IKEHATA Takashi 池畑隆

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TAKACHI Ikehata 池畑隆

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Researcher Number	00159641
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Affiliation (based on the past Project Information) *help	2018 – 2019: 茨城大学, 理工学研究科(工学野), 教授 2010 – 2017: 茨城大学, 理工学研究科, 教授 2005 – 2008: 茨城大学, 理工学研究科, 教授 2004: 茨城大学, 大学院・理工学研究科, 教授 1998 – 1999: 茨城大学, 工学部, 教授 … More 1993 – 1995: 茨城大学, 工学部, 助教授 1988 – 1990: 茨城大学, 工学部, 助教授 1985 – 1988: 茨城大学, 工学部, 助手 Less
Review Section/Research Field	Principal Investigator Plasma science / プラズマ理工学 / エネルギー学一般・原子力学 / 物理計測・光学 Except Principal Investigator プラズマ理工学 / Electronic materials/Electric materials / 電子材料工学 / Material processing/treatments / Measurement engineering
Keywords	Principal Investigator 結晶構造 / マグネシウムシリサイド / 熱電半導体 / スパッタリング / トリフルオロヨードメタン / 有機エレクトロニクス / イオン / 負性ガス / 真空除電 / イオンの発生と輸送 … More / 有機材料 / 質量分析 / イオン輸送 / CF3I / イオナイザ / コロナ放電 / 静電気除電 / J*B LORENTZ FORCE / PLASMA PRODUCTION / PLASMA MACRO INSTABILITY / PLASMA ACCELERATION / PLASMA CENTRIFUGE / ISOTOPE SEPARATION / ROTATING PLASMA / プラズマの巨視的不安定性 / 電磁力 / J×Bローレンツカ / プラズマ生成 / プラズマ巨視不安定性 / プラズマ加速 / プラズマ遠心分離 / 同位体分離 / 回転プラズマ / ラマンスペクトル / 近赤外分光透過率 / 希ガス雰囲気中アニール処理 / 水素還元 / 高周波プラズマ / 熱処理 / 固相合成 / 薄膜 / 磁場閉じ込め / 金属イオン / パルスパワー / グロー放電 / 薄膜形成 / プラズマ / 薄膜合成 / 大電力パルス放電 / 金属イオン源 / 金属プラズマ源 / 放電 … More Except Principal Investigator プラズマの有効長 / プラズマの時定数 / マイクロ波放電 / エチレンの分解 / ECRプラズマ / 複合プラズマ / LD-TOFMS / ホローカソード / パルスプロセス / 単結晶・基板 / 赤外センサ / 熱拡散 / OCVD法 / 分光感度 / ライフタイム / Mg2Si / pn接合 / フォトダイオード / マグネシウムシリサイド / 赤外線センサ / Ion beam deposition / Ion beam source / Multi-component ion beam / 多成分イオンビームの / プラズマ源 / パラメータ制御 / イオンビーム蒸着 / 半導体薄膜 / イオン源 / 多成分イオンビーム / zinc vaporization / oxygen plasma / orientation control / momentum control / stoichiometry control / ponderomotive force / transparent conductive film / plasma processing / 亜鉛蒸発 / 透明導電膜 / 低気圧PVD / 酸素プラズマ / 配向性制御 / 運動量制御 / 組成比制御 / 動重力(時間平均マックスウェル応力) / ECR低温プラズマ / 酸化物材料プラズマ合成 / fragmentation / durable fullerene films / ion energy control / ion plating / fullerene ion / magnetized fullerenes / fullerenes / レーザー脱離イオン化TOFMS / 電極バイアス実験 / 捕集電極バイアス実験 / フラーレン・アルゴン混合磁化プラズマ / フラグメンテーション / フラーレン膜の堅牢化 / イオンエネルギー制御 / イオンプレーティング / フラーレンイオン / フラーレン-アルゴン混合磁化プラズマ / フラーレン / 積層プラズマ / 到来方向推定 / アンテナ / 位置推定 / 異常放電 / プラズマチャンバー / 計測システム / 干渉縞 / 相対論的電子ビーム / レーザー / 沿面放電 / 自由電子レーザー / 放射光 / アンジュレーター / プラズマ / ホロ-カソ-ド Less

Development of environmentally friendly Mg2Si IR sensor
- Principal Investigator
  
  Udono Haruhiko
- Project Period (FY)
  2017 – 2019
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Research Field
  
  Electronic materials/Electric materials
- Research Institution
  Ibaraki University
Study on the negative-ion generation in atmospheric N2-CF3I gas discharge and its application to the static eliminator for organic materialsPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  Ikehata Takashi
- Project Period (FY)
  2016 – 2019
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Plasma science
- Research Institution
  Ibaraki University
Low temperature synthesis of a Mg2Si thin film with help of plasmaPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  IKEHATA TAKASHI
- Project Period (FY)
  2013 – 2015
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Plasma science
- Research Institution
  Ibaraki University
Research on the high-power pulsed sputtering discharge and its application to ion sources for thin film fabrication.Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  IKEHATA Takashi
- Project Period (FY)
  2010 – 2012
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Plasma science
- Research Institution
  Ibaraki University
Study on a real-time monitoring technique of electromagnetic discharge in a plasma chamber
- Principal Investigator
  
  OBOTE Shigeki
- Project Period (FY)
  2006 – 2008
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Research Field
  
  Measurement engineering
- Research Institution
  Ibaraki University
Development of plasma synthesis technology for advanced complex compound materials based on mass-selective momentum control
- Principal Investigator
  
  SATO Naoyuki
- Project Period (FY)
  2004 – 2006
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Research Field
  
  Material processing/treatments
- Research Institution
  Ibaraki University
Formation of durable fullerene films by using the specially controlled plasma
- Principal Investigator
  
  MASE Hiroshi
- Project Period (FY)
  1998 – 1999
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Research Field
  
  プラズマ理工学
- Research Institution
  IBARAKI UNIVERSITY
短波長・高輝度放射光用プラズママイクロアンジュレーターの原理検証実験
- Principal Investigator
  
  真瀬寛
- Project Period (FY)
  1995
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
- Research Field
  
  プラズマ理工学
- Research Institution
  Ibaraki University
DEVELOPMENT OF CENTRIFUGAL SEPARATION METHOD OF ISOTOPES BY USE OF A J*B DRIVEN ROTATING PLASMAPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  IKEHATA Takashi
- Project Period (FY)
  1993 – 1995
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research (B)
- Research Field
  
  エネルギー学一般・原子力学
- Research Institution
  IBARAKI UNIVERSITY
複合プラズマの生成と反応の制御
- Principal Investigator
  
