Kubo Toshitaka 久保利隆

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久保利隆クボトシタカ

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Researcher Number	70344124
Other IDs	https://orcid.org/0000-0002-7652-0219
Affiliation (Current)	2026: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 材料・化学領域, 主任研究員
Affiliation (based on the past Project Information) *help	2023 – 2025: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 材料・化学領域, 主任研究員 2015 – 2016: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, ナノ材料研究部門, 研究グループ長
Review Section/Research Field	Principal Investigator Medium-sized Section 30:Applied physics and engineering and related fields Except Principal Investigator Basic Section 27030:Catalyst and resource chemical process-related / Nanomaterials engineering
Keywords	Principal Investigator プラズマ加工技術 / 極薄絶縁性材料 / マスクレス加工 / 局所プラズマ Except Principal Investigator アンモニア / 一酸化窒素 / メタン / エッチング / プラズマ / 二次元層状物質

Maskless etching process of ultra-thin optical functional materials using inward plasmaPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  久保利隆
- Project Period (FY)
  2025 – 2026
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
- Review Section
  
  Medium-sized Section 30:Applied physics and engineering and related fields
- Research Institution
  National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
メタンの低温活性化と窒素酸化物の同時資源化
- Principal Investigator
  
  高垣敦
- Project Period (FY)
  2023 – 2025
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Review Section
  
  Basic Section 27030:Catalyst and resource chemical process-related
- Research Institution
  Yokohama National University
Development of digital etching of 2D layered materials using the inward plasma method
- Principal Investigator
  
  Miyawaki Jun
- Project Period (FY)
  2015 – 2016
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
- Research Field
  
  Nanomaterials engineering
- Research Institution
  National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

