山本正樹 YAMAMOTO Masaki

研究者番号	00137887
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2001年度 – 2007年度: 東北大学, 多元物質科学研究所, 教授 1998年度 – 2000年度: 東北大学, 科学計測研究所, 教授 1995年度 – 1997年度: 東北大学, 科学計測研究所, 助教授 1990年度 – 1993年度: 東北大学, 科学計測研究所, 助教授 1990年度: 東北大学科学計測研究所, 助教授 1988年度 – 1989年度: 東北大学, 科学計測研究所, 助手
審査区分/研究分野	研究代表者応用光学・量子光工学 / 工学 / 理工系 / 物理計測・光学 / 応用物性 / 電子機器工学研究代表者以外物理計測・光学 / 応用光学・量子光工学 / 広領域 / 結晶学 / 応用物性・結晶工学
キーワード	研究代表者多層膜 / 軟X線 / エリプソメトリー / 超薄膜 / 偏光解析法 / polarimetry / ellipsometry / スパッタリング / 多層膜鏡 / 軟X線移相子 … もっと見る / 軟X線偏光子 / 光学定数 / Growth rate monitor / Ellipsometer / Sputtering / Period thickness distribution control / Laser Plasma / Microscope / Multilayer / Soft X-ray / 成膜レートモニター / エリプソメーター / 周期膜厚分布制御 / レーザープラズマ / 顕微鏡 / DEBRIS REGECTION / WAVEFRONT ERROR CORRECTION / WAVEFRONT ERROR / PRECISION IMAGING-MIRROR / MULTILAYER MIRROR / SYNTHETIC MULTILAYERS / INTERFEROMETRY / SOFT X-RAY / 結像光学系 / 波面計測 / 干渉計 / ビームスプリッタ / デブリ除去 / 波面補正 / 波面誤差 / 精密結像鏡 / 光学超薄膜 / 干渉計測 / high accuracy measurement / refractive index inhomogeneity / back face reflection / perfect cireular polarization / alignment method / spectroscopic ellipsometer / ArFレーザー / KrFレーザー / エキシマレーザー / 高正確度測走 / 高正確度測定 / 屈折率不均一 / 裏面反射 / 完全円偏光 / 校正法 / 分光エリプソメーター / conpensator / phase shifter / polarizer / multilager / extreme ultra-violet / soft-X-ray / 移相子 / 位相子 / 彩相子 / 偏光子 / 極紫外線 / Soft-X-Ray Ellipsometry / Transmission Multilayr / Soft-X-Ray Phase Shifter / Soft-X-Ray Polarizer / Optical Constants / Ultra-thin Film / Multilayr / Soft-X-Ray / 軟X線偏光解析 / 透過多層膜 / イオンビームスパッタ成膜 / 連続均質膜 / アモルファス超薄膜 / ミリング / X線 / 極紫外光 / 電磁波 / 波面制御 / 反射波面 / 界面現象 / その場観察 / 多結晶質薄膜 / 非晶質薄膜 / 金属超格子 / 軟X線多層膜 / 偏光解析 / 耐熱光学素子 / 屈折率分散 / 薄膜 / 屈折率分布 / 光導波路 … もっと見る研究代表者以外氷結晶 / 擬似液体層 / 形態形成 / 表面融解 / 光学定数 / 超薄膜 / 結晶粒界 / 界面張力 / 偏光解析法 / 粒界 / 界面融解転移 / 薄膜形成技術 / X線結像光学系評価法 / X線望遠鏡 / X線顕微鏡 / 結晶X線光学 / 軟X線光学の基礎 / X線結像光学 / soft x-ray spectro-reflectometer / soft x-ray optics / ultrathin film / optical constant / multilayer / soft x-ray / 軟X線分光反射率計 / 軟X線光学素子 / 多層膜 / 軟X線 / photoemission / fluorescence / reflection / absorption / ultraviolet / Schwarzschild objective / microspectroscopy / シュワルツシルド縮小光学系 / シュパルツシルト縮小光学系 / 光電子分光 / 蛍光 / 反射 / 吸収 / 真空紫外 / シュバルツシルト縮小光学系 / 顕微分光計 / Optical constant / Ultrathin film / Reflectivity / Reflection mirror / Multilayr mirror / He resonance line / Vacuum ultraviolet / Extreme ultraviolet / 極端紫外光 / 反射率 / 反射鏡 / 多層膜鏡 / ヘリウム共鳴線 / 真空紫外光 / 極紫外光 / Grain boundary / Ice crystal / Ellipsometry / Grain boundary melting / Surface melting / Quasi-liquid layr / 偏光解析 / 疑似液体層 / 凝似液体層 / 界面の融解転移 / 界面融解相転移 / 透過分光型偏光解析法 / 雪氷物性 / 融解転移 / 透過分光偏光解析法 / 界面カイネティクス / 固液界面 / 分子動力学 / 鏡面加工と評価 / 界面カイネティック係数 / 自己拡散係数 / 分子動力学法 / コヒ-レントX線光学隠す