  板谷良平
- Project Period (FY)
  1990
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- Research Institution
  Kyoto University
複合プラズマの生成と反応の制御
- Principal Investigator
  
  板谷良平
- Project Period (FY)
  1989 – 1990
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- Research Institution
  Kyoto University
複合プラズマの生成と反応の制御
- Principal Investigator
  
  板谷良平
- Project Period (FY)
  1988
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- Research Institution
  Kyoto University
強い遠心力場でのプラズマ粒子輸送と同位体分離への応用Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  池畑隆
- Project Period (FY)
  1988
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
- Research Field
  
  プラズマ理工学
- Research Institution
  Ibaraki University
Production of Multi-component Ion-beams and Its application to Film Formation.
- Principal Investigator
  
  MASE Hiroshi
- Project Period (FY)
  1987 – 1988
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
- Research Field
  
  電子材料工学
- Research Institution
  Ibaraki University, Faculty of Engineering
磁気ミラーにおける軸方向および径方向電位分布の同時形成と制御Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  池畑隆
- Project Period (FY)
  1986
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
- Research Field
  
  プラズマ理工学
- Research Institution
  Ibaraki University
電子ビーム・キャピラリー放電を用いた高輝度軟X線源の開発Principal Investigator
- Principal Investigator
  
  池畑隆
- Project Period (FY)
  1985
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
- Research Field
  
  物理計測・光学
- Research Institution
  Ibaraki University

[Journal Article] 真空中におけるプラズマによる除電－真空デバイスプロセスへの適用に向けて－2019
- Author(s)
  池畑隆
- Journal Title
  
  静電気学会誌
  
  Volume: 43 Pages: 67-72
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05628
[Journal Article] A simulation on neutralization performance of a corona discharge air ionizer by using an equivalent circuit2019
- Author(s)
  M. Okano, T. Ikehata, S. Suzuki, T. Terashige
- Journal Title
  
  IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering
  
  Volume: 14 Issue: 12 Pages: 1732-1738
- DOI
  10.1002/tee.22998
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05628
[Journal Article] Static Elimination in Vacuum by Plasma Jet2019
- Author(s)
  T. Ikehata
- Journal Title
  
  Vacuum
  
  Volume: 166 Pages: 184-190
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05628
[Journal Article] Effects of Operating Frequency on Electric Field and Neutralizing Current Density of a Corona Discharge Air Ionizer2019
- Author(s)
  M. Okano, T. Ikehata, T. Terashige
- Journal Title
  
  International Journal of Plasma Environmental Science & Technology
  
  Volume: 12 Pages: 120-124
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05628
[Journal Article] An Equivalent Circuit Simulation of an AC Corona Discharge Air Ionizer - Frequency Dependence of Neutralization Performance -2019
- Author(s)
  M. Okano, T. Ikehata, T. Terashige
- Journal Title
  
  International Journal of Plasma Environmental Science & Technology
  
  Volume: 13 Pages: 14-20
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05628
[Journal Article] Static elimination in vacuum using plasma jet2019
- Author(s)
  Ikehata Takashi
- Journal Title
  
  Vacuum
  
  Volume: 166 Pages: 184-190
- DOI
  10.1016/j.vacuum.2019.04.008
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05628
[Journal Article] Static elimination in vacuum2017
- Author(s)
  T. Ikehata, D. Nemoto, W. He, T. Matsuo, N.Y. Sato, K. Okano
- Journal Title
  
  IEEE Transaction on Inductry Applications
  
  Volume: 53 Issue: 4 Pages: 3989-3994
- DOI
  10.1109/tia.2017.2691313
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05628
[Journal Article] Static elimination performance of a corona ionizer in nitrogen-based electronegative gases2016
- Author(s)
  D. Nemoto, W. Hw, T. Matsuo, N.Y. Sato, T. Ikehata, K. Okano
- Journal Title
  
  IEEE Transactions on Industry Applications
  
  Volume: 52 Issue: 5 Pages: 4345-4350
- DOI
  10.1109/tia.2016.2582120
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05628
[Journal Article] Solid-phase growth of Mg2Si by annealing in inert gas atmosphere2013
- Author(s)
  T. Ikehata, T. Ando, T. Yamamoto, Y. Takagi, N. Sato, and H. Udono
- Journal Title
  
  Physica Status Solidi C
  
  Volume: 10 Issue: 12 Pages: 1708-1711
- DOI
  10.1002/pssc.201300358
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25289081, KAKENHI-PROJECT-25400530
[Journal Article] Dual-plasma ion process for surface treatment of insulators2011
- Author(s)
  A. Kantani, H. Sato, Y. Nonaka, N.Y. Sato, T. Ikehata
- Journal Title
  
  Surf. Coat. Technol
  
  Volume: 206 Issue: 5 Pages: 929-933
- DOI
  10.1016/j.surfcoat.2011.04.041
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540501
[Journal Article] Positive-plasma-bias method for plasma-based ion implantation and deposition2010
- Author(s)
  T.Ikehata, R. Sasaki, T. Tanaka, K. Yukimura
- Journal Title
  
  Surf. Coat. Technol
  
  Volume: 204 Issue: 18-19 Pages: 2881-2891
- DOI
  10.1016/j.surfcoat.2010.03.004
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540501
[Journal Article] 質量選択的運動量制御に向けた亜鉛・酸素混合プラズマ中の透明導電膜合成2008
- Author(s)
  佐藤直幸・小松良寛・池畑隆・山内智・大貫仁
- Journal Title
  
  電気学会プラズマ研究会資料 PST-08-13
  
  Pages: 33-38
- NAID
  10025666551
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Journal Article] 質量選択的運動量制御に向けたECR各種混合プラズマ中の動重力効果の観察2008
- Author(s)
  佐藤直幸・薮内祐二・菅谷聡一・池畑隆・山内智・大貫仁
- Journal Title
  
  第25回「プラズマプロセシング研究会」SPP-25プロシーディングス P1-27
  
  Pages: 161-162
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Journal Article] The investigation of the ponderomotive force effect in ECR gas mixture plasma for mass-selective momentum control2008
- Author(s)
  Naoyuki Sato, Yuji Yabuuchi, Souichi Sugaya, Takashi Ikehata, Satoshi Yamauchi and Jin Oonuki
- Journal Title
  
  The 25th Symposium on Plasma Processing P1-27
  
  Pages: 161-162
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Journal Article] The synthesis of transparent conductive film in the zinc-oxygen mixture plasma for mass-selective momentum control2008
- Author(s)
  Naoyuki Sato, Yoshihiro Komatsu, Takashi Ikehata, Satoshi Yamauchi, and Jin Oonuki
- Journal Title
  
