Oda Akinori 小田昭紀

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ODA Akinori 小田昭紀

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Researcher Number	70335090
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Affiliation (Current)	2025: 千葉工業大学, 工学部, 教授
Affiliation (based on the past Project Information) *help	2021 – 2024: 千葉工業大学, 工学部, 教授 2013 – 2018: 千葉工業大学, 工学部, 教授 2011 – 2013: 千葉工業大学, 工学部, 准教授 2007: Nagoya Institute of Technology, 工学研究科, 助教 2003 – 2006: 名古屋工業大学, 工学研究科, 助手 2002: 名古屋工業大学, 工学部, 助手
Review Section/Research Field	Principal Investigator Power engineering/Power conversion/Electric machinery / 電力工学・電気機器工学 / 電力工学・電気機器工学 Except Principal Investigator Basic Section 21010:Power engineering-related / Design engineering/Machine functional elements/Tribology / Electron device/Electronic equipment / Science and Engineering / 電子デバイス・機器工学
Keywords	Principal Investigator 大気圧プラズマ / ヘリウム / シミュレーション / プラズマＣＶＤ / 水素 / メタン / エキシマランプ / キセノン / 炭化水素ガス / 非平衡大気圧プラズマ … More / ハイドロカーボンプラズマ / 炭化水素プラズマ / プラズマシミュレーション / プラズマ診断 / プラズマ支援ＣＶＤ / ダイヤモンドライクカーボン膜 / 容量結合型プラズマ / 容量結合プラズマ / 低温プラズマ / ナノカーボン材料 / 高周波放電プラズマ / ガス温度 / 流体モデル / 真空紫外光 / オゾナイザ / 放電シミュレーション / 誘電体バリア放電 / プラズマ / 酸素 / 容量性結合型プラズマ / 大気圧グロー放電 / モデリング / バリア放電 … More Except Principal Investigator 分子動力学法 / プラズマ / プラズマシミュレーション / 電気等価回路 / 数理モデル / 細胞 / 流体モデル / 等価回路解析 / 細胞膜 / プラズマ医療 / 電界 / 電荷 / プラズマ気相蒸着 / ダイヤモンドライクカーボン / プラズマ加工 / プラズマシミュレ―ション / プロズマCVD / シリコン含有ダイヤモンドラークカーボン膜 / マイクロ波 / Si-DLC膜 / 超低摩擦 / シリコン含有ダイヤモンドライクカーボン膜 / 表面分析 / スパッタリング / プラズマCVD / トライボロジー / 低摩擦 / シリコン含有ダイヤモンドライクカーボン / 超高速成膜 / oversized waveguide / Gunn diode / short millimeter wave / harmonic generation / special power combining / オーバーサイズ導波管 / ガンダイオード / 短ミリ波 / 周波数逓倍 / 空間電力合成 / 分子動力学 / 流体シミュレーション / プラズマ気液界面現象 / 非熱平衡大気圧プラズマ / 大気圧グロー放電 / ナノ粒子生成 / プラズマ-液体界面 / 電解反応 / 金属ナノ粒子生成 / プラズマ－液体界面 / 直流グロー放電 / 大気圧プラズマ / 自己組織化 / 金属ナノ粒子 / 古典分子動力学法 / プラズマ電気化学 / 気液界面プラズマ / 非平衡大気圧プラズマ / 高周波伝送線路 / 光励起プラズマ / 半導体 / ドップラー効果 / 周波数変換 Less

Mathematical modeling of the intermembrane electrical system in plasma-stimulated cells
- Principal Investigator
  
  内田諭
- Project Period (FY)
  2024 – 2026
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Review Section
  
  Basic Section 21010:Power engineering-related
- Research Institution
  Tokyo Metropolitan University
Numerical investigation of transport transition in biological membrane due to charge and electric field induced by discharge plasma
- Principal Investigator
  
  Uchida Satoshi
- Project Period (FY)
  2021 – 2023
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Review Section
  
  Basic Section 21010:Power engineering-related
- Research Institution
  Tokyo Metropolitan University
Building an academic foundation for balancing ultra-high-speed deposition and ultra-low friction of hard carbon-based coatings
- Principal Investigator
  
  Kousaka Hiroyuki
- Project Period (FY)
  2016 – 2018
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Research Field
  
  Design engineering/Machine functional elements/Tribology
- Research Institution
  Gifu University
Fundamental Study on Research and Development of Diamond-Like Carbon Coating Technique using Atmospheric-Pressure Hydrocarbon Plasma-assisted Chemical Vapor DepositionPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  ODA Akinori
- Project Period (FY)
  2014 – 2016
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Power engineering/Power conversion/Electric machinery
- Research Institution
  Chiba Institute of Technology
Fundamental study on optimization of nanocarbon materials fabrication technique using an atmospheric-pressure plasma-assisted chemical vapor depositionPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  ODA Akinori
- Project Period (FY)
  2011 – 2013
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Power engineering/Power conversion/Electric machinery
- Research Institution
  Chiba Institute of Technology
Influence of Particle and Heat Transportation on Plasma-Material Interactions
- Principal Investigator
  
  TOCHIKUBO Fumiyoshi
- Project Period (FY)
  2009 – 2013
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Innovative Areas (Research in a proposed research area)
- Review Section
  
  Science and Engineering
- Research Institution
  Tokyo Metropolitan University
次世代プラズマプロセス用大気圧放電の安定性に関する研究-放電ガス温度の影響-Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  小田昭紀
- Project Period (FY)
  2006 – 2007
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
- Research Field
  
  電力工学・電気機器工学
- Research Institution
  Nagoya Institute of Technology
大面積処理用大気圧グロー放電の最適化に関する基礎研究 -放電ガス種依存性-Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  小田昭紀
- Project Period (FY)
  2004 – 2005
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
- Research Field
  
  電力工学・電気機器工学
- Research Institution
  Nagoya Institute of Technology
Study on a power combiner using an oversized-waveguide resonator at short millimeter wavelengths.
- Principal Investigator
  
  BAE Jongsuck
- Project Period (FY)
  2003 – 2005
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Research Field
  
  Electron device/Electronic equipment
- Research Institution
  Nagoya Institute of Technology
半導体中の光励起プラズマを利用した周波数アップコンバータの研究
- Principal Investigator
  
