堀池靖浩 HORIIKE Yasuhiro

… 別表記

研究者番号	20209274
外部サイト
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2003年度 – 2004年度: 独立行政法人物質・材料研究機構, 生体材料研究センター, フェロー 1998年度 – 2002年度: 東京大学, 大学院・工学研究科, 教授 1998年度 – 2002年度: 東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 1993年度 – 1997年度: 東洋大学, 工学部, 教授 1988年度 – 1993年度: 広島大学, 工学部, 教授
審査区分/研究分野	研究代表者理工系 / 電子・電気材料工学 / 材料加工・処理 / 表面界面物性 / 医用生体工学・生体材料学研究代表者以外電子・電気材料工学 / 応用物性 / プラズマ理工学 / 電子材料工学 / 表面界面物性 / 複合集積システム
キーワード	研究代表者デジタルエッチング / 自己停止反応 / 低エネルギエッチング / フッ素ラジカル / 表面反応 / ヘルスケアチップ / ULSI / SiGe / 無損傷化 / Flow-FET … もっと見る研究代表者以外表面反応 / 吸着ラジカル / 質量分析 / STM / プラズマ / レーザ誘起光化学反応 / デジタルエッチング / 金属ー半導体界面 / 接触抵抗 / 界面反応 / 精密制御技術 / 光励起脱離 / 走査トンネル顕微鏡 / ECRスパッタ / エレクトロマイグレーション / ボイド / 結晶粒界 / 抵抗振動 / SEM / デジタルCVD / 不純物ドーピング / レ-ザ誘起光化学反応 / 冷却プラズマCVD / マイクロロ-ディング / 金属一半導体界面 / 不純物ド-ピング / 共鳴2光子イオン化 / 状態弁別測定 / 表面吸着構造敏感 / SOR光エッチング / 光CVD / 単結晶Si異方性エッチング / 光励起誘起金属気相成長 / 界面精密制御 / コンタクト抵抗率 / 界面固相反応 / 界面電気伝導 / ミリサイド / 超高濃度ド-ピング / 表面偏析 / 価電子励起に伴う表面反応 / 反応選択性 / 反応性イオンエッチング / SOR励起エッチング / ラジカルによる膜成長表面反応 / 飛行時間 / フ-リエ変換型イオン分光器 / 反応性プラズマ / シース / プラズマ・固体相互作用 / プラズマ・表面相互作用 / シ-ス / プラズマ、固体相互作用 / プラズマ、表面相互作用 / 紫外レーザー / レーザードーピング / 吸着制御 / シリルラジカル / 塩素吸着シリコン表面 / 化合物半導体 / 知能エレクトロニクス / シリコン / 集積化 / ECRプラズマ / 分数波共鳴 / コンフォーマルスパッタ堆積 / 電子顕微鏡その場観察 / 高磁場ECRスパッタ / 自己維持スパッタ / 分子動力学シミュレーション / 析出合金 / マグネトロンスパッタ / 分子動力学計算 / ボイド移動 / 結晶粒界拡散 / コンタクト埋め込み / エレクトロマイグレ-ション / マイクロ波プラズマ / 金属薄膜 / CuAl合金 / 表面拡散 / アルミニウム / スパッタリング / elctromigration / void / molecular dynamics simulation / sustained self-sputtering / ECR sputtering / in-situ SEM observation / grain boundary / alloy precipitation / イオンプレーティング / イオン / ラジカル / STM In-Situ 観察 / ion plating / ion / radical / エレクトロマイブレーション / ヒロック / 非線型 / Al配線 / 転位 / アルミニウム配線 / ULSI / 信頼性 / 振動 / 抵抗振動現象 / 局所性・非局所性評価 / ボイド生成消滅モデル / Electromigration / Resistance Oscillation / Void / Hillock / Nonlinear / Al Interconnect / Dislocation / 知的電子システム / シリコン集積回路 / 知能情報処理 / 極限材料・プロセス / アーキテクチャ / マイクロエレクトロニクス / システム / シリコンテクノロジー / 集積回路 / 半導体プロセス / 回路 / デバイス / プロセス / 材料 / Intelligent electronic systems / Silicon Integrated Circuits / Intelligent Information Processing / Ultimate Material and Process / ヘルスケアチップ / 血液検査 / マイクロTAS / マイクロ流体デバイス / 誘電泳動 / セルソーターチップ / 細胞電気泳動 / ディープガラスエッチング / ホウ珪酸ガラス加工 / 積層マイクロ流体チップ / ポリマーチップ / 射出成型 / 細胞電気泳動チップ / 陽極接合 / 血液分析 / 埋め込み微小電極 / インピーダンス分光 / ポリマー被覆 / 細胞分析 / ナノソーターチップ / マイクロキャピラリー電気泳動 / ディープエッチング / ガラスエッチング / Crドライエッチング / 細胞免疫電気泳動 / 誘電泳動力 / healthcare chip / blood test / micro TAS / microfluidics / dielectrophoresis / cell sorter chip / cell electrophoresis / deep glass etching 隠す