  The Papers of Joint Technical Meeting on Plasma Science and Technology and Pulsed Power Technology, IEE Japan PST-08-13
  
  Pages: 33-38
- NAID
  10025666551
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Journal Article] The investigation of the ponderomotive force's enhancement accompanying with the extraction of lower energy lectrons from ECR oxygen plasma for mass-selective momentum control2007
- Author(s)
  Yuji yabuuchi, Souichi Sugaya, Naoyuki Sato, Takashi Ikehata, Satoshi Yamauchi, and Jin Oonuki
- Journal Title
  
  The Papers of Technical Meeting on Plasma Science and Technology, IEE Japan PST-07-29
  
  Pages: 29-34
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Journal Article] 質量選択的運動量制御に向けたECR酸素プラズマの低温部引き出しと動重力増強の観察2007
- Author(s)
  藪内祐二・菅谷聡一・佐藤直幸・池畑隆・山内智・大貫仁
- Journal Title
  
  電気学会プラズマ研究会資料 PST-07-29
  
  Pages: 29-34
- NAID
  10019514039
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Journal Article] The flux measurement of ions incident upon the substrate in ECR oxygen plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2006
- Author(s)
  Naoyuki, Sato・Kousuki, Kinoshita・Takashi, Ikehata・Satoshi, Yamauchi・Jin, Oonuki
- Journal Title
  
  8th Asia-Paeific Conference on Plasma Science and Teehnelogy and 19th Symposium on Plasma Science for Materials, Cairns in Australia http://wwwrsphysse.anu.edu.au/~mdl112/apcpst/Abst
  
  Pages: 257-257
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Journal Article] Smooth Surface Dry Etching of Diamond by Very High Frequency Inductively Coupled Plasma2006
- Author(s)
  Hiromichi, Yoshikawa・Shinichi, Shikata・Naoji, Fujimori・Naoyuki, Sato・Takashi, Ikehata
- Journal Title
  
  New Diamond and Frontier Carbon Technology Vol.16,No.2
  
  Pages: 97-106
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Peer Reviewed
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Journal Article] The flux control of ion incident upon the substrate in oxygen plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2006
- Author(s)
  N.Y, Sato・K, Kinoshita・Y, Nakano・T, Ikehata・S, Yamauchi・J, Oonuki
- Journal Title
  
  Proceeding of the 6^<th> International Conference on Reactive Plasmas and 23^<rd> Symposium on Plasma Processing AP061201・P-1A-06
  
  Pages: 171-172
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Journal Article] The flux control of ion incident upon the substrate in oxygen plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2006
- Author(s)
  Y.Sato, K.Kinoshita, Y.Nakano, T.Ikehata, S.Yamauchi, J.Oonuki
- Journal Title
  
  Proceeding of the 6th International Conference on Reactive plasmas and 23rd Symposium on Plasma Processing APO61201・P-1A-06
  
  Pages: 171-172
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Journal Article] 質量選択的運動量制御による複合化合物材料のプラズマ合成に向けた低気圧低温プラズマの生成2006
- Author(s)
  佐藤直幸, 木下廣介, 池畑隆, 山内智, 大貫仁
- Journal Title
  
  第54回応用物理学関係連合講演会講演予稿集 1・29(P-C-8)
  
  Pages: 185-185
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Journal Article] The flux measurement of ions incident upon on the substrate in ECR oxygen plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2006
- Author(s)
  Naoyuki Sato, Kousuke Kinoshita, Takashi Ikehata, Satoshi Yamauchi,and Jin Oonuki
- Journal Title
  
  8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology and 19th Symposium on Plasma Science for Materials, Cairnsin Australia http://wwwrshsse.anu.edu.au/~mdl112/apcpst/AbstractBook.pdf
  
  Pages: 257-257
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Journal Article] The flux measurement of ion incident upon on the substrate in ECR oxygen plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2006
- Author(s)
  Naoyuki Sato, Kousuke Kinoshita, Takashi Ikehata, Satoshi Yamauchi, Jin Oonuki
- Journal Title
  
  8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology and 19th Symposium on Plasma Science for Materials, Cairns in Australia (AbstractBook.pdf)
  
  Pages: 257-257
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Journal Article] The flux suppression of ion incident upon the substrate in oxygen plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2005
- Author(s)
  N. Y. Sato, K. Kinoshita, Y. Nakano, T. Ikehata, S. Yamauchi and J. Oonuki
- Journal Title
  
  THE 18th SYMPOSIUM ON PLASMA SCIENCE FOR MATERIALS ISSN 1342-7210
  
  Pages: 54-54
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Journal Article] 質量選択的運動量制御による酸化物薄膜の合成に向けた磁場中酸素プラズマの電圧-電流特性2005
- Author(s)
  中野恭嗣, 佐藤直幸, 池畑隆, 山内智, 大貫仁
- Journal Title
  
  第65回応用物理学会学術講演会講演予稿集 No.2・29a-E-1
  
  Pages: 1027-1027
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Journal Article] Production of zinc-oxide mixture plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2005
- Author(s)
  Naoyuki, Sato・Satoshi, Yamauchi・Takashi, Ikehata・Yasushi, Nakano・Jin, Oonuki
- Journal Title
  
  プラズマ科学シンポジウム2005/第22回プラズマプロセシング研究会 P3-071
  
  Pages: 615-616
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Journal Article] Characteristics of the magnetized rf oxygen plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2005
- Author(s)
  Yasushi Nakano, Naoyuki Sato, Takashi Ikehata, Satoshi Yamauchi, Jin Oonuki
- Journal Title
  
  プラズマ科学シンポジウム2005/第22回プラズマプロセシング研究会 P3-072
  
  Pages: 617-618
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Journal Article] Production of zinc-oxide mixture plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2005
- Author(s)
  Naoyuki Sato, Satoshi Yamauchi, Takashi Ikehata, Yasushi Nakano, Jin Oonuki
- Journal Title
  
  プラズマ科学シンポジウム2005/第22回プラズマプロセシング研究会 P3-071
  
  Pages: 615-616
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Journal Article] Measurement of Oxygen Plasma for Diamond Etching Process2005
- Author(s)
  H. Yoshikawa, Y. Nakano, K. Masumura, N. Sato, T. Ikehata
- Journal Title
  
  Plasma Science Symposium 2005/The 22nd Symposium on Plasma Processing 2-055
  
  Pages: 327-328
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Journal Article] The flux measurement of ions incident upon the substrate in zinc oxygen plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2005
- Author(s)
  K.Kinoshita, N.Y.Sato, Y.Nakano, T.Ikehata, S.Yamauchi, J.Oonuki
- Journal Title
  
