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上杉 謙次郎  ウエスギ ケンジロウ

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Researcher Number 40867305
Other IDs
Affiliation (based on the past Project Information) *help 2022 – 2023: 三重大学, 研究基盤推進機構, 准教授
2022: 三重大学, みえの未来図共創機構, 助教
2021 – 2022: 三重大学, 地域創生戦略企画室, 助教
Review Section/Research Field
Principal Investigator
Basic Section 30010:Crystal engineering-related
Except Principal Investigator
Basic Section 30010:Crystal engineering-related / Medium-sized Section 21:Electrical and electronic engineering and related fields
Keywords
Principal Investigator
原子間力顕微鏡 / 深紫外発光ダイオード / 顕微分光 / 窒化物半導体
Except Principal Investigator
AlN / LED / AlNテンプレート / 高温アニール / アニール / エピタキシャル成長 … More / 非極性面 / AlNテンプレート / 深紫外LED / AlGaN / 窒化物半導体 / 極性制御 / CMOS / GaN / 窒化アルミニウム / ワイドギャップ半導体 / 極性反転 / 2次元正孔ガス / 2次元電子ガス / 窒化ガリウム Less
  • Research Projects

    (3 results)
  • Research Products

    (77 results)
  • Co-Researchers

    (6 People)
  •  Development of GaN CMOS Monolithic Integrated Circuits Technology Using Crystal Hetero-Polarity Control

    • Principal Investigator
      林 侑介
    • Project Period (FY)
      2022 – 2025
    • Research Category
      Fund for the Promotion of Joint International Research (Fostering Joint International Research (B))
    • Review Section
      Medium-sized Section 21:Electrical and electronic engineering and related fields
    • Research Institution
      Osaka University
  •  Non-polar growth of AlGaN nitride semiconductor and its application in deep ultraviolet LEDs

    • Principal Investigator
      三宅 秀人
    • Project Period (FY)
      2022 – 2024
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • Review Section
      Basic Section 30010:Crystal engineering-related
    • Research Institution
      Mie University
  •  局所電流注入による窒化物半導体の発光効率分布可視化手法の開発Principal Investigator

    • Principal Investigator
      上杉 謙次郎
    • Project Period (FY)
      2021 – 2023
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
    • Review Section
      Basic Section 30010:Crystal engineering-related
    • Research Institution
      Mie University

All 2023 2022 2021

All Presentation Patent

  • [Patent] 光学装置及び光学装置の製造方法2021

    • Inventor(s)
      三宅秀人, 上杉謙次郎, 久保雅敬, 窪谷茂幸
    • Industrial Property Rights Holder
      三宅秀人, 上杉謙次郎, 久保雅敬, 窪谷茂幸
    • Industrial Property Rights Type
      特許
    • Industrial Property Number
      2021-196741
    • Filing Date
      2021
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Patent] 半導体発光デバイス、半導体発光デバイスを作製する方法、コンタクト構造2021

    • Inventor(s)
      上杉謙次郎, 三宅秀人, 中村孝夫
    • Industrial Property Rights Holder
      上杉謙次郎, 三宅秀人, 中村孝夫
    • Industrial Property Rights Type
      特許
    • Industrial Property Number
      2021-147192
    • Filing Date
      2021
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Patent] III族窒化物発光デバイス、III族窒化物エピタキシャルウエハ、III族窒化物発光デバイスを作製する方法2021

    • Inventor(s)
      上杉謙次郎, 三宅秀人, 中村孝夫
    • Industrial Property Rights Holder
      上杉謙次郎, 三宅秀人, 中村孝夫
    • Industrial Property Rights Type
      特許
    • Industrial Property Number
      2021-147191
    • Filing Date
      2021
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] 220~260 nm発光帯AlGaN量子井戸構造における効率曲線の温度依存性2023

    • Author(s)
      稲井滉介, 姫野邦夫, 谷海智, 林拓誠, 室谷英彰, 倉井聡, 岡田成仁, 上杉謙次郎, 三宅秀人
    • Organizer
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] 低転位AlNテンプレートを用いたAlGaN量子井戸構造における内部量子効率の量子井戸数依存性2023

    • Author(s)
      稲井滉介, 押村遼太, 姫野邦夫, 藤井恵, 大西悠太, 倉井聡, 岡田成仁, 上杉謙次郎, 三宅秀人, 山田陽一
    • Organizer
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] 230 nm発光AlGaN量子井戸構造における偏光特性の温度依存性2023

