TOTSU Kentaro 戸津健太郎

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戸津健太郎トツケンタロウ

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Researcher Number	60374956
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Affiliation (Current)	2025: 東北大学, マイクロシステム融合研究開発センター, 教授
Affiliation (based on the past Project Information) *help	2017 – 2019: 東北大学, マイクロシステム融合研究開発センター, 准教授 2011: 東北大学, マイクロシステム融合研究センター, 准教授 2010 – 2011: 東北大学, マイクロシステム融合研究開発センター, 准教授 2008 – 2009: 東北大学, 産学連携推進本部, 助教 2007: Tohoku University, 産学官連携推進本部, 助教 2006: 東北大学, 大学院工学研究科, 助手 2004 – 2006: 東北大学, 大学院・工学研究科, 助手
Review Section/Research Field	Principal Investigator Microdevices/Nanodevices / Science and Engineering Except Principal Investigator Microdevices/Nanodevices / Materials/Mechanics of materials / Applied physics, general
Keywords	Principal Investigator MEMS / 引張強度 / 真空封止 / はんだ / 低温 / 薄膜 / 接合 / インジウム / パッケージング / マイクロマシン … More / アクチュエータ / 低侵襲検査治療 / カンチレバー / 光駆動 / 光ファイバ / スキャナ … More Except Principal Investigator MEMS / マイクロマシニング / マイクロマシン / IoTデバイス / 磁歪材料 / 振動発電デバイス / ナノ材料 / 複合機能化材料 / 圧電体 / 複合機能材料 / ＩｏＴ対応型センサー / 圧電・磁歪複合化 / スマート複合材料 / ＩｏＴセンサ / スピントロ二クス / 環境発電 / インフラ診断 / IoTセンサネットワーク / ナノドメイン / 磁歪合金 / 環境発電デバイス / マルチフェロイクス / 複合機能化 / スマート材料・デバイス / Resonator / Relay / Actuator / Sensor / Wireless / Micromachine / Micromachining / 振動子 / リレー / アクチュエータ / センサ / 無線 / マイクロマニシング / ナノイメージング / 熱機械ノイズ / ピエゾ抵抗 / ナノマシニング / 変位センサ / 単電子トランジスタ / 磁気共鳴力顕微鏡 / MEHS / ダイアモンド / 電子線描画装置 / 電子線描画 / カーボンナノチューブ / マスクレス露光 / セルフアセンブル / 光制御電子源 / 並列電子線描画 / 電子描画装置 / 垂直エッチング / マクロポーラスシリコン / ウェットエッチング Less

Development of High Performance Smart Composite Material with Enhancing Domain Density at the PZT/Magnetostrictive Interface for Designing Energy Harvesting, IoT Devices
- Principal Investigator
  
  FURUYA YASUBUMI
- Project Period (FY)
  2017 – 2019
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Research Field
  
  Materials/Mechanics of materials
- Research Institution
  Tohoku University
Massive Parallel Electron Beam Lithography System
- Principal Investigator
  
  ESASHI Masayoshi
- Project Period (FY)
  2007 – 2011
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (S)
- Research Field
  
  Microdevices/Nanodevices
- Research Institution
  Tohoku University
ナノメカニカル・単電子トランジスタによるナノセンシング
- Principal Investigator
  
  小野崇人
- Project Period (FY)
  2007 – 2008
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- Research Field
  
  Applied physics, general
- Research Institution
  Tohoku University
インジウムはんだ薄膜を用いたMEMSパッケージングPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  戸津健太郎
- Project Period (FY)
  2006 – 2007
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
- Research Field
  
  Microdevices/Nanodevices
- Research Institution
  Tohoku University
極細径光ファイバ先端駆動形2次元マイクロ光スキャナPrincipal Investigator
- Principal Investigator
  
  戸津健太郎
- Project Period (FY)
  2005 – 2006
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
- Review Section
  
  Science and Engineering
- Research Institution
  Tohoku University
生産性の高いシリコンのウェット垂直エッチング
- Principal Investigator
  
  江刺正喜
- Project Period (FY)
  2005 – 2006
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Exploratory Research
- Research Field
  
  Microdevices/Nanodevices
- Research Institution
  Tohoku University
RF MEMS device based on micromachining
- Principal Investigator
  