  第18回プラズマ材料科学シンポジウム ISSN1342-7210
  
  Pages: 55-55
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Journal Article] 質量選択的運動量制御・磁場中酸素プラズマを用いた酸化物薄膜の合成(シンポジウム招待講演30分)2005
- Author(s)
  佐藤直幸, 中野恭嗣, 木下廣介, 池畑隆, 山内智, 大貫仁
- Journal Title
  
  第66回応用物理学会学術講演会講演予稿集 NO.0・8p-N-5
  
  Pages: 33-33
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Journal Article] 質量選択的運動量制御によるZnO薄膜の合成に向けた磁場中酸素プラズマへの亜鉛蒸気導入2005
- Author(s)
  佐藤直幸, 中野恭嗣, 池畑隆, 山内智, 大貫仁
- Journal Title
  
  第65回応用物理学会学術講演会講演予稿集 No.2・30a-E-6
  
  Pages: 1092-1092
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Journal Article] Characteristics of the magnetized rf oxygen plasma for ZnO film synthesis besed on mass-selective momentum control2005
- Author(s)
  Yasushi Nakano, Naoyuki Sato, Takashi Ikehata, Satoshi Yamauchi and Jin Oonuki
- Journal Title
  
  Plasma Science Symposium 2005/The 22nd Symposium on Plasma Processing P3-072
  
  Pages: 617-618
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Journal Article] The flux suppression of ion incident upon the substrate in oxygen plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2005
- Author(s)
  K. Kinoshita, N. Y. Sato, Y. Nakano, T. Ikehata, S. Yamauchi and J. Oonuki
- Journal Title
  
  THE 18th SYMPOSIUM ON PLASMA SCIENCE FOR MATERIALS ISSN 1342-7210
  
  Pages: 55-55
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Journal Article] The flux suppression of ion incident upon the substrate in oxygen plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentrm control2005
- Author(s)
  N.Y, Sato・K, Kinoshita・Y, Nakano・T, Ikehata・S, Yamauchi・J, Oonuki
- Journal Title
  
  第18回プラズマ材料科学シンポジウム ISSN1342-7210
  
  Pages: 54-54
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Journal Article] Measurement of Oxygen Plasma for Diamond Etching Process2005
- Author(s)
  H, Yoshikawa・Y, Nakano・K, Masumura・N, Sato・T, Ikehata
- Journal Title
  
  プラズマ科学シンポジウム2005/第22回プラズマプロセシング研究会 P2-055
  
  Pages: 327-328
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Journal Article] Characteristics of the magnetized rf oxygen plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentrm control2005
- Author(s)
  Yasushi, Nakano・Naoyuki, Sato・Takashi, Ikehata・Satoshi, Yamauchi・Jin Oonuki
- Journal Title
  
  プラズマ科学シンポジウム2005/第22回プラズマプロセシング研究会 P3-072
  
  Pages: 617-618
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Journal Article] The flux suppression of ion incident upon the substrate in oxygen plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2005
- Author(s)
  N Y.Sato, K.Kinoshita, Y.Nakano, T.Ikehata, S.Yamauchi, J.Oonuki
- Journal Title
  
  第18回プラズマ材料科学シンポジウム ISSN1342-7210
  
  Pages: 54-54
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Journal Article] Plasma synthesis of zinc-oxide thin film based on mass-selective momentum control2005
- Author(s)
  Naoyuki Sato, Satoshi Yamauchi, Takashi Ikehata, Yasushi Nakano, Jin Oonuki
- Journal Title
  
  プラズマ科学シンポジウム2005/第22回プラズマプロセシング研究会 P3-070
  
  Pages: 613-614
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Journal Article] Plasma synthesis of zinc-oxide thin film based on mass-selective momentum control2005
- Author(s)
  Naoyuki Sato, Satoshi Yamauchi, Takashi Ikehata, Yasushi Nakano, and Jin Oonuki
- Journal Title
  
  Plasma Science Symposium 2005/The 22nd Symposium on Plasma Processing 3-070
  
  Pages: 613-614
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Journal Article] Plasma synthesis of zinc-oxide thin film based on mass-selective momentum control2005
- Author(s)
  Haoyuki, Sato・Satoshi, Yamauchi・Takashi, Ikehata・Yasushi, Nakano・Jin, Oonuki
- Journal Title
  
  プラズマ科学シンポジウム2005/第22回プラズマプロセシング研究会 P3-070
  
  Pages: 613-614
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Journal Article] The flux measurement of ions incident upon the substrate in zinc oxygen plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2005
- Author(s)
  K, Kinoshita・N.Y, Sato・Y, Nakano・T, Ikehata・S, Yamauchi・J, Oonuki
- Journal Title
  
  第18回プラズマ材料科学シンポジウム ISSN1342-7210
  
  Pages: 55-55
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Journal Article] Production of zinc-oxide mixture plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2005
- Author(s)
  Naoyuki Sato, Satoshi Yamauchi, Takashi Ikehata, Yasushi Nakano, and Jin Oonuki
- Journal Title
  
  Plasma Science Symposium 2005/The 22nd Symposium on Plasma Processing P3-071
  
  Pages: 615-616
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Journal Article] 動重力効果を利用したイオンの選択的運動量制御によるZnO薄膜合成の実験準備2004
- Author(s)
  佐藤直幸・中野恭嗣・池畑隆・山内智・大貫仁
- Journal Title
  
  電気学会プラズマ研究会資料 PST-04-28
  
  Pages: 91-96
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Journal Article] 複合化合物材料の合成に向けた選択的運動量制御型プラズマ成膜技術の開発2004
- Author(s)
  佐藤直幸, 中野恭嗣, 池畑隆, 山内智, 大貫仁
- Journal Title
  
  第65回応用物理学会学術講演会講演予稿集 No.1 1a-ZB-8
  
  Pages: 365-365
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Journal Article] The preliminary experiment of the ZnO thin film synthesis by mass-selective momentum control based on the ponderomotive force on the magnetizedions2004
- Author(s)
  Naoyuki Sato, Yasushi Nakano, Takashi Ikehata, Satoshi Yamauchi, Jin Oonuki
- Journal Title
  
  The Papers of Technical Meeting on Plasma Science and Technology, IEE Japan PST-04-28
  
  Pages: 91-96
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Journal Article] 動重力効果を利用したイオンの選択的運動量制御によるZnO薄膜合成の実験準備2004
- Author(s)
  佐藤直幸, 中野恭嗣, 池畑隆, 山内智, 大貫仁
- Journal Title
  
