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MATSUMURA Hideki
松村 英樹
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Researcher Number
90111682
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Affiliation (based on the past Project Information)
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1998 – 2002: 北陸先端科学技術大学院大学, 材料科学研究科, 教授
1995 – 1996: 北陸先端科学技術大学院大学, 材料科学研究科, 教授
1992: 北陸先端科学技術大学院大学, 材料科学研究科, 教授
1992: 北陸先端科技大, 材料科学研究課, 教授
1987 – 1991: 広島大学, 工学部, 助教授
1986: Associate Professor, Faculty of Enginnering, Hiroshima Univ., 工学部, 助教授
1985: 広島大学, 工, 助教授
Review Section/Research Field
Principal Investigator
電子材料工学
/
電子デバイス・機器工学
/
電子機器工学
/
Electronic materials/Electric materials
/
Applied materials science/Crystal engineering
Keywords
Principal Investigator
触媒CVD法 / 微細加工技術 / 触媒反応 / 液晶ディスプレイ / Cat-CVD / アモルファス-シリコン / Ti / MITT / リソグラフィー / X線リソグラフィ-法
…
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/ 反射型X線リソグラフィ-法 / X線光学 / ドライ・エッチング / ドライ・クリ-ニング / 触媒ドライ・エッチング / リソグラフィ-技術 / フォト・リソグラフィ- / 微細加工 / 異方性フォト・レジスト / コンタクト露光 / プロキシミティ-露光 / ポリ・シリコン / TFT(薄膜トランジスタ) / 低温堆積技術 / 酸化銅 / 薄膜トランジスター / TFT / スパッタ膜 / 熱酸化 / ホットワイヤ-CVD / 常圧CVD / シリコン膜 / シラン / アルゴン / 真空エジェクタポンプ / 低温成長 / 触媒化学気相成長 / ホットワイアCVD / 薄膜 / アモルファスシリコン / 微結晶シリコン / 窒化シリコン / 太陽電池 / アモルファス半導体 / アモルファス-シリコン・ゲルマニウム / 低温CVD法 / シリコン / ナイトライド / 絶縁膜 / 薄膜堆積技術 / CVD法 / 超微細加工 / ナノテクノロジー / Ti酸化物 / 陽極酸化 / ナノテクノリジ- / super-micro-technology / nano-technology / TiOx / anodic oxidation / インプリント技術 / パターン転写 / 薄膜トランジスタ / in-print method / patterning / lithography / thin film transistor / liquid crystal display / X線リソグラフィー / LSI技術 / Micro-fabrication
…
More
Except Principal Investigator
ヘテロエピタキシー / 界面 / ローテーショナル・ツイン / 双晶 / 二段階成長 / 弗化物 / シリコン
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Research Projects
(
14
results)
Co-Researchers
(
15
People)
Project Start Year (Newest)
Project Start Year (Oldest)
Novel Low-Cost Technology for Fabrication of Liquid Crystal Display
Principal Investigator
Principal Investigator
MATSUMURA Hideki
Project Period (FY)
2000 – 2002
Research Category
Grant-in-Aid for University and Society Collaboration
Research Field
電子デバイス・機器工学
Research Institution
JAIST (Japan Advanced Institute of Science and Technology)
触媒化学気相成長法によるシリコン系薄膜の成長プロセス
Principal Investigator
Principal Investigator
松村 英樹
Project Period (FY)
1999
Research Category
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Research Field
Applied materials science/Crystal engineering
Research Institution
Japan Advanced Institute of Science and Technology
常圧触媒CVD(Cat-CVD)法
Principal Investigator
Principal Investigator
松村 英樹
Project Period (FY)
1998
Research Category
Grant-in-Aid for Exploratory Research
Research Field
Electronic materials/Electric materials
Research Institution
Japan Advanced Institute of Science and Technology
Fabrication of new type transistor using metal/metaloxide/metal tunneling junction
Principal Investigator
Principal Investigator
MATSUMURA Hideki
Project Period (FY)
1996
Research Category
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Research Field
電子デバイス・機器工学
Research Institution
Japan Advanced Institute of Science and Technology, Hokuriku
酸化銅を用いた高移動度薄膜トランジスタの低温形成
Principal Investigator
Principal Investigator
松村 英樹
Project Period (FY)
1995
Research Category
Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
Research Field
電子デバイス・機器工学
Research Institution
Japan Advanced Institute of Science and Technology
触媒CVD法による高移動度ポリ・シリコン膜の低温形成
Principal Investigator
Principal Investigator
松村 英樹
Project Period (FY)
1992
Research Category
Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
Research Field
電子材料工学
