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KUDO Ryota  工藤 良太

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Researcher Number 70706697
Other IDs
Affiliation (based on the past Project Information) *help 2014: 大阪大学, 工学(系)研究科(研究院), 特任研究員
2013 – 2014: 大阪大学, 工学(系)研究科(研究院), 研究員
Review Section/Research Field
Principal Investigator
Measurement engineering
Keywords
Principal Investigator
欠陥計測 / 三光束干渉定在波 / 微細加工表面構造 / 二次元構造 / 暗視野散乱光検出 / 二次元表面計測 / コヒーレント結像 / 逐次再構成計算 / アルゴリズム / 変調照明 / 超解像光学
  • Research Projects

    (1 results)
  • Research Products

    (6 results)
  •  Development of 2-dimensional super-resolution with structured light shiftPrincipal Investigator

    • Principal Investigator
      KUDO Ryota
    • Project Period (FY)
      2013 – 2014
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Research Activity Start-up
    • Research Field
      Measurement engineering
    • Research Institution
      Osaka University

All 2015 Other

All Journal Article Presentation

  • [Journal Article] 変調照明シフトによる超精密加工表面の超解像光学式欠陥計測に関する研究(第4報) -コヒーレント結像逐次再構成型超解像法の実験的検証-2015

    • Author(s)
      工藤良太, 高橋哲, 高増潔
    • Journal Title

      精密工学会誌

      Volume: 未定

    • NAID

      130005084685

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant / Open Access
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-25889012
  • [Journal Article] 変調照明シフトによる超精密加工表面の超解像光学式欠陥計測に関する研究(第3報) -コヒーレント結像逐次再構成型超解像法の原理-2015

    • Author(s)
      工藤良太, 高橋哲, 高増潔
    • Journal Title

      精密工学会誌

      Volume: 未定

    • NAID

      130005074035

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant / Open Access
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-25889012
  • [Presentation] 定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査(第16報)-コヒーレント結像逐次再構成型超解像装置の基本的機能検証-

    • Author(s)
      工藤良太
    • Organizer
      2013年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • Place of Presentation
      関西大学
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-25889012
  • [Presentation] Coherent Imaging Algorithm of Super-Resolution Optical Inspection with Structured Light Shift

    • Author(s)
      Ryota Kudo
    • Organizer
      LEM21
    • Place of Presentation
      宮城,松島,ホテル大観荘
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-25889012
  • [Presentation] 定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査(第17報)-コヒーレント結像逐次再構成型超解像法の実験的検証-

    • Author(s)
      工藤良太
    • Organizer
      2013年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • Place of Presentation
      関西大学
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-25889012
  • [Presentation] 定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査(第18報)-コヒーレント結像逐次再構成型超解像法による二次元超解像法のシミュレーションによる検討-

    • Author(s)
      工藤良太, 高橋哲, 高増潔
    • Organizer
      精密工学会
    • Place of Presentation
      鳥取大学
    • Year and Date
      2014-09-16 – 2014-09-18
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-25889012

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