  ESASHI Masayoshi
- Project Period (FY)
  2004 – 2006
- Research Category
  
  Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
- Research Field
  
  Microdevices/Nanodevices
- Research Institution
  Tohoku University

All 2007 2006 2005

All Journal Article Presentation

[Journal Article] Thin-Film In-Au Microjoint for MEMS Packaging2006
- Author(s)
  Kentaro Totsu
- Journal Title
  
  Proc. of the Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18710115
[Journal Article] Optically Driven Microactuator for Two-Dimensional Optical Scanner2006
- Author(s)
  Kentaro Totsu
- Journal Title
  
  Proc. !st International Symposium on Next-Generation Actuator Leading Breakthroughs
  
  Pages: 43-46
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17040002
[Journal Article] Optically Driven Microactuator for Two-Dimensional Laser Scanning2006
- Author(s)
  Hyun-Chul Kang, Kentaro Totsu, Masayoshi Esashi
- Journal Title
  
  Proc. of the Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (採択済、2006年6月出版予定)
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17040002
[Journal Article] MEMS技術を用いた低侵襲検査治療ツールの開発2005
- Author(s)
  戸津健太郎, 芳賀洋一, 江刺正喜
- Journal Title
  
  第9回ナノメディシン研究科資料
  
  Pages: 4-4
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17040002
[Journal Article] 極細径光ファイバ先端駆動形2次元マイクロ光スキャナ2005
- Author(s)
  戸津健太郎
- Journal Title
  
  ブレイクスルーを生み出す次世代アクチュエータ研究第2回公開シンポジウム資料
  
  Pages: 59-62
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-17040002
[Presentation] In-Au薄膜によるマイクロ接合2007
- Author(s)
  戸津健太郎
- Organizer
  日本オプトメカトロニクス協会フォトンテクノロジー技術部会
- Place of Presentation
  東京、機械振興会館
- Year and Date
  2007-06-14
- Data Source
  KAKENHI-PROJECT-18710115

1. ESASHI Masayoshi (20108468)

# of Collaborated Projects: 5 results

# of Collaborated Products: 2 results
2. TANAKA Syuji (00312611)

# of Collaborated Projects: 4 results

# of Collaborated Products: 0 results
3. ONO Takahito (90282095)

# of Collaborated Projects: 3 results

# of Collaborated Products: 0 results
4. KAWAI Yusuke (20451536)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
5. MIYASHITA Hidetoshi (00401258)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
6. FURUYA YASUBUMI (20133051)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
7. 千葉晶彦 (00197617)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
8. 成田史生 (10312604)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
9. 和田智志 (60240545)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
10. 中尾航 (60361870)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results
11. 丹波澄雄 (70179927)

# of Collaborated Projects: 1 results

# of Collaborated Products: 0 results

TOTSU Kentaro 戸津 健太郎

戸津 健太郎 トツ ケンタロウ

Research Projects

Research Products

Co-Researchers

Development of High Performance Smart Composite Material with Enhancing Domain Density at the PZT/Magnetostrictive Interface for Designing Energy Harvesting, IoT Devices

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

Massive Parallel Electron Beam Lithography System

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

ナノメカニカル・単電子トランジスタによるナノセンシング

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

インジウムはんだ薄膜を用いたMEMSパッケージングPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

極細径光ファイバ先端駆動形2次元マイクロ光スキャナPrincipal Investigator

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Review Section

Research Institution

生産性の高いシリコンのウェット垂直エッチング

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

RF MEMS device based on micromachining

Principal Investigator

Project Period (FY)

Research Category

Research Field

Research Institution

[Journal Article] Thin-Film In-Au Microjoint for MEMS Packaging2006

Author(s)

Journal Title

Data Source

[Journal Article] Optically Driven Microactuator for Two-Dimensional Optical Scanner2006

Author(s)

Journal Title

Data Source

[Journal Article] Optically Driven Microactuator for Two-Dimensional Laser Scanning2006

Author(s)

Journal Title

Data Source

[Journal Article] MEMS技術を用いた低侵襲検査治療ツールの開発2005

Author(s)

Journal Title

Data Source

[Journal Article] 極細径光ファイバ先端駆動形2次元マイクロ光スキャナ2005

Author(s)

Journal Title

Data Source

[Presentation] In-Au薄膜によるマイクロ接合2007

Author(s)

Organizer

Place of Presentation

Year and Date

Data Source

TOTSU Kentaro 戸津健太郎

戸津健太郎トツケンタロウ