レーザープラズマ軟X線光源を用いた超高分解能多元物質顕微鏡の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  山本正樹
- 研究期間 (年度)
  2003 – 2007
- 研究種目
  
  特別推進研究
- 審査区分
  
  理工系
   工学
- 研究機関
  東北大学
多層膜表面ミリングによる反射波面の制御研究代表者
- 研究代表者
  
  津留俊英, 山本正樹
- 研究期間 (年度)
  2002 – 2003
- 研究種目
  
  萌芽研究
- 研究分野
  
  応用光学・量子光工学
- 研究機関
  東北大学
光学超薄膜を用いた軟X線干渉計測法の開発と精密結像鏡の反射波面計測制御への応用研究代表者
- 研究代表者
  
  山本正樹
- 研究期間 (年度)
  1999 – 2001
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  応用光学・量子光工学
- 研究機関
  東北大学
氷結晶粒界面における融解相転移の実験的検証とその氷物性研究に果たす役割
- 研究代表者
  
  古川義純
- 研究期間 (年度)
  1998 – 1999
- 研究種目
  
  萌芽的研究
- 研究分野
  
  応用物性・結晶工学
- 研究機関
  北海道大学
真空紫外複合顕微分光計の試作
- 研究代表者
  
  渡辺誠
- 研究期間 (年度)
  1997 – 1999
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  応用光学・量子光工学
- 研究機関
  東北大学
光学超薄膜偏光素子の開発と軟X線エリプソメトリーへの応用研究代表者
- 研究代表者
  
  山本正樹
- 研究期間 (年度)
  1997 – 1998
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  応用光学・量子光工学
- 研究機関
  東北大学
完全円偏光の生成とこれを用いた分光エリプソメーターの精密校正法の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  山本正樹
- 研究期間 (年度)
  1997 – 1998
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  応用光学・量子光工学
- 研究機関
  東北大学
ナノメーター周期の多層膜形成過程のエリプソメトリーモニター周期定常値による研究研究代表者
- 研究代表者
  
  山本正樹
- 研究期間 (年度)
  1996
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  応用光学・量子光工学
- 研究機関
  東北大学
極紫外域(60nm〜20nm)における高反射率多層膜鏡の開発
- 研究代表者
  
  渡辺誠 (渡邊誠)
- 研究期間 (年度)
  1995 – 1996
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  広領域
- 研究機関
  東北大学
氷結晶の表面、下地との界面及び粒界面における擬似液体層の微視的構造の研究
- 研究代表者
  
  古川義純
- 研究期間 (年度)
  1993
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  北海道大学
氷結晶の表面、下地との界面及び粒界面における擬似液体層の微視的構造の研究
- 研究代表者
  
  古川義純
- 研究期間 (年度)
  1992
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  北海道大学
X線結像光学(成果とりまとめ)
- 研究代表者
  
  山下広順
- 研究期間 (年度)
  1992
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  名古屋大学
光学超薄膜作成技術と軟X線用新機能性光学素子の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  山本正樹
- 研究期間 (年度)
  1992 – 1993
- 研究種目
  
  一般研究(B)
- 研究分野
  
  物理計測・光学
- 研究機関
  東北大学
X線結像光学(総括班)
- 研究代表者
  
  山下広順
- 研究期間 (年度)
  1991
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  宇宙科学研究所
氷結晶の表面、下地との界面及び粒界面における擬似液体層の微視的構造の研究
- 研究代表者
  
  古川義純
- 研究期間 (年度)
  1991
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  北海道大学
エリプソメトリ-による光導波路の断面の屈折率プロファイルの非破壊測定研究代表者
- 研究代表者
  
  山本正樹
- 研究期間 (年度)
  1990
- 研究種目
  
  一般研究(C)
- 研究分野
  
  電子機器工学
- 研究機関
  東北大学
軟X線光学の基礎研究代表者
- 研究代表者
  
  山本正樹
- 研究期間 (年度)
  1989 – 1991
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  東北大学
融点近傍で起る氷結晶粒界の融解転移の偏光解析法による研究
- 研究代表者
  
