)
  T. Mizukoshi, K. Kanda, S. Ogata, M. Yang
- Publisher
  (CD-ROM)
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20760113
[Book] マイクロ流路中におけるナノ粒子挙動の測定と制御2009
- Author(s)
  水越拓真、神田健介、楊明
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20760113
[Book] Near-wall Nanoparticles Perpendicular Distribution Measured by using an Evanescent Illumination2009
- Author(s)
  Y. Kono, K. Kanda, S. Ogata, M. Yang
- Publisher
  (CD-ROM)
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20760113
[Book] エバネッセント光を用いた壁面近傍におけるナノ粒子の濃度分布の計測2009
- Author(s)
  河野雄飛、神田健介、小方聡、楊明
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20760113
[Journal Article] Simple Prediction of Nonlinear Frequency Response for MEMS Diaphragm with Initial Deformation2023
- Author(s)
  Kanda Kensuke、Kajiyama Yoshitaka、Hirata Yoshiaki、Shimakura Yasuhisa、Fujita Takayuki、Maenaka Kazusuke
- Journal Title
  
  IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines
  
  Volume: 143 Issue: 6 Pages: 137-142
- DOI
  10.1541/ieejsmas.143.137
- ISSN
  1341-8939, 1347-5525
- Year and Date
  2023-06-01
- Language
  Japanese
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[Journal Article] Stress Concentration Relief Structure Using Micro-Loading Effect for Cantilever Beam Vibration Energy Harvesters2023
- Author(s)
  Yokota Takahito、Kanda Kensuke、Fujita Takayuki、Maenaka Kazusuke
- Journal Title
  
  IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines
  
  Volume: 143 Issue: 8 Pages: 256-261
- DOI
  10.1541/ieejsmas.143.256
- ISSN
  1341-8939, 1347-5525
- Year and Date
  2023-08-01
- Language
  Japanese
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[Journal Article] Hetero Integration of Ferromagnetic NdFeB and Piezoelectric PZT for Vibratory MEMS Energy Harvesting Devices2022
- Author(s)
  Takeda Kohei、Shichiri Ai、Kanda Kensuke、Fujita Takayuki、Maenaka Kazusuke
- Journal Title
  
  IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines
  
  Volume: 142 Issue: 4 Pages: 56-62
- DOI
  10.1541/ieejsmas.142.56
- ISSN
  1341-8939, 1347-5525
- Year and Date
  2022-04-01
- Language
  Japanese
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[Journal Article] Piezoelectric MEMS Energy Harvester from Airflow at Low Flow Velocities2022
- Author(s)
  Kanda Kensuke、Aiba Takashi、Maenaka Kazusuke
- Journal Title
  
  Sensors and Materials
  
  Volume: 34 Issue: 5 Pages: 1879
- DOI
  10.18494/SAM3867
- ISSN
  0914-4935, 2435-0869
- Year and Date
  2022-05-24
- Language
  English
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[Journal Article] Characteristics of Sputtered Lead Zirconate Titanate Thin Films With Different Layer Configurations and Large Thickness2021
- Author(s)
  Kanda Kensuke、Koyama Tsukasa、Yoshimura Takeshi、Murakami Shinichi、Maenaka Kazusuke
- Journal Title
  
  IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control
  
  Volume: 68 Issue: 5 Pages: 1988-1993
- DOI
  10.1109/tuffc.2020.3039230
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[Journal Article] Effects of Pt Sacrificial Layer on Microfabrication in Layered Bismuth-Based Ferroelectric Thin Films2020
- Author(s)
  T. Obayashi, M. Kobune, T. Matsunaga, R. Ito, T. Migita, T. Kikuchi, K. Kanda, and K. Maenaka
- Journal Title
  
  Trans. Mat. Res. Soc. Japan
  
  Volume: 45 Pages: 31-34
- NAID
  130007826043
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01724
[Journal Article] Fabrication and Physical Properties of Microrod-Type Multiferroic Composite Thin Films by Metal Organic Decomposition2020
- Author(s)
  M. Kobune, M. Yoshii, H. Takasaki, R. Ito, T. Migita, K. Kanda, K. Maenaka, and Y. Hayashi
- Journal Title
  
  Jpn. J. Appl. Phys.
  
  Volume: 59 Issue: SP Pages: SPPB06-SPPB06
- DOI
  10.35848/1347-4065/aba553
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01724
[Journal Article] Effects of Substrate Temperature on Physical Properties of Microrod-Type Multiferroic Composite Thin Films Fabricated by Metal Organic Chemical Vapor Deposition2020
- Author(s)
  T. Migita, M. Kobune, R. Ito, T. Obayashi, H. Takasaki, R. Ito, T. Kikuchi, H. Fujisawa, K. Kanda, K. Maenaka, and Y. Hayashi
- Journal Title
  
  Jpn. J. Appl. Phys.
  
  Volume: 59 Issue: SP Pages: SPPB08-SPPB08
- DOI
  10.35848/1347-4065/aba9b4
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01724
[Journal Article] Effects of Pt Sacrificial Layer on Microfabrication in Layered Bismuth-based Ferroelectric Thin Films2020
- Author(s)
  T. Obayashi, M. Kobune, T. Matsunaga, R. Ito, T. Migita, T.　Kikuchi, K. Kanda, and K. Maenaka
- Journal Title
  
  Trans. Mat. Res. Soc. Japan
  
  Volume: 45
- NAID
  130007826043
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01724
[Journal Article] Fabrication and Characterization of Micropillar-type Multiferroic Composite Thin Films by Non-aqueous Sol-gel Method Using Ferroelectric Pillars2020
- Author(s)
  R. Ito, M. Kobune, M. Yoshii, R. Ito, Y. Haruna, T. Obayashi, T. Migita, T. Kikuchi, K. Kanda, and K. Maenaka
- Journal Title
  
  Jpn. J. Appl. Phys.
  
