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Saito Shigeki  齋藤 滋規

… Alternative Names

SAITO Shigeki  齋藤 滋規

齊藤 滋規  サイトウ シゲキ

斎藤 滋規  サイトウ シゲキ

齋藤 滋規  サイトウ シゲキ

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Researcher Number 30313349
Other IDs
  • ORCIDhttps://orcid.org/0000-0001-5663-975X
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Affiliation (Current) 2025: 東京科学大学, 環境・社会理工学院, 教授
Affiliation (based on the past Project Information) *help 2017 – 2023: 東京工業大学, 環境・社会理工学院, 教授
2016: 東京工業大学, 環境・社会理工学院, 准教授
2011 – 2015: 東京工業大学, 理工学研究科, 准教授
2012: 東京工業大学, 大学院・理工学研究科, 准教授
2007 – 2010: Tokyo Institute of Technology, 大学院・理工学研究科, 准教授 … More
2005 – 2006: 東京工業大学, 大学院理工学研究科, 助教授
2005: 東京工業大学, 大学院・理工学研究所, 助教授
2004: Tokyo Institute of Technology, Dept.of Mechanical and Aerospace Engineering, Associate Professor, 大学院・理工学研究科, 助教授
2000 – 2002: 東京工業大学, 大学院・理工学研究科, 助手
2001: 東京工業大学, 大学院・理工学研究科(国際開発工学専攻), 助手 Less
Review Section/Research Field
Principal Investigator
Intelligent mechanics/Mechanical systems / Intelligent mechanics/Mechanical systems / Basic Section 20020:Robotics and intelligent system-related / Medium-sized Section 20:Mechanical dynamics, robotics, and related fields / Microdevices/Nanodevices
Except Principal Investigator
Material processing/treatments / Composite materials/Surface and interface engineering / Intelligent mechanics/Mechanical systems / Material processing/treatments
Keywords
Principal Investigator
生産技術 / 生体模倣 / 静電チャック / 静電力 / リソグラフィー / 導電性芯 / 高分子繊維 / 静電吸着 / 3Dプリンター / 双極型 … More / マイクロロボティクス / マイクロ・ナノメカトロニクス / 微小物体物理学 / マイクロアセンブリ / マイクロ・ナノデバイス / マイクロマシン / 機械力学・制御 / 液架橋力 / Place / Pick / マニピュレーション / 微小物体 / 凝着力 / 静電吸着力 / 微小液滴 / 大面積 / 把持・離脱 / 親疎水面 / ウォータージェット加工 / 表面柔軟性 / 微細毛構造 / マイクロ・ナノメカトロにクス / 3次元プリンター / リソフラフィ― / 高分子 / プローブ / 導通 / IC / マイクロセンサー / マイクロコンタクト / 同時多極 / マイクロセンシング / 表面電位 / ナノメカトロニクス / マイクロ / 走査電子顕微鏡 / 誘電体 / 静電体 / ミクロ・ナノデバス / マイクロ液滴 / 液体凝集 / 相変態(相変化) / 理論解析 / 液滴量制御 / 条件決定 / 実装 / 微小体 / 毛細管現象 / 液体 / ラプラス方程式 / 凝着現象 / 電子顕微鏡 / 転がり抵抗 … More
Except Principal Investigator
凝着 / 梁構造 / 毛構造 / 生物模倣 / 可逆接合 / 微小体 / マニピュレーション / 静電力 / せん断力 / 把持・脱離デバイス / 水平力 / 弾性はり理論 / PDMS / 集合体 / メカニズム / kinetic energy / micro-object alignment / Rapid voltage control / conductive micro-particle / IC packaging / micromanipulation / adhesional force / electrostatic force / 条件決定 / 実装 / クーロン相互作用 / 電圧 / 運動エネルギー / 微小物体配置 / 電界高速制御 / 微小金属粒子 / IC実装 / マイクロマニピュレーション / 凝着力 / surface analysis / electronic spectroscopy / interface / chemical bond / molecular dynamics / ultra high vacuum / atomic force microscope / adhesion / 表面分析 / 電子分光 / 界面 / 結合状態 / 分子動力学 / 超高真空 / 原子間力顕微鏡 / 凝着仕事 / 固体間凝着現象 / 大変形 / 梁モデル / 把持機構 / デバイス / 半導体 / クライテリオン / 分離 / 凝着現象 Less
  • Research Projects

    (16 results)
  • Research Products

    (85 results)
  • Co-Researchers

    (9 People)
  •  Manipulation of large-area objects using micro-liquid capillary force based on the pattern of hydrophilic and hydrophobic surfacesPrincipal Investigator

    • Principal Investigator
      Saito Shigeki
    • Project Period (FY)
      2020 – 2022
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
    • Review Section
      Medium-sized Section 20:Mechanical dynamics, robotics, and related fields
    • Research Institution
      Tokyo Institute of Technology
  •  薄膜状電子デバイスの複曲面上実装を実現する微細毛柔軟静電吸着ハンドリングシステムPrincipal Investigator

    • Principal Investigator
      齋藤 滋規
    • Project Period (FY)
      2020 – 2023
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • Review Section
      Basic Section 20020:Robotics and intelligent system-related
    • Research Institution
      Tokyo Institute of Technology
  •  Innovation in manufacturing technology using electrostatic adsorption devices with surface flexibility derived from fine hair structurePrincipal Investigator

