Kobayashi Hiroshi 小林宏史

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小林宏史コバヤシヒロシ

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Researcher Number	80838855
Other IDs
Affiliation (Current)	2023: 東京電機大学, 工学部, 教授
Affiliation (based on the past Project Information) *help	2020 – 2021: 東京電機大学, 工学部, 准教授
Review Section/Research Field	Except Principal Investigator Basic Section 28050:Nano/micro-systems-related
Keywords	Except Principal Investigator 立体面投影露光 / リソグラフィ / 放物面鏡 / マジックミラー / 投影像 / 立体面 / 投影露光 / 放物面ミラー

Research on lithography using projection exposure of stereophonic surface
- Principal Investigator
  
  堀内敏行
- Project Period (FY)
  2020 – 2022
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Review Section
  
  Basic Section 28050:Nano/micro-systems-related
- Research Institution
  Tokyo Denki University

All 2022 2021 2020

All Presentation

[Presentation] 一方向照明の適用による放物面鏡投影露光レジストパターンの改善2022
- Author(s)
  堀内敏行, 小林宏史
- Organizer
  第69回応用物理学会春季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20K05293
[Presentation] 透過原図物体を用いた対向放物面ミラー立体投影露光の検討2021
- Author(s)
  堀内敏行, 小林宏史
- Organizer
  第68回応用物理学会春季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20K05293
[Presentation] 対向放物面ミラープロトタイプ露光装置を用いたレジストパターン形成の実証2021
- Author(s)
  堀内敏行, 小林宏史
- Organizer
  第82回応用物理学会秋季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20K05293
[Presentation] 放物面ミラーを用いた立体リソグラフィ投影露光光学系の検討2021
- Author(s)
  堀内敏行, 小林宏史
- Organizer
  令和3年電気学会基礎・材料・共通部門大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20K05293
[Presentation] マジックミラー光学系を用いた立体面投影露光リソグラフィの基礎検討2020
- Author(s)
  堀内敏行, 小林宏史
- Organizer
  第81回応用物理学会秋季学術講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-20K05293

1. 堀内敏行 (00297582)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 5 results

Kobayashi Hiroshi 小林宏史

小林宏史コバヤシヒロシ

Research Projects

Research Products

Co-Researchers

Research on lithography using projection exposure of stereophonic surface

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Review Section

Research Institution

[Presentation] 一方向照明の適用による放物面鏡投影露光レジストパターンの改善2022

Author(s)

Organizer

Data Source

[Presentation] 透過原図物体を用いた対向放物面ミラー立体投影露光の検討2021

Author(s)

Organizer

Data Source

[Presentation] 対向放物面ミラープロトタイプ露光装置を用いたレジストパターン形成の実証2021

Author(s)

Organizer

Data Source

[Presentation] 放物面ミラーを用いた立体リソグラフィ投影露光光学系の検討2021

Author(s)

Organizer

Data Source

[Presentation] マジックミラー光学系を用いた立体面投影露光リソグラフィの基礎検討2020

Author(s)

Organizer

Data Source

Kobayashi Hiroshi 小林 宏史

小林 宏史 コバヤシ ヒロシ

Research Projects

Research Products

Co-Researchers

Research on lithography using projection exposure of stereophonic surface

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Review Section

Research Institution

[Presentation] 一方向照明の適用による放物面鏡投影露光レジストパターンの改善2022

Author(s)

Organizer

Data Source

[Presentation] 透過原図物体を用いた対向放物面ミラー立体投影露光の検討2021

Author(s)

Organizer

Data Source

[Presentation] 対向放物面ミラープロトタイプ露光装置を用いたレジストパターン形成の実証2021

Author(s)

Organizer

Data Source

[Presentation] 放物面ミラーを用いた立体リソグラフィ投影露光光学系の検討2021

Author(s)

Organizer

Data Source

[Presentation] マジックミラー光学系を用いた立体面投影露光リソグラフィの基礎検討2020

Author(s)

Organizer

Data Source

Kobayashi Hiroshi 小林宏史

小林宏史コバヤシヒロシ