  Volume: 59 Issue: SC Pages: SCCB08-SCCB08
- DOI
  10.7567/1347-4065/ab4aa1
- NAID
  210000157269
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01724
[Journal Article] Tactile Device Based on Piezoelectric MEMS 2<sup>nd</sup> Report: Structural Improvements2019
- Author(s)
  Kanda Kensuke、Toyama So、Takahara Kosuke、Fujita Takayuki、Maenaka Kazusuke
- Journal Title
  
  IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines
  
  Volume: 139 Issue: 11 Pages: 369-374
- DOI
  10.1541/ieejsmas.139.369
- NAID
  130007740440
- ISSN
  1341-8939, 1347-5525
- Year and Date
  2019-11-01
- Language
  English
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[Journal Article] Influence of design parameters on performance of piezoelectric MEMS energy harvesting2019
- Author(s)
  Hirai Shota、Kanda Kensuke、Fujita Takayuki、Maenaka Kazusuke
- Journal Title
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  Volume: 58 Issue: SL Pages: SLLD07-SLLD07
- DOI
  10.7567/1347-4065/ab362f
- NAID
  210000156827
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[Journal Article] Fabrication and characterization of micropillar-type multiferroic composite thin films by metal organic chemical vapor deposition using a ferroelectric microplate structure2019
- Author(s)
  T. Migita, M. Kobune, R. Ito, T. Obayashi, T. Kikuchi, H. Fujisawa, K. Kanda, K. Maenaka, H. Nishioka, N. Fukumuro, and Shinji Yae
- Journal Title
  
  J. Appl. Phys.
  
  Volume: 59 Issue: SC Pages: 1-5
- DOI
  10.7567/1347-4065/ab4a98
- NAID
  210000157266
- Peer Reviewed / Open Access
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K12383, KAKENHI-PROJECT-18H01724
[Journal Article] Piezoelectric MEMS with Tactile Stimulation and Displacement Sensing Functions2018
- Author(s)
  K. Kanda, K. Takahara, S. Toyama, T. Fujita, K. Maenaka
- Journal Title
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  Volume: 57 Issue: 11S Pages: 11UF14-11UF14
- DOI
  10.7567/jjap.57.11uf14
- NAID
  210000149823
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[Journal Article] Piezoelectric MEMS with Multilayered Pb(Zr,Ti)O3 Thin films for Energy Harvesting2018
- Author(s)
  K. Kanda, S. Hirai, T. Fujita, K. Maenaka
- Journal Title
  
  Sensors and Actuators A
  
  Volume: 281 Pages: 229-235
- DOI
  10.1016/j.sna.2018.09.018
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[Journal Article] Tactile Device Based on Piezoelectric MEMS by Using a PZT/Polymer Laminated Structure2017
- Author(s)
  K. Kanda, T. Okubo, M. Shima, T. Fujita, K. Maenaka
- Journal Title
  
  電気学会論文誌E
  
  Volume: 137
- Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[Journal Article] 超音波トランスデューサを指向したPb(Zr,Ti)O3薄膜の多層積層成膜2017
- Author(s)
  中本翔満，佐野良，神田健介，藤田孝之，前中一介
- Journal Title
  
  電気学会論文誌E
  
  Volume: 137
- NAID
  130006110314
- Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[Journal Article] Three-dimensional piezoelectric MEMS actuator by using sputtering deposition of Pb(Zr,Ti)O3 on microstructure sidewalls2017
- Author(s)
  Kensuke Kanda, Shingo Moriue, Takayuki Fujita and Kazusuke Maenaka
- Journal Title
  
  Smart Matrials and Structures
  
  Volume: 26 Issue: 4 Pages: 045019-045019
- DOI
  10.1088/1361-665x/aa61eb
- Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[Journal Article] Fabrication of Multilayer Pb(Zr,Ti)O3 Thin Film Structure Using Sputtering Deposition for MEMS Actuator Applications2015
- Author(s)
  R. Sano, J-I. Inoue, K. Kanda, T. Fujita, K. Maenaka,
- Journal Title
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  Volume: 54 Issue: 10S Pages: 10ND03-10ND03
- DOI
  10.7567/jjap.54.10nd03
- Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant / Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[Journal Article] Thin-Film Piezoelectric Bimorph Actuators with Increased Thickness Using Double Pb[Zr,Ti]O3 Layers2015
- Author(s)
  J-I. Inoue, K. Kanda, T. Fujita, K. Maenaka
- Journal Title
  
  Journal of Micromechanics and Microengineering
  
  Volume: 25 Issue: 5 Pages: 055001-055001
- DOI
  10.1088/0960-1317/25/5/055001
- Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[Journal Article] Influence of Parasitic Capacitance on Output Voltage for Series-Connected Thin-Film Piezoelectric Devices2012
- Author(s)
  Kensuke Kanda
- Journal Title
  
  Sensors
  
  Volume: 12 Issue: 12 Pages: 16673-16684
- DOI
  10.3390/s121216673
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23760233
[Journal Article] Fabrication and Characterization of Double Layer Pb(Zr,Ti)O3 Thin Films for Micro-Electromechanical Systems2012
- Author(s)
  Kensuke Kanda
- Journal Title
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  Volume: 51 Issue: 9S1 Pages: 09LD12-09LD12
- DOI
  10.1143/jjap.51.09ld12
- NAID
  210000141262
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23760233
[Journal Article] エバネッセント光による壁面極近傍の流動測定に関する研究(高分子添加がマイクロチャンネル内流れに及ぼす影響)2008
- Author(s)
  小方聡, 神田健介, 小野塚琢也, 楊明
- Journal Title
  