Research Institution
Japan Advanced Institute of Science and Technology
異方性フォト・レジストによるパタ-ン転写精度の向上
Principal Investigator
Principal Investigator
松村 英樹
Project Period (FY)
1991
Research Category
Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
Research Field
電子機器工学
Research Institution
Hiroshima University
ヘテロ成長におけるローテーショナル・ツイン生成機構の解明とその制御
Principal Investigator
古川 静二郎
Project Period (FY)
1991 – 1993
Research Category
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
Research Institution
Tokyo Institute of Technology
触媒反応を用いた新しいドライ・エッチング・クリ-ニング法の開発
Principal Investigator
Principal Investigator
松村 英樹
Project Period (FY)
1990
Research Category
Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
Research Field
電子材料工学
Research Institution
Hiroshima University
反射型X線リソグラフィ-法によるパタ-ン縮小転写のためのX線光学系
Principal Investigator
Principal Investigator
松村 英樹
Project Period (FY)
1989
Research Category
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
Research Institution
Hiroshima University
触媒CVD法により作られるアモルファス半導体膜特性の触媒体依存性.
Principal Investigator
Principal Investigator
松村 英樹
Project Period (FY)
1988
Research Category
Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
Research Field
電子材料工学
Research Institution
Hiroshima University
熱触媒反応を用いた高品質絶縁膜の低温形成
Principal Investigator
Principal Investigator
松村 英樹
Project Period (FY)
1987
Research Category
Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
Research Field
電子材料工学
Research Institution
Hiroshima University
触媒CVD法による高品質アモルファス半導体の光学バンドギャップの制御
Principal Investigator
Principal Investigator
松村 英樹
Project Period (FY)
1986
Research Category
Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
Research Field
電子材料工学
Research Institution
Hiroshima University
Demagnified projection-printing using no thin film pattern-mask in X-ray lithography
Principal Investigator
Principal Investigator
MATSUMURA Hideki
Project Period (FY)
1985 – 1986
Research Category
Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research
Research Field
電子機器工学
Research Institution
HIROSHIMA UNIVERSITY
# of Projects (Dsc)
# of Projects (Asc)
1.
IZUMI Akira
(30223043)
# of Collaborated Projects:
4 results
# of Collaborated Products:
0 results
2.
MASUDA Atsushi
(30283154)
# of Collaborated Projects:
3 results
# of Collaborated Products:
0 results
3.
SUEMUNE Ikuo
(00112178)
# of Collaborated Projects:
2 results
# of Collaborated Products:
0 results
4.
佐々木 公洋
(40162359)
# of Collaborated Projects:
2 results
# of Collaborated Products:
0 results
5.
NITTA Koh-hei
(70260560)
# of Collaborated Projects:
1 results
# of Collaborated Products:
0 results
6.
TERANO Minoru
(90251975)
# of Collaborated Projects:
1 results
# of Collaborated Products:
0 results
7.
YOKOYAMA Shin
(80144880)
# of Collaborated Projects:
1 results
# of Collaborated Products:
0 results
8.
渡辺 芳英
(50127742)
# of Collaborated Projects:
1 results
# of Collaborated Products:
0 results
9.
古川 静二郎
(60016318)
# of Collaborated Projects:
1 results
# of Collaborated Products:
0 results
10.
川崎 宏治
(10234056)
# of Collaborated Projects:
1 results
# of Collaborated Products:
0 results
11.
堀田 将
(60199552)
# of Collaborated Projects:
1 results
# of Collaborated Products:
0 results
12.
梅本 宏信
(80167288)
# of Collaborated Projects:
1 results
# of Collaborated Products:
0 results
13.
野々村 修一
(80164721)
# of Collaborated Projects:
1 results
# of Collaborated Products:
0 results
14.
小長井 誠
(40111653)
# of Collaborated Projects:
1 results
# of Collaborated Products:
0 results
15.
KIDA Ken-ichiro
# of Collaborated Projects:
1 results
# of Collaborated Products:
0 results
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