    • Principal Investigator
      Shigeki Saito
    • Project Period (FY)
      2016 – 2019
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • Research Field
      Intelligent mechanics/Mechanical systems
    • Research Institution
      Tokyo Institute of Technology
  •  Criterion of an inspired device for gripping and releasing

    • Principal Investigator
      TAKAHASHI Kunio
    • Project Period (FY)
      2015 – 2017
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • Research Field
      Composite materials/Surface and interface engineering
    • Research Institution
      Tokyo Institute of Technology
  •  Gecko-inspired Electrostatic Chuck by Assembling Electrostatic-Induced Fibers for Developing an Innovative Manipulation TechnologyPrincipal Investigator

    • Principal Investigator
      SAITO SHIGEKI
    • Project Period (FY)
      2013 – 2016
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • Research Field
      Intelligent mechanics/Mechanical systems
    • Research Institution
      Tokyo Institute of Technology
  •  Exact Reversibility of Joint for grip-and-release mechanism based on gecko' foot hair structure

    • Principal Investigator
      TAKAHASHI Kunio
    • Project Period (FY)
      2012 – 2014
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • Research Field
      Material processing/treatments
    • Research Institution
      Tokyo Institute of Technology
  •  Simultaneous-and-multiple micro-sensing device for inspection of conductivity by polymer fiber having conductive corePrincipal Investigator

    • Principal Investigator
      Saito Shigeki
    • Project Period (FY)
      2012 – 2015
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • Research Field
      Microdevices/Nanodevices
    • Research Institution
      Tokyo Institute of Technology
  •  Gecko-inspired electrostatic chuck consisting of polymeric electrostatic inductive fibersPrincipal Investigator

    • Principal Investigator
      SAITO Shigeki
    • Project Period (FY)
      2010 – 2012
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • Research Field
      Intelligent mechanics/Mechanical systems
    • Research Institution
      Tokyo Institute of Technology
  •  導電性芯を持つ高分子繊維集積化による生体模倣型凝着デバイスの実現Principal Investigator

    • Principal Investigator
      齋藤 滋規
    • Project Period (FY)
      2008 – 2010
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • Research Field
      Intelligent mechanics/Mechanical systems
    • Research Institution
      Tokyo Institute of Technology
  •  相変態を利用した液体供給による液架橋マイクロマニピュレーション手法Principal Investigator

    • Principal Investigator
      齋藤 滋規
    • Project Period (FY)
      2005 – 2006
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Exploratory Research
    • Research Field
      Intelligent mechanics/Mechanical systems
    • Research Institution
      Tokyo Institute of Technology
  •  能動的電子注入とプローブ電圧制御による誘電体の電顕内マイクロマニピュレーションPrincipal Investigator

    • Principal Investigator
      齋藤 滋規
    • Project Period (FY)
      2005 – 2007
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
    • Research Field
      Intelligent mechanics/Mechanical systems
    • Research Institution
      Tokyo Institute of Technology
  •  Electrostatic manipulation of a micro-object by controlling applied voltage

    • Principal Investigator
      ONZAWA Tadao
    • Project Period (FY)
      2003 – 2004
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • Research Field
      Intelligent mechanics/Mechanical systems
    • Research Institution
      TOKYO INSTITUTE OF TECHNOLOGY
  •  液滴量制御による微小物体の液架橋力マニピュレーション手法の確立Principal Investigator

    • Principal Investigator
      恩澤 忠男, 齊藤 滋規
    • Project Period (FY)
      2002 – 2003
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Exploratory Research
    • Research Field
      Intelligent mechanics/Mechanical systems
    • Research Institution
      Tokyo Institute of Technology
  •  Exact reversiblity in joining and separation

    • Principal Investigator
      ONZAWA Tadao
    • Project Period (FY)
      2001 – 2002
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • Research Field
      Material processing/treatments
    • Research Institution
      Tokyo Institute of Technology
  •  超高真空中の微小物体凝着面における「転がり抵抗」現象の解明Principal Investigator

    • Principal Investigator
      齊藤 滋規 (齋藤 滋規)
    • Project Period (FY)
      2000 – 2001
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
    • Research Field
      Intelligent mechanics/Mechanical systems
    • Research Institution
      Tokyo Institute of Technology
  •  微小体マニピュレーションにおける凝着問題の解決-新しいマイクロ接合プロセスのための基礎研究-

    • Principal Investigator
      TAKAHASHI Kunio
    • Project Period (FY)
      2000
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Exploratory Research
    • Research Field
      Material processing/treatments
    • Research Institution
      Tokyo Institute of Technology

All 2023 2022 2021 2020 2019 2018 2017 2016 2014 2013 2012 2011 2010 2009 2008 2007 2005 2004 2003 Other

All Journal Article Presentation Patent

  • [Journal Article] Development of bipolar electrostatic chucks with a compliant beam-array assembly from composite-laminated plates using abrasive water jet2022

    • Author(s)
      Ryo Tomohiro、Taoka Yuki、Hemthavy Pasomphone、Takahashi Kunio、Saito Shigeki
    • Journal Title

      MRS Advances

      Volume: 7 Issue: 31 Pages: 923-928

    • DOI

      10.1557/s43580-022-00329-9

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20H02112
  • [Journal Article] Development of a bipolar electrostatic chuck with a compliant beam-array assembly having four 3D-printed layers for large film handling2022

