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MATSUMURA Hideki  松村 英樹

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Researcher Number 90111682
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Affiliation (based on the past Project Information) *help 1998 – 2002: 北陸先端科学技術大学院大学, 材料科学研究科, 教授
1995 – 1996: 北陸先端科学技術大学院大学, 材料科学研究科, 教授
1992: 北陸先端科学技術大学院大学, 材料科学研究科, 教授
1992: 北陸先端科技大, 材料科学研究課, 教授
1987 – 1991: 広島大学, 工学部, 助教授
1986: Associate Professor, Faculty of Enginnering, Hiroshima Univ., 工学部, 助教授
1985: 広島大学, 工, 助教授
Review Section/Research Field
Principal Investigator
電子材料工学 / 電子デバイス・機器工学 / 電子機器工学 / Applied materials science/Crystal engineering / Electronic materials/Electric materials
Keywords
Principal Investigator
触媒CVD法 / リソグラフィー / MITT / Ti / アモルファス-シリコン / Cat-CVD / 液晶ディスプレイ / 触媒反応 / 微細加工技術 / Micro-fabrication … More / LSI技術 / X線リソグラフィー / liquid crystal display / thin film transistor / lithography / patterning / in-print method / 薄膜トランジスタ / パターン転写 / インプリント技術 / anodic oxidation / TiOx / nano-technology / super-micro-technology / ナノテクノリジ- / 陽極酸化 / Ti酸化物 / ナノテクノロジー / 超微細加工 / CVD法 / 薄膜堆積技術 / 絶縁膜 / ナイトライド / シリコン / 低温CVD法 / アモルファス-シリコン・ゲルマニウム / アモルファス半導体 / 太陽電池 / 窒化シリコン / 微結晶シリコン / アモルファスシリコン / 薄膜 / ホットワイアCVD / 触媒化学気相成長 / 低温成長 / 真空エジェクタポンプ / アルゴン / シラン / シリコン膜 / 常圧CVD / ホットワイヤ-CVD / 熱酸化 / スパッタ膜 / TFT / 薄膜トランジスター / 酸化銅 / 低温堆積技術 / TFT(薄膜トランジスタ) / ポリ・シリコン / プロキシミティ-露光 / コンタクト露光 / 異方性フォト・レジスト / 微細加工 / フォト・リソグラフィ- / リソグラフィ-技術 / 触媒ドライ・エッチング / ドライ・クリ-ニング / ドライ・エッチング / X線光学 / 反射型X線リソグラフィ-法 / X線リソグラフィ-法 … More
Except Principal Investigator
シリコン / 弗化物 / 二段階成長 / 双晶 / ローテーショナル・ツイン / 界面 / ヘテロエピタキシー Less
  • Research Projects

    (14 results)
  • Co-Researchers

    (15 People)
  •  Novel Low-Cost Technology for Fabrication of Liquid Crystal DisplayPrincipal Investigator

    • Principal Investigator
      MATSUMURA Hideki
    • Project Period (FY)
      2000 – 2002
    • Research Category
      Grant-in-Aid for University and Society Collaboration
    • Research Field
      電子デバイス・機器工学
    • Research Institution
      JAIST (Japan Advanced Institute of Science and Technology)
  •  触媒化学気相成長法によるシリコン系薄膜の成長プロセスPrincipal Investigator

    • Principal Investigator
      松村 英樹
    • Project Period (FY)
      1999
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • Research Field
      Applied materials science/Crystal engineering
    • Research Institution
      Japan Advanced Institute of Science and Technology
  •  常圧触媒CVD(Cat-CVD)法Principal Investigator

    • Principal Investigator
      松村 英樹
    • Project Period (FY)
      1998
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Exploratory Research
    • Research Field
      Electronic materials/Electric materials
    • Research Institution
      Japan Advanced Institute of Science and Technology
  •  Fabrication of new type transistor using metal/metaloxide/metal tunneling junctionPrincipal Investigator

