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Kobayashi Hiroshi
小林 宏史
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Alternative Names
小林 宏史 コバヤシ ヒロシ
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Researcher Number
80838855
Other IDs
Affiliation (Current)
2023: 東京電機大学, 工学部, 教授
Affiliation (based on the past Project Information)
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2020 – 2021: 東京電機大学, 工学部, 准教授
Review Section/Research Field
Except Principal Investigator
Basic Section 28050:Nano/micro-systems-related
Keywords
Except Principal Investigator
立体面投影露光 / リソグラフィ / 放物面鏡 / マジックミラー / 投影像 / 立体面 / 投影露光 / 放物面ミラー
Research Projects
(
1
results)
Research Products
(
5
results)
Co-Researchers
(
1
People)
Project Start Year (Newest)
Project Start Year (Oldest)
Research on lithography using projection exposure of stereophonic surface
Principal Investigator
堀内 敏行
Project Period (FY)
2020 – 2022
Research Category
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Review Section
Basic Section 28050:Nano/micro-systems-related
Research Institution
Tokyo Denki University
All
2022
2021
2020
All
Presentation
[Presentation] 一方向照明の適用による放物面鏡投影露光レジストパターンの改善
2022
Author(s)
堀内敏行, 小林宏史
Organizer
第69回応用物理学会春季学術講演会
Data Source
KAKENHI-PROJECT-20K05293
[Presentation] 透過原図物体を用いた対向放物面ミラー立体投影露光の検討
2021
Author(s)
堀内敏行, 小林宏史
Organizer
第68回応用物理学会春季学術講演会
Data Source
KAKENHI-PROJECT-20K05293
[Presentation] 対向放物面ミラープロトタイプ露光装置を用いたレジストパターン形成の実証
2021
Author(s)
堀内敏行, 小林宏史
Organizer
第82回応用物理学会秋季学術講演会
Data Source
KAKENHI-PROJECT-20K05293
[Presentation] 放物面ミラーを用いた立体リソグラフィ投影露光光学系の検討
2021
Author(s)
堀内敏行, 小林宏史
Organizer
令和3年電気学会基礎・材料・共通部門大会
Data Source
KAKENHI-PROJECT-20K05293
[Presentation] マジックミラー光学系を用いた立体面投影露光リソグラフィの基礎検討
2020
Author(s)
堀内敏行, 小林宏史
Organizer
第81回応用物理学会秋季学術講演会
Data Source
KAKENHI-PROJECT-20K05293
# of Projects (Dsc)
# of Projects (Asc)
1.
堀内 敏行
(00297582)
# of Collaborated Projects:
1 results
# of Collaborated Products:
5 results
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