  BAE Jongsuck (ペイ鐘石)
- Project Period (FY)
  2002 – 2003
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Exploratory Research
- Research Field
  
  電子デバイス・機器工学
- Research Institution
  Nagoya Institute of Technology
  Tohoku University
Xeエキシマランプの高性能化を目的としたバリア放電のモデリングに関する研究Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  小田昭紀
- Project Period (FY)
  2002 – 2003
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
- Research Field
  
  電力工学・電気機器工学
- Research Institution
  Nagoya Institute of Technology

[Book] 現代電気電子材料2013
- Author(s)
  山本秀和，小田昭紀
- Total Pages
  189
- Publisher
  コロナ社
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23560325
[Book] 現代電気電子材料2013
- Author(s)
  山本秀和, 小田昭紀
- Total Pages
  189
- Publisher
  コロナ社
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23560325
[Journal Article] Formation of diamond-like carbon film using high-power impulse magnetron sputtering2019
- Author(s)
  Iga Kazunori、Oda Akinori、Kousaka Hiroyuki、Ohta Takayuki
- Journal Title
  
  Thin Solid Films
  
  Volume: 672 Pages: 104-108
- DOI
  10.1016/j.tsf.2019.01.005
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18K03602, KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Journal Article] 高周波駆動型非平衡大気圧Heプラズマ基礎特性に及ぼす不純物N 2濃度の影響2017
- Author(s)
  小森郷平，小田昭紀
- Journal Title
  
  電気学会論文誌Ａ（基礎・材料・共通部門誌）
  
  Volume: 137 Pages: 570-576
- NAID
  130006110513
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Journal Article] Noncontact measurement of substrate temperature by optical low-coherence interferometry in high-power pulsed magnetron sputtering2017
- Author(s)
  Hattori Katsuhiro、Ohta Takayuki、Oda Akinori、Kousaka Hiroyuki
- Journal Title
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  Volume: 57 Issue: 1S Pages: 01AC03-01AC03
- DOI
  10.7567/jjap.57.01ac03
- NAID
  210000148541
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Journal Article] Numerical Analysis of Substrate-Incident Carbon Flux in Low-Pressure Radio-Frequency CH4 Plasmas for Deposition of Diamond-Like Carbon Films2015
- Author(s)
  A. Oda and H. Kousaka
- Journal Title
  
  Electronics and Communications in Japan
  
  Volume: 98 Issue: 9 Pages: 31-39
- DOI
  10.1002/ecj.11727
- NAID
  130003382671
- Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant / Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420247
[Journal Article] Numerical Analysis on Substrate-Incident Carbon Flux in Low-Pressure Radio-Frequency CH<sub>4</sub> Plasmas for Deposition of Diamond-Like Carbon Films2014
- Author(s)
  小田昭紀，上坂裕之
- Journal Title
  
  IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials
  
  Volume: 134 Issue: 1 Pages: 53-59
- DOI
  10.1541/ieejfms.134.53
- NAID
  130003382671
- ISSN
  0385-4205, 1347-5533
- Language
  Japanese
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23560325
[Journal Article] Evolution of Hydride Components Generated by Hydrogen Plasma Irradiation of a Si(110) Surface Investigated With In Situ Infrared Absorption Spectroscopy in Multiple Internal Reflection Geometry2013
- Author(s)
  M. Shinohara, Y. Takami, S. Takabayashi, A. Oda, Y. Matsuda, H. Fujiyama
- Journal Title
  
  IEEE Trans. Plasma Sci.
  
  Volume: 41 Issue: 8 Pages: 1878-1883
- DOI
  10.1109/tps.2013.2263850
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23560325, KAKENHI-PROJECT-23654203, KAKENHI-PUBLICLY-24110716, KAKENHI-PROJECT-24340144, KAKENHI-PUBLICLY-25104720
[Journal Article] Numerical analysis of pressure dependence on carbon nanotube growth in CH_4/H_2 plasmas2008
- Author(s)
  A. Oda
- Journal Title
  
  Thin Solid Films (出版決定済)
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18760214
[Journal Article] Numerical Analysis of Fundamental Discharge Properties in Radio-Frequency and Atmospheric-Pressure Glow Discharges in Argon2006
- Author(s)
  Akinori Oda
- Journal Title
  
  Proceedings of 8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology and 19th Symposium on Plasma Science for Materials
  
  Pages: 1-1
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18760214
[Journal Article] A simulation of atmospheric-pressure capacitive discharges in Ar2006
- Author(s)
  A.Oda
- Journal Title
  
  Proceedings of 13th Asian Conference on Electrical Discharge (ACED)
  
  Pages: 1-12
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18760214
[Journal Article] 大気圧容量性結合Heフラズマにおけるガス温度上昇機構の数値解析2006
- Author(s)
  小田昭紀
- Journal Title
  
  第53回応用物理学関係連合講演会講演予稿集 1巻
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16760224
[Journal Article] Modeling of Atmospheric-Pressure and Radio-Frequency Discharge Plasmas in Helium - Influence of a Small Admixture of Oxygen on Discharge Properties -2005
- Author(s)
  T.Hasegawa, A.Oda, T.Kimura, Y.Oshikane
- Journal Title
  
  Proceedings of Plasma Science Symposium 2005 / The 22nd Symposium on Plasma Processing
  
  Pages: 113-114
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16760224
[Journal Article] One-Dimensional Fluid Modeling of Radio Frequncy and Atmospheric pressure Glow Discharges in He/O2 Gas Mixture2005
- Author(s)
  A.Oda
- Journal Title
  
  Proc.of 27th International Conference on Phemomena in Ionised Gases
  
  Pages: 17-235
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16760224
[Journal Article] Simulation of Xe Barrier Discharges for Excimer Lamp - Effect of Higher Driving Frequency on Lamp Characteristics -2005
- Author(s)
  A.Oda, H.Akashi, Y.Sakai
- Journal Title
  
  Proceedings of Plasma Science Symposium 2005 / The 22nd Symposium on Plasma Processing
  
  Pages: 115-116
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16760224
[Journal Article] He大気圧・高周波放電プラズマ特性へ及ぼすガス温度の影響2005
- Author(s)
  小田昭紀
- Journal Title
  