  電気学会プラズマ研究会資料 PST-04-28
  
  Pages: 91-96
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Journal Article] 静電気学会誌 17(1)(92)1993
- Author(s)
  池畑隆
- Volume
  43
- Pages
  -
- DOI
  10.11501/3215600
- ISSN
  0386-2550
- Language
  Japanese
- Open Access
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05628
[Patent] 真空除電装置2020
- Inventor(s)
  池畑隆、野村信雄、最上智史、峯村和樹
- Industrial Property Rights Holder
  国立大学法人茨城大学、春日電機株式会社
- Industrial Property Rights Type
  特許
- Industrial Property Number
  2020-055558
- Filing Date
  2020
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05628
[Patent] 帯電物体の位置決め方法と除電装置2018
- Inventor(s)
  池畑隆、野村信雄、峯村和樹、最上智史
- Industrial Property Rights Holder
  茨城大学、春日電機株式会社
- Industrial Property Rights Type
  特許
- Industrial Property Number
  2018-002302
- Filing Date
  2018
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05628
[Presentation] 自己放電式プラズマによる真空除電2019
- Author(s)
  池畑隆、包睿達、最上智史、峯村和樹、野村信雄
- Organizer
  第43回静電気学会全国大会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05628
[Presentation] Observation of Magnesium-Induced Crystallization (Mg-MIC) of a-Si Thin Film2019
- Author(s)
  T. Ikehata, R. Sasajima, M. Saijo, N. Sato, H. Udono
- Organizer
  APAC SILICIDE 2019
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03228
[Presentation] 真空中のプラズマ除電に関する研究2018
- Author(s)
  包睿達、木島智貴、佐藤直幸、池畑隆
- Organizer
  2018年度静電気学会春季講演会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05628
[Presentation] 高速バルブを用いたプラズマ放電式除電器の開発2018
- Author(s)
  峯村和樹、最上智史、野村信雄、池畑隆
- Organizer
  静電気学会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05628
[Presentation] スパッタ成膜におけるターゲット損耗リアルタイムモニタリング法の提案2018
- Author(s)
  池畑隆、小﨑匡史、岩田浩輔、佐藤直幸
- Organizer
  電気学会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05628
[Presentation] マグネシウム誘起結晶化(Mg-MIC)による多結晶シリコン薄膜の低温合成 #22018
- Author(s)
  南　亮輔,梨岡岳斗,春山敦史,池畑　隆,佐藤直幸,鵜殿治彦
- Organizer
  電気学会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05628
[Presentation] レーザーイオン化質量分析による環境中微量物質のリアルタイム分析2018
- Author(s)
  小崎匡史,池畑　隆,佐藤直幸,岩田浩輔
- Organizer
  電気学会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05628
[Presentation] 真空中のプラズマ除電のモデル2018
- Author(s)
  池畑隆、包睿達、佐藤直幸
- Organizer
  静電気学会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05628
[Presentation] 真空中のプラズマ除電2017
- Author(s)
  包睿達、佐藤直幸、池畑隆
- Organizer
  電気学会東京支部茨城支所研究発表会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05628
[Presentation] 真空中の静電気除去に関する検討2017
- Author(s)
  池畑隆、包睿達、佐藤直幸
- Organizer
  電気学会東京支部茨城支所研究発表会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05628
[Presentation] マグネシウム誘起結晶化による多結晶シリコン薄膜の低温合成2017
- Author(s)
  南亮輔,笹島良太,鵜殿治彦,佐藤直幸,池畑隆
- Organizer
  平成29年度電気学会東京支部茨城支所研究発表会
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17H03228
[Presentation] 減圧されたN2-O2混合ガス中のACイオナイザ静電気除電特性2016
- Author(s)
  包　睿達、池畑隆、佐藤直幸
- Organizer
  第24回電気学会東京支部茨城支所研究発表会
- Place of Presentation
  茨城県日立市シビックセンター
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05628
[Presentation] 真空中での除電2016
- Author(s)
  松尾武、須藤仁、佐藤直幸、池畑隆
- Organizer
  第24回電気学会東京支部茨城支所研究発表会
- Place of Presentation
  茨城県日立市シビックセンター
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16K05628
[Presentation] Solid-phase synthesis of Mg2Si thin film on sapphire substrate2016
- Author(s)
  Motomu Saijo, Kazuhiro Kunitake, Ryota Sasajima, Yuta Takagi, Naoyuki Sato, Takashi Ikehata
- Organizer
  Asia-Pacific Conference on Semiconducting Silicides and Related Materials Science and Technology Towards Sustainable Electronics ( APAC Silicide 2016 )
- Place of Presentation
  九州大学西新プラザ
- Year and Date
  2016-07-16
- Int'l Joint Research
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25400530
[Presentation] サファイア基板上におけるマグネシウムシリサイド薄膜の固相合成-アニール温度の効果2015
- Author(s)
  笹島良太、西城要、國武和広、河原航、池畑隆、佐藤直幸、鵜殿治彦
- Organizer
  電気学会東京支部茨城支所研究発表会
- Place of Presentation
  茨城県日立市シビックセンター
- Year and Date
  2015-11-28
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25400530
[Presentation] 減圧雰囲気におけるイオナイザ除電器の挙動2015
- Author(s)
  池畑隆, 根本大輔, 賀婉テイ, 松尾武, 佐藤直幸, 岡野一雄
- Organizer
  電気学会A部門大会
- Place of Presentation
  金沢大学
- Year and Date
  2015-09-17
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25400530
[Presentation] サファイア基板へのマグネシウムシリサイド薄膜固相合成2015
- Author(s)
  武和広、高木雄太、張月、西城要、石村洋彦、佐藤直幸、池畑隆、鵜殿治彦
- Organizer
  電気学会全国大会
- Place of Presentation
  東京都市大学
- Year and Date
  2015-03-25
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25400530
[Presentation] サファイア基板上におけるマグネシウムシリサイド薄膜固相合成2015
- Author(s)
  國武和広、西城要、笹島良太、河原航、池畑隆、佐藤直幸、鵜殿治彦
- Organizer
  電気学会東京支部茨城支所研究発表会
- Place of Presentation
  茨城県日立市シビックセンター
- Year and Date
  2015-11-28
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25400530
[Presentation] サファイア基板へのマグネシウムシリサイド薄膜固相合成 - 第二報2015
- Author(s)
  西城要,國武和広,笹島良太,河原航, 高木雄太,佐藤直幸,池畑隆,鵜殿治彦
- Organizer
  電気学会A部門大会
- Place of Presentation
  金沢大学
- Year and Date
  2015-09-17
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25400530
[Presentation] サファイア基板上Mg/Si共堆積膜のポストアニールによるMg2Si膜固相合成2014
- Author(s)
  高木雄太、張月、國武和広、佐藤直幸、池畑隆、鵜殿治彦
- Organizer
  第75回応用物理学会秋期学術講演会
- Place of Presentation
  北海道大学
- Year and Date
  2014-09-20
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25400530
[Presentation] 固相拡散法による単結晶サファイア基板へのマグネシウムシリサイド(Mg2Si)薄膜合成2014
- Author(s)
  國武和広，高木雄太，張月，西城要，石村洋彦，佐藤直幸，池畑隆、鵜殿治彦
- Organizer
  第22回電気学会東京支部茨城支所研究発表会（優秀発表賞受賞）
- Place of Presentation
  日立市シビックセンター
- Year and Date
  2014-11-24
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25400530
[Presentation] 固相拡散法による単結晶Si基板へのマグネシウムシリサイド(Mg2Si)薄膜合成2014
- Author(s)
  張月，高木雄太，國武和広，西城要, 石村洋彦，佐藤直幸，池畑隆、鵜殿治彦
- Organizer
  第22回電気学会東京支部茨城支所研究発表会
- Place of Presentation
  日立市シビックセンター
- Year and Date
  2014-11-24
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25400530
[Presentation] Ar雰囲気中アニールによるMg2Si膜固相合成におけるマグネシウム蒸発の観察2014
- Author(s)
  高木雄太、山本拓哉、張月、佐藤直幸、池畑隆、鵜殿治彦
- Organizer
  応用物理学会
- Place of Presentation
  青山学院大相模原キャンパス
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25400530
[Presentation] 大電力パルス駆動ペニングスパッタ装置における高密度プラズマの生成に関する研究2013
- Author(s)
  菊地貴允、佐藤直幸、東欣吾、(池畑隆)
- Organizer
  電気学会プラズマ研究会
- Place of Presentation
  茨城大学、日立キャンパス
