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山田 公  YAMADA Isao

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 00026048
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2000年度: 京都大学, 名誉教授
1999年度: 京都大学, 大学院・工学研究科, 教授
1998年度 – 1999年度: 京都大学, 工学研究科, 教授
1989年度 – 1997年度: 京都大学, 工学部, 教授
1986年度 – 1987年度: 京都大学, 工学部, 教授
審査区分/研究分野
研究代表者
表面界面物性 / 電子・電気材料工学 / 応用物性 / 電子機器工学
研究代表者以外
電子・電気材料工学 / 材料加工・処理 / 広領域 / 電子材料工学
キーワード
研究代表者
クラスターイオン / スパッタリング / イオン注入 / 質量分析 / エッチング / 表面反応 / SIMS / cluster ion / STM / 多体衝突 … もっと見る / ion implantation / LSI / Al / ICB / 走査トンネル顕微鏡 / エピタキシャル成長 / 薄膜形成 / 化学スパッタリング / 反応生成物 / 非線形 / shallow junction / molecular dynamics / Ar cluster / non-linear / secondary ion / 多価イオン / TOF / 損傷形成 / ホウ素クラスター / フラーレン / 浅い接合 / 分子動力学 / アルゴンクラスター / 2次イオン / interstitial / induced reaction / multiple collision / enhaned reaction / TEM / 格子間原子 / 励起反応 / 増速拡散 / 透過電子顕微鏡 / film formation / surface cleaning / lateral sputtering / low energy ion beam / high density irradiation effect / gas cluster / 極浅接合形成 / 高密度照射 / スパッタ / フリージェットノズル / ラバルノズル / クラスターイオンビーム技術 / クラスターイオン注入 / 多体衝突効果 / ラテラルスパッタ効果 / イオンビーム / 表面クリーニング / ラテラルスパッタ / 低エネルギーイオンビーム / 高密度照射効果 / ガスクラスター / tunnel current / resonant tunnel device / quantum effect device / Al_2O_3 multilayr structure / on-line vacuum process / epitaxial growth / トンネルデバイス / 反応性ICB法 / ICB法 / 低温成長 / 超薄膜 / 共鳴トンネルダイオード / 積層構造 / エピタキシー / Al_2O_3積層構造 / トンネル電流 / 共鳴トンネルデバイス / 量子効果デバイス / A1_2O_3積層構造 / A1 / 真空一貫プロセス / Atomically Flat Surface / Clean Surface Formation / Shallow Implantation / Film Formation / Gas Cluster / Ionized Cluster Beam / Joint Research / International Exchange / 配列制御 / エキシマレ-ザ- / クラスタ-イオンビ-ム / クラスタ- / 超平坦表面 / 清浄表面 / 膜形成 / カズソースクラスター / クラスターイオンビーム / 共同研究 / 国際交流 … もっと見る
研究代表者以外
X線用CCD / 撮像型蛍光比例計数管 / ICB蒸着法 / X線反射鏡 / X線望遠鏡 / 応力の影響 / 速度論的安定性 / 熱力学的安定性 / 界面介在物 / ショットキ-障壁高さ / コンタクト構造の安定性 / コンタクト抵抗率 / InOx / 薄膜形成 / SiC / イオンビーム / クラスター / クラスターイオン / X線ボロメ-タ- / 超精密非球面加工 / 多層膜反射鏡 / 拡散障壁 / carbon film / film formation / high density irradiation / multicollisions / Argon cluster / fullerene / macroparticle / ビッカース硬度 / 非線形照射効果 / Arクラスター / 炭素薄膜 / 高密度照射効果 / 多体衝突効果 / アルゴンクラスター / フラーレン / 多原子イオンビーム / TRANSPARENT CONDUCTING FILM / FILM FORMATION / SPUTTERING / ETCHING / OXIDIZATION / CLUSTER ION / 導電性透明薄膜 / InO_x / スパッタリング / エッチング / 酸化反応 / FT-IR spectra / Rutherford backscattering / Chemical durability / Cancer / Silica glass / Phosphorus / Ion implantation / Radiotherapy / フーリエ変換赤外反射分光 / 高周波誘導結合プラズマ発光分析 / 放射線治療 / フーリエ変換赤外スペクトル / ラザフォード後方散乱法 / 化学的耐久性 / 癌 / シリカガラス / リン / イオン注入 / 放射線療法 / 超LSI / クラスタ / エピタキシ / 結晶性制御 / 高機能デバイス / 低温形成 / 粒界拡散 / ICB-マイクロ波イオン源併用方式 / 超低速イオンビーム / イオンビームプロセス / マイグレーション効果 / 原子配列制御 / 反応性ガス / ガスクラスター / 界面構造のダイナミクス / X線ボロメーター / 超精密平面研削 / 多層膜 隠す
  • 研究課題

    (19件)
  • 共同研究者

    (44人)
  •  高エネルギー多原子イオンビーム照射による超硬度被膜形成の研究

    • 研究代表者
      高岡 義寛
    • 研究期間 (年度)
      1998 – 2000
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      京都大学
  •  ガスクラスターイオンビームと固体表面との反応素過程に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      山田 公
    • 研究期間 (年度)
      1997
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      京都大学
  •  クラスターイオンビームによる材料プロセスの研究研究代表者