  第66回応用物理学会学術講演会講演予稿集 1巻
  
  Pages: 103-103
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16760224
[Journal Article] Simulation of Radio-Frequency Helium Discharge Plasmas at Atmospheric Pressure2004
- Author(s)
  A.Oda, T.Hasegawa, T.Kimura, Y.Oshikane
- Journal Title
  
  Proceedings of 57th Gaseous Electronics Conference
  
  Pages: 72-72
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16760224
[Journal Article] Analysis of Discharge Properties in Atmospheric Pressure and Low Frequency 02 Barrier Discharges2004
- Author(s)
  A.Oda, T.Kimura
- Journal Title
  
  Proceedings of 57th Gaseous Electronics Conference
  
  Pages: 63-63
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16760224
[Journal Article] Modeling of multi filament discharges in dielectric barrier discharge excimer lamp2004
- Author(s)
  H.Akashi, A.Oda, Y.Sakai
- Journal Title
  
  Proceedings of 57th Gaseous Electronics Conference
  
  Pages: 14-14
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16760224
[Presentation] Numerical Analysis of Current Propagation into Cells by Nonthermal Atmospheric Pressure Plasma Irradiation2024
- Author(s)
  T. Ishihara, T. Nakajima, S. Sasaki, I. Yagi, K. Tachibana, S. Uchida and A. Oda
- Organizer
  6th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2024)
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21H01317
[Presentation] 低温大気圧プラズマ照射面積変化に伴う細胞への電流伝搬の数値解析2024
- Author(s)
  石原卓也, 中島大雅, 佐々木瞬, 八木一平, 立花孝介, 内田諭, 小田昭紀
- Organizer
  第41回プラズマプロセシング研究会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21H01317
[Presentation] 低温大気圧プラズマと細胞の電気的相互作用に及ぼす駆動周波数依存性の数値解析2024
- Author(s)
  石原卓也, 佐々木瞬, 中島大雅, 八木一平, 立花孝介, 内田諭, 小田昭紀
- Organizer
  第71回応用物理学会春季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21H01317
[Presentation] Permeation characteristics of long-lifetime reactive oxygen species through biological membranes under superimposed electric field generated by the irradiation of cold atmospheric pressure plasma2023
- Author(s)
  Ryo Ninomiya, Kosuke Takami, Ippei Yagi, Satoshi Uchida, Kosuke Tachibana, Akinori Oda, Takehiko Sato
- Organizer
  20th International Conference on Flow Dynamics (ICFD2023)
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21H01317
[Presentation] 外部電界下におけるPOPC脂質二重層の膜透過性に関する分子動力学シミュレーション2023
- Author(s)
  立花孝介，岩田優太，髙見幸亮，八木一平，小田昭紀，内田諭
- Organizer
  第17回分子科学討論会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21H01317
[Presentation] バイオ応用を目的とした大気圧Heプラズマの細胞に対する電気的作用の数値解析2023
- Author(s)
  杉野拓海，佐々木瞬，小田昭紀，山内翔太，八木一平，内田諭，立花孝介
- Organizer
  第70回応用物理学会春季講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21H01317
[Presentation] 低温大気圧Heプラズマ照射による細胞へ及ぼす電気的作用の数値解析2023
- Author(s)
  小田昭紀, 佐々木瞬, 石原卓也, 中島大雅, 八木一平, 立花孝介, 内田諭
- Organizer
  第84回応用物理学会秋季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21H01317
[Presentation] Permeation characteristics of hydrogen peroxide through biological membranes by applying electric field2023
- Author(s)
  Yuta Iwata, Kosuke Takami, Ippei Yagi, Kosuke Tachibana, Akinori Oda, Takehiko Sato and Satoshi Uchida
- Organizer
  The XXXVth International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG XXXV)
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21H01317
[Presentation] 大気圧プラズマ照射による細胞への電気的応答の数値解析2023
- Author(s)
  小田昭紀, 石原卓也, 中島大雅, 八木一平, 立花孝介, 内田諭
- Organizer
  2023年度電気学会基礎・材料・共通部門（A部門）大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21H01317
[Presentation] 大気圧低温プラズマ由来の電界が細胞膜の構造および活性種の膜透過性に与える影響に関する分子動力学シミュレーション2023
- Author(s)
  立花孝介，髙見幸亮，二宮諒，八木一平，小田昭紀，内田諭
- Organizer
  第33回日本MRS年次大会
- Invited
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21H01317
[Presentation] Effects of Superimposed Electric Field on Structure and Permeability of Biological Membrane Investigated by Molecular Dynamics Simulation2023
- Author(s)
  K. Tachibana, K. Takami, R. Ninomiya, I. Yagi, A. Oda, S. Uchida
- Organizer
  20th International Conference on Flow Dynamics (ICFD2023)
- Invited / Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21H01317
[Presentation] 電界印加による過酸化水素の生体膜透過特性2023
- Author(s)
  岩田優太, 高見幸亮, 八木一平, 立花孝介, 小田昭紀, 佐藤岳彦, 内田諭
- Organizer
  第70回応用物理学会春季講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21H01317
[Presentation] 大気圧低温プラズマ照射による細胞への電気的相互作用に関する数値解析2023
- Author(s)
  小田昭紀, 石原卓也, 中島大雅, 立花孝介, 八木一平, 内田諭
- Organizer
  第33回日本MRS年次大会
- Invited
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21H01317
[Presentation] 電界と電荷による活性酸素種の生体膜透過特性の変化2022
- Author(s)
  岩田優太, 山内翔太, 八木一平, 立花孝介, 小田昭紀, 佐藤岳彦, 内田諭
- Organizer
  第69回応用物理学会春季講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21H01317
[Presentation] 細胞への電気穿孔を目的とした大気圧He/N2グロー放電における印加電圧依存性の数値解析2022
- Author(s)
  佐々木瞬，藤田諒，山内翔太，内田諭，立花孝介，小田昭紀
- Organizer
  令和4年電気学会基礎・材料・共通部門大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21H01317
[Presentation] プラズマ照射が生体細胞へ及ぼす影響の解明に向けた大気圧He/N2グロー放電のシミュレーション2022
- Author(s)
  佐々木瞬, 藤田諒, 山内翔太, 内田諭, 立花孝介, 小田昭紀
- Organizer
  第69回応用物理学会春季講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21H01317
[Presentation] 医療応用を目的とした大気圧Heプラズマの数値解析2022
- Author(s)
  杉野拓海, 佐々木瞬, 山内翔太，八木一平，立花孝介，内田諭，小田昭紀
- Organizer
  2022年　放電学会年次大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21H01317
[Presentation] Changes in the permeation characteristics of ROS through biological membranes by discharge plasma-Induced electric field2022