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540501
[Presentation] Solid-phase growth of Mg2Si by annealing in inert gas atmosphere2013
- Author(s)
  (T. Ikehata), T. Ando, T. Yamamoto, R. Takagi, N.Y. Sato, H. Udono
- Organizer
  2013 Asia-Pacific Conference on Green Technology with Silicides and Related Materials
- Place of Presentation
  Tsukuba University, Japan
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540501
[Presentation] Si基板上Mgスパッタ膜のアニール処理によるMg2Siの合成と微細構造解析2013
- Author(s)
  山本拓哉、安藤龍哉、高木雄太、佐藤直幸、鵜殿治彦、(池畑隆)
- Organizer
  電気学会プラズマ研究会
- Place of Presentation
  茨城大学、日立キャンパス
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540501
[Presentation] Si基板上Mgスパッタ膜のアニール処理によるMg2Siの合成と微細構造解析2013
- Author(s)
  山本拓哉、安藤龍哉、高木雄太、佐藤直幸、鵜殿治彦、池畑隆
- Organizer
  電気学会プラズマ研究会、PST-13-014
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540501
[Presentation] Si基板上Mgスパッタ膜のアルゴン雰囲気中アニール処理によるMg2Si膜の合成2013
- Author(s)
  池畑隆、安藤龍哉、山本拓哉、高木雄太、佐藤直幸、鵜殿治彦
- Organizer
  第60回応用物理学会春季学術講演会、30a-G7-1
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540501
[Presentation] Si 基板上Mg スパッタ膜のアルゴン雰囲気中アニール処理によるMg2Si 膜の合成2013
- Author(s)
  (池畑隆)、安藤龍哉、山本拓哉、高木雄太、佐藤直幸、鵜殿治彦
- Organizer
  応用物理学会
- Place of Presentation
  神奈川工科大学　厚木キャンパス
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540501
[Presentation] HiPIMS-高密度金属プラズマが拓く未来2013
- Author(s)
  池畑隆
- Organizer
  応用物理学会
- Place of Presentation
  同志社大京田辺キャンパス
- Invited
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25400530
[Presentation] 大電力パルス駆動ペニングスパッタ装置における高密度プラズマの生成に関する研究2013
- Author(s)
  菊地貴允、佐藤直幸、東欣吾、池畑隆
- Organizer
  電気学会プラズマ研究会、PST-13-025
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540501
[Presentation] 熱電半導体Mg2Si膜の固相合成におけるマグネシウム蒸発量の調査2013
- Author(s)
  高木雄太、山本拓哉、張月、國武和広、佐藤直幸、鵜殿治彦、池畑隆
- Organizer
  電気学会
- Place of Presentation
  日立シビックセンター
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25400530
[Presentation] 熱電半導体Mg2Si膜の固相合成と微細構造解析2013
- Author(s)
  山本拓哉、高木雄太、張月、國武和広、佐藤直幸、鵜殿治彦、池畑隆
- Organizer
  電気学会
- Place of Presentation
  日立シビックセンター
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-25400530
[Presentation] 希ガス雰囲気中アニール処理によるMg2Siの合成 - アニール温度特性2012
- Author(s)
  安藤龍哉、山本拓哉、高木雄太、佐藤直幸、鵜殿治彦、(池畑隆)
- Organizer
  電気学会東京支部茨城支所研究発表会
- Place of Presentation
  茨城県日立市　日立シビックセンター
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540501
[Presentation] 希ガス雰囲気中アニール処理によるMg2Siの合成-雰囲気圧力特性2012
- Author(s)
  山本拓哉、安藤龍哉、高木雄太、佐藤直幸、鵜殿治彦、(池畑隆)
- Organizer
  電気学会東京支部茨城支所研究発表会
- Place of Presentation
  茨城県日立市　日立シビックセンター
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540501
[Presentation] A novel plasma technology for surface modification of semiconducting and insulating materials2012
- Author(s)
  T Ikehata, M. Tomita, T. Mashiko, N.Y. Sato
- Organizer
  (Invited) Proc. 7th Asia-Pacific Symposium on Plasma Technologies (APSPT-7)
- Place of Presentation
  Taiwan
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540501
[Presentation] Mg2Si Thin Film Prepared by Annealing in Noble Gas Atmosphere2012
- Author(s)
  T. Ando, T. Yamamoto, Y. Takagi, N. Sato, H. Udono, T. Ikehata
- Organizer
  8th International Student Conference at Ibaraki University (ISCIU8)
- Place of Presentation
  Japan
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540501
[Presentation] A Novel Plasma Technology for Surface Modification of Semiconducting and Insulating Materials2012
- Author(s)
  (T. Ikehata), M. Tomita, T. Mashiko, NY. Sato
- Organizer
  tth Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology
- Place of Presentation
  Taipei, Taiwan
- Invited
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540501
[Presentation] A high-power pulsed sputtering devie with modified penning geometer2012
- Author(s)
  T. Kikuchi, N.Y. Sato, T. Ikehata
- Organizer
  8th International Student Conference at Ibaraki University (ISCIU8)
- Place of Presentation
  Japan
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540501
[Presentation] Si基板上Mgスパッタ膜のアニール処理によるMg2Siの合成2012
- Author(s)
  安藤龍哉、山本拓哉、高木雄太、(池畑隆)、佐藤直幸、鵜殿治彦
- Organizer
  電気学会プラズマ･パルスパワー合同研究会
- Place of Presentation
  東京大学、本郷キャンパス
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540501
[Presentation] Si基板上Mgスパッタ膜のアニール処理によるMg2Siの合成2012
- Author(s)
  安藤龍哉、山本拓哉、高木雄太、池畑隆、佐藤直幸、鵜殿治彦
- Organizer
  電気学会プラズマ・パルスパワー合同研究会、PST-12-094
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540501
[Presentation] ペニングスパッタ装置の大電力パルス動作と高密度プラズマ生成2012
- Author(s)
  菊地貴允、佐藤直幸、東欣吾、(池畑隆)
- Organizer
  電気学会東京支部茨城支所研究発表会
- Place of Presentation
  茨城県日立市　日立シビックセンター
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540501
[Presentation] 大電力パルススパッタによるMg2Siプラズマの発生と成膜2011
- Author(s)
  安藤龍哉, 菊地貴充, 佐藤直幸, 池畑隆
- Organizer
  第19回電気学会東京支部茨城支所研究発表会
- Place of Presentation
  日立市シビックセンター
- Year and Date
  2011-11-19
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540501
[Presentation] Discharge and plasma production characteristics of a disc magnetron operated in dc and pulsed sputtering modes2011
- Author(s)
  T. Ikehata, S. Nemoto, T. Ando, N.Y. Sato
- Organizer
  11th Int. Workshop on Plasma-Based Ion Implantation and Deposition (PBII&D2011)
- Place of Presentation
  China
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540501
[Presentation] Ion-assisted surface smoothing of semiconducting and insulating materials2011
- Author(s)
  富田和成、増子冬馬、佐藤直幸、池畑隆
- Organizer
  7th Int.Conf.Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB2011)
- Place of Presentation
  Harbin, China
- Year and Date
  2011-09-14
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540501
[Presentation] 大電力パルスマグネトロンスパッタによる高密度メタルプラズマの発生2011
- Author(s)
  安藤龍哉, 根本翔, 深澤孝嘉, 池畑隆, 佐藤直幸, 東欣吾
- Organizer
  第58回応用物理学関係連合講演会
- Place of Presentation
  神奈川工科大学(神奈川県厚木市)
- Year and Date
  2011-03-27
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540501
[Presentation] Discharge and plasma production characteristics of a disc magnetron operated in dc and pulsed sputtering modes2011
- Author(s)
  池畑隆, 根本翔, 安藤龍哉, 佐藤直幸
- Organizer
  11th Int.Workshop on Plasma-Based Ion Implantation and Deposition (PBII&D2011)
- Place of Presentation
  Harbin, China
- Year and Date
  2011-09-10