  日本機械学会論文集B編 74
  
  Pages: 2452-2458
- NAID
  110007008050
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20760113
[Presentation] PZT薄膜の厚膜化によるエナジーハーベスタ2024
- Author(s)
  神田健介
- Organizer
  電子セラミック・プロセス研究会第199回研究会
- Invited
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[Presentation] 振動型MEMSハーベスタを用いた低周波磁界結合による無線電力伝送2024
- Author(s)
  野村明弘，神田健介，藤田孝之，前中一介
- Organizer
  電気学会交通・電気鉄道/マイクロマシン・センサシステム合同研究会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[Presentation] 振動型MEMSハーベスタを用いた低周波磁界結合による無線電力伝送2024
- Author(s)
  野村明弘, 神田健介, 藤田孝之, 前中一介
- Organizer
  交通・電気鉄道/マイクロマシン・センサシステム合同研究会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22K04897
[Presentation] ヒトのように検知可能なひずみゲージ圧電体複合集積化触覚センサの時間応答特性評価2024
- Author(s)
  耿至カイ, 水戸部龍介, 安部隆, 神田健介, 寒川雅之
- Organizer
  令和6年電気学会全国大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K22713
[Presentation] MEMS両持ちはりの共振特性2023
- Author(s)
  赤松儀優, 神田健介, 前中一介
- Organizer
  2023年応用物理学会春季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[Presentation] 共振振動による圧電MEMS触覚デバイス2023
- Author(s)
  神田健介
- Organizer
  令和5年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会
- Invited
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K22713
[Presentation] ハーモニカリード型MEMS 発電素子の反りが自励振動に及ぼす影響2023
- Author(s)
  吉田智郎, 志水駿文, 神田健介, 前中一介
- Organizer
  第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[Presentation] MEMS圧電薄膜による飛翔デバイスの試作2023
- Author(s)
  田中雄樹, 神田健介, 前中一介
- Organizer
  令和5年度電気学会全国大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[Presentation] MEMS Cantilevered Energy Harvester with Tapered Thickness for Stress Control2023
- Author(s)
  Takahito Yokota; Kensuke Kanda; Takayuki Fujita; Kazusuke Maenaka
- Organizer
  2023 IEEE 36th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22K04897
[Presentation] 圧電薄膜の微細加工によるインピーダンス変換とMEMS応用2023
- Author(s)
  神田健介
- Organizer
  第160回フロンティア材料研究所学術講演会/第27回未来技術研究所生体医歯工公開セミナー
- Invited
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[Presentation] 固有値解析によるMEMS 構造での非線形周波数応答予測2023
- Author(s)
  赤松儀優, 神田健介, 前中一介
- Organizer
  第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[Presentation] 落下液滴による圧電振動型ハーベスタ2023
- Author(s)
  成田裕樹, 神田健介, 前中一介
- Organizer
  応用物理学会集積化MEMS技術研究会第15回集積化MEMS シンポジウム
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[Presentation] 滴下衝突を利用した圧電MEMSエナジーハーベスタ2023
- Author(s)
  成田裕樹，神田健介，前中一介
- Organizer
  令和5年度電気学会E部門総合研究会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[Presentation] MEMS CANTILEVERED ENERGY HARVESTER WITH TAPERED THICKNESS FOR STRESS CONTROL2023
- Author(s)
  T. Yokota, K. Kanda, T. Fujita, K. Maenaka
- Organizer
  IEEE MEMS 2023
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[Presentation] 機械的弱結合によるハーベスタの出力向上とその等価回路モデル2023
- Author(s)
  野村明弘, 神田健介, 前中一介
- Organizer
  応用物理学会集積化MEMS技術研究会第15回集積化MEMS シンポジウム
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[Presentation] ハーモニカリード型MEMS発電素子の振動特性2023
- Author(s)
  志水駿文, 神田健介, 前中一介
- Organizer
  2023年応用物理学会春季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[Presentation] バタフライ形状を持つ圧電MEMS振動ハーベスタ2023
- Author(s)
  野村明弘，神田健介，横田隆人，前中一介
- Organizer
  令和5年度電気学会E部門総合研究会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[Presentation] 固有値解析によるMEMS 構造での非線形周波数応答予測2023
- Author(s)
  赤松儀優, 神田健介, 前中一介
- Organizer
  第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K22713
[Presentation] 共振振動による圧電MEMS触覚デバイス2023
- Author(s)
  神田健介
- Organizer
  令和5年電気学会基礎・材料・共通部門大会
- Invited
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[Presentation] 初期ひずみを持つダイアフラム構造の非線形周波数特性の簡易的予測2022
- Author(s)
  神田健介，梶山佳敬、平田善明，島倉泰久，藤田孝之，前中一介
- Organizer
  第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[Presentation] 片持ちはり振動型エナジーハーベスタのためのマイクロローディング効果を利用した応力集中緩和構造2022
- Author(s)
  横田隆人，神田健介，藤田孝之，前中一介
- Organizer
  第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[Presentation] タイヤトレッドの固有振動で発電する圧電MEMSデバイス2022
- Author(s)
  横田隆人，前中一介，神田健介，藤田孝之
- Organizer
  応用物理学会第12回集積化MEMS技術研究ワークショップ
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[Presentation] Mechanical and Process Design for Piezoelectric MEMS Energy Harvesters2022
- Author(s)
  K. Kanda and K. Maenaka
- Organizer
  IWPMA 2022
- Invited / Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[Presentation] 自律センサのためのMEMSエナジーハーベスティング2022
- Author(s)
  神田健介
- Organizer
  令和4年度電気関係学会関西連合大会
- Invited
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[Presentation] Thickness Control of Cantilever Beam for Robust and High-Power Mems Energy Harvester2022
- Author(s)
  Takahito Yokota; Kensuke Kanda; Takayuki Fujita; Kazusuke Maenaka
- Organizer
  2022 21st International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS)
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22K04897
[Presentation] THICKNESS CONTROL OF CANTILEVER BEAM FOR ROBUST AND HIGH-POWER MEMS ENERGY HARVESTER2022
- Author(s)
  T. Yokota, K. Kanda, T. Fujita, K. Maenaka
- Organizer
  PowerMEMS 2022
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[Presentation] ハーモニカリード型圧電MEMSによる気流からの振動発電2022
- Author(s)
  神田健介，饗庭岳，前中一介
- Organizer
  弾性波素子コンソーシアム第7回研究会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[Presentation] 風から発電する圧電MEMS振動発電素子2022
- Author(s)
  神田健介，饗庭岳，前中一介
- Organizer
  電気学会E部門総合研究会MSS研究会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[Presentation] タイヤ固有振動で発電する圧電MEMSデバイス2022