    • Principal Investigator
      MATSUMURA Hideki
    • Project Period (FY)
      1996
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • Research Field
      電子デバイス・機器工学
    • Research Institution
      Japan Advanced Institute of Science and Technology, Hokuriku
  •  酸化銅を用いた高移動度薄膜トランジスタの低温形成Principal Investigator

    • Principal Investigator
      松村 英樹
    • Project Period (FY)
      1995
    • Research Category
      Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
    • Research Field
      電子デバイス・機器工学
    • Research Institution
      Japan Advanced Institute of Science and Technology
  •  触媒CVD法による高移動度ポリ・シリコン膜の低温形成Principal Investigator

    • Principal Investigator
      松村 英樹
    • Project Period (FY)
      1992
    • Research Category
      Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
    • Research Field
      電子材料工学
    • Research Institution
      Japan Advanced Institute of Science and Technology
  •  異方性フォト・レジストによるパタ-ン転写精度の向上Principal Investigator

    • Principal Investigator
      松村 英樹
    • Project Period (FY)
      1991
    • Research Category
      Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
    • Research Field
      電子機器工学
    • Research Institution
      Hiroshima University
  •  ヘテロ成長におけるローテーショナル・ツイン生成機構の解明とその制御

    • Principal Investigator
      古川 静二郎
    • Project Period (FY)
      1991 – 1993
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
    • Research Institution
      Tokyo Institute of Technology
  •  触媒反応を用いた新しいドライ・エッチング・クリ-ニング法の開発Principal Investigator

    • Principal Investigator
      松村 英樹
    • Project Period (FY)
      1990
    • Research Category
      Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
    • Research Field
      電子材料工学
    • Research Institution
      Hiroshima University
  •  反射型X線リソグラフィ-法によるパタ-ン縮小転写のためのX線光学系Principal Investigator

    • Principal Investigator
      松村 英樹
    • Project Period (FY)
      1989
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
    • Research Institution
      Hiroshima University
  •  触媒CVD法により作られるアモルファス半導体膜特性の触媒体依存性.Principal Investigator

    • Principal Investigator
      松村 英樹
    • Project Period (FY)
      1988
    • Research Category
      Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
    • Research Field
      電子材料工学
    • Research Institution
      Hiroshima University
  •  熱触媒反応を用いた高品質絶縁膜の低温形成Principal Investigator

    • Principal Investigator
      松村 英樹
    • Project Period (FY)
      1987
    • Research Category
      Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
    • Research Field
      電子材料工学
    • Research Institution
      Hiroshima University
  •  触媒CVD法による高品質アモルファス半導体の光学バンドギャップの制御Principal Investigator

    • Principal Investigator
      松村 英樹
    • Project Period (FY)
      1986
    • Research Category
      Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
    • Research Field
      電子材料工学
    • Research Institution
      Hiroshima University
  •  Demagnified projection-printing using no thin film pattern-mask in X-ray lithographyPrincipal Investigator

    • Principal Investigator
      MATSUMURA Hideki
    • Project Period (FY)
      1985 – 1986
    • Research Category
      Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research
    • Research Field
      電子機器工学
    • Research Institution
      HIROSHIMA UNIVERSITY
  • 1.  IZUMI Akira (30223043)
    # of Collaborated Projects: 4 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 2.  MASUDA Atsushi (30283154)
    # of Collaborated Projects: 3 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 3.  SUEMUNE Ikuo (00112178)
    # of Collaborated Projects: 2 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 4.  佐々木 公洋 (40162359)
    # of Collaborated Projects: 2 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 5.  NITTA Koh-hei (70260560)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 6.  TERANO Minoru (90251975)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 7.  YOKOYAMA Shin (80144880)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 8.  渡辺 芳英 (50127742)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 9.  古川 静二郎 (60016318)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 10.  川崎 宏治 (10234056)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 11.  堀田 将 (60199552)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 12.  梅本 宏信 (80167288)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 13.  野々村 修一 (80164721)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 14.  小長井 誠 (40111653)
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results
  • 15.  KIDA Ken-ichiro
    # of Collaborated Projects: 1 results
    # of Collaborated Products: 0 results

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