  古川義純
- 研究期間 (年度)
  1989 – 1990
- 研究種目
  
  一般研究(C)
- 研究分野
  
  結晶学
- 研究機関
  北海道大学
アモルファス超薄膜の連続化膜厚研究代表者
- 研究代表者
  
  山本正樹
- 研究期間 (年度)
  1988
- 研究種目
  
  一般研究(C)
- 研究分野
  
  応用物性
- 研究機関
  東北大学
薄膜の軟X線光学定数の研究と軟X線用多層膜光学素子の開発
- 研究代表者
  
  波岡武
- 研究期間 (年度)
  1988 – 1990
- 研究種目
  
  一般研究(A)
- 研究分野
  
  物理計測・光学
- 研究機関
  東北大学

すべて 2007 2005 2004 2003

すべて雑誌論文学会発表図書

[図書] EUV光源の開発と応用第II編「EUVリソグラフィ用のマスクとレジスト技術」第1章「X線多層膜の物理」2007
- 著者名/発表者名
  山本正樹
- 出版者
  (株)シーエムシー出版
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[図書] EUV光源の開発と応用第II編EUVリソグラフィ用のマスクとレジスト技術第1章X線多層膜の物理2007
- 著者名/発表者名
  山本正樹
- 出版者
  (株)シーエムシー出版
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[雑誌論文] Development of Multilayer Imaging Mirrors for a Laboratory Soft X-ray Microscope2007
- 著者名/発表者名
  T. Harada, T. Hatano, M. Yamamoto
- 雑誌名
  
  Photon Factory News 25
  
  ページ: 28-32
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[雑誌論文] Physics of X-ray multilayers[in Japanese]2007
- 著者名/発表者名
  M. Yamamoto
- 雑誌名
  
  Development and Application of Extreme Ultraviolet Light Source CMC Publ.
  
  ページ: 183-196
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[雑誌論文] X線ミラー多層膜2005
- 著者名/発表者名
  山本正樹
- 雑誌名
  
  機械の研究 57
  
  ページ: 74-81
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[雑誌論文] X線ミラー多層膜2005
- 著者名/発表者名
  山本正樹
- 雑誌名
  
  機械の研究 57
  
  ページ: 74-81
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[雑誌論文] X-ray multilayer mirrors[in Japanese]2005
- 著者名/発表者名
  M. Yamamoto
- 雑誌名
  
  Kikaino-Kenkyu. 57
  
  ページ: 74-81
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[雑誌論文] ナノテク研究を加速する超光学の開発-元素で色付いたナノ世界を50nmの超解像で撮る軟X線顕微鏡-2003
- 著者名/発表者名
  山本正樹
- 雑誌名
  
  応用光学 3
  
  ページ: 20-22
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[雑誌論文] Development of super-optics accelerating nano-technology research ; Soft X-ray microscope for 50-nm super resolution view of nano-world colored by atomic elements[in Japanese]2003
- 著者名/発表者名
  M. Yamamoto
- 雑誌名
  
  Ouyou-Kougaku 3
  
  ページ: 20-22
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[雑誌論文] A tracking ellipsometer of picometer sensitivity enabling 0.1% sputtering-rate monitoring of EUV nanometer multilayer fabrication2003
- 著者名/発表者名
  M. Yamamoto
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films 433
  