- Author(s)
  横田隆人，神田健介，藤田孝之，前中一介
- Organizer
  電気学会E部門総合研究会MSS研究会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[Presentation] ひずみゲージ・圧電体薄膜を集積した検知素子を持つ触覚センサの作製および複数検知素子の同時計測評価2022
- Author(s)
  水戸部龍介、佐藤淳喜、安部隆、神田健介、寒川雅之
- Organizer
  第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K22713
[Presentation] タイヤ固有振動で発電する圧電MEMSデバイス2021
- Author(s)
  横田隆人，前中一介，神田健介，藤田孝之
- Organizer
  第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[Presentation] Si基板上における強磁性NdFeBと圧電PZTのヘテロ集積2021
- Author(s)
  武田光平，七里愛，神田健介，藤田孝之，前中一介
- Organizer
  第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[Presentation] Piezoelectric MEMS Energy Harvesting from Tire Tread Acceleration2021
- Author(s)
  T. Yokota, K. Maenaka, K. Kanda, T. Fujita
- Organizer
  8th Int. Workshop PiezoMEMS
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[Presentation] 多層PZT薄膜とその応用2021
- Author(s)
  神田健介
- Organizer
  第11回集積化MEMSワークショップ
- Invited
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[Presentation] Piezoelectric MEMS Mirror for Endoscope and Its Driving Integrated Circuit2021
- Author(s)
  R. Shimada, Y. Kitada, K. Kanda, T. Fujita, K. Maenaka
- Organizer
  8th Int. Workshop PiezoMEMS
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[Presentation] c軸配向強誘電体マイクロロッド薄膜を用いるMOCVD-マルチフェロイック複合体薄膜の作製と特性評価2020
- Author(s)
  久保田耕平, 小舟正文, 大林泰貴, 高﨑英幸, 伊藤稜, 右田翼, 菊池丈幸, 藤沢浩訓, 神田健介, 前中一介
- Organizer
  2020年日本セラミックス協会年会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01724
[Presentation] Effects of Pt Sacrificial Layer on Microfabrication in Layered Bismuth-Based Ferroelectric Thin Films2020
- Author(s)
  右田翼、小舟正文、高﨑英幸、伊藤稜、菊池丈幸、藤沢浩訓、神田健介、前中一介
- Organizer
  第81回応用物理学会秋季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01724
[Presentation] 有機金属化学気相堆積法を用いて作製したマイクロロッド型マルチフェロイック複合体薄膜の諸特性に及ぼす基板温度の影響2020
- Author(s)
  右田翼、小舟正文、伊藤涼雅、大林泰貴、高﨑英幸、伊藤稜、菊池丈幸、藤沢浩訓、神田健介、前中一介
- Organizer
  第37回強誘電体応用会議(FMA-37)
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01724
[Presentation] 有機金属分解法によるマイクロロッド型マルチフェロイック複合体薄膜の作製とその諸特性2020
- Author(s)
  小舟正文、高﨑英幸、吉井正光、伊藤稜、右田翼、菊池丈幸、神田健介、前中一介
- Organizer
  第37回強誘電体応用会議(FMA-37)
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01724
[Presentation] a軸配向強誘電体マイクロロッド薄膜を用いるMOCVD-マルチフェロイック複合体薄膜の作製と特性評価2020
- Author(s)
  小湊大輝, 小舟正文, 伊藤涼雅, 高﨑英幸, 伊藤稜, 右田翼, 菊池丈幸, 藤沢浩訓, 神田健介, 前中一介
- Organizer
  2020年日本セラミックス協会年会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01724
[Presentation] ひずみゲージ・圧電体薄膜集積触覚センサの検知部形状の設計・評価2020
- Author(s)
  GONG LIQIANG, 高橋春暁, 安部隆, 神田健介, 寒川雅之
- Organizer
  第11回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K04290
[Presentation] 内視鏡を指向した2軸小型圧電MEMSミラー2020
- Author(s)
  嶋田倫太郎，神田健介，藤田孝之，前中一介
- Organizer
  第67回応用物理学会春季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[Presentation] 樹脂/薄膜PZT構造体を用いたMEMS1Dアレイ触覚ディスプレイ2019
- Author(s)
  髙原光將，ハズワニ B. M. ナシル，神田健介，藤田孝之，前中一介
- Organizer
  第80回応用物理学会秋季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[Presentation] 自律センサを指向した電圧増倍による圧電MEMSハーベスタ2019
- Author(s)
  饗庭岳，平井翔太，神田健介，藤田孝之，前中一介
- Organizer
  電気学会交通・電気鉄道/マイクロマシン・センサシステム合同研究会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[Presentation] 圧電MEMSエナジーハーベスタの高出力化と設計パラメータに関する考察2019
- Author(s)
  平井翔太，神田健介，藤田孝之，前中一介
- Organizer
  第36回強誘電体応用会議
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[Presentation] 反応性イオンエッチング法によるビスマス層状構造強誘電体薄膜の微細加工及び特性評価2019
- Author(s)
  大林泰貴, 小舟正文, 松永拓也, 伊藤稜, 右田翼, 菊池丈幸, 神田健介, 前中一介
- Organizer
  第29回日本MRS年次大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01724
[Presentation] Series-connected piezoelectric MEMS Energy harvester for voltage multiplication2019
- Author(s)
  T. Aiba, S. Hirai, K. Kanda, T. Fujita, and K. Maenaka
- Organizer
  The 19th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS 2019)
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[Presentation] Fabrication and Characterization of Micropillar-type Multiferroic Composite Thin Films Produced by Non-aqueous Sol-gel Method Using a Ferroelectric Microrod Structure2019
- Author(s)
  R. Ito, M. Kobune, M. Yoshii, R. Ito, Y. Haruna, T. Migita, T. Obayashi, T. Kikuchi, K. Kanda, and K. Maenaka
- Organizer
  The 7th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO 2019)
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01724
[Presentation] ひずみ・圧電触覚センサのためのPDMS封止カンチレバーによる荷重・振動検知2019
- Author(s)
  高橋春暁, 安部隆, 神田健介, 寒川雅之
- Organizer
  第10回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-19K04290
[Presentation] 反応性イオンエッチング法によるビスマス層状構造強誘電体薄膜の微細加工2019
- Author(s)
  伊藤稜, 小舟正文, 松永拓也, 右田翼, 菊池丈幸, 神田健介, 前中一介
- Organizer
  2019年日本セラミックス協会年会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01724
[Presentation] Fabrication and Characterization of Micropillar-type Multiferroic Composite Thin Films Produced by Metal Organic Chemical Vapor Deposition Using a Ferroelectric Microplate Structure2019
- Author(s)
  T. Migita, M. Kobune, R. Ito, T. Obayashi, T. Kikuchi, H. Fujisawa, K. Kanda, and K. Maenaka
- Organizer
  The 7th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO 2019)
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01724
[Presentation] ビスマス層状構造強誘電体薄膜の微細加工に及ぼすPt犠牲層の影響2019
- Author(s)
  高﨑英幸, 小舟正文, 宅和知隼, 大林泰貴, 松永拓也, 伊藤稜, 右田翼, 菊池丈幸, 神田健介, 前中一介
- Organizer
  化学工学会姫路大会2019
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01724
[Presentation] 反応性イオンエッチング法による非鉛強誘電体薄膜の微細加工技術の開発2018