    • Author(s)
      姫野邦夫, 稲井滉介, 谷海智, 林拓誠, 室谷英彰, 倉井聡, 岡田成仁, 上杉謙次郎, 三宅秀人, 山田陽一
    • Organizer
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] 障壁層Al組成低減による遠紫外LEDの発光効率向上2023

    • Author(s)
      上杉謙次郎, 市川修平, 中村孝夫, 土谷正彦, 小島一信, 三宅秀人
    • Organizer
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] スパッタ・アニール法AlN上にMBE成長させたGaNチャネルHEMTの作製2023

    • Author(s)
      漆山真, 中岡樹, 上杉謙次郎, 中村孝夫, 荒木努, 三宅秀人
    • Organizer
      第15回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] ナノパターン上のステップフリーAlN表面へのGaN/AlN量子井戸のMOVPE成長2023

    • Author(s)
      吉田莉久, 正直花奈子, 上杉謙次郎, 肖世玉, 三宅秀人
    • Organizer
      第15回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] スパッタ・アニール法AlN膜作製における4H-SiC(0001)基板微傾斜角の影響2023

    • Author(s)
      別所怜, 肖世玉, 上杉謙次郎, 三宅秀人
    • Organizer
      第15回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] スパッタアニールAlNテンプレート上AlGaN薄膜の局在発光特性の評価2023

    • Author(s)
      市川修平, 上杉謙次郎, 齊藤一輝, 肖世玉, 正直花奈子, 中村孝夫, 毎田修, 三宅秀人, 小島一信
    • Organizer
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] スパッタ・アニール法AlNを用いたAlN厚膜成長のための表面制御2023

    • Author(s)
      瀧翼佐, 肖世玉, 上杉謙次郎, 中村孝夫, 三宅秀人
    • Organizer
      第15回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] スパッタアニールAlNの極性制御を用いた積層方向極性反転構造の作製2023

    • Author(s)
      正直花奈子, 本田啓人, 橋本卓実, 並河楽空, 上杉謙次郎, 肖世玉, 谷川智之, 片山竜二, 三宅秀人
    • Organizer
      日本学術振興会R032産業イノベーションのための結晶成長委員会第10回研究会「AlNおよびAlGaNの結晶成長と深紫外LEDの最前線」
    • Invited
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] スパッタ・アニール法a面AlN上へのMOVPE法ホモエピタキシャル成長2023

    • Author(s)
      羽山慈永, 小川優輝, 上杉謙次郎, 肖世玉, 三宅秀人
    • Organizer
      第15回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] スパッタ・アニール法AlN上波長230 nm帯UV-LEDの通電による出力特性変化2023

    • Author(s)
      久保田悦司, 田中祥三郎, 上杉謙次郎, 中村孝夫, 三宅秀人
    • Organizer
      第15回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] ピラー形成AlNテンプレート上へのHVPE法によるAlN厚膜成長2023

    • Author(s)
      肖世玉, 岩山章, 上杉謙次郎, 正直花奈子, 岩谷素顕, 三宅秀人
    • Organizer
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] MOVPE法を用いたBN成長におけるAlNテンプレート極性の影響2023

    • Author(s)
      大石悠翔, 肖世玉, 上杉謙次郎, 秋山亨, 三宅秀人
    • Organizer
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] 高温熱処理したAlN/Sapphireテンプレートを用いた265 nm帯UV-C LEDの開発2023

    • Author(s)
      上杉謙次郎, 正直花奈子, 窪谷茂幸, 肖世玉, 中村孝夫, 久保雅敬, 三宅秀人
    • Organizer
      日本学術振興会R032産業イノベーションのための結晶成Dの最前線」
    • Invited
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] スパッタアニールAlNを用いた波長230 nm帯UV-LEDの開発2023

    • Author(s)
      上杉謙次郎, 市川修平, 肖世玉, 正直花奈子, 中村孝夫, 土谷正彦, 小島一信, 三宅秀人
    • Organizer
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] ゲートリセス領域を有する高Al組成AlGaNチャネルHEMTのノーマリーオフ動作2023

    • Author(s)
      中岡樹, 漆山真, 久保田悦司, 上杉謙次郎, 中村孝夫, 三宅秀人
    • Organizer
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] マルチ・スパッタアニール法による多層極性反転AlN構造の作製2023