    • Author(s)
      Taoka Yuki、Hayashi Terumichi、Hemthavy Pasomphone、Takahashi Kunio、Saito Shigeki
    • Journal Title

      Engineering Research Express

      Volume: 4 Issue: 1 Pages: 015010-015010

    • DOI

      10.1088/2631-8695/ac4a49

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20H02112
  • [Journal Article] Adhesional Contact between Rigid Sphere and Elastic Plane Covered with Thin Liquid Film Considering Contact-Angle Hysteresis2020

    • Author(s)
      Iguchi Yoji、Baek Dooyoung、Momozono Satoshi、Hemthavy Pasomphone、Saito Shigeki、Takahashi Kunio
    • Journal Title

      Tribology Online

      Volume: 15 Issue: 1 Pages: 1-8

    • DOI

      10.2474/trol.15.1

    • NAID

      130007785067

    • ISSN
      1881-218X, 1881-2198
    • Year and Date
      2020-01-15
    • Language
      English
    • Peer Reviewed / Open Access
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-16H04297
  • [Journal Article] Compliant bipolar electrostatic gripper using 3D-printed-layered elastic probes2020

    • Author(s)
      Hemthavy Pasomphone、Kudo Kenta、Kawano Kento、Takahashi Kunio、Saito Shigeki
    • Journal Title

      Engineering Research Express

      Volume: 2 Issue: 1 Pages: 015013-015013

    • DOI

      10.1088/2631-8695/ab67ed

    • Peer Reviewed / Open Access
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-16H04297
  • [Journal Article] Force evaluation of electrostatic gripper with arrayed fibers consisting of parallel and coaxial electrodes2019

    • Author(s)
      Saito Shigeki、Kawamura Kazuteru、Dhelika Radon、Hemthavy Pasomphone、Takahashi Kunio、Takarada Wataru、Kikutani Takeshi
    • Journal Title

      Smart Materials and Structures

      Volume: 28 Issue: 9 Pages: 095018-095018

    • DOI

      10.1088/1361-665x/ab3243

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-16H04297
  • [Journal Article] Analytical solution of elastic deformations inside and outside circular contact area between tilted rigid punch and elastic half space2019

    • Author(s)
      Yoji Iguchi, Pasomphone Hemthavy, Shigeki Saito & Kunio Takahashi
    • Journal Title

      Acta Mechanica

      Volume: 230 Issue: 12 Pages: 4311-4320

    • DOI

      10.1007/s00707-019-02505-9

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-16H04297
  • [Journal Article] Development of a bipolar electrostatic chuck module with a beam-array assembly using the multiple etching process2018

    • Author(s)
      Seungman Choi Kazuki Wakabayashi, Kunio Takahashi and Shigeki Saito
    • Journal Title

      Journal of Micromechanics and Microengineering

      Volume: Vol. 28 No. 12 Issue: 12 Pages: 125011-125011

    • DOI

      10.1088/1361-6439/aae8ca

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-16H04297
  • [Journal Article] 微細毛構造による表面柔軟性を持つ静電チャック2017

    • Author(s)
      齊藤滋規
    • Journal Title

      静電気学会誌

      Volume: Vol. 41, No.3 Pages: 134-138

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-16H04297
  • [Journal Article] Compliant bipolar electrostatic gripper with micropillar electrodes array for manipulation at macroscale2016

    • Author(s)
      Radon Dhelika, Pasomphone Hemthavy, Kunio Takahashi and Shigeki Saito
    • Journal Title

      Smart Materials and Structures

      Volume: 25 Issue: 5 Pages: 055037-055037

    • DOI

      10.1088/0964-1726/25/5/055037

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-25289056
  • [Journal Article] Criterion of detachment for grip-and-release devices with slanted multi-beam structure using Ti-Ni wire2014

    • Author(s)
      Kazuhito Emura, Pasomphone Hemthavy, Shigeki Saito, Kunio Takahashi
    • Journal Title

      Materials Science and Engineering

      Volume: 61 Pages: 012041-012041

    • DOI

      10.1088/1757-899x/61/1/012041

    • Peer Reviewed / Open Access
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24560875
  • [Journal Article] Experiments of the adhesion behavior between an elastic beam and a substrate2014

    • Author(s)
      Yu Sekiguchi, PASOMPHONE HEMTHAVY, Shigeki SAITO, KUNIO TAKAHASHI
    • Journal Title

      International Journal of Adhesion and Adhesives.

      Volume: 49 Pages: 1-6

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24560875
  • [Journal Article] Criterion of detachment for grip-and-release devices with slanted multi-beam structure using Ti-Ni wire2014

    • Author(s)
      Kazuhito Emura, Pasomphone Hemthavy, Shigeki Saito, Kunio Takahashi
    • Journal Title

      IOP Conference Series: Materials Science and Engineering

      Volume: 未定

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24560875
  • [Journal Article] 電気的な同時多極センシングへ向けた柔軟プローブの設計可能性2013

    • Author(s)
      二階堂翔一,高橋邦夫,齋藤滋規
    • Journal Title

      2013年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集

      Volume: Vol.2013S Pages: 135-136

    • NAID

      130005031634

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24651160
  • [Journal Article] Compliant electrostatic chuck based on hairy microstructure2013