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540501
[Presentation] 高密度・高電離度金属プラズマの発生に関する研究(招待講演)2011
- Author(s)
  池畑隆
- Organizer
  電気学会プラズマ研究会、PST-11-045
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540501
[Presentation] 高密度・高電離度金属プラズマの発生に関する研究2011
- Author(s)
  池畑隆
- Organizer
  電気学会プラズマ研究会
- Place of Presentation
  大阪工業大学(招待講演)
- Year and Date
  2011-08-07
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540501
[Presentation] 大電力パルスマグネトロンスパッタによる高密度メタルプラズマの生成と空間分布2010
- Author(s)
  根本翔, 安藤龍哉, 深澤孝嘉, 池畑隆, 佐藤直幸, 東欣吾
- Organizer
  電気学会プラズマ・パルスパワー合同研究会
- Place of Presentation
  東京工業大学(大岡山キャンパス)
- Year and Date
  2010-12-18
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540501
[Presentation] 大電力パルススパッタを用いた高密度メタルプラズマの生成に関する研究2010
- Author(s)
  根本翔、安藤龍哉、深澤孝嘉、池畑隆、佐藤直幸
- Organizer
  第18回電気学会東京支部茨城支所研究発表会、PA30
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540501
[Presentation] 大電力パルススパッタを用いた高密度メタルプラズマの生成に関する研究2010
- Author(s)
  根本翔, 安藤龍哉, 深澤孝嘉、池畑隆, 佐藤直幸
- Organizer
  第18回電気学会東京支部茨城支所研究発表会
- Place of Presentation
  日立シビックセンター(茨城県日立市)
- Year and Date
  2010-11-14
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540501
[Presentation] 大電力パルスマグネトロンスパッタによる高密度メタルプラズマの生成と空間分布(優秀発表賞受賞)2010
- Author(s)
  根本翔、安藤龍哉、深澤孝嘉、池畑隆、佐藤直幸、東欣吾
- Organizer
  電気学会プラズマ・パルスパワー合同研究会
- Place of Presentation
  東工大大岡山
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-22540501
[Presentation] 質量選択的運動量制御に向けたZnO薄膜プラズマ合成中の抵抗率測定2008
- Author(s)
  小松良寛・佐藤直幸・池畑隆・山内智・大貫仁
- Organizer
  第55回応用物理学関係連合講演会
- Place of Presentation
  船橋市,日本大学理工学部
- Year and Date
  2008-03-28
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Presentation] 質量選択的運動量制御による複合化合物材料のプラズマ合成に向けた低気圧低温プラズマの生成2006
- Author(s)
  佐藤直幸・木下廣介・池畑隆・山内智・大貫仁
- Organizer
  第54回応用物理学関係連合講演会
- Place of Presentation
  相模原市,青山学院大学
- Year and Date
  2006-03-29
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Presentation] Plasma application of mass-selective momentum control to complex compound synthesis2005
- Author(s)
  Naoyuki Sato, Yasushi Nakano, Takashi Ikehata, Satoshi Yamauchi, Jin Oonuki
- Organizer
  Extended Abstracts(The 65th Autumn Meeting, 2005) The Japan Society of Applied Physics No.1 1a-ZB-8
- Place of Presentation
  in Japanese
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Presentation] Fabrication of diamond single crystal by employing VHF-ICP plasma2005
- Author(s)
  H. Yoshikawa, YNakano, N. Y. Sato&T. Ikehata
- Organizer
  Extended Abstracts(The 52nd Spring Meeting, 2005) The Japan Society of Applied Physics and Related Societies No.2 30a-G-2
- Place of Presentation
  in Japanese
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Presentation] Voltage-current characteristics of the magnetized oxygen plasma for oxide film synthesis based on mass-selective momentum control2005
- Author(s)
  Y. Nakano. N. Y. Sato. T. Ikehata, S. Yamauchi&J. Oonuki
- Organizer
  Extended Abstracts(The 52nd Spring Meeting, 2005) The Japan Society of Applied Physics and Related Societies No.2 29a-E-1
- Place of Presentation
  in Japanese
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Presentation] 質量選択的運動量制御によるZnO薄膜の合成に向けた磁場中酸素プラズマへの亜鉛蒸気導入2005
- Author(s)
  佐藤直幸・中野恭嗣・池畑隆・山内智・大貫仁
- Organizer
  第52回応用物理学関係連合講演会
- Place of Presentation
  さいたま市,埼玉大学
- Year and Date
  2005-03-30
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Presentation] 質量選択的運動量制御による酸化物薄膜の合成に向けた磁場中酸素プラズマの電圧-電流特性2005
- Author(s)
  中野恭嗣・佐藤直幸・池畑隆・山内智・大貫仁
- Organizer
  第52回応用物理学関係連合講演会
- Place of Presentation
  さいたま市,埼玉大学
- Year and Date
  2005-03-29
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Presentation] 質量選択的運動量制御・磁場中酸素プラズマを用いた酸化物薄膜の合成(シンポジウム招待講演 30分)2005
- Author(s)
  佐藤直幸・中野恭嗣・木下廣介・池畑隆・山内智・大貫仁
- Organizer
  第66回応用物理学会学術講演会
- Place of Presentation
  徳島市,徳島大学
- Year and Date
  2005-09-08
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Presentation] VHF帯誘導結合プラズマ(VHF-ICP)を用いたダイヤモンドの加工2005
- Author(s)
  吉川博道・中野恭嗣・佐藤直幸・池畑隆
- Organizer
  第52回応用物理学関係連合講演会
- Place of Presentation
  さいたま市,埼玉大学
- Year and Date
  2005-03-30
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Presentation] 複合化合物材料の合成に向けた選択的運動量制御型プラズマ成膜技術の開発2005
- Author(s)
  佐藤直幸・中野恭嗣・池畑隆・山内智・大貫仁
- Organizer
  第65回応用物理学会学術講演会
- Place of Presentation
  仙台市,東北学院大学
- Year and Date
  2005-09-01
- Description
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Presentation] Introduction of zinc intot the magnetized oxygen plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2005
- Author(s)
  N. Y. Sato, Y. Nakano, T. Ikehata, S. Yamauchi&J. Oonuki
- Organizer
  Extended Abstracts(The 52nd Spring Meeting, 2005) The Japan Society of Applied Physics and Related Societies No.2 30a-E-6
- Place of Presentation
  in Japanese
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Presentation] The resistivity measurement in the plasma deposition of ZnO thin film for mass-selective momentum control
- Author(s)
  Yoshihiro Komatsu, Naoyuki Sato, Takashi Ikehata, Satoshi Yamauchi, and Jin Oonuki
- Organizer
  Extended Abstracts(The 55th Spring Meeting, 2008) The Japan Society of Applied Physics and Related Societies No,1 28p-ZJ-10
- Place of Presentation
  in Japanese
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Presentation] Oxide film synthesis in the magnetized oxygen plasma based on mass-selective momentum control(invited on 8 Sep.2005)
- Author(s)
  N. Y. Sato, Y. Nakano, K. Kinoshita, T. Ikehata, S. Yamauchi&J. Oonuki
- Organizer
  Extended Abstracts(The 66th Autumn Meeting, 2005) The Japan Society of Applied Physics No,0 8p-N-5
- Place of Presentation
  in Japanese
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356
[Presentation] Production of low temperature plasma under low pressure for complex compound synthesis by mass-selective momentum control
- Author(s)
  Naoyuki Sato, Kousuke Kinoshita, Takashi Ikehata, Satoshi Yamauchi
- Organizer
  Extended Abstracts(The 54th Autumn Spring 2006) The Japan Society of Applied Physics and Related Societies No.1 29p-C-8
- Place of Presentation
  in Japanese
- Description
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-16360356