    • Author(s)
      玉野智大, 正直花奈子, 本田啓人, 上杉謙次郎, 肖世玉, 上向井正裕, 谷川智之, 片山竜二, 三宅秀人
    • Organizer
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] UV-C発光帯AlGaN多重量子井戸構造におけるCL強度ラインプロファイルの電流依存性2023

    • Author(s)
      大西悠太, 山口竜平, 武居俊宏, 倉井聡, 岡田成仁, 上杉謙次郎, 三宅秀人, 山田陽一
    • Organizer
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] スパッタアニール 法 作製 a 面 AlN における 結晶性 の スパッタ 温度 依存性2022

    • Author(s)
      小川優輝, 渋谷康太, 上杉謙次郎, 肖 世玉, 正直花奈子, 三宅秀人
    • Organizer
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-23K23238
  • [Presentation] ゲート絶縁膜を有するAlGaNチャネルHEMTの作製と評価2022

    • Author(s)
      中岡樹, 上杉謙次郎, 漆山真, 正直花奈子, 三宅秀人
    • Organizer
      第14回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-23K23238
  • [Presentation] 低転位密度AlNテンプレート上へのAlGaN成長と265nm発光LEDへの応用2022

    • Author(s)
      上杉謙次郎, 正直花奈子, 肖世玉, 窪谷茂幸, 中村孝夫, 三宅秀人
    • Organizer
      2022年日本結晶成長学会特別講演会「赤﨑勇先生追悼公演会 ~結晶成長が描く夢の継承~」
    • Invited
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] MOVPE成長温度とメサの大きさがステップフリーAlN膜の表面形態に与える影響2022

    • Author(s)
      山中祐人, 正直花奈子, 窪谷茂幸, 上杉謙次郎, 三宅秀人
    • Organizer
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] サファイア上へのMOVPE法によるBN成長と高温アニール2022

    • Author(s)
      井谷彩花, 窪谷茂幸, 肖世玉, 正直花奈子, 上杉謙次郎, 三宅秀人
    • Organizer
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] 低転位密度N極性AlNテンプレート上MOVPEホモエピタキシャル成長のサファイア基板オフ角度依存性2022

    • Author(s)
      並河楽空, 正直花奈子, 吉田莉久, 上杉謙次郎, 三宅秀人
    • Organizer
      第14回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-23K23238
  • [Presentation] 高温アニールしたスパッタ成膜AlNテンプレートを用いたUV-C LEDの開発2022

    • Author(s)
      上杉謙次郎, 正直花奈子, 窪谷茂幸, 肖世玉, 中村孝夫, 久保雅敬, 三宅秀人
    • Organizer
      令和3年電気学会各賞受賞記念講演
    • Invited
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] 低転位スパッタAlNテンプレート上AlGaN量子井戸構造における内部量子効率の量子井戸数依存性2022

    • Author(s)
      稲井滉介, 押村遼太, 姫野邦夫, 藤井恵, 大西悠太, 倉井聡, 岡田成仁, 上杉謙次郎, 三宅秀人, 山田陽一
    • Organizer
      第14回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] スパッタアニール法で作製したAlN極性反転構造における酸素プラズマ照射効果2022

    • Author(s)
      林侑介, Li Jiaying, 中西悠太, 藤平哲也, 上杉謙次郎, 正直花奈子, 三宅秀人, 五十嵐信行, 酒井朗
    • Organizer
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] 金属Alターゲットを用いてスパッタ堆積したアニールAlNの極性制御2022

    • Author(s)
      橋本卓実, 正直花奈子, 上杉謙次郎, 肖世玉, 窪谷茂幸, 三宅秀人
    • Organizer
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] ピラー 形成 AlN テンプレート上 への HVPE法による AlN厚膜 成長2022

    • Author(s)
      肖 世玉, 岩山章, 上杉謙次郎, 正直花奈子, 岩谷素顕, 三宅秀人
    • Organizer
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-23K23238
  • [Presentation] スパッタアニール AlN を用いた波長 2 30 n m 帯 U V LED の開発2022

    • Author(s)
      上杉謙次郎, 市川修平, 肖 世玉, 正直花奈子, 中村孝夫, 土谷正彦, 小 一信, 三宅秀人
    • Organizer
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-23K23238
  • [Presentation] スパッタアニール法作製a面AlNにおける結晶性のスパッタ温度依存性2022