- Author(s)
  Yuta Iwata, Ippei Yagi, Kosuke Tachibana, Akinori Oda, Takehiko Sato, Satoshi Uchida
- Organizer
  75th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC2022)
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-21H01317
[Presentation] Si含有DLC成膜用テトラメチルシランプラズマ特性の計測-プラズマ基礎特性のガス流量依存性- （12a-PB1-92019
- Author(s)
  大野祐也，永井雅之，小田昭紀，太田貴之，上坂裕之
- Organizer
  第66回応用物理学会春季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] 容量結合型RFプラズマCVD法によるSi含有DLC膜の作製およびその評価 (19A-24)2019
- Author(s)
  永井雅之, 大野祐也, 上坂裕之, 太田貴之, 小田昭紀
- Organizer
  表面技術協会 139回講演大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] 低圧RF容量結合型炭化水素プラズマによるDLC膜堆積モデルの構築（11a-PA5-12）2019
- Author(s)
  小川慎, 小田昭紀, 太田貴之, 上坂裕之
- Organizer
  第66回応用物理学会春季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] アモルファスカーボン成膜用大気圧 He/CH 4 プラズマの数値解析 (1-085)2019
- Author(s)
  小嶋正宏，大木一真, 小田昭紀
- Organizer
  平成31年電気学会全国大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] HiPIMSを用いたDLC成膜とその気相診断2018
- Author(s)
  太田貴之、伊賀一憲、三輪侑生、小田昭紀、上坂裕之
- Organizer
  電気学会　放電/プラズマ・パルスパワー合同研究会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] Si含有DLC成膜用テトラメチルシランプラズマの計測 (13B-03)2018
- Author(s)
  永井雅之, 大野祐也, 上坂裕之, 太田貴之, 小田昭紀
- Organizer
  表面技術協会 138回講演大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] アモルファス炭素膜創製用大気圧炭化水素プラズマのシミュレーション (5-F-a1-3)2018
- Author(s)
  小田昭紀, 小嶋正宏, 大木一真，太田貴之，上坂裕之
- Organizer
  平成30年電気学会基礎・材料・共通部門大会(A部門大会)
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] 炭素材料創製用非平衡大気圧炭化水素プラズマのシミュレーショ2018
- Author(s)
  大木一真，小田昭紀，太田貴之，上坂裕之
- Organizer
  第65回応用物理学会春季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] 2元スパッタリングを用いて成膜したSi-DLC膜のSi含有量依存性 (C27)2018
- Author(s)
  太田　貴之、三輪　侑生、伊賀　一憲、小田　昭紀、上坂　裕之
- Organizer
  トライボロジー会議2018秋
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] ハイパワーインパルスマグネトロンスパッタリングによるSi含有DLC膜の成膜2018
- Author(s)
  Y. Miwa, A. Oda, H. Kousaka, and T. Ohta
- Organizer
  第28回日本MRS年次大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] Friction Property of Silicon-doped Diamond-like Carbon Film Deposited by Magnetron Sputtering2018
- Author(s)
  Yuki Miwa, Akinori Oda, Hiroyuki Kousaka and Takayuki Ohta
- Organizer
  10th International Symposium on Advanced Plasma Science (Isplasma2018)
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] Si含有DLC成膜用TMSプラズマの診断 -プラズマ基礎特性のガス圧力依存性-2018
- Author(s)
  永井雅之，大野祐也，小田昭紀，太田貴之，上坂裕之
- Organizer
  平成30年電気学会全国大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] 二元スパッタリングで成膜されたSi含有DLC膜のトライボ特性2018
- Author(s)
  三輪侑生、小田昭紀、上坂裕之、太田貴之
- Organizer
  第79回応用物理学会秋季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] 炭素材料創製用非平衡大気圧炭化水素プラズマの基板入射フラックスに関する数値解析 (21p-PB1-16)2018
- Author(s)
  小嶋正宏, 大木一真, 小田昭紀, 太田貴之, 上坂裕之
- Organizer
  第79回応用物理学会秋季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] Ion energy distribution in high power impulse magnetron sputtering discharge2018
- Author(s)
  Takayuki Ohta, Akinori Oda, Hiroyuki Kousaka
- Organizer
  JAPAN-RUB Workshop on Plasma Science
- Invited / Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] 大気圧高周波Heプラズマにおける放電モードの遷移メカニズムに関する数値解析2018
- Author(s)
  小嶋正宏，大木一真，小森恭平，小田昭紀
- Organizer
  平成30年電気学会全国大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] Dependence of Si content on Si-doped DLC film deposited by using magnetron sputtering2018
- Author(s)
  Yuki Miwa, Akinori Oda, Hiroyuki Kousaka, and Takayuki Ohta
- Organizer
  The 40th International Symposium on Dry Process (DPS2018)
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] Comparison of conventional plasma carburizing and new plasma carburizing using microwave-enhanced high-density plasma generated near substrate2018
- Author(s)
  Keiichirou NODA, Hiroyuki KOUSAKA, Noritsugu Umehara, Motoyuki Murashima, and Takayuki Tokoroyama
- Organizer
  10th International Symposium on Advanced Plasma Science (Isplasma2018)
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] Si含有DLC成膜用炭化水素プラズマの診断 : プラズマ基礎特性の電力依存性2018
- Author(s)
  大野祐也 , 永井雅之 , 小田昭紀 , 太田貴之 , 上坂裕之
- Organizer
  電気学会プラズマ/パルスパワー/放電合同研究会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] 質量分析及びプローブ計測によるSi含有DLC成膜用テトラメチルシランプラズマの診断 (5-F-a1-1)2018
- Author(s)
  大野祐也，永井雅之，小田昭紀，太田貴之，上坂裕之
- Organizer
  平成30年電気学会基礎・材料・共通部門大会(A部門大会)
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] Effect of Silicon Content in Diamond-Like Carbon Film Deposited by Magnetron Sputtering2018
- Author(s)
  Yuki Miwa, Akinori Oda, Hiroyuki Kousaka, and Takayuki Ohta
- Organizer
  The 14th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology (APCPST 2018)
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] FORMATION OF DIAMOND-LIKE CARBON FILM BY HIGH POWER IMPULSE MAGNETRON SPUTTERING AND PLASMA DIAGNOSTICS2018
- Author(s)
  Takayuki Ohta, Akinori Oda, Hiroyuki Kousaka
- Organizer
  International workshop on plasma synthesis of nanomaterials and its applications for sensor devices
- Invited / Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] スパッタリングにより成膜したSi 含有DLC 膜の摩擦特性2018
- Author(s)
  三輪侑生，小田昭紀, 上坂裕之, 太田貴之
- Organizer
  表面技術協会第137 回講演大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] スパッタリングを用いて成膜したDLC膜におけるSi添加効果2018
- Author(s)
  三輪侑生，小田昭紀, 上坂裕之，太田貴之
- Organizer
  平成３０年度　電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] ハイパワーインパルスマグネトロンスパッタリングを用いたSi 含有DLC 膜の成膜2018
- Author(s)
  三輪侑生，小田昭紀，上坂裕之，太田貴之
- Organizer