Siナノ構造を用いた消化器系診断in-vivo粒状チップの創製研究代表者
- 研究代表者
  
  堀池靖浩
- 研究期間 (年度)
  2002 – 2004
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  医用生体工学・生体材料学
- 研究機関
  独立行政法人物質・材料研究機構
   東京大学
次世代多層配線プロセス新微細加工技術の研究研究代表者
- 研究代表者
  
  堀池靖浩
- 研究期間 (年度)
  2001 – 2003
- 研究種目
  
  特定領域研究
- 審査区分
  
  理工系
- 研究機関
  独立行政法人物質・材料研究機構
   東京大学
超機能化グローバル・インターフェース・インテグレーション研究研究代表者
- 研究代表者
  
  堀池靖浩
- 研究期間 (年度)
  2000 – 2004
- 研究種目
  
  特定領域研究
- 審査区分
  
  理工系
- 研究機関
  独立行政法人物質・材料研究機構
   東京大学
極微量血液のマイクロ分析チップを用いたヘルスケアデバイスの創製研究代表者
- 研究代表者
  
  堀池靖浩
- 研究期間 (年度)
  2000 – 2001
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  材料加工・処理
- 研究機関
  東京大学
超高速極微量全血分析のためのヘルスケアチップ研究
- 研究代表者
  
  一木隆範
- 研究期間 (年度)
  2000 – 2002
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  複合集積システム
- 研究機関
  東洋大学
極限集積化シリコン知能エレクトロニクス
- 研究代表者
  
  大見忠弘
- 研究期間 (年度)
  1999
- 研究種目
  
  特定領域研究(A)
- 研究機関
  東北大学
ULSI極微細・高アスペクト比孔の低損傷形成研究研究代表者
- 研究代表者
  
  堀池靖浩
- 研究期間 (年度)
  1999 – 2001
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  材料加工・処理
- 研究機関
  東京大学
ハロゲン原子によるSi表面単原子層形成とその低エネルギー除去に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  堀池靖浩
- 研究期間 (年度)
  1996 – 1998
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  表面界面物性
- 研究機関
  東京大学
   東洋大学
集積化知能システム極限材料・プロセス研究代表者
- 研究代表者
  
  堀池靖浩
- 研究期間 (年度)
  1995 – 1998
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  東京大学
   東洋大学
水素及びハロゲンラジカルとシリコン表面の単原子反応の制御研究代表者
- 研究代表者
  
  堀池靖浩
- 研究期間 (年度)
  1994
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  東洋大学
極限集積化シリコン知能エレクトロニクス
- 研究代表者
  
  大見忠弘
- 研究期間 (年度)
  1994
- 研究種目
  
  総合研究(B)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  東北大学
電子サイクロトン分数波共鳴プラズマの生成とスパンタ応用
- 研究代表者
  
  進藤春雄
- 研究期間 (年度)
  1994
- 研究種目
  
  一般研究(C)
- 研究分野
  
  プラズマ理工学
- 研究機関
  福山大学
超高真空STM In-Situ観察による半導体清浄表面のイオン,ラジカル効果
- 研究代表者
  
  村山洋一
- 研究期間 (年度)
  1994 – 1995
- 研究種目
  
  一般研究(B)
- 研究分野
  
  表面界面物性
- 研究機関
  東洋大学
直流電流下エレクトロマイグレーションに誘起された抵抗振動現象の解明と制御
- 研究代表者
  
  新宮原正三 (新官原正三)
- 研究期間 (年度)
  1994 – 1995
- 研究種目
  
  一般研究(B)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  広島大学
水素及びハロゲンラジカルとシリコン表面の単原子層反応の制御研究代表者
- 研究代表者
  