- Author(s)
  松永拓也, 小舟正文, 菊池丈幸, 神田健介, 前中一介
- Organizer
  第13回日本セラミックス協会関西支部学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18H01724
[Presentation] 多層PZT薄膜を用いた圧電エナジーハーベスタおよび回路シミュレータモデル2018
- Author(s)
  平井翔太, 神田健介, 藤田孝之, 前中一介
- Organizer
  第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[Presentation] 多層PZT薄膜によるMEMSエナジーハーベスタ試作2018
- Author(s)
  平井翔太，神田健介，佐野良，藤田孝之，前中一介
- Organizer
  第65回応用物理学会春季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[Presentation] MEMS Tactile Device by Using Multilayerd Piezoelectric Thin Film2018
- Author(s)
  S. Toyama, K. Kanda, K. Takahara, T. Fujita, K. Maenaka
- Organizer
  International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators (IWPMA 2018)
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[Presentation] センサ付き圧電MEMS触覚提示デバイスによる接触実験およびそのモデル化2018
- Author(s)
  髙原光將, 遠山蒼, 神田健介, 藤田孝之, 前中一介
- Organizer
  第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[Presentation] PZT/PI積層構造を用いた圧電MEMS触覚デバイス2018
- Author(s)
  遠山蒼, 髙原光將, 神田健介, 藤田孝之, 前中一介
- Organizer
  第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[Presentation] Validation of Output Voltage Multiplication by Using Series-Connected Piezoelectric Elements for Physical Sensors2018
- Author(s)
  K. Kanda, T. Ushita, T. Fujita, K. Maenaka
- Organizer
  The 31st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[Presentation] MEMS ENERGY HARVESTING BASED ON UNIFORM-STRESS CANTILEVER WITH MULTILAYER PZT THIN FILMS2018
- Author(s)
  S. Hirai, K. Kanda, T. Fujita, K. Maenaka
- Organizer
  The 18th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS 2018)
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[Presentation] 多層PZT薄膜および圧電MEMSファブリケーション2018
- Author(s)
  神田健介
- Organizer
  第16回圧電MEMS研究会
- Invited
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[Presentation] MEMS Tactile Device Based on Polymer/Thin-Film PZT Structure -Sensor and Actuator Integration2018
- Author(s)
  K. Takahara, S. Toyama, K. Kanda, T. Fujita, K. Maenaka
- Organizer
  2018 ISAF-FMA-AMF-AMEC-PFM Joint Conference
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[Presentation] MEMSセンサのためのPZT微細加工とその周辺技術2017
- Author(s)
  神田健介
- Organizer
  電子情報通信学会機能集積情報システム(FIIS)研究会
- Invited
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[Presentation] 圧電MEMSによる触覚デバイス試作2017
- Author(s)
  遠山蒼，神田健介，大久保昂，髙原光將，藤田孝之，前中一介
- Organizer
  第78回応用物理学会秋季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[Presentation] Multilayer Piezoelectric MEMS Energy Harvester Based on Longitudinal Effect2017
- Author(s)
  R. Nakanishi, K. Kanda, T. Fujita, I. Kanno, and K. Maenaka
- Organizer
  PowerMEMS 2017
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[Presentation] 圧電MEMSのDRIEによるデバイス構造作製と3次元化への試み2017
- Author(s)
  神田健介
- Organizer
  JKA人材育成等補助事業技術セミナー
- Invited
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[Presentation] 多層圧電膜によるMEMS触覚デバイス2017
- Author(s)
  遠山蒼，神田健介，大久保昂，藤田孝之，前中一介
- Organizer
  第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[Presentation] 低消費電力な人体活動モニタリングシステムのための圧電MEMSトリガ2017
- Author(s)
  神田健介, 牛田大樹，横松得滋，藤田孝之，前中一介
- Organizer
  電気学会PHS/BMS合同研究会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[Presentation] 多層PZT薄膜による圧電MEMSエナジーハーベスタの提案,2017
- Author(s)
  中西亮介，神田健介，藤田孝之，前中一介
- Organizer
  第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[Presentation] Pb(Zr,Ti)O3 Thin Films Integrated with Epoxy Polymer: Applications to Low Energy Haptics Device2016
- Author(s)
  T. Okubo, K. Kanda, M. Shima, T. Fujita, K. Maenaka
- Organizer
  IEEE ISAF 2016
- Place of Presentation
  Darmstadt, Germany
- Year and Date
  2016-08-21
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[Presentation] 超音波トランスデューサを指向したPb(Zr,Ti)O3薄膜の多層積層成膜2016
- Author(s)
  中本翔満，佐野良，神田健介，藤田孝之，前中一介
- Organizer
  第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- Place of Presentation
  平戸
- Year and Date
  2016-10-24
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[Presentation] PZT薄膜/樹脂積層構造による圧電MEMSハプティックデバイス2016
- Author(s)
  大久保昂，嶋真弥，神田健介，藤田孝之，前中一介
- Organizer
  第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- Place of Presentation
  平戸
- Year and Date
  2016-10-24
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[Presentation] 圧電PZT薄膜の多層積層のための電極成膜条件の検討2016
- Author(s)
  中本翔満，佐野良，神田健介，藤田孝之，前中一介
- Organizer
  平成28年度電気学会全国大会
- Place of Presentation
  東北大学（仙台市）
- Year and Date
  2016-03-16
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[Presentation] スタンダードPZT-MEMSプロセスとその拡張2016
- Author(s)
  神田健介
- Organizer
  電気学会圧電MEMSデバイス調査専門委員会
- Place of Presentation
  姫路
- Invited
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[Presentation] Sputtering Deposition of Multi-Layer Pb(Zr,Ti)O3 Thin Films for Low Voltage Actuators2016
- Author(s)
  R. Sano, K. Kanda, J.I. Inoue, T. Fujita, and K. Maenaka
- Organizer
  IEEE MEMS2016
- Place of Presentation
  上海（中国）
- Year and Date
  2016-01-24
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[Presentation] Omnidirectional Acceleration Sensor for Trigger of Human Monitoring System2016
- Author(s)
  K. Kanda, T. Fujita, M. Yoshimoto, K. Maenaka
- Organizer
  IEEE NEMS 2016
- Place of Presentation
  松島
- Year and Date
  2016-04-17
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[Presentation] 加工した基板上へのPb(Zr,Ti)O3薄膜のスパッタ成膜と特性評価2015