  プラズマ・核融合学会第35回年会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] ハイパワーインパルスマグネトロンスパッタリングで成膜したSi-DLC 膜の摩擦特性2018
- Author(s)
  三輪侑生、小田昭紀、上坂裕之、太田貴之
- Organizer
  第6回応用物理学会スチューデントチャプター(SC)東海地区学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] スパッタリングを用いたSi含有DLC膜におけるSi含有量依存性2018
- Author(s)
  三輪侑生，小田昭紀, 上坂裕之, 太田貴之
- Organizer
  表面技術協会第138 回講演大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] 質量分析器によるDLC成膜用メタンプラズマの診断2018
- Author(s)
  小川慎，大野祐也，小田昭紀，太田貴之，上坂裕之
- Organizer
  平成30年電気学会全国大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] Deposition of diamond-like carbon film using high power impulse magnetron sputtering2017
- Author(s)
  Takayuki Ohta, Atsushi Ishikawa, Akinori Oda and Hiroyuki Kohsaka
- Organizer
  The XXXIIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG2017)
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] DLC成膜用Ar/CH4プラズマの質量分析およびプローブ診断2017
- Author(s)
  深井駿，大野裕也，小田昭紀
- Organizer
  第64回応用物理学会春季学術講演会
- Place of Presentation
  パシフィコ横浜
- Year and Date
  2017-03-14
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] DLC成膜用Ar/CH4プラズマの診断－プラズマ基礎特性のガス流量依存性－2017
- Author(s)
  大野祐也，小田昭紀
- Organizer
  平成29年電気学会基礎・材料・共通部門大会(A部門大会)
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] Friction Characteristics of diamond-like carbon film formed by high power impulse magnetron sputtering2017
- Author(s)
  ATSUSHI ISHIKAWA, TAKAYUKI OHTA, AKINORI ODA, HIROYUKI KOUSAKA
- Organizer
  10th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT-10)
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] カーボンターゲットを用いたハイパワーインパルスマグネトロンスパッタリング中の粒子の挙動2017
- Author(s)
  伊賀一憲、太田貴之、小田昭紀、上坂裕之
- Organizer
  第78回応用物理学会秋季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] Friction property of Si-doped DLC film deposited by using dual magnetron sputtering2017
- Author(s)
  YUKI MIWA, TAKAYUKI OHTA, AKINORI ODA, HIROYUKI KOUSAKA
- Organizer
  10th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT-10)
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] ハイパワーインパルスマグネトロンスパッタリングを用いたダイヤモンドライクカーボンの成膜2017
- Author(s)
  石川敦士，伊賀一憲，太田貴之，小田昭紀，上坂裕之
- Organizer
  第78回応用物理学会秋季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] ハイパワーインパルスマグネトロンスパッタリングを用いたダイヤモンドライクカーボン膜の形成2017
- Author(s)
  石川敦士、太田貴之、小田昭紀、上坂裕之
- Organizer
  第64回応用物理学会春季学術講演会
- Place of Presentation
  パシフィコ横浜
- Year and Date
  2017-03-14
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] 二元同時スパッタを用いたSi含有DLC膜の成膜2017
- Author(s)
  三輪侑生、太田貴之、小田昭紀、上坂裕之
- Organizer
  第78回応用物理学会秋季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] 非平衡大気圧Heグロー放電の基礎特性と径方向均一性に及ぼす不純窒素ガス濃度の影響2017
- Author(s)
  小森郷平，小田昭紀
- Organizer
  2017年第64回応用物理学会春季学術講演会
- Place of Presentation
  パシフィコ横浜（神奈川県横浜市）
- Year and Date
  2017-03-14
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420247
[Presentation] 質量分析及びプローブによるDLC成膜用炭化水素プラズマの診断2017
- Author(s)
  大野祐也，小田昭紀
- Organizer
  平成29年電気学会全国大会
- Place of Presentation
  富山大学五福キャンパス（富山県富山市）
- Year and Date
  2017-03-15
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420247
[Presentation] 二元同時スパッタリングを用いたシリコン含有ダイヤモンドライクカーボン成膜2017
- Author(s)
  三輪侑生、太田貴之、小田昭紀、上坂裕之
- Organizer
  電気学会プラズマ研究会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] ハイパワーインパルスマグネトロンスパッタを用いて成膜したダイヤモンドライクカーボン膜の摩擦特性2017
- Author(s)
  石川敦士,　太田貴之,　小田昭紀,　上坂裕之
- Organizer
  Plasma Conference 2017
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] 質量分析法を用いたハイパワーインパルスマグネトロンカーボンスパッタリングの診断2017
- Author(s)
  伊賀一憲，太田貴之，小田昭紀，上坂裕之
- Organizer
  Plasma Conference 2017
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] DLC成膜用Ar/CH4プラズマの質量分析およびプローブ診断2017
- Author(s)
  深井駿，大野裕也，小田昭紀
- Organizer
  2017年第64回応用物理学会春季学術講演会
- Place of Presentation
  パシフィコ横浜（神奈川県横浜市）
- Year and Date
  2017-03-14
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420247
[Presentation] DLC成膜用炭化水素プラズマ基礎特性に及ぼす希釈Arガスの影響2017
- Author(s)
  大木一真，小田昭紀
- Organizer
  平成29年電気学会全国大会
- Place of Presentation
  富山大学五福キャンパス（富山県富山市）
- Year and Date
  2017-03-15
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420247
[Presentation] 炭素薄膜成膜用非平衡大気圧He/H2/CH4プラズマのシミュレーション2017
- Author(s)
  大木一真，小田昭紀，太田貴之，上坂裕之
- Organizer
  第78回応用物理学会秋季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] Formation of Diamond-like Carbon Film using High Power Impulse Magnetron Sputtering2017
- Author(s)
  Atsushi Ishikawa, Takayuki Ohta , Akinori Oda and Hiroyuki Kousaka
- Organizer
  ISPlasma2017 /IC-PLANTS2017
- Place of Presentation
  中部大学、愛知
- Year and Date
  2017-03-01
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] 非平衡大気圧ヘリウムプラズマの均一性と温度上昇に及ぼす誘電体材料の影響2016
- Author(s)
  小森郷平，小田昭紀
- Organizer
  電気学会放電研究会
- Place of Presentation
  千葉工業大学津田沼キャンパス（千葉県習志野市）
- Year and Date
  2016-03-11
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420247
[Presentation] DLC成膜用低圧高周波炭化水素プラズマのシミュレーション -基板への入射粒子フラックスに関する検討-2016
- Author(s)
  大木一真，小田昭紀
- Organizer
  2016年度放電学会年次大会
- Place of Presentation
  東京都市大学横浜キャンパス（神奈川県横浜市）
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420247
[Presentation] Energy flux to substrate in high-power impulse magnetron sputtering measured by using optical low-coherence interferometry2016
- Author(s)
  K. Hattori, T. Ohta, A. Oda, H. Kousaka, M. Ito
- Organizer
  The 69th Annual Gaseous Electronics Conference
- Place of Presentation
  Bochum, Germany
- Year and Date
  2016-10-10