  堀池靖浩
- 研究期間 (年度)
  1993
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  広島大学
極微細SiドットPN接合素子の作製と擬一次元量子効果の解明研究代表者
- 研究代表者
  
  堀池靖浩
- 研究期間 (年度)
  1993 – 1995
- 研究種目
  
  一般研究(B)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  東洋大学
   広島大学
高速・高均一デジタルCVDを用いたULSI用高機能性薄膜の作成研究代表者
- 研究代表者
  
  堀池靖浩
- 研究期間 (年度)
  1993 – 1995
- 研究種目
  
  試験研究(B)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  東洋大学
   広島大学
表面反応の研究
- 研究代表者
  
  村田好正
- 研究期間 (年度)
  1992
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  東京大学
界面の作製とその精密制御
- 研究代表者
  
  安田幸夫
- 研究期間 (年度)
  1991
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  名古屋大学
電子波デバイス用基板のディジタル・エッチングによる無損傷加工に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  堀池靖浩
- 研究期間 (年度)
  1991
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  広島大学
表面反応の研究
- 研究代表者
  
  村田好正
- 研究期間 (年度)
  1991
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  東京大学
プロセス用プラズマのシース
- 研究代表者
  
  板谷良平
- 研究期間 (年度)
  1991 – 1993
- 研究種目
  
  総合研究(A)
- 研究分野
  
  応用物性
- 研究機関
  新居浜工業高等専門学校
   京都大学
極微細金属配線における高密度電子流に誘起される方向性原子移動現象の解明及び制御
- 研究代表者
  
  新宮原正三
- 研究期間 (年度)
  1991 – 1993
- 研究種目
  
  試験研究(B)
- 研究分野
  
  電子材料工学
- 研究機関
  広島大学
プラズマ-表面相互作用の制御
- 研究代表者
  
  広瀬全孝
- 研究期間 (年度)
  1990
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  広島大学
界面の作製とその精密制御
- 研究代表者
  
  安田幸夫
- 研究期間 (年度)
  1990
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  名古屋大学
電子波デバイス用基板のディジタル・エッチングによる無損傷加工に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  堀池靖浩
- 研究期間 (年度)
  1990
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  広島大学
表面反応の研究
- 研究代表者
  
  村田好正
- 研究期間 (年度)
  1990
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  東京大学
プラズマ-表面相互作用の制御
- 研究代表者
  
  広瀬全孝
- 研究期間 (年度)
  1989
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  広島大学
界面の作製とその精密制御
- 研究代表者
  
  安田幸夫
- 研究期間 (年度)
  1989
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  名古屋大学
プラズマ-表面相互作用の制御
- 研究代表者
  
  広瀬全孝
- 研究期間 (年度)
  1988
- 研究種目
  
  重点領域研究
- 研究機関
  広島大学

すべて 2005 2004 2002

すべて雑誌論文図書

[図書] Bio-nano Technology2004
- 著者名/発表者名
  Y.Horiike, K.Kataoka, et al.
- 出版者
  Ohm-sha Corp.
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14208101
[図書] バイオナノテクノロジー2004
- 著者名/発表者名
  堀池靖浩, 片岡一則共編
- 総ページ数
  224
- 出版者
  オーム社
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14208101
[図書] はじめての半導体洗浄技術2002
- 著者名/発表者名
  堀池靖浩, et al.
- 総ページ数
  250
- 出版者
  工業調査会
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14208101
[図書] Semiconductor Cleaning Technology for beginner2002
- 著者名/発表者名
  Y.Horiike, et al.
- 出版者
  Kogyo Chosakai Publishing Inc.
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14208101
[雑誌論文] Coming of Highly Aged Society and Creation of Healthcare chip2005
- 著者名/発表者名
  Y.Horiike, et al.
- 雑誌名
  
  HYOUMENGIJYUTSU 55(6)
  
  ページ: 385-390
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14208101
[雑誌論文] Home Diagnostic Chip employing Painless Needle2004
- 著者名/発表者名
  Y.Horiike
- 雑誌名
  
  JIDOUSHA GIJYUTSU 58(7)
  
  ページ: 116-117
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14208101
[雑誌論文] 高齢化社会の到来とヘルスケアチップの創製-ドライエッチング技術の展開-2004
- 著者名/発表者名
  堀池靖浩
- 雑誌名
  