All 2025 2024 2017 2016 2015

All Presentation

[Presentation] アルミナ担持白金触媒によるメタンと一酸化窒素からのシアン化水素合成2025
- Author(s)
  山下笑佳、阪東恭子、久保利隆、高垣敦
- Organizer
  触媒学会　第135回触媒討論会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K04498
[Presentation] Selective Dimethyl Ether Production by Methane Partial Oxidation Over Pt Catalysts and Structural Analysis of Active Sites2024
- Author(s)
  Kyoko K. Bando, Toshitaka Kubo, Vibin Vargheese, Atsushi Takagaki, S. Ted Oyama
- Organizer
  18th International Congress on Catalysis
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23K04498
[Presentation] Buffer gas effect on the silicon etch rate in the CF4 inward plasma2017
- Author(s)
  狩野諒、菅洋志、新堀俊一郎、高橋賢、久保利隆、安藤淳
- Organizer
  ISPlasma2017/IC-PLANTS2017
- Place of Presentation
  中部大学（愛知県春日井市）
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15K13310
[Presentation] Morphology and electrical studies on defect-induced transition metal dichalcogenide nanosheet by O2 plasma treatment2017
- Author(s)
  安藤淳、宮脇淳、堀川昌代、清水哲夫、久保利隆
- Organizer
  ISPlasma2017/IC-PLANTS2017
- Place of Presentation
  中部大学（愛知県春日井市）
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15K13310
[Presentation] Etching morphology of HOPG and Molybdenum Disulfide (MoS2) treated with inward-plasma2017
- Author(s)
  久保利隆、宮脇淳、清水哲夫、新堀俊一郎、高橋賢、安藤淳
- Organizer
  ISPlasma2017/IC-PLANTS2017
- Place of Presentation
  中部大学（愛知県春日井市）
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15K13310
[Presentation] STM observation and Monte Carlo simulation of Molybdenum Disulfide (MoS2) Treated with Inward-Plasma Etching2016
- Author(s)
  宮脇淳、久保利隆、清水哲夫、新堀俊一郎、高橋賢、安藤淳
- Organizer
  ICSPM24
- Place of Presentation
  ハワイコンベンションセンター（米国ハワイ州）
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15K13310
[Presentation] Single Layer Etching of MoS2 using Inward-Plasma2016
- Author(s)
  久保利隆、宮脇淳、清水哲夫、新堀俊一郎、高橋賢、安藤淳
- Organizer
  日本化学会第96春季年会
- Place of Presentation
  同志社大学（京都府京田部市）
- Year and Date
  2016-03-25
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15K13310
[Presentation] 吸引プラズマを用いたMoS2表面の層状エッチング形状2016
- Author(s)
  久保利隆、宮脇淳、清水哲夫、新堀俊一郎、高橋賢、安藤淳
- Organizer
  2016年真空・表面科学合同講演会
- Place of Presentation
  名古屋国際会議場（愛知県名古屋市）
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15K13310
[Presentation] Fast local etching of Si substrates using inward plasma2016
- Author(s)
  宮脇淳、狩野　諒、菅　洋志、久保利隆、安藤淳、新堀俊一郎、高橋賢、清水哲夫
- Organizer
  ISPlasma2016
- Place of Presentation
  名古屋大学（愛知県名古屋市）
- Year and Date
  2016-03-09
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15K13310
[Presentation] 酸素プラズマ処理を用いた欠陥導入に伴う層状半導体の電気特性変化2016
- Author(s)
  安藤淳、久保利隆、堀川昌代、宮脇淳、清水哲夫、森貴洋
- Organizer
  ナノ学会
- Place of Presentation
  北九州国際会議場（福岡県北九州市）
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15K13310
[Presentation] STMとモンテカルロシミュレーションによる二次元層状物質の単層プラズマエッチング形状2016
- Author(s)
  久保利隆、宮脇淳、清水哲夫、新堀俊一郎、高橋賢、安藤淳
- Organizer
  ナノ学会
- Place of Presentation
  北九州国際会議場（福岡県北九州市）
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15K13310
[Presentation] 吸引プラズマによるSi基板の高速局所エッチング加工2016
- Author(s)
  宮脇淳、狩野　諒、菅　洋志、久保利隆、安藤淳、新堀俊一郎、高橋賢、清水哲夫
- Organizer
  第63回応用物理学会春季学術講演会
- Place of Presentation
  東京工業大学（東京都目黒区）
- Year and Date
  2016-03-21
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15K13310
[Presentation] 吸引プラズマエッチング法を用いたSiO2ダイヤフラム構造作製技術の開発2016
- Author(s)
  狩野諒、菅洋志、新堀俊一郎、高橋賢、久保利隆、安藤淳、清水哲夫、宮脇淳
- Organizer
  2016年真空・表面科学合同講演会
- Place of Presentation
  名古屋国際会議場（愛知県名古屋市）
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15K13310
[Presentation] 吸引プラズマの精密エッチングレート制御2016
- Author(s)
  狩野諒、菅洋志、新堀俊一郎、高橋賢、宮脇淳、久保利隆、安藤淳、清水哲夫
- Organizer
  第77回応用物理学会秋季学術講演会
- Place of Presentation
  朱鷺メッセ（新潟県新潟市）
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15K13310
[Presentation] Morphology and Electrical Studies on Defect-induced MoS2 Nanosheet by O2 Plasma Treatment2015
- Author(s)
  安藤淳、堀川昌代、宮脇淳、清水哲夫、久保利隆
- Organizer
  23rd International Colloquium on Scanning Probe Microscopy (ICSPM23)
- Place of Presentation
  ニセコプリンスホテル（北海道虻田郡ニセコ町）
- Year and Date
  2015-12-10
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15K13310
[Presentation] 吸引型プラズマによる二次元層状物質の広範囲単層エッチング2015
- Author(s)
  宮脇淳、久保利隆、清水哲夫、新堀俊一郎、高橋賢、安藤淳
- Organizer
  第76回応用物理学会秋季学術講演会
- Place of Presentation
  名古屋国際会議場（愛知県名古屋市）
- Year and Date
  2015-09-16
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15K13310
[Presentation] 二次元原子薄膜材料の単層剥離技術の開発2015
- Author(s)
  久保利隆、宮脇淳、清水哲夫、新堀俊一郎、高橋賢、安藤淳
- Organizer
  真空・表面科学合同講演会
- Place of Presentation
  茨城県つくば市
- Year and Date
  2015-12-03
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15K13310
[Presentation] 2D Network-like Nanostructure of Molybdenum Disulfide (MoS2) Formed by Inward-Plasma Etching2015
- Author(s)
  久保利隆、宮脇淳、清水哲夫、新堀俊一郎、高橋賢、安藤淳
- Organizer
  International Colloquium on Scanning Probe Microscopy (ICSPM23)
- Place of Presentation
  ニセコプリンスホテル（北海道虻田郡ニセコ町）
- Year and Date
  2015-12-10
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15K13310
[Presentation] 吸引型プラズマによる二次元層状物質の単層エッチング2015
- Author(s)
  久保利隆、宮脇淳、清水哲夫、新堀俊一郎、高橋賢、安藤淳
- Organizer
  ナノ学会第13回大会
- Place of Presentation
  東北大学(宮城県仙台市）
- Year and Date
  2015-05-11
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-15K13310