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] 誘電体材料特性が大気圧He/N2グロー放電基礎特性に及ぼす影響2016
- Author(s)
  小森郷平，小田昭紀
- Organizer
  電気学会平成28年基礎・材料・共通部門大会
- Place of Presentation
  九州工業大学戸畑キャンパス（福岡県北九州市）
- Year and Date
  2016-09-05
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420247
[Presentation] Axially-symmetric Three-Dimensional Fluid Modelling of Capacitively-Coupled Radio-Frequency TetraMethylSilane Plasmas for Silicon-containing Diamond-Like Carbon Thin-Films Deposition2016
- Author(s)
  Akinori Oda, Kazuma Ohki, Satoru Kawaguchi, Kohki Satoh, Hiroyuki Kousaka and Takayuki Ohta
- Organizer
  15th International Conference on Plasma Surface Engineering
- Place of Presentation
  Garmisch-Partenkirchen (Germany)
- Year and Date
  2016-09-12
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420247
[Presentation] 発光分光及び質量分析による容量結合型RF窒素プラズマの診断2016
- Author(s)
  大野祐也，深井駿，小田昭紀
- Organizer
  2016年度放電学会年次大会
- Place of Presentation
  東京都市大学横浜キャンパス（神奈川県横浜市）
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420247
[Presentation] ダイヤモンドライクカーボン成膜用低圧高周波炭化水素プラズマの二次元流体シミュレーション2016
- Author(s)
  大木一真，小田昭紀
- Organizer
  電気学会プラズマ/パルスパワー/放電合同研究会
- Place of Presentation
  佐賀大学本庄キャンパス（佐賀県佐賀市）
- Year and Date
  2016-10-20
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420247
[Presentation] Axially-symmetric Three-Dimensional Fluid Modelling of Capacitively-Coupled Radio-Frequency TetraMethylSilane Plasmas for Silicon-containing Diamond-Like Carbon Thin-Films Deposition2016
- Author(s)
  Akinori Oda, Kazuma Ohki, Satoru Kawaguchi, Kohki Satoh, Hiroyuki Kousaka and Takayuki Ohta
- Organizer
  15th International Conference on Plasma Surface Engineering
- Place of Presentation
  Garmisch-Partenkirchen, Germany
- Year and Date
  2016-09-15
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] 四重極質量分析法によるダイヤモンドライクカーボン成膜用炭化水素プラズマの診断2016
- Author(s)
  深井駿，大野裕也，小田昭紀
- Organizer
  電気学会プラズマ/パルスパワー/放電研究会
- Place of Presentation
  佐賀大学本庄キャンパス（佐賀県佐賀市）
- Year and Date
  2016-10-20
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420247
[Presentation] 非平衡大気圧ヘリウムプラズマのシミュレーション-誘電体特性がプラズマ基礎特性に及ぼす影響-2016
- Author(s)
  小田昭紀，小森郷平
- Organizer
  電気学会プラズマ/放電/パルスパワー合同研究会
- Place of Presentation
  岩手大学工学部復興祈念銀河ホール（岩手県盛岡市）
- Year and Date
  2016-05-26
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420247
[Presentation] ハイパワーインパルスマグネトロンスパッタリングにおける基板入熱量2016
- Author(s)
  服部克宏、太田貴之、小田昭紀、上坂裕之
- Organizer
  第77回応用物理学会秋季学術講演会
- Place of Presentation
  朱鷺メッセ、新潟
- Year and Date
  2016-09-15
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] 四重極質量分析法によるダイヤモンドライクカーボン成膜用炭化水素プラズマの診断2016
- Author(s)
  深井駿，大野裕也，小田昭紀
- Organizer
  プラズマ/パルスパワー/放電研究会
- Place of Presentation
  佐賀大学
- Year and Date
  2016-10-20
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16H04256
[Presentation] ダイヤモンドライクカーボン成膜用高周波炭化水素プラズマのシミュレーション2016
- Author(s)
  大木一真，小田昭紀
- Organizer
  平成28年電気学会全国大会
- Place of Presentation
  東北大学川内北キャンパス（宮城県仙台市）
- Year and Date
  2016-03-16
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420247
[Presentation] 質量分析法によるDLC成膜用Ar/CH4プラズマの診断2016
- Author(s)
  深井駿，小田昭紀，上坂裕之，太田貴之
- Organizer
  2016年第63回応用物理学会春季学術講演会
- Place of Presentation
  東京工業大学大岡山キャンパス（東京都目黒区）
- Year and Date
  2016-03-19
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420247
[Presentation] 非平衡大気圧ヘリウムプラズマの均一性に与える誘電体の影響解析2015
- Author(s)
  小森郷平，小田昭紀
- Organizer
  電気学会基礎・材料・共通部門大会
- Place of Presentation
  金沢大学角間キャンパス（石川県金沢市）
- Year and Date
  2015-09-17
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420247
[Presentation] Diagnostics of capacitively-coupled hydrocarbon plasmas for deposition of diamond-like carbon films using quadrupole mass spectrometry and Langmuir probe2015
- Author(s)
  A. Oda, S. Fukai, H. Kousaka and T. Ohta
- Organizer
  68th Annual Gaseous Electronics Conference/9th International Conference on Reactive Plasmas/33rd Symposium on Plasma Processing
- Place of Presentation
  Hawaii Convention Center (Honolulu, HI, USA)
- Year and Date
  2015-10-12
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420247
[Presentation] Influence of dielectric materials on radial uniformity in non-equilibrium atmospheric pressure helium plasma2015
- Author(s)
  A. Oda and K. Komori
- Organizer
  68th Annual Gaseous Electronics Conference/9th International Conference on Reactive Plasmas/33rd Symposium on Plasma Processing
- Place of Presentation
  Hawaii Convention Center (Honolulu, HI, USA)
- Year and Date
  2015-10-12
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420247
[Presentation] 軸対称３次元流体モデルによる非平衡大気圧ヘリウムプラズマのシミュレーション2015
- Author(s)
  小森郷平，小田昭紀
- Organizer
  電気学会プラズマ/放電/パルスパワー合同研究会
- Place of Presentation
  北海道大学札幌キャンパス（北海道札幌市）
- Year and Date
  2015-06-04
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420247
[Presentation] ダイヤモンドライクカーボン成膜用炭化水素プラズマの質量分析およびプローブ診断2015
- Author(s)
  深井駿，小田昭紀，上坂裕之，太田貴之
- Organizer
  2015年第76回応用物理学会秋季学術講演会
- Place of Presentation
  名古屋国際会議場（愛知県名古屋市）
- Year and Date
  2015-09-13
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420247
[Presentation] Mass Spectrometric Study on Hydrocarbon Plasmas for Diamond-Like Carbon Coating2015
- Author(s)
  A. Oda, S. Fukai, H. Kousaka and T. Ohta
- Organizer
  第25回日本MRS年次大会
- Place of Presentation
  横浜市開港記念会館他（神奈川県横浜市）
- Year and Date
  2015-12-08