  表面技術 55(6)
  
  ページ: 385-390
- NAID
  10013272139
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14208101
[雑誌論文] 無痛針採血による在宅健康診断チップ2004
- 著者名/発表者名
  堀池靖浩
- 雑誌名
  
  自動車技術 58(7)
  
  ページ: 116-117
- NAID
  10013272134
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14208101
[雑誌論文] プラズマプロセスによるバイオチップの開発と展望2004
- 著者名/発表者名
  堀池靖浩他
- 雑誌名
  
  応用物理 73(4)
  
  ページ: 470-475
- NAID
  10012857398
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14208101
[雑誌論文] 高齢化社会の到来とヘルスケアチップの創製-ドライエッチング技術の展開-2004
- 著者名/発表者名
  堀池靖浩, et al.
- 雑誌名
  
  表面技術 55(6)
  
  ページ: 385-390
- NAID
  10013272139
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14208101

1. 坂上弘之 (50221263)

共同の研究課題数: 8件

共同の研究成果数: 0件
2. 新宮原正三 (10231367)

共同の研究課題数: 6件

共同の研究成果数: 0件
3. 安田幸夫 (60126951)

共同の研究課題数: 4件

共同の研究成果数: 0件
4. 白木靖寛 (00206286)

共同の研究課題数: 4件

共同の研究成果数: 0件
5. 一木隆範 (20277362)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
6. 広瀬全孝 (10034406)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
7. 宮崎誠一 (70190759)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
8. 川崎昌博 (70110723)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
9. 前川禎通 (60005973)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
10. 多田邦雄 (00010710)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
11. 小長井誠 (40111653)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
12. 村田好正 (10080467)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
13. 吉野淳二 (90158486)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
14. 正畠宏祐 (60132726)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
15. 大見忠弘 (20016463)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
16. 坪内和夫 (30006283)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
17. 石原宏 (60016657)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
18. 浅田邦博 (70142239)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
19. 亀山充隆 (70124568)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
20. 進藤春雄 (20034407)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
21. 益一哉 (20157192)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
22. 高村禅 (20290877)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
23. 川崎三津夫 (50111927)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
24. 村山洋一 (40057956)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
25. 柏木邦宏 (30058094)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
26. 神田洋三 (70041845)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
27. 服部健雄 (10061516)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
28. 立花明知 (40135463)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
29. 冬木隆 (10165459)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
30. 市野瀬英喜 (30159842)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
31. 中原一彦 (70101095)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
32. 片岡一則 (00130245)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
33. 葛谷昌之 (10082984)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
34. 中瀬博之 (60312675)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
35. 長田昭義 (00164426)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
36. 末宗幾夫 (00112178)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
37. 山西正道 (30081441)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
38. 羽田宏 (60025864)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
39. 岩澤康裕 (40018015)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
40. 板谷良平 (90025833)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
41. 後藤俊夫 (50023255)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
42. 籏野嘉彦 (90016121)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
43. 佐藤徳芳 (40005252)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
44. 田頭博昭 (10001174)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
45. 財満鎭明 (70158947)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
46. 霜垣幸浩 (60192613)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
47. 角南英夫 (10311804)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
48. 岩井洋 (40313358)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
49. 鶴島稔夫 (10236953)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
50. 松波弘之 (50026035)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
51. 金子尚史

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
52. 川村剛平

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
53. 池上尚克

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
54. 戸所義博

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
55. 岩渕修一

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
56. 三宅潔

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

堀池 靖浩 HORIIKE Yasuhiro

堀池 清浩 ホリイケ ヤスヒロ

研究課題

研究成果

共同研究者

Siナノ構造を用いた消化器系診断in-vivo粒状チップの創製研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

次世代多層配線プロセス新微細加工技術の研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

超機能化グローバル・インターフェース・インテグレーション研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

極微量血液のマイクロ分析チップを用いたヘルスケアデバイスの創製研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究機関

ULSI極微細・高アスペクト比孔の低損傷形成研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

ハロゲン原子によるSi表面単原子層形成とその低エネルギー除去に関する研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

集積化知能システム極限材料・プロセス研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究機関

水素及びハロゲンラジカルとシリコン表面の単原子反応の制御研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

堀池靖浩 HORIIKE Yasuhiro

堀池清浩ホリイケヤスヒロ