    • Author(s)
      小川優輝, 渋谷康太, 上杉謙次郎, 肖世玉, 正直花奈子, 三宅秀人
    • Organizer
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] スパッタアニールAlNの極性制御2022

    • Author(s)
      正直花奈子、上杉謙次郎、肖世玉、三宅秀人
    • Organizer
      第一回極性制御研究会
    • Invited
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-23K23238
  • [Presentation] 低転位密度N極性AlNテンプレート上MOVPEホモエピタキシャル成長のサファイア基板オフ角度依存性2022

    • Author(s)
      並河楽空, 正直花奈子, 吉田莉久, 上杉謙次郎, 三宅秀人
    • Organizer
      第14回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] らせん・混合転位密度が低いAlNテンプレートを用いたDUV-LEDの開発2022

    • Author(s)
      上杉謙次郎, 窪谷茂幸, 中村孝夫, 正直花奈子, 肖世玉, 久保雅敬, 三宅秀人
    • Organizer
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] オフ角が異なるサファイア上AlNテンプレートを用いたAlGaN量子井戸のカソードルミネッセンス評価2022

    • Author(s)
      倉井聡, 藤井恵, 大西悠太, 中谷文哉, 岡田成仁, 上杉謙次郎, 三宅秀人, 山田陽一
    • Organizer
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] スパッタアニール法作製a面AlNのc軸配向方向の基板微傾斜角度依存性2022

    • Author(s)
      小川優輝, 渋谷康太, 上杉謙次郎, 肖 世玉, 正直花奈子, 秋山亨, 三宅秀人
    • Organizer
      第14回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-23K23238
  • [Presentation] スパッタAlNテンプレート上AlGaN量子井戸構造の内部量子効率に対する点欠陥の影響2022

    • Author(s)
      藤井恵, 大西悠太, 稲井滉介, 押村遼太, 倉井聡, 岡田成仁, 上杉謙次郎, 三宅秀人, 山田陽一
    • Organizer
      第14回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] 窒化物半導体結晶成長技術を駆使した量子光源の開発2022

    • Author(s)
      正直花奈子, 本田啓人, 上杉謙次郎, 肖世玉, 谷川智之, 片山竜二, 三宅秀人
    • Organizer
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • Invited
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] ステップ端密度が制御されたAlN表面へのGaN/AlN量子井戸のMOVPE成長2022

    • Author(s)
      山中祐人, 正直花奈子, 上杉謙次郎, 肖世玉, 三宅秀人
    • Organizer
      第14回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] スパッタ堆積アニールN極性AlN膜へのサファイア基板オフ角の影響2022

    • Author(s)
      並河楽空, 窪谷茂幸, 正直花奈子, 森隆一, 上杉謙次郎, 三宅秀人
    • Organizer
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] マルチ・スパッタアニール 法 による多層極性反転 AlN構造の作製2022

    • Author(s)
      玉野智大, 正直花奈子, 本田啓人, 上杉謙次郎, 肖 世玉, 上向井正裕, 谷川智之, 片山竜二, 三宅秀人
    • Organizer
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-23K23238
  • [Presentation] スパッタAlNテンプレート上AlGaN量子井戸構造における貫通転位近傍のCL強度ラインプロファイル2022

    • Author(s)
      藤井恵, 大西悠太, 稲井滉介, 押村遼太, 倉井聡, 岡田成仁, 上杉謙次郎, 三宅秀人, 山田陽一
    • Organizer
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] 窒化物半導体結晶成長技術を駆使した量子光源の開発2022

    • Author(s)
      正直花奈子, 本田啓人, 上杉謙次郎, 肖 世玉, 谷川智之, 片山竜二, 三宅秀人
    • Organizer
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-23K23238
  • [Presentation] 低転位AlNテンプレート上に成長したAlGaN量子井戸構造における貫通転位近傍の発光強度プロファイル2022

    • Author(s)
      大西悠太, 藤井恵, 押村遼太, 稲井滉介, 倉井聡, 岡田成仁, 上杉謙次郎, 三宅秀人, 山田陽一
    • Organizer
      2022年度応用物理・物理系学会中国四国支部支部合同学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] m面サファイア基板上スパッタアニールAlNの面方位制御2022

    • Author(s)
      上杉謙次郎, 張芸賢, 正直花奈子, 肖世玉, 三宅秀人
    • Organizer
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] 多層極性反転AlNの傾斜面KOHエッチングによる極性判定2022

