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長田 昭義  Nagata Akiyoshi

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 00164426
その他のID
所属 (現在) 2025年度: 大阪工業大学, 工学部, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 1989年度: 広島大学, 集積化システム研究センター, 助手
キーワード
研究代表者以外
デジタルエッチング / デジタルCVD / レーザ誘起光化学反応 / 質量分析 / 吸着ラジカル / 表面反応 / プラズマ
  • 研究課題

    (1件)
  • 共同研究者

    (4人)
  •  プラズマ-表面相互作用の制御

    • 研究代表者
      広瀬 全孝
    • 研究期間 (年度)
      1989
    • 研究種目
      重点領域研究
    • 研究機関
      広島大学
  • 1.  広瀬 全孝 (10034406)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  宮崎 誠一 (70190759)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  堀池 靖浩 (20209274)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  川崎 昌博 (70110723)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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