    • Author(s)
      Shigeki SAITO, Fumiaki SODA Radon DHELIKA, Kunio TAKAHASHI, Wataru TAKARADA, Takeshi KIKUTANI
    • Journal Title

      Smart Materials and Structures

      Volume: Vol.22 Issue: 1 Pages: 015019-015019

    • DOI

      10.1088/0964-1726/22/1/015019

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-22360102
  • [Journal Article] Electrostatic chuck consisting of polymeric electrostatic inductive fibers for handling of objects with rough surfaces2013

    • Author(s)
      Radon Dhelika, Kenji Sawai, Kunio Takahashi, Wataru Takarada, Takeshi Kikutani, and Shigeki Saito
    • Journal Title

      Smart Materials and Structures

      Volume: 22(9) Issue: 9 Pages: 095010-095010

    • DOI

      10.1088/0964-1726/22/9/095010

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-25289056
  • [Journal Article] Adhesion between side surface of an elastic beam and flat surface of a rigid body2012

    • Author(s)
      Y. Sekiguchi, P. Hemthavy, S. Saito, K. Takahashi
    • Journal Title

      Journal of Adhesion Science and Technology

      Volume: 26 Issue: 23 Pages: 2615-2626

    • DOI

      10.1080/01694243.2012.691034

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-12J07674, KAKENHI-PROJECT-22360102
  • [Journal Article] 双極型静電誘導ファイバーにおける電極断面形状の発生力への影響2012

    • Author(s)
      前薗圭佑, 高橋邦夫, 齋藤滋規
    • Journal Title

      2012年度精密工学会春季大会学術講演会論文集

      Volume: Vol.2012S Pages: 701-702

    • NAID

      130005031392

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-22360102
  • [Journal Article] 静電誘導ファイバー集積化による物体吸着離脱機構の開発2011

    • Author(s)
      齋藤滋規
    • Journal Title

      繊維学会ナノファイバー技術戦略研究委員会講演会「ナノ・マイクロファイバーの構造解析と応用展開」要旨集

      Volume: Vol.1 Pages: 9-14

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-22360102
  • [Journal Article] 静電誘導ファイバー集積構造による曲面対応静電チャックの開発2011

    • Author(s)
      澤井賢司, 宝田亘, 鞠谷雄士, 高橋邦夫, 齋藤滋規
    • Journal Title

      2011年度精密工学会春季大会学術講演会論文集

      Volume: vol.2011S Pages: 877-878

    • NAID

      130005030907

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20656045
  • [Journal Article] 静電誘導ファイバー集積構造による曲面対応静電チャックの開発2011

    • Author(s)
      澤井賢司, 宝田亘, 鞠谷雄士, 高橋邦夫, 齋藤滋規
    • Journal Title

      2011年度精密工学会春季大会学術講演会論文集

      Volume: vol.2011S Pages: 877-878

    • NAID

      130005030907

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-22360102
  • [Journal Article] 走査電子顕微鏡観察下における微小誘電体帯電モデルとその定量的検証2008

    • Author(s)
      目黒寛之, 齋藤滋規
    • Journal Title

      2008年度精密工学会秋季大会講演論文集 CD-ROM

      Pages: 561-562

    • NAID

      130005029166

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17686019
  • [Journal Article] 表面の微弱導電性を考慮した微小誘電体のマニピュレーション2008

    • Author(s)
      山島篤志, 齋藤滋規
    • Journal Title

      2008年度精密工学会秋季大会講演論文集 CD-ROM

      Pages: 563-564

    • NAID

      130005029167

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17686019
  • [Journal Article] 高速電界制御による微小導体球安定配置のための電圧指令値最適設計2007

    • Author(s)
      園田雅樹, 齋藤滋規, 高橋邦夫, 落合俊広
    • Journal Title

      2007年度精密工学会春季大会講演論文集 (CD-ROM)

      Pages: 413-414

    • NAID

      130005028503

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17686019
  • [Journal Article] 液架橋力を利用した微小物体操作のための微小液滴安定化2007

    • Author(s)
      増成伸一, 尾畑賢一, 齋藤滋規, 高橋邦夫
    • Journal Title

      2007年度精密工学会春季大会講演論文集 (CD-ROM)

      Pages: 408-409

    • NAID

      130005028499

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17656087
  • [Journal Article] 走査電子顕微鏡下における微小物体操作に向けた操作対象帯電メカニズムの実験的2007

    • Author(s)
      落合俊広, 齋藤滋規, 高橋邦夫, 目黒寛之
    • Journal Title

      2007年度精密工学会春季大会講演論文集 (CD-ROM)

      Pages: 411-412

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17686019
  • [Journal Article] Electrostatic Micromanipulation of a Conductive/Dielectric Particle by a Single Probe2007

    • Author(s)
      S.SAITO, et. al.
    • Journal Title

      Proc. IEEE EANO 2007 CD-ROM

      Pages: 733-736

    • Peer Reviewed
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17686019
  • [Journal Article] Non-impact electrostatic manipulation of a conductive micro-object by rapid control of applied voltage2005

    • Author(s)
      Shigeki Saito, Kenji Kurihara, Kunio Takahashi
    • Journal Title

      Abstracts of 2005 MRS Fall Meeting CD-ROM

      Pages: 430-430

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17686019
  • [Journal Article] Phase transition approach to supply a micro-volume of water on the probe-tip for micro-manipulation by capillary force2005