    • Author(s)
      林侑介, 中西悠太, 藤平哲也, 上杉謙次郎, 正直花奈子, 三宅秀人, 酒井朗
    • Organizer
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] ステップ端密度が制御された AlN 表面への GaN AlN 量子井戸の MOVPE 成長2022

    • Author(s)
      山中祐人, 正直花奈子, 上杉謙次郎, 肖 世玉, 三宅秀人
    • Organizer
      第14回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-23K23238
  • [Presentation] HfO2/AlN横型疑似位相整合チャネル導波路を用いた230 nm遠紫外第二次高調波発生2022

    • Author(s)
      本田啓人, 正直花奈子, 上杉謙次郎, 三宅秀人, 芹田和則, 村上博成, 斗内政吉, 上向井正裕, 谷川智之, 片山竜二
    • Organizer
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • Invited
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] m面サファイア基板上スパッタアニールAlN の面方位制御2022

    • Author(s)
      上杉謙次郎, 張 芸賢, 正直花奈子, 肖 世玉, 三宅秀人
    • Organizer
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-23K23238
  • [Presentation] スパッタアニールAlN上GaN/AlN 2次元正孔ガス構造の電気特性評価と微細構造解析2022

    • Author(s)
      西村海音, 中西悠太, 林侑介, 藤平哲也, Chaudhuri Reet, Cho Yongjin, Xing Huili Grace, Jena Debdeep, 上杉謙次郎, 三宅秀人, 酒井朗
    • Organizer
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] 2層極性反転AlN横型擬似位相整合チャネル導波路を用いた230 nm遠紫外第二次高調波発生2022

    • Author(s)
      本田啓人, 正直花奈子, 上杉謙次郎, 三宅秀人, 芹田和則, 村上博成, 斗内政吉, 上向井正裕, 谷川智之, 片山竜二
    • Organizer
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] ゲート絶縁膜を有するAlGaNチャネルHEMTの作製と評価2022

    • Author(s)
      中岡樹, 上杉謙次郎, 漆山真, 正直花奈子, 三宅秀人
    • Organizer
      第14回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] スパッタアニール法作製a面AlNのc軸方向配向性の基板微傾斜角度依存性2022

    • Author(s)
      小川優輝, 渋谷康太, 上杉謙次郎, 肖世玉, 正直花奈子, 秋山亨, 三宅秀人
    • Organizer
      第14回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] サファイア上への MOVPE法 による BN成長 と 高温 アニール2022

    • Author(s)
      井谷彩花, 窪谷茂幸, 肖 世玉, 正直花奈子, 上杉謙次郎, 三宅秀人
    • Organizer
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-23K23238
  • [Presentation] 高温アニール処理されたスパッタ成膜AlNテンプレート上AlGaN量子井戸構造における内部量子効率の量子井戸数依存性2022

    • Author(s)
      稲井滉介, 押村遼太, 姫野邦夫, 藤井恵, 大西悠太, 倉井聡, 岡田成仁, 上杉謙次郎, 三宅秀人, 山田陽一
    • Organizer
      2022年度応用物理・物理系学会中国四国支部支部合同学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] スパッタアニール法によるAlN垂直方向極性反転構造の作製2022

    • Author(s)
      正直花奈子, 上杉謙次郎, 肖 世玉, 三宅秀人
    • Organizer
      第41回電子材料シンポジウム(EMS41)
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-23K23238
  • [Presentation] 低転位密度AlNテンプレート上でのAlGaN成長におけるステップ制御2021

    • Author(s)
      三宅秀人, 上杉謙次郎, 正直花奈子, 肖世玉, 窪谷茂幸
    • Organizer
      第50回日本結晶成長国内会議
    • Invited
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] ストライプ状溝加工AlNテンプレート上へのHVPE法によるAlN成長2021

    • Author(s)
      岡駿斗, 奥灘瑠斗, 肖世玉, 正直花奈子, 上杉謙次郎, 窪谷茂幸, 中村孝夫, 三宅秀人
    • Organizer
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] 高温アニールしたスパッタ成膜AlNテンプレートを用いたUV-C LEDの開発2021

    • Author(s)
      上杉謙次郎, 正直花奈子, 窪谷茂幸, 肖世玉, 三宅秀人
    • Organizer
      電気学会 光・量子デバイス研究会「パワー光源システム技術」
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] スパッタ積層と高温アニールで作製したAlN膜における極性制御2021

