KIMURA Takayasu 木邑隆保

Researcher Number	90052711
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Affiliation (based on the past Project Information) *help	1998 – 2002: 芝浦工業大学, 工学部, 教授
Review Section/Research Field	Except Principal Investigator 機械工作・生産工学
Keywords	Except Principal Investigator CMP / 研磨剤 / pH / シリカ / プラナリゼーション / ゾル・ゲル法 / Siウエハー / 研磨布 / planerization / sol-gel method … More / slurry / Si water / pad / silica / 研磨 / 微小ボール / ガラス球 / 遠心力 / 真円度 / ラップ盤 / 研磨加工 / 研磨スラリー / ゾルゲル法 / 球研磨 / 真球度 / シリカ粒子 / カップ研磨方式 / POLISHING / SMALL BALL / GLASS BALL / CENTRIFUGAL FORCE / ROUNDNESS / LAPPING MACHINE / LAPPING SLURRY / SILICA Less

1. SHIBATA Junii (30052822)

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 0 results
2. OHTA Masato (50052874)

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 0 results
3. UEKI Tadahiro (50052890)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results

KIMURA Takayasu 木邑 隆保