- Author(s)
  森上慎悟，神田健介，藤田孝之，前中一介
- Organizer
  第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- Place of Presentation
  朱鷺メッセ（新潟市）
- Year and Date
  2015-10-28
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[Presentation] 【講演奨励賞受賞記念講演】樹脂材料とPb(Zr,Ti)O3薄膜を用いた圧電構造体の特性評価2015
- Author(s)
  大久保昂，佐野良，嶋真弥，神田健介，藤田孝之，前中一介
- Organizer
  第76回応用物理学会秋季学術講演会
- Place of Presentation
  名古屋国際会議場（名古屋市）
- Year and Date
  2015-09-13
- Invited
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[Presentation] Pb(Zr,Ti)O3薄膜の多層積層によるMEMSマルチモルフ構造2015
- Author(s)
  佐野良，井上純一，神田健介，藤田孝之，前中一介
- Organizer
  平成27年度第1回応用物理学会関西支部講演会
- Place of Presentation
  イーグレ姫路（姫路市）
- Year and Date
  2015-06-22
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[Presentation] RFマグネトロンスパッタ法によるPb(Zr,Ti)O3薄膜の多層積層とその評価2015
- Author(s)
  佐野良，井上純一，神田健介，藤田孝之，前中一介
- Organizer
  第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- Place of Presentation
  朱鷺メッセ（新潟市）
- Year and Date
  2015-10-28
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[Presentation] Integration of Pb(Zr,Ti)O3 Thin Films with Photo-Sensitive Polymer2015
- Author(s)
  Takashi Okubo, Ryo Sano, Kensuke Kanda, Takayuki Fujita, Kazusuke Maenaka
- Organizer
  IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectrics 2015
- Place of Presentation
  シンガポール（シンガポール）
- Year and Date
  2015-05-24
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[Presentation] 多自由度なMEMSを指向したPb(Zr,Ti)O3薄膜の加工済みウエハへの成膜加工2015
- Author(s)
  森上慎悟，神田健介，藤田孝之，前中一介
- Organizer
  平成27年度第1回応用物理学会関西支部講演会
- Place of Presentation
  イーグレ姫路（姫路市）
- Year and Date
  2015-06-22
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[Presentation] 柔軟かつロバストなPb(Zr,Ti)O3-MEMSアクチュエータ2015
- Author(s)
  大久保昂，佐野良，嶋真弥，神田健介，藤田孝之，前中一介
- Organizer
  平成27年度第1回応用物理学会関西支部講演会
- Place of Presentation
  イーグレ姫路（姫路市）
- Year and Date
  2015-06-22
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[Presentation] スパッタ積層Pb[Zr,Ti]O3薄膜構造の作製2015
- Author(s)
  佐野良，井上純一，神田健介，藤田孝之，前中一介
- Organizer
  第32回強誘電体応用会議
- Place of Presentation
  コープイン京都（京都市）
- Year and Date
  2015-05-20
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[Presentation] PZTの微細加工とセンサへの応用2013
- Author(s)
  神田健介
- Organizer
  マイクロシステム融合研究会
- Place of Presentation
  東北大学（宮城県）
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23760233
[Presentation] PZTの微細加工とセンサへの応用2013
- Author(s)
  神田健介
- Organizer
  第67回次世代センサ協議会
- Place of Presentation
  兵庫県立大学（兵庫県）
- Invited
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23760233
[Presentation] PZT の微細加工とセンサへの応用2013
- Author(s)
  神田健介
- Organizer
  第67回次世代センサ協議会
- Place of Presentation
  兵庫県立大学(兵庫県)
- Year and Date
  2013-03-08
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23760233
[Presentation] MEMSデバイス向け厚膜PZT/PZTバイモルフ構造2013
- Author(s)
  神田健介
- Organizer
  第60回応用物理学会春季学術講演会
- Place of Presentation
  神奈川工科大学（神奈川県）
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23760233
[Presentation] PZT の微細加工とセンサへの応用2013
- Author(s)
  神田健介
- Organizer
  マイクロシステム融合研究会
- Place of Presentation
  東北大学(宮城県)
- Year and Date
  2013-01-10
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23760233
[Presentation] MEMS デバイス向け厚膜 PZT/PZT バイモルフ構造2013
- Author(s)
  井上純一,神田健介,藤田孝之,前中一介
- Organizer
  第60回応用物理学会春季学術講演会
- Place of Presentation
  神奈川工科大(神奈川県)
- Year and Date
  2013-03-29
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23760233
[Presentation] Fabrication and Evaluation of Bimorph Comprising of Double Pb[Zr,Ti]O3 Thick Films2013
- Author(s)
  K. Kanda
- Organizer
  2013 Joint UFFC, EFTF, and PFM Symposium
- Place of Presentation
  Prague (Czech Republic)
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23760233
[Presentation] Fabrication and Evaluation of Bimorph Comprising of Double Pb[Zr,Ti]O_3 Thick Films2013
- Author(s)
  J. Inoue, K. Kanda, T. Fujita, K. Maenaka
- Organizer
  2013 IEEE Joint UFFC, EFTF, and PFM Symposium
- Place of Presentation
  プラハ,チェコ共和国
- Year and Date
  2013-07-25
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23760233
[Presentation] 低アスペクト比構造体の PZT 薄膜による側面方向駆動2012
- Author(s)
  神田健介,明石優,藤田孝之,前中一介
- Organizer
  第59回春季応用物理学関係連合講演会
- Place of Presentation
  早稲田大学(東京都)
- Year and Date
  2012-03-15
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23760233
[Presentation] Miniaturization of Vibratory Beam Accelerometer by using PZT2012
- Author(s)
  K. Kanda, K. Nagata, T. Yamakawa, T. Fujita, K. Maenaka
- Organizer
  26th European Conference on Solid-State Transducers
- Place of Presentation
  クラクフ,ポーランド
- Year and Date
  2012-09-12
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23760233
[Presentation] MEMSのための薄膜PZT/PZTバイモルフ2012
- Author(s)
  神田健介
- Organizer
  第29回強誘電体応用会議
- Place of Presentation
  コープイン京都（京都府）
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23760233
[Presentation] Miniaturization of Vibratory Beam Accelerometer bu Using PZT2012
- Author(s)
  K. Kanda
- Organizer
  26th European Conference on Solid-State Transducers, Eurosensors 2012
- Place of Presentation
  Krakow (Poland)
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23760233
[Presentation] Fabrication and Characterization of Lateral-Directional Actuator Using Pb(Zr,Ti)O_3 Thin Films2012
- Author(s)
  K. Kanda, Y. Akashi, T. Fujita, K. Maenaka
- Organizer
