TAKAHASHI Kazue 高橋主人

Researcher Number	80517095
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Affiliation (based on the past Project Information) *help	2016: 大島商船高等専門学校, その他部局等, 客員教授 2014 – 2015: 大島商船高等専門学校, その他部局等, その他 2011 – 2013: 大島商船高等専門学校, その他部局等, 教授
Review Section/Research Field	Principal Investigator Electron device/Electronic equipment
Keywords	Principal Investigator 付着力 / 異物除去 / 静電気力 / ドライ洗浄 / 異物低減 / 微粒子除去 / 表面洗浄 / 大気圧利用 / van der Waals力 / 微粒子付着 … More / 微粒子分散 / 高分子フィルム / ファン・デル・ワールス力 / 微粒子 / 静電吸着 Less

Removal of fine particles adhering to the surface of components using dielectric filmPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  Takahashi Kazue
- Project Period (FY)
  2014 – 2016
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Electron device/Electronic equipment
- Research Institution
  Oshima National College of Maritime Technology
Removal of particles adhering to the surfaces of components using electrostatic forcePrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  TAKAHASHI Kazue
- Project Period (FY)
  2011 – 2013
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Electron device/Electronic equipment
- Research Institution
  Oshima National College of Maritime Technology

All 2017 2016 2015 2014 2013 2012

All Journal Article Presentation

[Journal Article] 高分子フィルムの付着力を利用したシリコン表面上の微粒子除去2017
- Author(s)
  高橋主人
- Journal Title
  
  粉体工学会誌
  
  Volume: 54
- NAID
  130006189615
- Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant / Open Access
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420329
[Journal Article] 静電吸着によるシリコン表面上の微粒子除去における微粒子サイズの影響2014
- Author(s)
  高橋主人
- Journal Title
  
  J. Vac. Soc. Jpn.
  
  Volume: Vol. 57 Pages: 140-143
- NAID
  130004952508
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23560428
[Journal Article] 静電吸着によるシリコン表面上の微粒子除去における微粒子サイズの影響2014
- Author(s)
  高橋主人
- Journal Title
  
  真空
  
  Volume: 57 Pages: 140-143
- NAID
  130004952508
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23560428
[Journal Article] 静電吸着によるシリコン表面上の微粒子除去2013
- Author(s)
  高橋主人
- Journal Title
  
  真空
  
  Volume: 56巻5号
- NAID
  10031184203
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23560428
[Journal Article] 静電吸着によるシリコン表面上の微粒子除去2013
- Author(s)
  高橋主人
- Journal Title
  
  J. Vac. Soc. Jpn.
  
  Volume: Vol. 56 Pages: 273-276
- NAID
  10031184203
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23560428
[Presentation] フィルムによるシリコン表面に付着した微粒子の除去に及ぼす押し付け力の影響2016
- Author(s)
  高橋主人
- Organizer
  粉体工学会，第54回粉体に関する研究討論会
- Place of Presentation
  登別温泉
- Year and Date
  2016-09-12
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420329
[Presentation] 高速気流により分散した微粒子の平板試料への付着特性2016
- Author(s)
  高橋主人
- Organizer
  粉体工学会，第54回粉体に関する研究討論会
- Place of Presentation
  登別温泉
- Year and Date
  2016-09-12
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420329
[Presentation] 家庭用真空パック器をいたシリコン表面付着微粒子の除去2016
- Author(s)
  高橋主人
- Organizer
  日本真空学会，第57回真空に関する連合講演会
- Place of Presentation
  名古屋国際会議場
- Year and Date
  2016-11-29
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420329
[Presentation] 大気圧を利用した表面付着微粒子の除去2015
- Author(s)
  高橋主人
- Organizer
  日本真空学会
- Place of Presentation
  つくば国際会議場
- Year and Date
  2015-12-01
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-26420329
[Presentation] 静電吸着によるシリコン表面上の微粒子除去における微粒子サイズの影響2013
- Author(s)
  高橋主人
- Organizer
  第54回真空に関する連合後援会、日本真空学会主催
- Place of Presentation
  つくば国際会議場
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23560428
[Presentation] 軟質塩化ビニルシートと金属との付着力に及ぼす押付力の影響2013
- Author(s)
  高橋主人
- Organizer
  第54回真空に関する連合講演会
- Place of Presentation
  つくば国際会議場
- Year and Date
  2013-11-26
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23560428
[Presentation] 静電吸着によるシリコン表面上の微粒子除去における微粒子サイズの影響2013
- Author(s)
  高橋主人
- Organizer
  第54回真空に関する連合講演会
- Place of Presentation
  つくば国際会議場
- Year and Date
  2013-11-26
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23560428
[Presentation] 軟質塩化ビニルシートと金属との付着力に及ぼす押付力の影響2013
- Author(s)
  高橋主人
- Organizer
  第54回真空に関する連合後援会、日本真空学会主催
- Place of Presentation
  つくば国際会議場
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23560428
[Presentation] 静電吸着によるシリコン表面上の微粒子除去2012
- Author(s)
  高橋主人
- Organizer
  第53回真空に関する連合講演会
- Place of Presentation
  甲南大学
- Year and Date
  2012-11-24
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23560428
[Presentation] 静電吸着によるシリコン表面上の微粒子除去2012
- Author(s)
  高橋主人
- Organizer
  真空に関する連合講演会
- Place of Presentation
  甲南大学
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-23560428

1. 中村翼 (10390501)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
2. 古瀬宗雄 (50633228)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results

TAKAHASHI Kazue 高橋 主人

Research Projects

Research Products

Co-Researchers

Removal of fine particles adhering to the surface of components using dielectric filmPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Removal of particles adhering to the surfaces of components using electrostatic forcePrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

[Journal Article] 高分子フィルムの付着力を利用したシリコン表面上の微粒子除去2017

Author(s)

Journal Title

NAID

Data Source

[Journal Article] 静電吸着によるシリコン表面上の微粒子除去における微粒子サイズの影響2014

Author(s)

Journal Title

NAID

Data Source

[Journal Article] 静電吸着によるシリコン表面上の微粒子除去における微粒子サイズの影響2014

Author(s)

Journal Title

NAID

Data Source

[Journal Article] 静電吸着によるシリコン表面上の微粒子除去2013

Author(s)

Journal Title

NAID

Data Source

[Journal Article] 静電吸着によるシリコン表面上の微粒子除去2013

Author(s)

Journal Title

NAID

Data Source

[Presentation] フィルムによるシリコン表面に付着した微粒子の除去に及ぼす押し付け力の影響2016

Author(s)

Organizer

Place of Presentation

Year and Date

Data Source

[Presentation] 高速気流により分散した微粒子の平板試料への付着特性2016

Author(s)

Organizer

Place of Presentation

Year and Date

Data Source

[Presentation] 家庭用真空パック器をいたシリコン表面付着微粒子の除去2016

Author(s)

Organizer

Place of Presentation

Year and Date

Data Source

[Presentation] 大気圧を利用した表面付着微粒子の除去2015

Author(s)

Organizer

Place of Presentation

Year and Date

Data Source

[Presentation] 静電吸着によるシリコン表面上の微粒子除去における微粒子サイズの影響2013

Author(s)

Organizer

Place of Presentation

Data Source

[Presentation] 軟質塩化ビニルシートと金属との付着力に及ぼす押付力の影響2013

Author(s)

Organizer

Place of Presentation

Year and Date

Data Source

[Presentation] 静電吸着によるシリコン表面上の微粒子除去における微粒子サイズの影響2013

Author(s)

Organizer

Place of Presentation

TAKAHASHI Kazue 高橋主人