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Kobayashi Hiroshi  小林 宏史

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小林 宏史  コバヤシ ヒロシ

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Researcher Number 80838855
Other IDs
Affiliation (Current) 2023: 東京電機大学, 工学部, 教授
Affiliation (based on the past Project Information) *help 2020 – 2021: 東京電機大学, 工学部, 准教授
Review Section/Research Field
Except Principal Investigator
Basic Section 28050:Nano/micro-systems-related
Keywords
Except Principal Investigator
立体面投影露光 / リソグラフィ / 放物面鏡 / マジックミラー / 投影像 / 立体面 / 投影露光 / 放物面ミラー
  • Research Projects

    (1 results)
  • Research Products

    (5 results)
  • Co-Researchers

    (1 People)
  •  Research on lithography using projection exposure of stereophonic surface

    • Principal Investigator
      堀内 敏行
    • Project Period (FY)
      2020 – 2022
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • Review Section
      Basic Section 28050:Nano/micro-systems-related
    • Research Institution
      Tokyo Denki University

All 2022 2021 2020

All Presentation

  • [Presentation] 一方向照明の適用による放物面鏡投影露光レジストパターンの改善2022

    • Author(s)
      堀内敏行, 小林宏史
    • Organizer
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20K05293
  • [Presentation] 透過原図物体を用いた対向放物面ミラー立体投影露光の検討2021

    • Author(s)
      堀内敏行, 小林宏史
    • Organizer
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20K05293
  • [Presentation] 対向放物面ミラープロトタイプ露光装置を用いたレジストパターン形成の実証2021

    • Author(s)
      堀内敏行, 小林宏史
    • Organizer
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20K05293
  • [Presentation] 放物面ミラーを用いた立体リソグラフィ投影露光光学系の検討2021

    • Author(s)
      堀内敏行, 小林宏史
    • Organizer
      令和3年電気学会基礎・材料・共通部門大会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20K05293
  • [Presentation] マジックミラー光学系を用いた立体面投影露光リソグラフィの基礎検討2020

    • Author(s)
      堀内敏行, 小林宏史
    • Organizer
      第81回応用物理学会秋季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-20K05293
  • 1.  堀内 敏行 (00297582)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 5 results

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