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420247
[Presentation] Effect of water vapor addition on fundamental properties in non-thermal helium plasmas at atmospheric pressure2014
- Author(s)
  A. Oda, J. Sakashita, Y. Suda
- Organizer
  8th International Conference on Reactive Plasmas / 31st Symposium on Plasma Processing
- Place of Presentation
  Fukuoka, Japan
- Data Source
  KAKENHI-PLANNED-21110007
[Presentation] Effect of water vapor addition on fundamental properties in non-thermal helium plasmas at atmospheric pressure2014
- Author(s)
  A.Oda, et al.
- Organizer
  8th Int. Conf. on Reactive Plasmas
- Place of Presentation
  Fukuoka,Japan
- Data Source
  KAKENHI-PLANNED-21110007
[Presentation] 非平衡大気圧He/H2Oプラズマのシミュレーション－プラズマ中の粒子組成の解析－2014
- Author(s)
  坂下准哉，小田昭紀
- Organizer
  平成26年電気学会全国大会シンポジウム
- Place of Presentation
  愛媛大学（愛媛県）
- Data Source
  KAKENHI-PLANNED-21110007
[Presentation] 大気圧グロー放電のシミュレーション2014
- Author(s)
  小田昭紀，坂下准哉
- Organizer
  平成26年電気学会全国大会シンポジウム
- Place of Presentation
  愛媛大学（愛媛県）
- Invited
- Data Source
  KAKENHI-PLANNED-21110007
[Presentation] 水蒸気添加された非平衡大気圧ヘリウムプラズマのシミュレーション2013
- Author(s)
  小田昭紀，坂下准哉
- Organizer
  電気学会プラズマ研究会
- Place of Presentation
  名城大学名駅サテライト（愛知県）
- Data Source
  KAKENHI-PLANNED-21110007
[Presentation] 容量結合型大気圧ヘリウムプラズマ基礎特性へ及ぼす不純窒素ガス濃度の影響2013
- Author(s)
  坂下准哉，小田昭紀
- Organizer
  平成25年電気学会基礎・材料・共通部門大会
- Place of Presentation
  横浜国立大学（神奈川県）
- Data Source
  KAKENHI-PLANNED-21110007
[Presentation] 容量結合型大気圧ヘリウムプラズマ基礎特性の不純窒素ガス依存性2013
- Author(s)
  坂下准哉，小田昭紀
- Organizer
  電気学会プラズマ・パルスパワー・放電合同研究会
- Place of Presentation
  まちなかキャンパス長岡（新潟県）
- Data Source
  KAKENHI-PLANNED-21110007
[Presentation] 水蒸気添加大気圧ヘリウムプラズマ中で生成される化学的活性種濃度に関する数値解析2013
- Author(s)
  小田昭紀，坂下准哉
- Organizer
  平成25年電気学会基礎・材料・共通部門大会
- Place of Presentation
  横浜国立大学（神奈川県）
- Data Source
  KAKENHI-PLANNED-21110007
[Presentation] ダイヤモンドライクカーボン成膜用高周波CH4プラズマのシミュレーション2012
- Author(s)
  小田昭紀，上坂裕之
- Organizer
  化学工学会第44回秋季大会
- Place of Presentation
  東北大学川内キャンパス（仙台）
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23560325
[Presentation] Numerical Simulation on Fundamental Properties in Low-Pressure Radio- Frequency CH_4 Plasmas for Diamond-Like Carbon Films2012
- Author(s)
  A. Oda and H. Kousaka
- Organizer
  XXI Europhysics Conference on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases (ESCAMPIG)
- Place of Presentation
  Viana do Castelo, Portugal(P2.8.8, 2 pages)
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23560325
[Presentation] Numerical Simulation on fundamental properties in low-pressure radio-frequency CH4 plasmas for diamond-like carbon films2012
- Author(s)
  A. Oda and H. Kousaka
- Organizer
  XXI Europhysics Conference on the Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases (ESCAMPIG 2012)
- Place of Presentation
  Viana do Castelo, Portugal
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23560325
[Presentation] 大気圧・直流希ガスグロー放電のI-V特性の数値解析2008
- Author(s)
  小田昭紀
- Organizer
  第25回プラズマプロセシング研究会
- Place of Presentation
  山口県教育会館(山口)
- Year and Date
  2008-01-23
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18760214
[Presentation] 大気圧・直流Heグロー放電の流体モデリング2007
- Author(s)
  小田昭紀
- Organizer
  第22回光源物性とその応用研究会
- Place of Presentation
  名古屋工業大学(名古屋)
- Year and Date
  2007-12-06
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18760214
[Presentation] 1次元流体モデルによる大気圧希ガス直流グロー放電プラズマの数値シミュレーション2007
- Author(s)
  小田昭紀
- Organizer
  電気学会・プラズマ研究会
- Place of Presentation
  同志社大学(京都)
- Year and Date
  2007-12-21
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18760214
[Presentation] Numerical Analysis on Capacitively-Coupled RF Tetrametylsilane Plasmas for Si-Containing DLC Film Coating
- Author(s)
  Akinori Oda, Satoru Kawaguchi, Kohki Satoh, Hiroyuki Kousaka, Takayuki Ohta
- Organizer
  ISPlasma2015/IC-PLANTS2015
- Place of Presentation
  名古屋大学（愛知県名古屋市）
- Year and Date
  2015-03-26 – 2015-03-31
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420247
[Presentation] 不純窒素ガスによる容量結合型大気圧ヘリウムプラズマ基礎特性への影響
- Author(s)
  坂下准哉, 小田昭紀
- Organizer
  2013年放電学会年次大会
- Place of Presentation
  首都大学東京（東京都）
- Data Source
  KAKENHI-PLANNED-21110007
[Presentation] Computational Study on Fundamental Properties in Capacitively-Coupled Radio-Frequency Tetrametylsilane Plasmas for Diamond-Like Carbon Film Coatings
- Author(s)
  Akinori Oda, Satoru Kawaguchi, Kohki Satoh, Hiroyuki Kousaka, Takayuki Ohta
- Organizer
  2014 MRS Fall Meeting & Exhibit
- Place of Presentation
  Boston, Massachusetts (USA)
- Year and Date
  2014-11-30 – 2014-12-05
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420247
[Presentation] Numerical Simulation on Spatiotemporal Behavior of Charged-Species in Tetrametylsilane Plasmas for Diamond-Like Carbon Coating
- Author(s)
  Akinori Oda, Satoru Kawaguchi, Kohki Satoh, Hiroyuki Kousaka and Takayuki Ohta
- Organizer
  Plasma Conference 2014 (PLASMA2014)
- Place of Presentation
  朱鷺メッセ（新潟県新潟市）
- Year and Date
  2014-11-18 – 2014-11-21
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420247
[Presentation] DLC成膜用容量結合型高周波テトラメチルシランプラズマのシミュレーション
- Author(s)
  小田昭紀，川口悟，佐藤孝紀，上坂裕之，太田貴之
- Organizer
  第75回応用物理学会秋季学術講演会
- Place of Presentation
  北海道大学（北海道札幌市）
- Year and Date
  2014-09-17 – 2014-09-20
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420247

