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森田 慎三  MORITA Shinzo

ORCIDORCID連携する *注記
… 別表記

森田 愼三  モリタ シンゾウ

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研究者番号 00076548
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 1991年度: 名古屋大学, 先端技術共同研究センター, 助教授
1990年度: 名古屋大学先端技術共同研究センター, 助教授
1988年度 – 1989年度: 名古屋大学, 工学部, 助教授
1986年度: 名古屋大学, 工学部, 助教授
審査区分/研究分野
研究代表者
機械工作
研究代表者以外
電子材料工学 / 工業物理化学・複合材料
キーワード
研究代表者
Electronic static motor / Effect of carrier gas / Submicron pattern fabrication / Plasma polymerized alpha-methyle-styrene / plasma polymerized styrene / three dementional machining / Plasma polymerized resist / キャリヤガス効果 / 電子線リングラフィ立体加工法 / 静電モ-タ加工 … もっと見る / キセリヤ-ガス効果 / 静電モ-タ-加工 / キャリヤ-ガス効果 / サブミクロンパタ-ン加工 / プラズマ重合αメチルスチレンネガレジスト / プラズマ重合スチレンネガレジスト / 電子線リソグラフィ立体加工法 / プラズマ重合レジスト … もっと見る
研究代表者以外
Laser interferometer / X-ray source / Dry process / Plasma polymerization / X-ray resist / X-ray lithography / プラズマ重合装置 / 二重双光路レーザ干渉膜厚計 G値 / 自己現像 / アラインメント / レーザ干渉膜厚計 / X線源 / ドライプロセス / プラズマ重合 / X線レジスト / X線リソグラフィ / プラズマ診断 / プラズマ分子工学 / プラズマプロセシング / 低温プラズマ / プラズマ反応 隠す
  • 研究課題

    (3件)
  • 共同研究者

    (12人)
  •  プラズマ重合レジストを用いたマイクロメカニカルデバイス立体加工法の開発とその応用研究代表者

    • 研究代表者
      森田 慎三 (森田 愼三)
    • 研究期間 (年度)
      1989 – 1991
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      機械工作
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  プラズマプロセシングによる高性能材料合成に関する研究

    • 研究代表者
      長田 義仁
    • 研究期間 (年度)
      1986
    • 研究種目
      総合研究(B)
    • 研究分野
      工業物理化学・複合材料
    • 研究機関
      茨城大学
  •  全ドライプロセスX線・電子線リソグラフィ用レジストの研究

    • 研究代表者
      服部 秀三
    • 研究期間 (年度)
      1984 – 1986
    • 研究種目
      一般研究(A)
    • 研究分野
      電子材料工学
    • 研究機関
      名古屋大学
  • 1.  服部 秀三 (10023003)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  長田 義仁 (60007804)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  明石 和夫 (00013095)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  鯉沼 秀臣 (70011187)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  岡崎 幸子 (30053523)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  津田 穣 (90009506)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 7.  羽根 一博 (50164893)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  松田 文夫 (60109303)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 9.  内川 嘉樹 (20023260)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 10.  丸勢 進 (20022981)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 11.  家田 正之 (50022984)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 12.  内田 悦行 (20023187)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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