    • 研究代表者
      山田 公
    • 研究期間 (年度)
      1997 – 1998
    • 研究種目
      国際学術研究
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      京都大学
  •  クラスターイオンビームと固体との非線形相互作用の研究研究代表者

    • 研究代表者
      山田 公
    • 研究期間 (年度)
      1997 – 1999
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      表面界面物性
    • 研究機関
      京都大学
  •  ガスクラスターイオンビームと固体表面との反応素過程に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      山田 公
    • 研究期間 (年度)
      1996
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      京都大学
  •  超高密度イオンビーム照射による表面改質の研究

    • 研究代表者
      松尾 二郎
    • 研究期間 (年度)
      1996 – 1997
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      材料加工・処理
    • 研究機関
      京都大学
  •  ガスクラスターイオンビームと固体表面との反応素過程に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      山田 公
    • 研究期間 (年度)
      1995
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      京都大学
  •  反応性ガスのクラスター生成と原子配列制御への応用

    • 研究代表者
      高岡 義寛
    • 研究期間 (年度)
      1992
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      電子材料工学
    • 研究機関
      京都大学
  •  全エピタキシャル金属/絶縁体積層構造形成とデバイスの研究研究代表者

    • 研究代表者
      山田 公
    • 研究期間 (年度)
      1992 – 1994
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      電子機器工学
    • 研究機関
      京都大学
  •  次世代高集積回路(LSI)用クラスターイオン注入装置の試作研究研究代表者

    • 研究代表者
      山田 公
    • 研究期間 (年度)
      1992 – 1994
    • 研究種目
      試験研究(B)
    • 研究分野
      応用物性
    • 研究機関
      京都大学
  •  癌治療用リン注入ガラスの物性

    • 研究代表者
      小久保 正
    • 研究期間 (年度)
      1992 – 1994
    • 研究種目
      試験研究(B)
    • 研究分野
      広領域
    • 研究機関
      京都大学
  •  界面反応の物理・化学

    • 研究代表者
      大泊 巌
    • 研究期間 (年度)
      1991
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      早稲田大学
  •  X線望遠鏡光学

    • 研究代表者
      山下 広順
    • 研究期間 (年度)
      1991
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      宇宙科学研究所
  •  クラスターイオンビームプロセスの基礎研究研究代表者

    • 研究代表者
      山田 公
    • 研究期間 (年度)
      1991 – 1992
    • 研究種目
      国際学術研究
    • 研究機関
      京都大学
  •  X線望遠鏡光学

    • 研究代表者
      山下 廣順
    • 研究期間 (年度)
      1990
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      宇宙科学研究所
  •  界面反応の物理・化学

    • 研究代表者
      大泊 巌
    • 研究期間 (年度)
      1989 – 1991
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      早稲田大学
  •  X線望遠鏡光学

    • 研究代表者
      山下 広順
    • 研究期間 (年度)
      1989
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      大阪大学
  •  界面反応の物理・化学

    • 研究代表者
      大泊 巌
    • 研究期間 (年度)
      1989 – 1991
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      早稲田大学
  •  クラスターイオンビーム技術(蒸着と結晶性制御)に関する研究

    • 研究代表者
      高木 俊宜, 高木 俊宣
    • 研究期間 (年度)
      1983 – 1987
    • 研究種目
      特別推進研究
    • 研究機関
      京都大学
  • 1.  高岡 義寛 (90135525)
    共同の研究課題数: 12件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  松尾 二郎 (40263123)
    共同の研究課題数: 9件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  山下 広順 (80022622)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  大泊 巌 (30063720)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  津田 穣 (90009506)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  原 史朗 (60218617)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 7.  大橋 隆哉 (70183027)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  国枝 秀世 (00126856)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 9.  難波 義治 (40029129)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 10.  越後谷 淳一 (00005539)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 11.  北原 和夫 (20107692)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 12.  常深 博 (90116062)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 13.  小久保 正 (30027049)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 14.  平岡 真寛 (70173218)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 15.  宮路 史明 (80219782)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 16.  松岡 勝 (30013668)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 17.  大坂 敏明 (50112991)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 18.  川原田 洋 (90161380)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 19.  高木 俊宜 (10025801)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 20.  臼井 博明 (60176667)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 21.  八尾 健 (50115953)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 22.  M. Sosnowski
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 23.  松田 耗自
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 24.  山西 健一郎
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 25.  友田 利正
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 26.  海老澤 幸弘
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 27.  CLAYTON C.R.
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 28.  GOLOVCHENKO ジェイエイ
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 29.  KIMMERING L.
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 30.  高木 俊宣
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 31.  J. Nothby
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 32.  Y. Kuk
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 33.  W.L. Brown
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 34.  WALTER L. Brown
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 35.  USUI Hiroaki
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 36.  YOUNG Kuk
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 37.  JAN Northby
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 38.  NORTHBY J.
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 39.  KUK Y.
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 40.  SOSNOWSKI M.
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 41.  BROWN W.L.
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 42.  松永 幸二
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 43.  海老沢 幸弘
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 44.  GOLOVCHENKO ジェイ エー
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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