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小栗 泰造  オグリ タイゾウ

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Researcher Number 80359413
Affiliation (Current) 2025: 地方独立行政法人大阪産業技術研究所, 和泉センター, 総括研究員
2025: 地方独立行政法人大阪府立産業技術総合研究所, その他部局等, 主幹研究員
Affiliation (based on the past Project Information) *help 2019: 地方独立行政法人大阪府立産業技術総合研究所, その他部局等, 主幹研究員
2017 – 2018: 地方独立行政法人大阪産業技術研究所, その他部局等, 主幹研究員
Review Section/Research Field
Except Principal Investigator
Inorganic materials/Physical properties
Keywords
Except Principal Investigator
歪抵抗薄膜 / 薄膜 / セラミックス / 電子・電気材料 / スパッタリング / ひずみ抵抗薄膜 / オイルレス / 高温圧力センサ / 酸炭化物薄膜
  • Research Projects

    (1 results)
  • Research Products

    (6 results)
  • Co-Researchers

    (2 People)
  •  Development of high sensitivity high-temperature oilless pressure sensor with temperature compensation function

    • Principal Investigator
      KAKEHI Yoshiharu
    • Project Period (FY)
      2017 – 2019
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • Research Field
      Inorganic materials/Physical properties
    • Research Institution
      Osaka Research Institute of Industrial Science and Technology

All 2020 2019 2018

All Presentation

  • [Presentation] 2 層型ひずみ抵抗薄膜 (TiCxOy/SiCxOy) を用いた高温オイルレス圧力センサの開発2020

    • Author(s)
      筧 芳治,佐藤 和郎,小栗 泰造,近藤 裕佑,山田 義春
    • Organizer
      日本セラミックス協会2020年年会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17K06811
  • [Presentation] MgOバッファ膜を用いたTiCxOy高温ひずみ抵抗薄膜の特性改善2019

    • Author(s)
      筧 芳治,佐藤 和郎,小栗 泰造,山田 義春,近藤 裕佑
    • Organizer
      日本セラミックス協会2019年年会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17K06811
  • [Presentation] 2層型ひずみ抵抗薄膜を用いた直圧式高温圧力センサの開発2019

    • Author(s)
      筧 芳治,佐藤 和郎,小栗 泰造,山田 義春,近藤 裕佑
    • Organizer
      2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17K06811
  • [Presentation] 磁気中性線放電プラズマによるオイルレス圧力センサ用ストレインゲージ薄膜のドライエッチング2018

    • Author(s)
      佐藤 和郎,筧 芳治,金岡 祐介, 小栗 泰造,近藤 裕佑,山田 義春
    • Organizer
      2018年 第65回応用物理学会春季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17K06811
  • [Presentation] MgO バッファ膜が高温オイルレス圧力センサ用ひずみ抵抗薄膜TiCxOy の特性に与える影響2018

    • Author(s)
      筧 芳治,佐藤 和郎,小栗 泰造,山田 義春,近藤 裕佑
    • Organizer
      2018年日本表面真空学会学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17K06811
  • [Presentation] TiC薄膜を用いたストレインゲージ特性に及ぼす酸素添加の効果2018

    • Author(s)
      筧 芳治、佐藤 和郎、小栗 泰造、近藤 裕佑、山田 義春
    • Organizer
      日本セラミックス協会2018年年会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-17K06811
  • 1.  KAKEHI Yoshiharu (90359406)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 6 results
  • 2.  佐藤 和郎 (30315163)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 6 results

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