  ページ: 224-229
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] 軟X 線多層膜光工学と結像光学への展望2007
- 著者名/発表者名
  山本正樹
- 学会等名
  第9回X線結像光学シンポジウム
- 発表場所
  名古屋
- 年月日
  2007-11-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] 軟X線多層膜光工学と結像光学への展望2007
- 著者名/発表者名
  山本正樹
- 学会等名
  第9回X線結像光学シンポジウム
- 発表場所
  名古屋
- 年月日
  2007-11-02
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] Soft X-ray mulilayer Optical Engineering and future scope for Imaging Optics[in Japanese]2007
- 著者名/発表者名
  M. Yamamoto
- 学会等名
  The 9th Symposium of X-ray Imaging Optics
- 発表場所
  Japan, Nagoya
- 年月日
  2007-11-02
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] Development of soft X-ray wavefront control technology for imagine multilaver mirrors2005
- 著者名/発表者名
  M. Yamamoto
- 学会等名
  2nd International Symposium on Technologies and Applications of Photoelectron Micro-Spectroscopy with Laser-based VUV Sources
- 発表場所
  Japan, Tsukuba
- 年月日
  2005-02-03
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] Development of soft X-ray wavefront control technology for imaging multilayer mirrors2005
- 著者名/発表者名
  M. Yamamoto
- 学会等名
  2nd International Symposium on Technologies and Applications of Photoelectron Micro-Spectroscopy with Laser-based VUV Sources
- 発表場所
  Japan, Tsukuba
- 年月日
  2005-02-03
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] Development of high performance multilayer mirrors for soft X-ray imaging optics[in Japanese]2004
- 著者名/発表者名
  M. Yamamoto
- 学会等名
  June monthly meeting of Japan Vacuum Society in 2004
- 発表場所
  Japan, Tokyo
- 年月日
  2004-06-18
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] Picometer sensitivity monitoring of soft X-ray mirror multilayer by in-situ ellipsometry of real-time thickness analysis[in Japanese]2004
- 著者名/発表者名
  T. Tsuru, T. Tsutou, M. Yamamoto
- 学会等名
  The 51st Spring Meeting, 2004, Japan Society of Applied Physics and Related Societies
- 発表場所
  Japan, Hachiouji
- 年月日
  2004-03-28
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] Development of an EUV interferometer with a laser produced plasma source for figure error measurements2004
- 著者名/発表者名
  M. Yamamoto
- 学会等名
  The 7th International Conference on the Physics of X-Ray Multilayer Structures (PXRMS)
- 発表場所
  Japan, Rusutsu
- 年月日
  2004-03-11
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] Precise thickness control of ultra-thin film fabrication by an in-situ ellipsometer[in Japanese]2004
- 著者名/発表者名
  Y. Kinoshita, T. Tsuru, T. Ohigashi, T. Hatano, M. Yamamoto
- 学会等名
  The 4th Meeting of IMRAM
- 発表場所
  Sendai
- 年月日
  2004-12-03
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] 軟X線結像光学用の高性能多層膜ミラー開発2004
- 著者名/発表者名
  山本正樹
- 学会等名
  平成16年度日本真空協会6月研究例会
- 発表場所
  東京
- 年月日
  2004-06-18
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] Precise thickness control of EUV beam splitter fabrication by an automatic null ellipsometer[in Japanese]2004
- 著者名/発表者名
  Y. Kinoshita, T. Tsuru, M. Yamamoto
- 学会等名
  The 65th Autumn Meeting, 2004, Japan Society of Applied Physics and Related Societies
- 発表場所
  Japan, Sendai
- 年月日
  2004-09-03
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] Development of Super resolution element specific microscope with use of LPP soft X-ray source[in Japanese]2003
- 著者名/発表者名
  M. Yamamoto
- 学会等名
  The 7th Symposium of X-ray Imaging Optics
- 発表場所
  Japan, Sendai
- 年月日
  2003-11-26
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] An ellipsoraetric picometer sputtering-rate monitor for exact EUV multilayer fabrication2003
- 著者名/発表者名
  M. Yamamoto
- 学会等名
  2nd International EUVL Symposium
- 発表場所
  Belgium, Antwerp
- 年月日
  2003-10-01
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] An accurate method of λ/4 plate characterization in the condition of use on the ellipsometer2003
- 著者名/発表者名
  M. Yamamoto
- 学会等名
  The 3rd International Conference on Spectroscopic Ellipsometry (ICSE)
- 発表場所
  Austria, Vienna
- 年月日
  2003-07-10
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] An ellipsometric picometer sputtering-rate monitor for exact EUV multilayer fabrication2003
- 著者名/発表者名
  M. Yamamoto
- 学会等名
  2nd International EUVL Symposium
- 発表場所
  Belgium, Antwerp
- 年月日
  2003-10-01
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001

1. 柳原美廣 (40174552)

共同の研究課題数: 7件

共同の研究成果数: 0件
2. 古川義純 (20113623)

共同の研究課題数: 5件

共同の研究成果数: 0件
3. 羽田野忠 (90302223)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 2件
4. 佐藤繁 (10005796)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
5. 津留俊英 (30306526)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 3件
6. 江島丈雄 (80261478)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
7. 渡辺誠 (00025397)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
8. 山下広順 (80022622)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
9. 難波義治 (40029129)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
10. 青木貞雄 (50016804)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
11. 松下正 (40092332)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
12. 石崎武志 (80212877)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
13. 黒田登志雄 (70080447)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
14. 豊田光紀 (40375168)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
15. 波岡武 (90015743)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
16. 高島幸史 (10006140)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
17. 福谷博仁 (40011580)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
18. 菅原英直 (30023724)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
19. 後藤明 (20205587)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

山本 正樹 YAMAMOTO Masaki

研究課題

研究成果

共同研究者

レーザープラズマ軟X線光源を用いた超高分解能多元物質顕微鏡の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

多層膜表面ミリングによる反射波面の制御研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

光学超薄膜を用いた軟X線干渉計測法の開発と精密結像鏡の反射波面計測制御への応用研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

光学超薄膜偏光素子の開発と軟X線エリプソメトリーへの応用研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

完全円偏光の生成とこれを用いた分光エリプソメーターの精密校正法の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

ナノメーター周期の多層膜形成過程のエリプソメトリーモニター周期定常値による研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究機関

光学超薄膜作成技術と軟X線用新機能性光学素子の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

山本正樹 YAMAMOTO Masaki

[図書] EUV光源の開発と応用第II編「EUVリソグラフィ用のマスクとレジスト技術」第1章「X線多層膜の物理」2007