  2012 Fifth International Conference on Emerging Trends in Engineering and Technology
- Place of Presentation
  イーグレ姫路(兵庫県)
- Year and Date
  2012-11-05
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23760233
[Presentation] MEMS のための薄膜 PZT/PZTバイモルフ2012
- Author(s)
  神田健介,永田和幸,山川隆洋,藤田孝之,前中一介
- Organizer
  第29回強誘電体応用会議
- Place of Presentation
  コープイン京都(京都府)
- Year and Date
  2012-05-24
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23760233
[Presentation] 低アスペクト比構造体のPZT薄膜による側面方向駆動2012
- Author(s)
  神田健介，明石優，藤田孝之，前中一介
- Organizer
  2012年春季第59回応用物理学関係連合講演会
- Place of Presentation
  早稲田大学(東京都)
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23760233
[Presentation] Fabrication and Characterization of Lateral-Directional Actuator Using Pb(Zr,Ti)O3 Thin Films2012
- Author(s)
  K. Kanda
- Organizer
  2012 fifth International Conference on Emerging Trends in Engineering and Technology
- Place of Presentation
  イーグレ姫路（兵庫県）
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23760233
[Presentation] P(VDF/TrFE)薄膜を用いた柔軟な心拍・呼吸センサ2011
- Author(s)
  塩野祥平,濱田浩幸,蒋永剛,樋口行平,神田健介,藤田孝之,前中一介
- Organizer
  電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会
- Place of Presentation
  東京工業大学(東京都)
- Year and Date
  2011-06-30
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23760233
[Presentation] 構造上での演算機能を有する3軸加速度センサ2011
- Author(s)
  齋藤誉司,神田健介,伊賀友樹,樋口行平,前中一介
- Organizer
  第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- Place of Presentation
  船堀タワーホール(東京都)
- Year and Date
  2011-09-27
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23760233
[Presentation] 構造体上での演算機能を有する3軸加速度センサ2011
- Author(s)
  齋藤誉司，神田健介，伊賀友樹，樋口行平，前中一介
- Organizer
  第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- Place of Presentation
  船堀タワーホール(東京都)
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23760233
[Presentation] P(VDF/TrFE)薄膜を用いた柔軟な心拍・呼吸センサ2011
- Author(s)
  塩野祥平，濱田浩幸，蒋永剛，樋口行平，神田健介，藤田孝之，前中一介
- Organizer
  電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会フィジカルセンサ研究会
- Place of Presentation
  東京工業大学(東京都)
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23760233
[Presentation] エバネッセント光を用いた壁面近傍におけるナノ粒子の濃度分布の計測2009
- Author(s)
  河野雄飛, 神田健介, 小方聡, 楊明
- Organizer
  日本機械学会2009年度年次大会
- Place of Presentation
  盛岡市(岩手大学)
- Year and Date
  2009-09-15
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20760113
[Presentation] マイクロ流路中におけるナノ粒子挙動の測定と制御2009
- Author(s)
  水越拓真, 神田健介, 小方聡, 楊明
- Organizer
  日本機械学会2009年度年次大会
- Place of Presentation
  盛岡市(岩手大学)
- Year and Date
  2009-09-15
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20760113
[Presentation] Measurement and Control of Motion of Nanoparticles in Microchannel2009
- Author(s)
  T.Mizukoshi, K.Kanda, S.Ogata, M.Yang
- Organizer
  The 4^<th> International Conference on Experimental Mechanics
- Place of Presentation
  シンガポール
- Year and Date
  2009-11-19
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20760113
[Presentation] Near-Wall Nanoparticles Perpendicular Distribution Measured by Using on Evanescent Illumination2009
- Author(s)
  Y.Kono, K.Kanda, S.Ogata, M.Yang
- Organizer
  The 4^<th> International Conference on Experimental Mechanics
- Place of Presentation
  シンガポール
- Year and Date
  2009-11-19
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20760113
[Presentation] 3D-TIRFMによるナノ粒子密度分布測定と溶液の電気的影響の評価2008
- Author(s)
  小方聡, 神宮一斐, 神田健介, 楊明
- Organizer
  日本機械学会年次大会
- Place of Presentation
  横浜国立大(横浜市)
- Year and Date
  2008-08-06
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20760113
[Presentation] Estimation of d31 constant for microfabricated and free-standing thin-film bimorph structure of Pb[Zr,Ti]O3
- Author(s)
  K. Kanda
- Organizer
  4th international workshop on Piezoelectric MEMS
- Place of Presentation
  Kobe University (Port Island Campus), Kobe, Japan
- Year and Date
  2014-10-28 – 2014-10-29
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[Presentation] Pb(Zr,Ti)O3薄膜と感光性樹脂の積層構造体作製とその評価
- Author(s)
  大久保昂，神田健介，藤田孝之，前中一介
- Organizer
  第62回応用物理学会春季学術講演会
- Place of Presentation
  東海大学湘南キャンパス，平塚市
- Year and Date
  2015-03-11 – 2015-03-14
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[Presentation] 薄膜PZT-MEMSバイモルフ構造を用いた自励発振システム
- Author(s)
  井上純一，松田貴文，神田健介，藤田孝之，前中一介
- Organizer
  第75回応用物理学会秋季学術講演会
- Place of Presentation
  北海道大学，札幌市
- Year and Date
  2014-09-17 – 2014-09-22
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[Presentation] スタンダードPZT-MEMSプロセスの提案とデバイス評価
- Author(s)
  佐野良，井上純一，神田健介，藤田孝之，前中一介
- Organizer
  第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- Place of Presentation
  くにびきメッセ，松江市
- Year and Date
  2014-10-20 – 2014-10-22
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[Presentation] Fusion of PZT Thin Film in MEMS Technology
- Author(s)
  K. Maenaka and K. Kanda
- Organizer
  The 10th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics
- Place of Presentation
  International Conference Center Hiroshima , Hiroshima, Japan
- Year and Date
  2014-08-17 – 2014-08-20
- Invited
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[Presentation] 三次元Si加工基板上へのPZT成膜と評価
- Author(s)
  森上慎悟，井上純一，神田健介，藤田孝之，前中一介
- Organizer
  第75回応用物理学会秋季学術講演会
- Place of Presentation
  北海道大学，札幌市
- Year and Date
  2014-09-17 – 2014-09-22
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420204