    • Author(s)
      Shigeki Saito, Osamu Katsuda, Kunio Takahashi
    • Journal Title

      Abstracts of 2005 MRS Fall Meeting CD-ROM

      Pages: 430-430

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17656087
  • [Journal Article] A Micromanipulation Method based on the Capillary Force by Phase Transition2005

    • Author(s)
      Osamu Katsuda, Shigeki Saito, Kunio Takahashi
    • Journal Title

      Technical Proceedings of the 2005 NSTI Nanotechnology Conference and Trade Show CD-ROM・2

      Pages: 426-429

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17656087
  • [Journal Article] 静電マイクロマニピュレーションにおける電界高速制御を用いた導体球の低衝撃配置2005

    • Author(s)
      斎藤滋規, 栗原健児, 高橋邦夫
    • Journal Title

      2005年度精密工学会秋季大会講演論文集 CD-ROM

      Pages: 975-976

    • NAID

      130004657270

    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17686019
  • [Journal Article] Non-impact Electrostatic Micromanipulation by Voltage Sequence for Time2004

    • Author(s)
      Shigeki Saito et al.
    • Journal Title

      Material Research Society Symposium Proceedings 782

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15360133
  • [Journal Article] Non-impact Electrostatic Micromanipulation by Voltage Sequence for Time2004

    • Author(s)
      Shigeki Saito, Kunio Takahashi, Masataka Urago
    • Journal Title

      Material Science Research Symposium Proceedings vol.782

    • Description
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15360133
  • [Journal Article] Kinetic control of a particle by voltage sequence for a nonimpact electrostatic micromanipulation2003

    • Author(s)
      Shigeki Saito et al.
    • Journal Title

      Applied Physics Letters 83・10

      Pages: 2076-2078

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15360133
  • [Journal Article] Kinetic control of a particle by voltage sequence for a nonimpact electrostatic micromanipulation2003

    • Author(s)
      Shigeki Saito, Hideo Himeno, Kunio Takahashi, Masataka Urago
    • Journal Title

      Applied Physics Letters vol.83, no.10

      Pages: 2076-2078

    • Description
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15360133
  • [Patent] 液体パターン形成方法及び形成装置2005

    • Inventor(s)
      齋藤ら他3名
    • Industrial Property Rights Holder
      齋藤ら他3名
    • Filing Date
      2005-04-27
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17656087
  • [Presentation] Influence of heatinduced changeable stiffness a t the contact interface o n the gripping force of a bipolar electrostatic chuck2023

    • Author(s)
      Jeremy Gavriel, Yuki Taoka, Shigeki Saito
    • Organizer
      2023年度精密工学会春季大会学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20H02112
  • [Presentation] Micromanipulation based on capillary force using probes with hydrophilic and hydrophobic surfaces2023

    • Author(s)
      So Yeon Suk, Yuki Taoka, Shigeki SAITO
    • Organizer
      2023年度精密工学会春季大会学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20K20981
  • [Presentation] 大面積薄膜の安定した曲面貼付に向けた弾性梁配列を有する双極型静電吸着デバイスの設計と条件評価大面積薄膜の安定した曲面貼付に向けた弾性梁配列を有する双極型静電吸着デバイスの設計と条件評価2023

    • Author(s)
      吉田周平, 田岡祐樹, 齋藤滋規.
    • Organizer
      2023年度精密工学会春季大会学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20H02112
  • [Presentation] 高分子薄膜の曲面自在貼付を可能にする帯状柔軟電極を有した双極型静電吸着デバイス2023

    • Author(s)
      江頭正洋, 田岡祐樹, 齋藤滋規.
    • Organizer
      2023年度精密工学会春季大会学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20H02112
  • [Presentation] Rotational-Degree-Of -Freedom Tip Structure Used in Collective Beam Structure Electrostatic Chuck for Curved Surfaces,2022

    • Author(s)
      Sanchuan XU, Yuki Taoka, Shigeki SAITO
    • Organizer
      2022年度精密工学会春季大会学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20H02112
  • [Presentation] 微細毛静電チャックの表面柔軟性確保のためのシート状交互五層(導電層、絶縁層)高分子複合材料の開発2022

    • Author(s)
      駒田ひろ, 田岡祐樹, 宝田亘, 齋藤滋規.
    • Organizer
      2022年度精密工学会春季大会学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20H02112
  • [Presentation] Development of a capillary force manipulation technique using probes with hydrophilic and hydrophobic surfaces2022

    • Author(s)
      TREETAVEKUL WANWALEE,田岡祐樹, 齊藤滋規
    • Organizer
      2022年度精密工学会春季大会学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20K20981
  • [Presentation] Influence of the surface conductivity of a polymer film on the attractive force of a bipolar electrostatic chuck2022

    • Author(s)
      Jeremy Gavriel, Yuki Taoka, Shigeki Saito.
    • Organizer
      MRS 2022 Spring
    • Int'l Joint Research
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20H02112
  • [Presentation] 梁先端に回転自由度 を有する微細毛双極 型静電チャックの開発2022

    • Author(s)
      凌智寛, 田岡祐樹, 齋藤滋規
    • Organizer
      2022年度精密工学会春季大会学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20H02112
  • [Presentation] 集合梁構造を有する双極型静電吸着デバイスを用いた曲面形状への薄膜対象物貼り付け手法の開発2021