1. NAOYUKI Sato (80225979)

# of Collaborated Projects: 7 results

# of Collaborated Products: 63 results
2. MASE Hiroshi (30007611)

# of Collaborated Projects: 7 results

# of Collaborated Products: 0 results
3. 板谷良平 (90025833)

# of Collaborated Projects: 3 results

# of Collaborated Products: 0 results
4. 吉本昌弘 (20210776)

# of Collaborated Projects: 3 results

# of Collaborated Products: 0 results
5. 松波弘之 (50026035)

# of Collaborated Projects: 3 results

# of Collaborated Products: 0 results
6. Udono Haruhiko (10282279)

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 13 results
7. 久保寔 (80089127)

# of Collaborated Projects: 2 results

# of Collaborated Products: 0 results
8. OBOTE Shigeki (50323209)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
9. KENICHI Kagoshima (70292472)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
10. TANAKA Masatoshi (10250979)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
11. YAMAUCHI Satoshi (30292478)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 46 results
12. ONUKI Jin (70315612)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 45 results
13. YAMASHITA Masato (10159212)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
14. 八坂保能 (30109037)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
15. 板倉賢 (20203078)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
16. 塩見淳一郎 (40451786)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
17. 江坂文孝 (40354865)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
18. AZUMA KINGO

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
19. 鈴木康夫

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results

IKEHATA Takashi 池畑 隆

TAKACHI Ikehata 池畑 隆

Research Projects

Research Products

Co-Researchers

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Study on the negative-ion generation in atmospheric N2-CF3I gas discharge and its application to the static eliminator for organic materialsPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Low temperature synthesis of a Mg2Si thin film with help of plasmaPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Research on the high-power pulsed sputtering discharge and its application to ion sources for thin film fabrication.Principal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

DEVELOPMENT OF CENTRIFUGAL SEPARATION METHOD OF ISOTOPES BY USE OF A J*B DRIVEN ROTATING PLASMAPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Institution

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Institution

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Institution

強い遠心力場でのプラズマ粒子輸送と同位体分離への応用Principal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

磁気ミラーにおける軸方向および径方向電位分布の同時形成と制御Principal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

IKEHATA Takashi 池畑隆

TAKACHI Ikehata 池畑隆

[Journal Article] 真空中におけるプラズマによる除電－真空デバイスプロセスへの適用に向けて－2019