    • Author(s)
      橋本卓実, 正直花奈子, 上杉謙次郎, 肖世玉, 窪谷茂幸, 三宅秀人
    • Organizer
      第13回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] 高温アニールAlNテンプレートを用いたUV-C LEDの開発2021

    • Author(s)
      上杉謙次郎, 窪谷茂幸, 中村孝夫, 久保雅敬, 三宅秀人
    • Organizer
      ワイドギャップ半導体学会第4回研究会
    • Invited
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] 高温アニールしたAlN上におけるDUV-LEDの高効率化2021

    • Author(s)
      上杉謙次郎, 窪谷茂幸, 中村孝夫, 正直花奈子, 肖世玉, 三宅秀人
    • Organizer
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] 高Al組成n型AlGaNへの選択再成長n型GaNを用いたオーミックコンタクト形成2021

    • Author(s)
      池内陸也, 上杉謙次郎, 正直花奈子, 窪谷茂幸, 三宅秀人
    • Organizer
      第13回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] スパッタ成膜アニール処理AlNにおける極性制御技術とN極性膜の低転位密度化2021

    • Author(s)
      正直花奈子, 橋本卓実, 梅田颯志, 本田啓人, 上杉謙次郎, 窪谷茂幸, 上向井正裕, 谷川智之, 片山竜二, 三宅秀人
    • Organizer
      第13回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会
    • Invited
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] r面サファイア基板上への高温アニールa面AlN膜作製における基板オフ角依存性2021

    • Author(s)
      渋谷康太, 上杉謙次郎, 肖世玉, 正直花奈子, 窪谷茂幸, 秋山亨, 三宅秀人
    • Organizer
      電子情報通信学会 エレクトロニクスソサイエティ レーザ・量子エレクトロニクス研究会(LQE)
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] 高温アニールAlNテンプレートを用いた220 nm帯発光AlGaN量子井戸の成長2021

    • Author(s)
      石原頌也, 窪谷茂幸, 正直花奈子, 上杉謙次郎, 肖世玉, 三宅秀人
    • Organizer
      電子情報通信学会 エレクトロニクスソサイエティ レーザ・量子エレクトロニクス研究会(LQE)
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] 高温アニールAlN上AlGaNチャネルHEMTのAlGaN膜厚依存性2021

    • Author(s)
      森隆一, 上杉謙次郎, 窪谷茂幸, 正直花奈子, 三宅秀人
    • Organizer
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] AlNテンプレート上へのAlGaNチャネルHEMT作製と電気的特性評価2021

    • Author(s)
      森隆一, 上杉謙次郎, 窪谷茂幸, 正直花奈子, 三宅秀人
    • Organizer
      電気情報通信学会 エレクトロニクスソサエティ 電子デバイス研究会(ED)
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] 高温熱処理したスパッタAlN膜のクラック発生条件2021

    • Author(s)
      林侑介 上杉謙次郎, 正直花奈子, 三宅秀人, 藤平哲也, 酒井朗
    • Organizer
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] スパッタアニール法を用いたa面AlNの基板オフ角依存性2021

    • Author(s)
      渋谷康太, 上杉謙次郎, 肖世玉, 正直花奈子, 窪谷茂幸, 秋山亨, 三宅秀人
    • Organizer
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] スパッタアニールAlNテンプレート上UV-C AlGaN量子井戸成長2021

    • Author(s)
      石原頌也, 窪谷茂幸, 正直花奈子, 上杉謙次郎, 肖世玉, 三宅秀人
    • Organizer
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] フラット・トップ型ナノパターンサファイア基板を用いたAlNのMOVPE成長2021

    • Author(s)
      和泉志男, 正直花奈子, 窪谷茂幸, 上杉謙次郎, 肖世玉, 三宅秀人
    • Organizer
      第13回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • [Presentation] AlN膜の選択制成長におけるMOVPE成長条件が表面形態に与える影響2021

    • Author(s)
      山中祐人, 正直花奈子, 窪谷茂幸, 上杉謙次郎, 三宅秀人
    • Organizer
      第13回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会
    • Data Source
      KAKENHI-PROJECT-21K14545
  • 1.  三宅 秀人 (70209881)
    # of Collaborated Projects: 2 results
    # of Collaborated Products: 13 results
  • 2.  林 侑介 (00800484)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 3.  宮本 恭幸 (40209953)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 4.  佐々木 拓生 (90586190)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 5.  山田 陽一 (00251033)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 6.  寒川 義裕 (90327320)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results

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