    • Author(s)
      林 輝道, 田岡 祐樹, 齊藤 滋規.
    • Organizer
      2021年度精密工学会春季大会学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20H02112
  • [Presentation] 吸着対象物としてのポリマーフィルムの表面導電性が双極型静電吸着デバイスの発生力に与える影響2021

    • Author(s)
      ジェレミー ガブリエル, 田岡 祐樹, 齊藤 滋規.
    • Organizer
      2021年度精密工学会春季大会学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20H02112
  • [Presentation] 親疎水面塗分けを施したプローブを用いた液架橋力制御によるマニピュレーション手法の有効性検証2021

    • Author(s)
      北瀬 雄士, 田岡 祐樹, 齊藤 滋規.
    • Organizer
      2021年度精密工学会春季大会学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20K20981
  • [Presentation] 微小円筒操作のための双極型静電吸着ツ ールの開発2020

    • Author(s)
      工藤健太,田岡祐樹,ヘムタビーパソムポーン,高橋邦夫,齊藤滋規
    • Organizer
      2020年度精密工学会春季大会学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-16H04297
  • [Presentation] 複合材のウォータージェット加工による微細毛静電チャックの製造手法の開発2020

    • Author(s)
      凌智寛,田岡祐樹,ヘムタビーパソムポーン,高橋邦夫,齊藤滋規
    • Organizer
      2020年度精密工学会春季大会学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-16H04297
  • [Presentation] 転がり抵抗測定および接触面観察による凝着を考慮した転がり現象の解明2020

    • Author(s)
      渡邊太平,田岡祐樹,ヘムタビーパソムポーン,高橋邦夫,齊藤滋規
    • Organizer
      2020年度精密工学会春季大会学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-16H04297
  • [Presentation] 集合梁構造により表面柔軟性を有する双極型静電吸着デザイスの大面積化2019

    • Author(s)
      林輝道, HEMTHAVY PASOMPHONE, 高橋邦夫, 齋藤滋規.
    • Organizer
      2019年度精密工学会春季大会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-16H04297
  • [Presentation] Development of a Compliant Bipolar Electrostatic Chuck Having 3D-Printed Elastically-Deformable Beams for Handling Large Film2019

    • Author(s)
      Terumichi Hayashi, Yuki Taoka, Pasomphone Hemthavy, Kunio Takahashi, Shigeki Saito
    • Organizer
      2019 MRS Fall Meeting & Exhibit
    • Int'l Joint Research
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-16H04297
  • [Presentation] くし状構造の積層による側面接触型弾性梁集合体の試作2018

    • Author(s)
      サリュコフ ミハイル,井口 洋二,ヘムタビー パソムポーン,齋藤 滋規,高橋 邦夫
    • Organizer
      24rd Symposium on “Microjoining and Assembly Technology in Electronics”
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-15K06458
  • [Presentation] 微細毛構造を用いた静電チャック2018

    • Author(s)
      齋藤滋規
    • Organizer
      第42回静電気学会全国大会
    • Invited
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-16H04297
  • [Presentation] 集合梁構造を持つ双極型静電吸着装置による対象物離脱のための手先軌道の実験的検討2018

    • Author(s)
      工藤健太, 若林一貴, HEMTHAVY PASOMPHONE, 高橋邦夫, 齋藤滋規
    • Organizer
      2018年度精密工学会春季大会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-16H04297
  • [Presentation] A 3D-Printed-Layered Module of Compliant Electrostatic Gripper Consisting of Elastically Deformable Bipolar Micro-probes for Manipulation of Thin Film/Textile Objects2018

    • Author(s)
      Kenta KUDO, Shigeki SAITO
    • Organizer
      2018 Materials Research Society Fall meeting (MRS 2018)
    • Int'l Joint Research
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-16H04297
  • [Presentation] 表面に凹凸形状を有する誘電体の把持・離脱を目的とした微細毛構造を持つ双極型静電吸着装置の配列密度に関する実験的検討2018

    • Author(s)
      児玉理央, 若林一貴, HEMTHAVY PASOMPHONE, 高橋邦夫, 齋藤滋規
    • Organizer
      2018年度精密工学会春季大会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-16H04297
  • [Presentation] 微細毛構造を持つ双極型静電チャックの吸着部平滑化による把持性能向上2017

    • Author(s)
      河野 健人, ヘムタビー パソムポーン,高橋 邦夫, 齊藤 滋規
    • Organizer
      2017年度精密工学会春季大会学術講演会
    • Place of Presentation
      慶應義塾大学(矢上キャンパス)
    • Year and Date
      2017-03-13
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-25289056
  • [Presentation] リソグラフィ技術を用いた梁集合体を有する双極型静電チャックモジュールの開発2017

    • Author(s)
      崔 勝萬,河野 健人,ヘムタビー パゾムポーン,高橋 邦夫,齋藤 滋規
    • Organizer
      2017年度精密工学会春季大会学術講演会
    • Place of Presentation
      慶應義塾大学(矢上キャンパス)
    • Year and Date
      2017-03-13
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-25289056
  • [Presentation] リソグラフィ技術を用いた梁集合体を有する双極型静電チャックモジュールの開発2017