1. Miyawaki Jun (20358138)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 16 results
2. 高垣敦 (30456157)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 2 results
3. 阪東恭子 (50357828)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 2 results

Kubo Toshitaka 久保 利隆

久保 利隆 クボ トシタカ

Research Projects

Research Products

Co-Researchers

Maskless etching process of ultra-thin optical functional materials using inward plasmaPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Review Section

Research Institution

メタンの低温活性化と窒素酸化物の同時資源化

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Review Section

Research Institution

Development of digital etching of 2D layered materials using the inward plasma method

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

[Presentation] アルミナ担持白金触媒によるメタンと一酸化窒素からのシアン化水素合成2025

Author(s)

Organizer

Data Source

[Presentation] Selective Dimethyl Ether Production by Methane Partial Oxidation Over Pt Catalysts and Structural Analysis of Active Sites2024

Author(s)

Organizer

Data Source

[Presentation] Buffer gas effect on the silicon etch rate in the CF4 inward plasma2017

Author(s)

Organizer

Place of Presentation

Data Source

[Presentation] Morphology and electrical studies on defect-induced transition metal dichalcogenide nanosheet by O2 plasma treatment2017

Author(s)

Organizer

Place of Presentation

Data Source

[Presentation] Etching morphology of HOPG and Molybdenum Disulfide (MoS2) treated with inward-plasma2017

Author(s)

Organizer

Place of Presentation

Data Source

[Presentation] STM observation and Monte Carlo simulation of Molybdenum Disulfide (MoS2) Treated with Inward-Plasma Etching2016

Author(s)

Organizer

Place of Presentation

Data Source

[Presentation] Single Layer Etching of MoS2 using Inward-Plasma2016

Author(s)

Organizer

Place of Presentation

Year and Date

Data Source

[Presentation] 吸引プラズマを用いたMoS2表面の層状エッチング形状2016

Author(s)

Organizer

Place of Presentation

Data Source

[Presentation] Fast local etching of Si substrates using inward plasma2016

Author(s)

Organizer

Place of Presentation

Year and Date

Data Source

[Presentation] 酸素プラズマ処理を用いた欠陥導入に伴う層状半導体の電気特性変化2016

Author(s)

Organizer

Place of Presentation

Data Source

[Presentation] STMとモンテカルロシミュレーションによる二次元層状物質の単層プラズマエッチング形状2016

Author(s)

Organizer

Place of Presentation

Data Source

[Presentation] 吸引プラズマによるSi基板の高速局所エッチング加工2016

Author(s)

Kubo Toshitaka 久保利隆

久保利隆クボトシタカ