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Kajima Mariko  鍜島 麻理子

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Researcher Number 80371029
Affiliation (Current) 2026: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 計量標準総合センター, 研究グループ付
Affiliation (based on the past Project Information) *help 2024: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 計量標準総合センター, 研究グループ付
2023: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 計量標準総合センター, 研究グループ長
2021 – 2022: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 計量標準総合センター, 主任研究員
Review Section/Research Field
Principal Investigator
Basic Section 18020:Manufacturing and production engineering-related
Keywords
Principal Investigator
校正 / 自己校正型ロータリエンコーダ / 3D / 複雑形状 / 全周測定 / レーザ共焦点顕微鏡 / 高精度回転ステージ / 画像測定 / 自己校正型ロータリーエンコーダ / 光学式顕微鏡 … More / 形状計測 / 真円度 / フォトマスク / 自己校正型ロータリテーブル / 紫外線顕微鏡 / 計量標準 / フォトマスク真円度 Less
  • Research Projects

    (2 results)
  • Research Products

    (3 results)
  •  Development of entire-circumference measurement system for micro shapePrincipal Investigator

    • Principal Investigator
      鍜島 麻理子
    • Project Period (FY)
      2024 – 2026
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • Review Section
      Basic Section 18020:Manufacturing and production engineering-related
    • Research Institution
      National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
  •  Calibration of photomask roundness using a precision rotary tablePrincipal Investigator

    • Principal Investigator
      Kajima Mariko
    • Project Period (FY)
      2021 – 2023
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • Review Section
      Basic Section 18020:Manufacturing and production engineering-related
    • Research Institution
      National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

All 2023

All Presentation

  • [Presentation] 高精度回転ステージを用いたフォトマスク真円度測定装置の開発2023

    • Author(s)
      鍜島麻理子、菅原健太郎、渡部司
    • Organizer
      2023年度精密工学会春季大会学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K03797
  • [Presentation] 画像測定機のトレーサビリティ2023

    • Author(s)
      鍜島 麻理子
    • Organizer
      光計測シンポジウム
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K03797
  • [Presentation] Calibration system for photomask roundness based on a precision rotary table2023

    • Author(s)
      Mariko Kajima, Kentaro Sugawara, Yasuaki Hori, Tsukasa Watanabe
    • Organizer
      SPIE Optical Metrology Symposium
    • Int'l Joint Research
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K03797

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