1. 前中一介 (70173721)

# of Collaborated Projects: 3 results

# of Collaborated Products: 48 results
2. Sohgawa Masayuki (70403128)

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 4 results
3. KOBUNE MASAFUMI (90240960)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 16 results
4. 菊池丈幸 (50316048)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 15 results
5. 藤田孝之 (50336830)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 3 results
6. 月山陽介 (00533639)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
7. 西岡洋

# of Collaborated Projects: 0 results

# of Collaborated Products: 1 results

Kanda Kensuke 神田 健介

KANDA Kensuke 神田 健介

Research Projects

Research Products

Co-Researchers

医療・介護IoTデバイスのためのMEMS振動型エナジーハーベスタによる電力伝送

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Review Section

Research Institution

Combined Micro Tactile Sensor Chip with Mechanical and Warm-cold Stimulations Mimicking Frequency and Spatial Characteristics of Human Receptors

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Review Section

Research Institution

Piezoelectric/Ferromagnetic thin-film integration for wide-band MEMS energy harvesting devicesPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Review Section

Research Institution

Development of Micro Tactile Sensor Chip Including Pressure, Vibration, and Temperature Sensations

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Review Section

Research Institution

Development of nano-pillar type multiferroic composite materials using microfabrication technique

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Review Section

Research Institution

Development of thin-film based PiezoMEMS haptic devicesPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Multilayer deposition of PZT thin films and application to MEMS devicesPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Characterization and Application of Thin-Film PZT/PZT BimorphPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Three-dimensional direct measurement of biological substances near-surface regionPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

[Book] ＶＲ／ＡＲ技術の 開発動向と最新応用事例 第3章第3節2018

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Publisher

ISBN

Data Source

[Book] Measurement and Control of Motion of Nanoparticles in Microchannel2009

Author(s)

Publisher

Data Source

[Book] マイクロ流路中におけるナノ粒子挙動の測定と制御2009

Author(s)

Data Source

[Book] Near-wall Nanoparticles Perpendicular Distribution Measured by using an Evanescent Illumination2009

Author(s)

Publisher

Data Source

[Book] エバネッセント光を用いた壁面近傍におけるナノ粒子の濃度分布の計測2009

Author(s)

Data Source

[Journal Article] Simple Prediction of Nonlinear Frequency Response for MEMS Diaphragm with Initial Deformation2023

Kanda Kensuke 神田健介

KANDA Kensuke 神田健介

[Book] ＶＲ／ＡＲ技術の開発動向と最新応用事例　第3章第3節2018