1. UCHIDA Satoshi (90305417)

# of Collaborated Projects: 3 results

# of Collaborated Products: 18 results
2. BAE Jongsuck (20165525)

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 0 results
3. KIMURA Takashi (60225042)

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 0 results
4. ISHIKAWA Ryo (30333892)

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 0 results
5. 立花孝介 (10827314)

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 18 results
6. TOCHIKUBO Fumiyoshi (90244417)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
7. SHIRAI Naoki (80552281)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
8. Kousaka Hiroyuki (90362318)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 41 results
9. 莅戸立夫 (00261149)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
10. 太田貴之 (10379612)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 42 results
11. 村島基之 (70779389)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 1 results

Oda Akinori 小田 昭紀

ODA Akinori 小田 昭紀

Research Projects

Research Products

Co-Researchers

Mathematical modeling of the intermembrane electrical system in plasma-stimulated cells

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Review Section

Research Institution

Numerical investigation of transport transition in biological membrane due to charge and electric field induced by discharge plasma

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Review Section

Research Institution

Building an academic foundation for balancing ultra-high-speed deposition and ultra-low friction of hard carbon-based coatings

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Fundamental Study on Research and Development of Diamond-Like Carbon Coating Technique using Atmospheric-Pressure Hydrocarbon Plasma-assisted Chemical Vapor DepositionPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Fundamental study on optimization of nanocarbon materials fabrication technique using an atmospheric-pressure plasma-assisted chemical vapor depositionPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Influence of Particle and Heat Transportation on Plasma-Material Interactions

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Review Section

Research Institution

次世代プラズマプロセス用大気圧放電の安定性に関する研究-放電ガス温度の影響-Principal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

大面積処理用大気圧グロー放電の最適化に関する基礎研究 -放電ガス種依存性-Principal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Study on a power combiner using an oversized-waveguide resonator at short millimeter wavelengths.

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

半導体中の光励起プラズマを利用した周波数アップコンバータの研究

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Xeエキシマランプの高性能化を目的としたバリア放電のモデリングに関する研究Principal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

[Book] 現代 電気電子材料2013

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Data Source

[Book] 現代電気電子材料2013

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Publisher

Oda Akinori 小田昭紀

ODA Akinori 小田昭紀

[Book] 現代電気電子材料2013