    • Author(s)
      崔 勝萬,河野 健人,ヘムタビー パゾムポーン,高橋 邦夫,齋藤 滋規
    • Organizer
      2017年度精密工学会春季大会学術講演会
    • Place of Presentation
      慶應義塾大学(矢上キャンパス)
    • Year and Date
      2017-03-13
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-16H04297
  • [Presentation] Development of Bipolar Electrostatic Chuck Module Having Array of Beam Assembly Using Lithography Technique2017

    • Author(s)
      Seungman Choi, Kazuki Wakabayashi, Shigeki SAITO
    • Organizer
      2017 Materials Research Society Fall meeting (MRS 2017)
    • Int'l Joint Research
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-16H04297
  • [Presentation] A 3D-printed-Layered Module of Compliant Electrostatic Gripper Consisting of Elastically Deformable Bipolar Micro-Probes,2017

    • Author(s)
      Kazuki Wakabayashi, Kento Kawano, KUNIO TAKAHASHI, Shigeki SAITO
    • Organizer
      2017 Materials Research Society Fall meeting (MRS 2017)
    • Int'l Joint Research
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-16H04297
  • [Presentation] 微細毛構造を持つ双極型静電チャックの吸着部平滑化による把持性能向上2017

    • Author(s)
      河野 健人, ヘムタビー パソムポーン,高橋 邦夫, 齊藤 滋規
    • Organizer
      2017年度精密工学会春季大会学術講演会
    • Place of Presentation
      慶應義塾大学(矢上キャンパス)
    • Year and Date
      2017-03-13
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-16H04297
  • [Presentation] 表面電位計測時における走査型プローブの複数本化によるプローブ間静電力の影響2016

    • Author(s)
      大善俊明,井口洋二,藤原亮,パソムポーンヘムタビー,高橋邦夫,齊藤滋規
    • Organizer
      2016年度精密工学会春季大会
    • Place of Presentation
      東京理科大学(千葉県野田市)
    • Year and Date
      2016-03-15
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24651160
  • [Presentation] 3D プリンターを用いた微細毛構造を持つ双極型静電チャックモジュールの開発2016

    • Author(s)
      河野 健人, Hemthavy Pasomphone, 高橋 邦夫, 齊藤 滋規
    • Organizer
      2016 年度精密工学会春季大会
    • Place of Presentation
      東京理科大学(千葉県野田市)
    • Year and Date
      2016-03-15
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-25289056
  • [Presentation] フォトリソグラフィ技術を用いた微細毛構造による双極型静電チャックの開発2016

    • Author(s)
      田尻 陽亮,ヘムタビー パゾムポーン,高橋 邦夫,齋藤 滋規
    • Organizer
      2016 年度精密工学会春季大会
    • Place of Presentation
      東京理科大学(千葉県野田市)
    • Year and Date
      2016-03-15
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-25289056
  • [Presentation] 双極型静電誘導ファイバーの配列に際して電極形状が静電力に与える効果2014

    • Author(s)
      川村一輝,ヘムタビーパソムポーン,宝田亘,鞠谷雄士,高橋邦夫,齋藤滋規
    • Organizer
      精密工学会2014春季大会
    • Place of Presentation
      東京大学
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-25289056
  • [Presentation] Applicable Range in Object Size for Grasp-less Manipulation using Capillary and Gravitational Forces2013

    • Author(s)
      Kazuteru Kawamura, Kunio Takahashi, Pasomphone Hemthavy, and Shigeki Saito
    • Organizer
      ASME 2013 International Mechanical Engineering Congress and Exposition
    • Place of Presentation
      Manchester Grand Hyatt San Diego
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-25289056
  • [Presentation] Mechanisms and Models for Bio-Mimicry Design of Grip-and-Release Devices2013

    • Author(s)
      K.Takahashi, S.Saito, P.Hemthavy, and Y.Sekiguchi
    • Organizer
      International conference on Electronics Packaging 2013
    • Place of Presentation
      Osaka
    • Invited
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24560875
  • [Presentation] 双極型静電誘導ファイバーにおける電極断面形状の発生力への影響2012

    • Author(s)
      前薗圭佑,高橋邦夫,齋藤滋規
    • Organizer
      2012年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
    • Place of Presentation
      首都大学東京,東京
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-22360102
  • [Presentation] 静電誘導ファイバー集積構造による曲面対応静電チャックの開発2011

    • Author(s)
      澤井賢司, 宝田亘, 鞠谷雄士, 高橋邦夫, 齋藤滋規
    • Organizer
      2011年度精密工学会春季大会
    • Place of Presentation
      東洋大学
    • Year and Date
      2011-03-14
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-22360102
  • [Presentation] Electrostatic chuck consisting of electrostatic inductive polymer fibers for handling of curved surface2011

    • Author(s)
      Kenji SAWAI, Wataru TAKARADA, Takeshi KIKUTANI, Kunio TAKAHASHI, Shigeki SAITO
    • Organizer
      Abstract in Material Research Society 2011 Fall Meeting, V17.41
    • Place of Presentation
      Hynes Convention Center, Boston,MA, USA
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-22360102
  • [Presentation] 静電誘導ファイバー集積構造による曲面対応静電チャックの開発2011

    • Author(s)
      澤井賢司, 宝田亘, 鞠谷雄士, 高橋邦夫, 齋藤滋規
    • Organizer
      2011年度精密工学会春季大会
    • Place of Presentation
      東洋大学
    • Year and Date
      2011-03-14
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20656045
  • [Presentation] 静電誘導ファイバー集積構造による曲面対応静電チャックの開発2011

    • Author(s)
      澤井賢司,宝田亘,鞠谷雄士,高橋邦夫,齋藤滋規
    • Organizer
      2011年度精密工学会春季大会論文集
    • Place of Presentation
      東洋大学,東京
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-22360102
  • [Presentation] 静電誘導ファイバーによる物体吸着機構の開発2010

    • Author(s)
      早田史明,宝田亘,鞠谷雄士,齋藤滋規
    • Organizer
      2010年度精密工学会春季大会論文集
    • Place of Presentation
      埼玉大学,埼玉
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-22360102
  • [Presentation] 静電誘導ファイバーによる物体吸着機構の開発2010

    • Author(s)
      早田史明・鞠谷雄士・齋藤滋規
    • Organizer
      2010年度精密工学会春季大会
    • Place of Presentation
      埼玉大学
    • Year and Date
      2010-03-16
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20656045
  • [Presentation] 走査電顕環境下におけるヤモリの足裏構造を模倣した凝着デバイスの機能解明2009

    • Author(s)
      園田雅樹, 斎藤滋規, 高橋邦夫
    • Organizer
      2009年精密工学会春季大会学術講演会
    • Place of Presentation
      中央大学(東京都文京区)
    • Year and Date
      2009-03-11
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20656045
  • [Presentation] Optimized Voltage Sequence for Repeatable Manipulation of a Conductive Micro-particle by a Single Probe2007

    • Author(s)
      M.Sonoda, S.Saito, et, al.
    • Organizer
      MRS (Material Research Society) Fall Meeting
    • Place of Presentation
      Boston, USA
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17686019
  • [Presentation] フォトリソグラフィを用いた曲面対応静電チャックの開発

    • Author(s)
      猿渡達彦,Dhelika Radon,Hemthavy Pasomphone,高橋邦夫, 田口良広,齋藤滋規
    • Organizer
      2015年度精密工学会春季大会
    • Place of Presentation
      東洋大学(東京都文京区白山)
    • Year and Date
      2015-03-17 – 2015-03-19
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-25289056
  • [Presentation] Electrostatic Chuck Consisting of Electrostatic Inductive Polymer Fibers for Handling of Curved Surface

    • Author(s)
      Kenji SAWAI , wataru takarada , TAKESHI KIKUTANI , KUNIO TAKAHASHI , Shigeki SAITO
    • Organizer
      MRS 2011 Fall Meeting
    • Place of Presentation
      Boston
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-22360102
  • [Presentation] 双極型静電誘導ファイバーにおける電極断面形状の発生力への影響

    • Author(s)
      前薗圭佑, 高橋邦夫, 齋藤滋規
    • Organizer
      2012年度精密工学会春季大会
    • Place of Presentation
      首都大学東京
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-22360102
  • [Presentation] Compliant electrostatic chuck with micropillar electrodes for handling of rough surfaces

    • Author(s)
      Dhelika Radon,Hemthavy Pasomphone,高橋邦夫,齋藤滋規
    • Organizer
      2015年度精密工学会春季大会
    • Place of Presentation
      東洋大学(東京都文京区白山)
    • Year and Date
      2015-03-17 – 2015-03-19
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-25289056
  • [Presentation] フォトリソグラフィを用いた曲面対応静電チャックの開発

    • Author(s)
      猿渡達彦,Dhelika Radon,Hemthavy Pasomphone,高橋邦夫, 田口良広,齋藤滋規
    • Organizer
      2015年度精密工学会春季大会
    • Place of Presentation
      東洋大学(東京都文京区白山)
    • Year and Date
      2015-03-17 – 2015-03-19
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24651160
  • [Presentation] 電気的な同時多極センシングへ向けた柔軟プローブの設計可能性

    • Author(s)
      二階堂翔一,高橋邦夫,齋藤滋規
    • Organizer
      2013年度精密工学会春季大会学術講演会
    • Place of Presentation
      東京工業大学
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-24651160
  • [Presentation] 静電誘導ファイバー集積化による物体吸着離脱機構の開発

    • Author(s)
      齋藤滋規
    • Organizer
      繊維学会ナノファイバー技術戦略研究委員会講演会「ナノ・マイクロファイバーの構造解析と応用展開」
    • Place of Presentation
      東京工業大学
    • Invited
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-22360102
  • 1.  TAKAHASHI Kunio (70226827)
    # of Collaborated Projects: 11 results
    # of Collaborated Products: 47 results
  • 2.  ONZAWA Tadao (10016438)
    # of Collaborated Projects: 5 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 3.  KIKUTANI Takeshi (70153046)
    # of Collaborated Projects: 5 results
    # of Collaborated Products: 13 results
  • 4.  HEMTHAVY Pasomphone (00401539)
    # of Collaborated Projects: 2 results
    # of Collaborated Products: 5 results
  • 5.  田岡 祐樹 (50845766)
    # of Collaborated Projects: 2 results
    # of Collaborated Products: 14 results
  • 6.  浦郷 正隆 (50302948)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 7.  山本 貴富喜 (20322688)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 8.  武田 行生 (20216914)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 9.  宝田 亘 (50467031)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 1 results

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